JP6595576B2 - ズーム顕微鏡 - Google Patents
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Description
現況技術から、中間像のあるかまたはない様々なテレセントリックズーム顕微鏡が知られている。
さらに対象物側テレセントリックズームシステムは、対象物側でビーム経路にフィルターまたは同軸落射光照明をカップリングすべき場合に適用可能であることが特に有利である。
このモジュール式ズーム顕微鏡は、観察すべき対象物を配置可能な対象物面と、対象物ステージに対して一定の距離をあけて配置されている交換可能な対物レンズと、ズームアセンブリと、結像レンズアセンブリと、対象物の像を捕捉するための結像ユニットとを含む。
対物レンズと、ズームアセンブリと、結像レンズ群と、結像ユニットとは、対象物面を出発点として、光路または観察ビーム経路内にこの順番で配置されている。
ズームアセンブリは少なくとも2つの可動レンズ群を含む。本発明によれば、可動レンズ群の1つは絞りを含む。
ズームアセンブリは、アフォーカルなレンズシステムである。
本発明によるズーム顕微鏡により、対物レンズを交換したり、比較的大きな対象物野の場合に所定の拡大範囲内でズームを作動したりすることで、約25倍までの倍率を達成できることが有利である。
結像レンズシステムは、像面内で結像を合焦するために、既知のやり方で好ましくは複数のレンズ群を含み、像面内では画像センサーが配置されている。
スケーリングを確定するため、および/または画像内での測定を実施するために、レンズ群の位置を非常に様々なやり方で捕捉することができ、かつ結像ユニットまたは表示ユニット内で使用することができる。
以下に、本発明の特に好ましい1実施形態を図に基づいて説明する。
ズーム顕微鏡の光学システムは、図示されていない対象物ステージ上または対象物面内に存在する対象物野01を含む。この対象物野01上に対象物02が配置されており、この対象物野の観察される部分の大きさは、イラストa)〜e)で異なっている。これに関しイラストa)は非常に小さな対象物を示しており、イラストe)は、対象物野01を埋め尽くす対象物を示している。
対物レンズ03に、ズーム比Γ=0.5...5のズームアセンブリ04が接続されており、ズームアセンブリは4つのレンズ群を含む。正の屈折力を有する第1のレンズ群LG1は不動に配置されている。第2のレンズ群LG2は光軸06に沿って変位可能であり、負の屈折力を有している。第3のレンズ群LG3も光軸06に沿って変位可能であり、正の屈折力を有している。第4のレンズ群LG4も光軸06に沿って変位可能であり、負の屈折力を有している。
以下に、図示したシステムに関する光学的な特性データを表によって示している。
図2は前述の光学システムを示しているが、ただし対物レンズ03が焦点距離fo=40mmの対物レンズ13と交換されているという違いがある。これに関し同じ符号はもちろん同じコンポーネントを意味しており、したがってここではこれ以上の説明は省略する。
02 対象物
03 対物レンズ
04 ズームアセンブリ
05 −
06 光軸
07 絞り
08 鏡筒アセンブリ
09 画像センサー
LG1...LG4 ズームアセンブリのレンズ群
LG5...LG7 鏡筒アセンブリのレンズ群
Claims (10)
- 交換可能な対物レンズ(03、13)と、
観察ビーム経路内で該対物レンズ(03、13)の後ろに配置されている少なくとも2つの可動レンズ群を備えたズームアセンブリ(04)と、
該ズームアセンブリ(04)の後ろに配置されている鏡筒アセンブリ(08)と、
対象物面内に配置された試料の像を捕捉するための、該鏡筒アセンブリ(08)の後ろに配置され、かつ像面内に位置付けされた画像センサー(09)を含む結像ユニットと、を備えるモジュール式ズーム顕微鏡において、
該対物レンズ(03、13)が、該対物レンズの像側焦点が該ズームアセンブリ内にあるような焦点距離を有すること、および該可動レンズ群の1つが絞り(07)を含むことを特徴とするモジュール式ズーム顕微鏡。 - 前記ズームアセンブリ(04)の入射瞳が、前記可動レンズ群の少なくとも第1の位置では、前記対物レンズ(03、13)の前記像側焦点と実質的に一致していることを特徴とする請求項1に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記ズームアセンブリ(04)の前記入射瞳の位置が、ズーム範囲全体にわたって、前記対物レンズ(03、13)の前記像側焦点の少なくとも近傍に存在することを特徴とする請求項2に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記入射瞳の位置が、前記ズームアセンブリ(04)のズーム範囲にわたって、単調ではなく変化することを特徴とする請求項3に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記ズームアセンブリ(04)の前記入射瞳の位置が、ズーム範囲にわたって、少なくとも2つの同じ値を有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記ズームアセンブリ(04)が、1つの固定レンズ群および正確に3つの可動レンズ群を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記ズームアセンブリ(04)の前記レンズ群が、前記対物レンズ(03、13)を出発点として、固定の第1のレンズ群、可動の第2のレンズ群、可動の第3のレンズ群、可動の第4のレンズ群の順番で配置されていることを特徴とする請求項6に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記絞り(07)が、前記第3のレンズ群に配置されていることを特徴とする請求項7に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記絞り(07)の大きさが可変であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
- 前記対物レンズ(03、13)が、前記対象物面に対して一定の距離をあけて配置されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のモジュール式ズーム顕微鏡。
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