JP6585325B1 - 予兆データサーバ及びｘ線厚み測定システム - Google Patents

Abstract

Ｘ線厚み測定装置（１２）は、予兆データサーバ（１４）と接続され、Ｘ線制御電源と、Ｘ線発生器と、検出部とを備える。予兆データサーバ（１４）は、取得部（６２）と、予兆部（６４）と、記憶部（４８）と、を備える。取得部（６２）は、Ｘ線厚み測定装置（１２）から、ドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、管電流値、及び、検出信号のうち少なくともいずれかを含む測定情報（５６）を取得する。予兆部（６４）は、取得部（６２）により取得する測定情報（５６）の統計を、Ｘ線厚み測定装置（１２）の異常を診断するための予兆データ（６８）として生成する。記憶部（４８）は、予兆部（６４）により生成される予兆データ（６８）を記憶する。

Description

実施形態は、予兆データサーバ及びＸ線厚み測定システムに関する。

例えば鋼板等の板状の製品（以下、測定対象）の製造ライン等において、Ｘ線を用いて測定対象の厚みを測定するＸ線厚み測定装置が用いられている。

特公昭５８−１０５００８号公報

しかしながら、上述のＸ線厚み測定装置の異常を診断するためのデータを生成する装置が知られていない。

上述した課題を解決し、実施形態の予兆データサーバは、Ｘ線厚み測定装置と接続されている。Ｘ線厚み測定装置は、Ｘ線制御電源と、Ｘ線発生器と、検出部と、変圧器と、ドライブ検出部と、管検出部と、を備える。Ｘ線制御電源は、電力を供給する。Ｘ線発生器は、Ｘ線制御電源からの電力によって電子を放出するフィラメントと当該フィラメントから放出される電子の衝突によって厚みの測定対象にＸ線を照射するターゲットとを有する。検出部は、測定対象を通過した前記Ｘ線の強度に応じた、検出電圧および検出電流の少なくとも一方を検出信号として出力する。変圧器は、Ｘ線制御電源からの電力を変圧してフィラメントに供給する。ドライブ検出部は、変圧器の一次側の電圧であるドライブ電圧値および変圧器の一次側に流れる電流値であるドライブ電流値を検出する。管検出部は、フィラメントとターゲット間の電圧である管電圧値およびフィラメントとターゲット間に流れる電流値である管電流値を検出する。予兆データサーバは、取得部と、予兆部と、記憶部と、を備える。取得部は、Ｘ線厚み測定装置から、ドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、管電流値、及び、検出信号のうち少なくともいずれかを含む測定情報を取得する。予兆部は、取得部により取得する測定情報の統計を、Ｘ線厚み測定装置の異常を診断するための予兆データとして生成する。記憶部は、予兆部により生成される予兆データを記憶する。また、予兆部は、取得部により取得される測定情報を記憶部に書き込み、予兆データの生成後、当該予兆データの生成に用いた測定情報を記憶部から削除し、測定情報のスパイクの発生をトリガにして、記憶部からの測定情報の削除を中止し、測定情報のスパイクが、予め設定された時間、再び発生しなかった場合、記憶部からの測定情報の削除を再開する。

図１は、実施形態のＸ線厚み測定システムの全体構成を示す概略図である。 図２Ａは、実施形態のＸ線厚み測定システムの制御系の構成を示すブロック図である。 図２Ｂは、実施形態のＸ線厚み測定システム内で送受信される測定情報のデータの構成の一例を示す図である。 図３Ａは、測定情報の管電圧値ＴＶの一例を示すグラフである。 図３Ｂは、測定情報の管電流値ＴＣの一例を示すグラフである。 図３Ｃは、測定情報のドライブ電圧値Ｅｐの一例を示すグラフである。 図３Ｄは、測定情報のドライブ電流値Ｉｐの一例を示すグラフである。 図３Ｅは、測定情報の検出値Ｄｖの一例を示すグラフである。 図４Ａは、実施形態のメンテナンス装置が出力する警告画像の一例を示す図である。 図４Ｂは、実施形態のメンテナンス装置が出力する警告画像の一例を示す図である。 図５は、実施形態の厚み測定装置の制御側処理部が実行する測定処理のフローチャートである。 図６は、実施形態の予兆データサーバの予兆側処理部が実行する予兆処理のフローチャートである。 図７は、実施形態のメンテナンス装置のメンテナンス側処理部が実行するメンテナンス処理のフローチャートである。 図８Ａは、測定情報の管電圧値ＴＶの標準偏差のグラフである。 図８Ｂは、測定情報の管電流値ＴＣの標準偏差のグラフである。 図８Ｃは、測定情報のドライブ電圧値Ｅｐの標準偏差のグラフである。 図８Ｄは、測定情報のドライブ電流値Ｉｐの標準偏差のグラフである。 図８Ｅは、測定情報の検出値Ｄｖの標準偏差のグラフである。 図９は、測定情報に含まれる検出値の分散と尖度との積のグラフである。 図１０は、第４実施形態にかかる予兆データサーバが取得する測定情報が含む管電圧の一例を示す図である。 図１１は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の平均の生成結果の一例を示す図である。 図１２は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の標準偏差の生成結果の一例を示す図である。 図１３は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の分散の生成結果の一例を示す図である。 図１４は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の歪度の生成結果の一例を示す図である。 図１５は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の尖度の生成結果の一例を示す図である。 図１６は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにおける測定情報の書込処理の一例を説明するための図である。 図１７は、第４実施形態にかかるメンテナンス装置による予兆データおよび測定情報の表示処理の一例を説明するための図である。 図１８は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより実行する予兆処理の流れの一例を示すフローチャートである。

以下の例示的な実施形態や変形例には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、同様の構成要素には共通の符号が付されるとともに、重複する説明が部分的に省略される。実施形態や変形例に含まれる部分は、他の実施形態や変形例の対応する部分と置き換えて構成されることができる。また、実施形態や変形例に含まれる部分の構成や位置等は、特に言及しない限りは、他の実施形態や変形例と同様である。

＜第１実施形態＞
図１は、実施形態のＸ線厚み測定システム１０の全体構成を示す概略図である。Ｘ線厚み測定システム１０は、Ｘ線厚み測定装置１２によって測定対象９０の厚みを測定するとともに、Ｘ線厚み測定装置１２の異常の診断に必要な予兆データ６８（図２参照）を生成して蓄積し、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を診断する。

図１に示すように、実施形態のＸ線厚み測定システム１０は、Ｘ線厚み測定装置１２と、予兆データサーバ１４と、メンテナンス装置１６と、ネットワーク１８とを備える。ネットワーク１８は、Ｘ線厚み測定装置１２と、予兆データサーバ１４と、メンテナンス装置１６とを互いに情報を送受信可能に接続するＬＡＮ（Local Area Network）等であってよい。また、実施形態のＸ線厚み測定システム１０は、ＴＣＰ／ＩＰ等の通信規格に従って、インターネット等のネットワークを介して、当該Ｘ線厚み測定システム１０の外部に設けられる上位装置と通信可能である。

Ｘ線厚み測定装置１２は、厚み測定の対象である測定対象９０にＸ線を照射して、測定対象９０を通過したＸ線の量によって、測定対象９０の厚みを測定する。Ｘ線厚み測定装置１２は、測定部２０と、Ｘ線制御電源２２と、板厚演算部（制御装置）２４とを備える。

測定部２０は、測定対象９０にＸ線を照射して、測定対象９０の厚みを算出するための検出電圧または検出電流の少なくともいずれかを検出値として、板厚演算部２４へ出力する。実施形態の測定部２０は、保持部２６と、変圧器２８と、Ｘ線発生器３０と、検出器３２と、出力検出部３４と、抵抗３５とを有する。

保持部２６は、変圧器２８と、Ｘ線発生器３０と、検出器３２と、出力検出部３４と、抵抗３５とを保持する。

変圧器２８は、Ｘ線制御電源２２が出力した電力を変圧（例えば、昇圧）して、後述するＸ線発生器３０のフィラメント３８に供給する。

Ｘ線発生器３０は、Ｘ線制御電源２２から供給される電力によって、Ｘ線を発生させて、測定対象９０に照射する。実施形態のＸ線発生器３０は、Ｘ線管３６と、フィラメント３８と、ターゲット４０とを有する。Ｘ線管３６は、例えば、内部を真空状態に維持する密閉された管である。Ｘ線管３６は、フィラメント３８及びターゲット４０を内部に収容して保持する。フィラメント３８は、変圧器２８を介して、Ｘ線制御電源２２から供給された電力によって、電子をターゲット４０へ放出する。ターゲット４０は、フィラメント３８が放出した電子の衝突によって、Ｘ線を測定対象９０へと照射する。

検出器３２は、測定対象９０を挟んでＸ線発生器３０と対向する位置に配置されている。実施形態の検出器３２は、Ｘ線発生器３０から照射され、測定対象９０を通過したＸ線の強度に応じた検出電圧及び検出電流の少なくともいずれかの値を検出信号として出力検出部３４へ出力する。検出器３２は、例えば、入射したＸ線に応じた検出電圧及び検出電流を出力する電離箱であってよい。

出力検出部３４は、検出器３２が出力した検出信号を変換処理して板厚演算部２４へ出力する。例えば、出力検出部３４は、ＡＤ変換器等を有し、アナログ信号の検出信号をデジタル変換した値を、測定対象９０の厚みを算出するための検出値として出力してよい。

Ｘ線制御電源２２は、電源の一例であって、板厚演算部２４からの電源制御信号に基づいて、変圧器２８を介してＸ線発生器３０のフィラメント３８に供給される電力を供給する。Ｘ線制御電源２２は、例えば、商用電源等の外部電源に接続されていてよい。また、Ｘ線制御電源２２は、ドライブ検出部４２および管検出部４４を有する。

ドライブ検出部４２は、ドライブ電圧値及びドライブ電流値を検出する。ドライブ電圧値は、変圧器２８の一次側の電圧の値であって、Ｘ線制御電源２２が供給する電力の電圧の値である。ドライブ電流値は、変圧器２８の一次側に流れる電流の値であって、Ｘ線制御電源２２が供給する電力の電流の値である。ドライブ検出部４２は、検知（検出）したドライブ電圧値及びドライブ電流値を板厚演算部２４へ出力する。実施形態では、ドライブ検出部４２は、Ｘ線制御電源２２が有する図示しないＲＴＣ（Real Time Clock）から、ドライブ電圧値及びドライブ電流値の検出時のタイムスタンプである時刻データを取得する。そして、ドライブ検出部４２は、検出したドライブ電圧値及びドライブ電流値に、取得した時刻データを付加して、板厚演算部２４へ出力する。また、実施形態では、ドライブ検出部４２は、予め設定された周期（例えば、１００ｍｓ）で、ドライブ電圧値及びドライブ電流値を検出するものとする。

管検出部４４は、管電圧値及び管電流値を検出する。管電圧値は、変圧器２８の二次側の電圧の値であって、フィラメント３８とターゲット４０間の電圧の値である。管電流値は、Ｘ線発生器３０の二次側を流れる電流の値であって、フィラメント３８とターゲット４０間に流れる電流の値である。実施形態では、管検出部４４は、抵抗３５の両端の電圧を管電圧値として検出し、抵抗３５に流れる電流の値を管電流値として検出する。そして、管検出部４４は、検知（検出）した管電圧値及び管電流値を板厚演算部２４へ出力する。実施形態では、管検出部４４は、Ｘ線制御電源２２が有する図示しないＲＴＣから、管電圧値及び管電流値の検出時のタイムスタンプである時刻データを取得する。そして、管検出部４４は、検出した管電圧値及び管電流値に、取得した時刻データを付加して、板厚演算部２４へ出力する。また、実施形態では、管検出部４４は、予め設定された周期（例えば、１００ｍｓ）で、管電圧値及び管電流値を検出するものとする。すなわち、実施形態では、ドライブ検出部４２および管検出部４４は、同じ周期で、ドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、および管電流値の検出を行う。

板厚演算部２４は、Ｘ線厚み測定装置１２の制御全般を司る。板厚演算部２４は、Ｘ線厚み測定装置１２によって測定対象９０の厚みを測定するオペレータ等が使用するコンピュータであってよい。板厚演算部２４は、出力検出部３４から取得した検出値に基づいて、測定対象９０の厚みを算出する。板厚演算部２４は、Ｘ線発生器３０に供給する電力の管電圧値に応じたドライブ電圧値を指示する電源制御信号をＸ線制御電源２２に出力する。板厚演算部２４は、管検出部４４から取得した管電圧値に基づいて設定したドライブ電圧値を指示する電源制御信号を生成してよい。板厚演算部２４は、出力検出部３４から出力される検出値、ドライブ検出部４２により検出されるドライブ電圧値、ドライブ検出部４２により検出されるドライブ電流値、管検出部４４により検出される管電圧値、管検出部４４により検出される管電流値のうち少なくともいずれかを含む測定情報５６（図２参照）をネットワーク１８へ出力する。板厚演算部２４は、例えば、ブロードキャストによって測定情報５６を出力してよい。実施形態では、板厚演算部２４は、出力検出部３０４から取得する検出値および測定対象９０の厚みのうち、検出値を含む測定情報５６を出力しているが、検出値及び測定対象９０の厚みの少なくともいずれか一方を含む測定情報５６を出力するものであれば、これに限定するものではない。例えば、板厚演算部２４は、検出値および測定対象９０の厚みの両方を含む測定情報５６を出力しても良いし、検出値に代えて、測定対象９０の厚みを含む測定情報５６を出力しても良い。

予兆データサーバ１４は、板厚演算部２４から測定情報５６を複数回繰り返し取得して、複数の測定情報５６から生成したＸ線厚み測定装置１２の異常の予兆を示すデータ６８（以下、予兆データ。図２参照）を記憶して蓄積する。ここで、予兆データ６８は、Ｘ線厚み測定装置１２から取得した測定情報５６の統計である。そして、予兆データサーバ１４は、予兆データ６８をメンテナンス装置１６からの要求に応じて出力する。

メンテナンス装置１６は、例えば、Ｘ線厚み測定装置１２をメンテナンスするメンテナンス担当者等が使用するコンピュータである。メンテナンス装置１６は、予兆データサーバ１４から取得した予兆データ６８に基づいて、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を診断し、診断した結果を画像等によって出力する。

図２Ａは、実施形態のＸ線厚み測定システム１０の制御系の構成を示すブロック図である。まず、図２Ａを用いて、Ｘ線厚み測定装置１２が有する板厚演算部２４の機能構成の一例について説明する。図２Ａに示すように、板厚演算部２４は、制御側処理部４６と、制御側記憶部４８とを有する。

制御側処理部４６は、Ｘ線厚み測定装置１２の制御全般を司る。制御側処理部４６は、演算処理等を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）及びＧＰＵ（Graphics Processing Unit）等のハードウェアプロセッサであってよい。制御側処理部４６は、制御側記憶部４８に格納されたプログラムを読み込み、読み込んだプログラムを制御側記憶部４８に展開することで、種々の演算処理を実行する。制御側処理部４６は、例えば、測定プログラム５４を読み込み、受付部５０及び算出部５２として機能する。尚、受付部５０及び算出部５２の一部または全部は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）またはＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）を含む回路等のハードウェアによって構成されてもよい。

受付部５０は、測定情報５６を受け付けて、算出部５２へ出力する。受付部５０は、例えば、出力検出部３４から出力される検出値、ドライブ検出部４２により検出されるドライブ電圧値、ドライブ検出部４２により検出されるドライブ電流値、管検出部４４により検出される管電圧値、及び管検出部４４により検出される管電流値を、測定情報５６として受け付ける。

算出部５２は、受付部５０から測定情報５６を取得すると、当該測定情報５６に基づいて、測定対象９０の厚みを算出するとともに、Ｘ線厚み測定装置１２を制御する。例えば、算出部５２は、検出値に基づいて、測定対象９０の厚みを算出する。実施形態では、算出部５２は、出力検出部３４から、予め設定された周期（例えば、５ｍｓ）で、検出値を取得し、当該検出値を取得する度に、測定対象９０の厚みを算出する。すなわち、算出部５２は、予め設定された周期（例えば、５ｍｓ）で、測定対象９０の厚みを算出する。また、実施形態では、算出部５２は、板厚演算部２４が有する図示しないＲＴＣから、検出値の検出時のタイムスタンプである時刻データを取得する。そして、算出部５２は、取得した検出値および算出した測定対象９０の厚みに、取得した時刻データを付加する。また、算出部５２は、管電圧値及び管電流値が予め設定された設定電圧値になるように、Ｘ線制御電源２２にドライブ電圧値を指示する電源制御信号を生成して出力する。算出部５２は、ブロードキャストで、測定情報５６をネットワーク１８へ出力してよい。

制御側記憶部４８は、ＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＲＡＭ（Random Access Memory）と、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の主記憶装置及び補助記憶装置を有する。制御側記憶部４８は、制御側処理部４６が実行する測定プログラム５４、及び、測定プログラム５４を実行するために取得した測定情報５６等を記憶する。測定プログラム５４は、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）またはＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disc Read Only Memory）等のコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に記憶されて提供されてもよく、インターネット等のネットワークを介して提供されてもよい。

次に、図２Ａを用いて、予兆データサーバ１４の機能構成の一例について説明する。予兆データサーバ１４は、図２Ａに示すように、予兆側処理部５８と、予兆側記憶部６０とを有する。

予兆側処理部５８は、予兆データサーバ１４の制御全般を司る。予兆側処理部５８は、ＣＰＵ及びＧＰＵ等のハードウェアプロセッサであってよい。予兆側処理部５８は、予兆側記憶部６０に格納されたプログラムを読み込み、読み込んだプログラムを予兆側記憶部６０に展開することで、種々の演算処理を実行する。予兆側処理部５８は、例えば、予兆プログラム６６を読み込み、取得部６２及び予兆部６４として機能する。取得部６２及び予兆部６４の一部または全部は、ＡＳＩＣまたはＦＰＧＡを含む回路等のハードウェアによって構成されてもよい。

取得部６２は、Ｘ線厚み測定装置１２から測定情報５６を取得する。実施形態の取得部６２は、ネットワーク１８上に流れるドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、管電流値及び検出値のうち少なくとも１つのパラメータを含みかつ当該パラメータの検出時または算出時の時刻データが付加された測定情報５６を複数回取得して、予兆部６４へ出力する。実施形態の取得部６２は、後述する予兆部６４による予兆データ６８の生成に要する時間よりも長い周期で、Ｘ線厚み測定装置１２から測定情報５６を取得する。すなわち、取得部６２により測定情報５６を取得する周期が、予兆部６４による予兆データ６８の生成に要する時間よりも長いものとする。これにより、予兆部６４による予兆データ６８の生成によって予兆データサーバ１４にかかる処理負荷が大きくなって、Ｘ線厚み測定装置１２からの測定情報５６の取得が失敗することを防止できる。

予兆部６４は、取得部６２により取得した測定情報５６を、予兆側記憶部６０に書き込む。また、予兆部６４は、取得部６２により取得した測定情報５６の統計を予兆データ６８として生成する。そして、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を予兆側記憶部６０（記憶部の一例）に書き込む。実施形態の予兆部６４は、ネットワーク１８から取得した複数の測定情報５６に基づいて、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を診断するための予兆データ６８を生成して、予兆側記憶部６０に蓄積する。予兆部６４は、例えば、複数の測定情報５６と予め定められた閾値とを比較した結果を統計的に処理した値を予兆データ６８として生成してよい。予兆部６４は、生成した予兆データ６８を予兆側記憶部６０に蓄積する。予兆部６４は、予兆側記憶部６０に蓄積した予兆データ６８をメンテナンス装置１６からの要求に応じて出力する。尚、予兆部６４は、測定情報５６に含まれるドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、管電流値及び検出値の少なくともいずれかと閾値とを比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成してよい。また、予兆部６４は、取得部６２により取得した測定情報５６にスパイクが発生する度に、当該測定情報５６にスパイクが発生したことをメンテナンス装置１６に通知する。さらに、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を、アナログやＴＣＰ／ＩＰ等の通信規格に従って、外部の上位装置に通知する。

予兆側記憶部６０は、ＲＯＭと、ＲＡＭと、ＨＤＤ等の主記憶装置及び補助記憶装置を有する。予兆側記憶部６０は、予兆側処理部５８が実行する予兆プログラム６６、及び、予兆プログラム６６の実行によって生成された予兆データ６８等を記憶する。予兆プログラム６６は、ＣＤ−ＲＯＭまたはＤＶＤ−ＲＯＭ等のコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に記憶されて提供されてもよく、インターネット等のネットワークを介して提供されてもよい。

次に、図２Ａを用いて、メンテナンス装置１６の機能構成の一例について説明する。メンテナンス装置１６は、図２Ａに示すように、メンテナンス側処理部７０と、メンテナンス側記憶部７２と、表示部７３とを有する。

メンテナンス側処理部７０は、メンテナンス装置１６の制御全般を司る。メンテナンス側処理部７０は、ＣＰＵ及びＧＰＵ等のハードウェアプロセッサであってよい。メンテナンス側処理部７０は、メンテナンス側記憶部７２に格納されたプログラムを読み込み、読み込んだプログラムをメンテナンス側記憶部７２に展開することで、種々の演算処理を実行する。メンテナンス側処理部７０は、例えば、メンテナンスプログラム７６を読み込み、診断部７４として機能する。診断部７４の一部または全部は、ＡＳＩＣまたはＦＰＧＡを含む回路等のハードウェアによって構成されてもよい。

診断部７４は、予兆データサーバ１４が出力した予兆データ６８を取得して、予兆データ６８に基づいて、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を診断する。診断部７４は、Ｘ線厚み測定装置１２の異常の場合、Ｘ線厚み測定装置１２が故障状態に近づいていることを示す情報（警告を示す情報）、例えば、Ｘ線厚み測定装置１２が故障状態に近づいているレベル（以下、異常レベルと言う）を示すインジケータ（警告を示す画像である警告画像）を生成し、表示部７３に表示させる。表示部７３は、予兆データサーバ１４から出力される予兆データ６８や、警告画像等の各種情報を表示する。具体的には、表示部７３は、Ｘ線厚み測定装置１２の異常レベルを示すインジケータを表示する。そして、表示部７３は、予兆データサーバ１４から、測定情報５６にスパイクが発生したことが通知される度に、インジケータが示す異常レベルを上げる。

メンテナンス側記憶部７２は、ＲＯＭと、ＲＡＭと、ＨＤＤ等の主記憶装置及び補助記憶装置を有する。メンテナンス側記憶部７２は、メンテナンス側処理部７０が実行するメンテナンスプログラム７６等を記憶する。メンテナンスプログラム７６は、ＣＤ−ＲＯＭまたはＤＶＤ−ＲＯＭ等のコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に記憶されて提供されてもよく、インターネット等のネットワークを介して提供されてもよい。

ここで、図２Ｂを用いて、Ｘ線厚み測定装置１２から出力される測定情報５６のデータの構成の一例について説明する。図２Ｂは、実施形態にかかるＸ線厚み測定システム内で送受信される測定情報のデータの構成の一例を示す図である。

図２Ｂに示すように、板厚演算部２４は、管電圧値ＴＶと、管電流値ＴＣと、ドライブ電圧値Ｅｐと、ドライブ電流値Ｉｐと、各値ＴＶ，ＴＣ，Ｅｐ，Ｉｐに付加される時刻データｔｉｍｅ１と、検出値Ｄｖと、測定対象９０の厚みＴと、当該検出値Ｄｖおよび厚みＴに付加される時刻データｔｉｍｅ２と、を含む測定情報５６を、ネットワーク１８を介して、予兆データサーバ１４に出力する。実施形態では、板厚演算部２４は、測定対象９０の厚みＴを算出する度に（すなわち、予め設定された周期（例えば５ｍｓ））で、測定情報５６を生成し、当該生成した測定情報５６を出力する。

ただし、実施形態では、ドライブ検出部４２および管検出部４４により各値ＴＶ，ＴＣ，Ｅｐ，Ｉｐを検出する周期（例えば、１００ｍｓ）が、測定対象９０の厚みＴを算出する周期（例えば、５ｍｓ）よりも長いため、測定対象９０の厚みＴを算出するタイミングと同じタイミングにおいて、各値ＴＶ，ＴＣ，Ｅｐ，Ｉｐが得られない場合がある。そのため、板厚演算部２４は、図２Ｂに示すように、測定対象９０の厚みＴが算出されるタイミングにおいて、各値ＴＶ，ＴＣ，Ｅｐ，Ｉｐが得られない場合には、管電圧値ＴＶと、管電流値ＴＣと、ドライブ電圧値Ｅｐと、ドライブ電流値Ｉｐと、各値ＴＶ，ＴＣ，Ｅｐ，Ｉｐに付加される時刻データｔｉｍｅ１と、としてヌルを含む測定情報５６を生成する。よって、実施形態の板厚演算部２４は、測定対象９０の厚みＴが算出される周期で、測定情報５６を生成して、当該生成した測定情報５６を出力する。

本実施形態では、板厚演算部２４は、測定対象９０の厚みＴを算出する度に、測定情報５６を出力しているが、これに限定するものではなく、予め設定された数分の測定情報５６が生成される度に、または予め設定された周期分の測定情報５６が生成される度に、予め設定された数（所定数）分の連続する測定情報５６、または予め設定された周期分（所定期間毎）の測定情報５６をまとめて出力しても良い。

次に、図３Ａ〜３Ｅを用いて、予兆データサーバ１４において生成される予兆データ６８の一例について説明する。図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄ、図３Ｅは、各々、測定情報５６の各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの一例を示すグラフである。図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄ、図３Ｅの各グラフの横軸は、時間を示す。図３Ａのグラフの縦軸は、管電圧値ＴＶを示す。図３Ｂのグラフの縦軸は、管電流値ＴＣを示す。図３Ｃのグラフの縦軸は、ドライブ電圧値Ｅｐを示す。図３Ｄのグラフの縦軸は、ドライブ電流値Ｉｐを示す。図３Ｅのグラフの縦軸は、検出値Ｄｖを示す。図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄ、図３Ｅの各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖは、管電圧値ＴＶを１００ｋＶに維持するためにドライブ電圧値Ｅｐを制御した場合の値である。取得部６２は、板厚演算部２４が出力した図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄ、図３Ｅに示す各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖをネットワーク１８から取得して、予兆部６４へ出力する。予兆部６４は、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖを取得すると、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖに対応付けて予め設定された閾値と各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖとを比較して、予兆データ６８を生成する。ここで、予め設定された閾値は、Ｘ線厚み測定装置１２の出荷試験時における各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖを正常な値とし、当該出荷試験時における各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの変動範囲にマージンを加えた値に基づいて設定される。

予兆部６４は、図３Ａに示すように、例えば、管電圧値ＴＶが第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、管電圧値ＴＶが第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下であれば、管電圧異常値を１インクリメントする。図３Ａに示す例では、管電圧値ＴＶが第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下となっていないので、管電圧異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図３Ｂに示すように、例えば、管電流値ＴＣが第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、管電流値ＴＣが第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下であれば、管電流異常値を１インクリメントする。例えば、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄ、図３Ｅに示す例では、予兆部６４は、破線で囲む領域内の管電流値ＴＣが第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下に７回なっているので、管電流異常値を７インクリメントする。

予兆部６４は、図３Ｃに示すように、例えば、ドライブ電圧値Ｅｐが第５閾値Ｔｈ３＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ３−ｃ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、ドライブ電圧値Ｅｐが第５閾値Ｔｈ３＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ３−ｃ以下であれば、ドライブ電圧異常値を１インクリメントする。図３Ｃに示す例では、ドライブ電圧値Ｅｐが第５閾値Ｔｈ３＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ３−ｃ以下となっていないので、ドライブ電圧異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図３Ｄに示すように、例えば、ドライブ電流値Ｉｐが第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、ドライブ電流値Ｉｐが第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下であれば、ドライブ電流異常値を１インクリメントする。図３Ｄに示す例では、ドライブ電流値Ｉｐが、第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下となっていないので、ドライブ電流異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図３Ｅに示すように、例えば、検出値Ｄｖが第９閾値Ｔｈ５＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、検出値Ｄｖが第９閾値Ｔｈ５＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下であれば、検出異常値を１インクリメントする。図３Ｅに示す例では、検出値Ｄｖが、第９閾値Ｔｈ５＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下となっていないので、検出異常値をインクリメントしない。

そして、予兆部６４は、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値等の異常値を含む予兆データ６８を生成する。尚、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値等の異常値の各初期値は、０であってよい。従って、値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖが対応する閾値範囲内であれば、値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖに対応する異常値は０である。上述の閾値は、一例であって、例えば、管電圧値ＴＶに応じて、閾値を変化させてもよい。この場合、閾値は管電圧ＴＶに対応付けて予兆側記憶部６０に格納されていてよい。

次に、図４Ａおよび図４Ｂを用いて、メンテナンス装置１６において表示される警告画像の一例について説明する。図４Ａおよび図４Ｂは、メンテナンス装置１６が出力する警告画像９２の一例を示す図である。メンテナンス装置１６の診断部７４は、予兆データサーバ１４から取得した予兆データ６８に基づいて、表示部７３に警告画像９２を表示させてよい。具体的には、診断部７４は、予兆データ６８に含まれる管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値に基づいて、異常レベルを診断する。例えば、診断部７４は、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値のうち、０でない異常値の個数を異常レベルとしてよい。この場合、診断部７４は、０レベルから５レベルまでの範囲で異常レベルを設定する。尚、診断部７４は、予め定められた異常判定用閾値に基づいて、異常レベルを設定してもよい。この場合、診断部７４は、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値のうち、異常判定用閾値以上の異常値の個数を異常レベルとして設定してよい。本実施形態では、診断部７４は、異常レベルとして、０〜５までを設定することとしているが、これに限定するものではなく、６以上を異常レベルとして設定することも可能である。また、診断部７４は、予兆データサーバ１４から測定情報５６にスパイクが発生したことが通知される度に、表示部７３に表示される警告画像９２が示す異常レベルを上げても良い。例えば、診断部７４は、０レベルから５レベルまでの範囲で、予兆データサーバ１４から測定情報５６にスパイクが発生したことが通知される度に、異常レベルを１ずつ上げても良い。また、診断部７４は、予め設定された期間内の予兆データ６８に、予め設定された回数以上、スパイクが発生した場合に、異常レベルを上げても良い。これにより、一時的に、予兆データ６８にスパイクが発生した場合に、異常レベルが上がることを防止でき、Ｘ線厚み測定装置１２に異常が発生した可能性が高い場合に異常レベルを上げることができる。その結果、診断部７４により設定される異常レベルの信頼性を高めることができる。

そして、診断部７４は、異常レベルに応じて、警告画像９２を生成してよい。具体的には、診断部７４は、設定した異常レベルを示す警告画像９２を生成する。そして、表示部７３は、生成された警告画像９２に表示する。例えば、異常レベルが１の場合、診断部７４は、図４Ａに示すように、警告画像９２内に配列された５個の四角のうち、１番下の四角を着色した警告画像９２を生成し、当該生成した警告画像９２を表示部７３に表示させてもよい。また、異常レベルが４の場合、診断部７４は、図４Ｂに示すように、警告画像９２内に配列された５個の四角のうち、１番下から４個の四角を着色した警告画像９２を生成し、当該生成した警告画像９２を表示部７３に表示させてもよい。尚、診断部７４は、警告画像９２内の四角毎に、着色する色を変化させてよい。このように、診断部７４は、異常レベルに応じて生成した警告画像９２を表示部７３に表示させる。

次に、図５を用いて、Ｘ線厚み測定装置１２の制御側処理部４６が実行する測定処理の流れの一例について説明する。図５は、Ｘ線厚み測定装置１２の制御側処理部４６が実行する測定処理のフローチャートである。制御側処理部４６は、測定プログラム５４を読み込むことによって、測定処理を実行する。

図５に示すように、測定処理では、制御側処理部４６の受付部５０は、管電圧値ＴＶ及び管電流値ＴＣを管検出部４４から取得して、算出部５２へ出力する（Ｓ１０２）。受付部５０は、ドライブ電圧値Ｅｐ及びドライブ電流値Ｉｐをドライブ検出部４２から取得して、算出部５２へ出力する（Ｓ１０４）。算出部５２は、管電圧値ＴＶと設定電圧値とを比較して、ドライブ電圧値Ｅｐを制御する（Ｓ１０６）。算出部５２は、例えば、管電圧値ＴＶが設定電圧値よりも低ければ、取得したドライブ電圧値Ｅｐより高い電圧値を指示する電源制御信号をＸ線制御電源２２に出力する。一方、算出部５２は、管電圧値ＴＶが設定電圧値よりも高ければ、取得したドライブ電圧値Ｅｐより低い電圧値を指示する電源制御信号をＸ線制御電源２２に出力する。Ｘ線制御電源２２は、取得した電源制御信号が示す電圧値にドライブ電圧値Ｅｐを変化させて、Ｘ線発生器３０に電力を供給する。

受付部５０は、検出値Ｄｖを出力検出部３４から取得して、算出部５２へ出力する（Ｓ１０８）。算出部５２は、検出値Ｄｖに基づいて、測定対象９０の厚みを算出する（Ｓ１１０）。算出部５２は、ドライブ電圧値Ｅｐ、ドライブ電流値Ｉｐ、管電圧値ＴＶ、管電流値ＴＣ及び検出値Ｄｖを含む測定情報５６をネットワーク１８に出力する（Ｓ１１２）。この後、制御側処理部４６は、ステップＳ１０２以降を繰り返す。

次に、図６を用いて、予兆データサーバ１４の予兆側処理部５８により実行される予兆処理の流れの一例について説明する。図６は、予兆データサーバ１４の予兆側処理部５８が実行する予兆処理のフローチャートである。予兆側処理部５８は、予兆プログラム６６を読み込むことによって、予兆処理を実行する。

図６に示すように、予兆処理では、取得部６２が、測定情報５６をネットワーク１８から取得して、予兆部６４へ出力する（Ｓ１３２）。予兆部６４は、予兆データ６８を生成する（Ｓ１３４）。予兆部６４は、例えば、測定情報５６に含まれる各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖと閾値とを比較して、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖが異常値か否かを判定し、異常値の個数を含む予兆データ６８を生成する。予兆部６４は、生成した予兆データ６８を予兆側記憶部６０に格納する（Ｓ１３６）。予兆部６４は、予兆データ６８の要求を取得したか否かを判定する（Ｓ１３８）。予兆部６４は、予兆データ６８の要求を取得していないと判定すると（Ｓ１３８：Ｎｏ）、予兆側処理部５８は、ステップＳ１３２以降を繰り返す。予兆部６４は、予兆データ６８の要求を取得したと判定すると（Ｓ１３８：Ｙｅｓ）、予兆データ６８をネットワーク１８へ出力する（Ｓ１４０）。この後、予兆側処理部５８は、ステップＳ１３２以降を繰り返す。

次に、図７を用いて、メンテナンス装置１６のメンテナンス側処理部７０が実行するメンテナンス処理の流れの一例について説明する。図７は、メンテナンス装置１６のメンテナンス側処理部７０が実行するメンテナンス処理のフローチャートである。メンテナンス側処理部７０は、メンテナンスプログラム７６を読み込むことによって、メンテナンス処理を実行する。

図７に示すように、メンテナンス処理では、診断部７４が、予兆データ６８の要求をネットワーク１８へ出力する（Ｓ１５２）。診断部７４は、予兆データ６８を取得したか否かを判定する（Ｓ１５４）。診断部７４は、予兆データ６８を取得するまで待機状態となる（Ｓ１５４：Ｎｏ）。診断部７４は、予兆データ６８を取得すると（Ｓ１５４：Ｙｅｓ）、予兆データ６８に含まれる異常値の個数に基づいて、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を診断して、異常レベルを算出する（Ｓ１５６）。診断部７４は、算出した異常レベルに対応する警告を示す情報（例えば、図４Ａおよび図４Ｂに示す警告画像９２）を表示部７３に出力する（Ｓ１５８）。この後、メンテナンス側処理部７０は、ステップＳ１５２以降を繰り返す。

上述したように第１実施形態の予兆データサーバ１４は、Ｘ線厚み測定装置１２の故障等の異常を診断するための予兆データ６８を生成して蓄積することができる。これにより、予兆データサーバ１４は、Ｘ線厚み測定装置１２の異常の診断を可能にするとともに、Ｘ線厚み測定装置１２の板厚演算部２４の処理負担及び診断に必要な記憶容量を低減できる。

また、第１実施形態の予兆データサーバ１４は、メンテナンス装置１６からの要求に応じて、蓄積した予兆データ６８をメンテナンス装置１６に提供している。これにより、予兆データサーバ１４は、メンテナンス装置１６におけるＸ線厚み測定装置１２の異常の診断を実現できる。

＜第２実施形態＞
次に、第１実施形態の予兆データ６８の生成方法を変更した第２実施形態について説明する。

第２実施形態の予兆部６４は、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差と閾値とを比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成する。すなわち、予兆部６４は、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差と閾値との比較結果を含む予兆データ６８を生成する。図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８、図８Ｄ、図８Ｅは、各々、測定情報５６に含まれる各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差のグラフである。図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄ、図８Ｅの横軸は時間を示す。図８Ａのグラフの縦軸は、管電圧値ＴＶの標準偏差を示す。図８Ｂのグラフの縦軸は、管電流値ＴＣの標準偏差を示す。図８Ｃのグラフの縦軸は、ドライブ電圧値Ｅｐの標準偏差を示す。図８Ｄのグラフの縦軸は、ドライブ電流値Ｉｐの標準偏差を示す。図８Ｅのグラフの縦軸は、検出値Ｄｖの標準偏差を示す。図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄ、図８Ｅの各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差は、管電圧値ＴＶを１００ｋＶに維持するためにドライブ電圧値Ｅｐを制御した場合の値である。

取得部６２は、板厚演算部（制御装置）２４が出力した図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄ、図８Ｅに示す各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖをネットワーク１８から取得して、予兆部６４へ出力する。予兆部６４は、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖを取得すると、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差を算出する。予兆部６４は、当該標準偏差に対応付けて予め設定された閾値と標準偏差とを比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成する。尚、予兆部６４は、測定情報５６に含まれるドライブ電圧値Ｅｐ、ドライブ電流値Ｉｐ、管電圧値ＴＶ、管電流値ＴＣ及び検出値Ｄｖの少なくともいずれかの標準偏差と閾値とを比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成してよい。ここで、予め設定された閾値は、Ｘ線厚み測定装置１２の出荷試験時における各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差を正常な値とし、当該出荷試験時における各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差の変動範囲にマージンを加えた値に基づいて設定される。

予兆部６４は、図８Ａに示すように、例えば、管電圧値ＴＶの標準偏差が第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、管電圧値ＴＶの標準偏差が第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下であれば、管電圧異常値を１インクリメントする。図８Ａに示す例では、管電圧値ＴＶが第１閾値Ｔｈ１＋ａ以上、または、第２閾値Ｔｈ１−ａ以下となっていないので、管電圧異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図８Ｂに示すように、例えば、管電流値ＴＣの標準偏差が第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、管電流値ＴＣの標準偏差が第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下であれば、管電流異常値を１インクリメントする。例えば、図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、図８Ｄ、図８Ｅに示す例では、予兆部６４は、破線で囲む領域内の管電流値ＴＣの標準偏差が第３閾値Ｔｈ２＋ｂ以上、または、第４閾値Ｔｈ２−ｂ以下に２回なっているので、管電流異常値を２インクリメントする。

予兆部６４は、図８Ｃに示すように、例えば、ドライブ電圧値Ｅｐの標準偏差が第５閾値Ｔｈ３＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ３−ｃ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、ドライブ電圧値Ｅｐの標準偏差が第５閾値Ｔｈ３＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ３−ｃ以下であれば、ドライブ電圧異常値を１インクリメントする。図８Ｃに示す例では、ドライブ電圧値Ｅｐが、第５閾値Ｔｈ＋ｃ以上、または、第６閾値Ｔｈ−ｃ以下となっていないので、ドライブ電圧異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図８Ｄに示すように、例えば、ドライブ電流値Ｉｐの標準偏差が第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、ドライブ電流値Ｉｐの標準偏差が第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下であれば、ドライブ電流異常値を１インクリメントする。図８Ｄに示す例では、ドライブ電流値Ｉｐが、第７閾値Ｔｈ４＋ｄ以上、または、第８閾値Ｔｈ４−ｄ以下となっていないので、ドライブ電流異常値をインクリメントしない。

予兆部６４は、図８Ｅに示すように、例えば、検出値Ｄｖの標準偏差が第９閾値Ｔｈ５＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下か否かを判定する。予兆部６４は、例えば、検出値Ｄｖの標準偏差が第９閾値Ｔｈ５＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下であれば、検出異常値を１インクリメントする。図８Ｅに示す例では、検出値Ｄｖが、第９閾値Ｔｈ＋ｅ以上、または、第１０閾値Ｔｈ５−ｅ以下となっていないので、検出異常値をインクリメントしない。

そして、予兆部６４は、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値等の異常値を含む予兆データ６８を生成する。尚、管電圧異常値、管電流異常値、ドライブ電圧異常値、ドライブ電流異常値、及び、検出異常値等の異常値の各初期値は、０であってよい。従って、値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差が対応する閾値範囲内であれば、値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差に対応する異常値は０である。

上述したように、第２実施形態の予兆データサーバ１４は、測定情報５６に含まれる値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖの標準偏差によって予兆データ６８を生成している。これにより、予兆データサーバ１４は、測定情報５６の短時間の誤差に基づく、Ｘ線厚み測定装置１２の異常の誤診を低減可能な予兆データ６８を生成できるとともに、予兆データ６８の記憶に必要な記憶容量を低減できる。

＜第３実施形態＞
次に、上述の実施形態の予兆データ６８の生成方法を変更した第３実施形態について説明する。

第３実施形態の予兆部６４は、検出値Ｄｖの分散と尖度との積と、予め設定される閾値と、の比較の結果に基づいて、予兆データ６８を生成する。予兆部６４は、測定情報５６に含まれる検出値Ｄｖの分散と尖度との積を算出する。予兆部６４は、算出した分散と尖度との積と、予め設定された閾値と、を比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成してよい。すなわち、予兆部６４は、検出値Ｄｖの分散と尖度との積と、閾値と、の比較結果を含む予兆データ６８を生成する。ここで、予め設定された閾値は、Ｘ線厚み測定装置１２の出荷試験時における検出値Ｄｖの分散と尖度との積を正常な値とし、当該出荷試験時における検出値Ｄｖの分散と尖度との積の変動範囲にマージンを加えた値に基づいて設定する。図９は、測定情報５６に含まれる検出値Ｄｖの分散と尖度との積のグラフである。

測定対象９０の厚みに対する統計誤差は、ポアソン分布になる。この統計的な誤差を利用して、雑音の性質を検出する。統計誤差がポアソン分布に従う場合、分散及び尖度は、平均値ｍを用いて次の式で表すことができる。
分散＝ｍ
尖度＝１／ｍ

従って、ポアソン分布に従う検出値Ｄｖの分散と尖度の積は、平均値ｍに依存せず一定の値（即ち、１）となる。従って、検出値Ｄｖの分散と尖度の積は、フィラメント３８等に異常がなければ、ほぼ１となる。一方、フィラメント３８が切れる直前であれば、検出値Ｄｖの分散と尖度の積は、図９に破線の四角で囲む領域で示すように、高い値を示す。従って、予兆部６４は、検出値Ｄｖの分散と尖度の積と予め定められた閾値Ｔｈ６とを比較することにより、フィラメント３８等の異常を検出することができる。予兆部６４は、検出値Ｄｖの分散と尖度の積が閾値Ｔｈ６以上となった場合、検出異常値を１インクリメントして予兆データ６８を生成してもよい。

上述したように、第３実施形態の予兆データサーバ１４は、測定情報５６に含まれる検出値Ｄｖの分散と尖度との積によって予兆データ６８を生成している。これにより、予兆データサーバ１４は、測定情報５６の短時間の誤差に基づく、Ｘ線厚み測定装置１２の異常の誤診を低減可能な予兆データ６８を生成できるとともに、予兆データ６８の記憶に必要な記憶容量を低減できる。

第３実施形態においては、予兆部６４は、検出値Ｄｖの分散と尖度との積と、予め設定された閾値と、を比較した結果に基づいて、予兆データ６８を生成しているが、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ，Ｄｖの標準偏差と、予め設定された閾値と、を比較した結果、および、検出値Ｄｖの分散と尖度との積と、予め設定された閾値と、を比較した結果の少なくともいずれか一方に基づいて、予兆データ６８を生成するものであれば、これに限定するものではない。例えば、予兆部６４は、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ，Ｄｖの標準偏差と、予め設定された閾値と、を比較した結果、および、検出値Ｄｖの分散と尖度との積と、予め設定された閾値と、を比較した結果の両方に基づいて、予兆データ６８を生成しても良い。

＜第４実施形態＞
本実施形態は、予兆データサーバ１４が、Ｘ線厚み測定装置１２から取得する測定情報５６を記憶し、連続する所定数の測定情報５６または所定期間毎の測定情報５６の統計を予兆データ６８として生成する例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の構成については説明を省略する。

まず、本実施形態の予兆データサーバ１４の機能構成の一例について説明する。

取得部６２は、Ｘ線厚み測定装置１２から取得した測定情報５６を、予兆側記憶部６０に書き込む。

予兆部６４は、予兆側記憶部６０に記憶される測定情報５６のうち、所定数の連続する測定情報５６または所定期間の測定情報５６の統計を予兆データ６８としてとして生成する。ここで、連続する測定情報５６は、Ｘ線厚み測定装置１２（算出部５２）により連続して生成される測定情報５６である。また、所定数は、予め設定された数であり、例えば、各日の６万個である。また、所定期間は、予め設定された期間であり、例えば、各日の５分間である。

そして、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を、当該予兆データ６８の生成に用いた測定情報５６に付加される時刻データと対応付けて、予兆側記憶部６０に書き込む。

ところで、Ｘ線発生器３０に故障等の異常が発生すると、測定対象９０の厚さの算出ができなくなり、鋼板製造ラインにおける測定対象９０の厚さの制御および監視ができなくなる。よって、Ｘ線発生器３０に異常が発生する前に（例えば、鋼板製造ラインの定期点検時）、Ｘ線発生器３０の異常箇所の交換等のメンテナンスを行えれば、Ｘ線発生器３０の異常による鋼板製造ラインへの影響を小さくすることができる。

しかしながら、測定情報５６を用いて生成される予兆データ６８は膨大な数となり、膨大な数の予兆データ６８の中から、必要な予兆データ６８を見つけ出すのは困難である。そこで、本実施形態では、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を、当該予兆データ６８の生成に用いた測定情報５６に付加される時刻データと対応付けて、予兆側記憶部６０に書き込む。これにより、予兆側記憶部６０に記憶される予兆データ６８と対応付けられる時刻データを参照して、必要な予兆データ６８を検索することが可能となる。その結果、予兆側記憶部６０に記憶される膨大な数の予兆データ６８から、必要な予兆データ６８を見つけ易くすることができる。

実施形態では、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を、当該予兆データ６８の生成に用いた測定情報５６のうち、最初に取得した測定情報５６に付加された時刻データおよび最後に取得した測定情報５６に付加される時刻データと対応付けて、予兆側記憶部６０に書き込む。

また、予兆部６４は、予兆データ６８を生成後、予兆側記憶部６０に記憶される測定情報５６のうち、当該予兆データ６８の生成に用いた測定情報５６を、予兆側記憶部６０から削除する。これにより、予兆データサーバ１４において測定情報５６の記憶に要する記憶容量を削減することができる。ただし、予兆部６４は、測定情報５６にスパイクが発生した場合、当該測定情報５６のスパイクの発生をトリガにして、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を中止する。これにより、測定情報５６にスパイクが発生してＸ線厚み測定装置１２に異常が発生した可能性がある場合に、予兆データ６８だけでなく、測定情報５６を用いて、Ｘ線厚み測定装置１２の異常を解析することができる。

実施形態では、予兆部６４は、測定情報５６が含む管電圧値、管電流値、ドライブ電圧値、ドライブ電流値、検出値、および厚みのうち少なくとも１つにスパイクが発生した場合に、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を中止する。また、実施形態では、予兆部６４は、予兆側記憶部６０に記憶される測定情報５６のうち、スパイクが発生した測定情報５６に付加される時刻データより後の時刻データが付加された測定情報５６を削除しない。

そして、予兆部６４は、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を中止してから、予め設定された期間（例えば、２４時間）、再び、測定情報５６にスパイクが発生しなかった場合、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を再開する。Ｘ線厚み測定装置１２へのゴミ等の進入によって、一時的に、測定情報５６にスパイクが発生した場合には、Ｘ線厚み測定装置１２の異常が発生した可能性が高く、測定情報５６を用いてＸ線厚み測定装置１２の異常を解析する必要性が低いため、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を再開する。これにより、予兆データサーバ１４において測定情報５６の記憶に要する記憶容量を削減することができる。実施形態の予兆部６４は、測定情報５６にスパイクが発生してから、予め設定された期間、測定情報５６にスパイクが発生しなかった場合、スパイクが発生した測定情報５６に付加された時刻データから予め設定された期間経過した後の時刻データが付加された測定情報５６については、予兆側記憶部６０から削除する。

また、予兆部６４は、測定情報５６にスパイクが発生する度に、測定情報５６にスパイが発生したことを、ネットワーク１８を介して、メンテナンス装置１６に通知する。さらに、予兆部６４は、測定情報５６が含む検出値および測定対象９０の厚みにスパイクが発生しているが、測定情報５６が含むドライブ電圧値、ドライブ電流値、管電圧値、および管電流値にスパイクおよび変動が発生していない場合、Ｘ線厚み測定装置１２内において、Ｘ線管３６以外の箇所に異常があることを検出する。そして、予兆部６４は、Ｘ線厚み測定装置１２内においてＸ線管３６以外の箇所に異常があることを、ネットワーク１８を介して、メンテナンス装置１６に通知する。

次に、本実施形態のメンテナンス装置１６の機能構成の一例について説明する。

診断部７４は、予兆データサーバ１４から取得した予兆データ６８をＸ軸とし、時間軸をＹ軸とするグラフ（以下、予兆データグラフと言う）を表示部７３に表示させる。そして、診断部７４は、メンテナンス装置１６が有する図示しない操作部を介して指示された、予兆データグラフの時間軸上の時間帯の測定情報５６を表示部７３に表示させる。

これにより、メンテナンス装置１６のオペレータが、表示部７３に表示された予兆データ６８を見て、Ｘ線厚み測定装置１２の異常があることを認識した場合に、容易に、測定情報５６を確認することができるので、測定情報５６を用いたＸ線厚み測定装置１２の異常の解析を容易化できる。実施形態では、診断部７４は、Ｘ線厚み測定装置１２から出力される測定情報５６を予め取得しておき、取得した測定情報５６のうち、指示された時間帯の時刻データが付加された測定情報５６を表示部７３に表示させるものとする。

また、診断部７４は、予兆データサーバ１４から、測定情報５６にスパイクが発生したことが通知された場合に、測定情報５６にスパイクが発生したことを通知する通知画像を表示部７３に表示させる。これにより、メンテナンス装置１６のオペレータが、Ｘ線厚み測定装置１２に何らかの異常が発生していることを容易に認識することができる。

次に、図１０〜１５を用いて、測定情報５６が含む管電圧ＴＶの統計である予兆データ６８の生成処理の一例について説明する。ここでは、測定情報５６が含む管電圧の予兆データ６８を生成する例について説明するが、測定情報５６が含む他のパラメータ（例えば、管電流値ＴＣ、ドライブ電圧値Ｅｐ、ドライブ電流値Ｉｐ，検出値Ｄｖ、および厚みＴについても同様にして、予兆データ６８を生成するものとする。

図１０は、第４実施形態にかかる予兆データサーバが取得する測定情報が含む管電圧の一例を示す図である。図１０において、縦軸は管電圧ＴＶ（ｋＶ）を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１０に示すように、約１３０ｋＶの管電圧ＴＶの検出結果を含む測定情報５６を取得する。そして、予兆部６４は、図１０に示す管電圧ＴＶの検出結果に基づいて、所定期間（ここでは、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの予兆データ６８（例えば、平均、標準偏差、分散、歪度、および尖度）を生成する。

図１１は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の平均の生成結果の一例を示す図である。図１１において、縦軸は管電圧ＴＶの平均（ｋＶ）を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１１に示すように、所定期間（ここで、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの平均を、予兆データ６８として生成する。

図１２は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の標準偏差の生成結果の一例を示す図である。図１２において、縦軸は管電圧ＴＶの標準偏差（ｋＶ）を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１２に示すように、所定期間（ここでは、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの標準偏差σを、予兆データ６８として生成する。

図１３は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の分散の生成結果の一例を示す図である。図１３において、縦軸は管電圧ＴＶの分散を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１３に示すように、所定期間（ここでは、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの分散を、予兆データ６８として生成する。

図１４は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の歪度の生成結果の一例を示す図である。図１４において、縦軸は管電圧ＴＶの歪度を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１４に示すように、所定期間（ここでは、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの歪度を、予兆データ６８として生成する。

図１５は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより生成される管電圧の尖度の生成結果の一例を示す図である。図１５において、縦軸は管電圧ＴＶの尖度を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、図１５に示すように、所定期間（ここでは、１００ｓ）毎の管電圧ＴＶの尖度を、予兆データ６８として生成する。

次に、図１６を用いて、本実施形態にかかる予兆データサーバ１４による測定情報５６の書込処理の一例について説明する。ここでは、管電圧ＴＶにスパイクが発生した場合の測定情報５６の書込処理について説明するが、測定情報５６が含む他のパラメータ（例えば、管電流値ＴＣ、ドライブ電圧値Ｅｐ、ドライブ電流値Ｉｐ，検出値Ｄｖ、および厚みＴ）についてスパイクが発生した場合も同様にして、測定情報５６の書込処理を実行する。

図１６は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにおける測定情報の書込処理の一例を説明するための図である。図１６において、縦軸は管電圧ＴＶ（ｋＶ）を表し、横軸は時間軸（ｍｓ）を表す。予兆部６４は、予兆データ６８を生成後、予兆側記憶部６０に記憶される測定情報５６のうち、予兆データ６８の生成に用いた測定情報５６を予兆側記憶部６０から削除する。

ただし、図１６に示すように、時刻ｔ１において、管電圧ＴＶにスパイクが発生した場合、予兆部６４は、測定情報５６の削除を中止する。そして、図１６に示すように、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を中止してから、予め設定された期間（例えば、８３０ｓ）経過した時刻ｔ２まで、再び、管電圧ＴＶにスパイクが発生しなかった場合、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を再開する。

次に、図１７を用いて、本実施形態にかかるメンテナンス装置１６による予兆データ６８および測定情報５６の表示処理の一例について説明する。ここでは、測定情報５６が含む管電圧ＴＶの予兆データ６８の一例である標準偏差σを表示する例について説明するが、測定情報５６が含む他のパラメータの予兆データ６８についても同様にして表示する。

図１７は、第４実施形態にかかるメンテナンス装置による予兆データおよび測定情報の表示処理の一例を説明するための図である。図１７に示すように、メンテナンス装置１６の診断部７４は、縦軸が管電圧ＴＶの標準偏差σを表し、横軸が時間軸（ｍｓ）を表す予兆データグラフ１７０１を含むウィンドウＷ１を、表示部７３に表示させる。

そして、診断部７４は、メンテナンス装置１６が有する図示しない操作部を介して、表示部７３に表示したウィンドウＷ１内の予兆データグラフ１７０１の時間軸において、測定情報５６を表示させる時間帯が指示されると、当該指示された時間帯の管電圧ＴＶのグラフを含むウィンドウＷ２を表示部７３に表示させる。ここで、管電圧ＴＶのグラフは、縦軸が管電圧ＴＶ（ｋＶ）を表し、横軸が時間軸（ｍｓ）を表す。

これにより、メンテナンス装置１６のオペレータが、ウィンドウＷ１に表示された予兆データグラフ１７０１を見て、Ｘ線厚み測定装置１２の異常があることを認識した場合に、容易に、管電圧ＴＶのグラフを確認することができるので、測定情報５６を用いたＸ線厚み測定装置１２の異常の解析を容易化できる。

次に、図１８を用いて、本実施形態にかかる予兆データサーバ１４の予兆側処理部５８により実行される予兆処理の流れの一例について説明する。

図１８は、第４実施形態にかかる予兆データサーバにより実行する予兆処理の流れの一例を示すフローチャートである。

図１８に示すように、本実施形態の予兆処理では、取得部６２が、ネットワーク１８を介して、Ｘ線厚み測定装置１２から、測定情報５６を取得して、予兆側記憶部６０に書き込む（Ｓ１８０１）。予兆部６４は、所定数の連続する測定情報５６を取得したか否かを判断する（Ｓ１８０２）。所定数の連続する測定情報５６が取得されていない場合（Ｓ１８０２：Ｎｏ）、Ｓ１８０１に戻り、取得部６２は、新たな測定情報５６を取得する。

一方、所定数の連続する測定情報５６を取得した場合（Ｓ１８０２：Ｙｅｓ）、予兆部６４は、所定数の連続する測定情報５６に基づいて、予兆データ６８を生成する（Ｓ１８０３）。予兆部６４は、例えば、測定情報５６に含まれる各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖと閾値とを比較して、各値ＴＶ、ＴＣ、Ｅｐ、Ｉｐ、Ｄｖが異常値か否かを判定し、異常値の個数を含む予兆データ６８を生成する。そして、予兆部６４は、生成した予兆データ６８を予兆側記憶部６０に格納する（Ｓ１８０４）。

さらに、予兆部６４は、取得した測定情報５６にスパイクが発生しているか、または、測定情報５６に最後にスパイクが発生してから、新たなスパイクが発生せずに、予め設定された期間経過しているかを判断する（Ｓ１８０５）。取得した測定情報５６にスパイクが発生していない場合、または、測定情報５６に最後にスパイクが発生してから予め設定された期間経過している場合（Ｓ１８０５：Ｎｏ）、予兆部６４は、予兆側記憶部６０から、取得した測定情報５６を削除する（Ｓ１８０６）。一方、取得した測定情報５６にスパイクが発生している場合、または、測定情報５６に最後にスパイクが発生してから予め設定された期間経過していない場合（Ｓ１８０５：Ｙｅｓ）、予兆部６４は、予兆側記憶部６０からの測定情報５６の削除を行わない。

次いで、予兆部６４は、メンテナンス装置１６から、予兆データ６８の要求を取得したか否かを判定する（Ｓ１８０７）。予兆部６４は、予兆データ６８の要求を取得していないと判定すると（Ｓ１８０７：Ｎｏ）、予兆側処理部５８は、ステップＳ１８０１以降を繰り返す。予兆部６４は、予兆データ６８の要求を取得したと判定すると（Ｓ１８０７：Ｙｅｓ）、予兆データ６８をネットワーク１８へ出力する（Ｓ１８０８）。この後、予兆側処理部５８は、ステップＳ１８０１以降を繰り返す。

このように、第４実施形態にかかる予兆データサーバ１４によれば、予兆側記憶部６０に記憶される予兆データ６８と対応付けられる時刻データを参照して、必要な予兆データ６８を検索することが可能となる。その結果、予兆側記憶部６０に記憶される膨大な数の予兆データ６８から、必要な予兆データ６８を見つけ易くすることができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

上述の実施形態では、予兆データサーバ１４とは別のメンテナンス装置１６に診断部７４を設ける例を挙げて説明したが、診断部７４は予兆データサーバ１４に設けられていてもよい。

Claims (11)

1. 電力を供給するＸ線制御電源と、前記Ｘ線制御電源からの電力によって電子を放出するフィラメントと当該フィラメントから放出される電子の衝突によって厚みの測定対象にＸ線を照射するターゲットとを有するＸ線発生器と、前記測定対象を通過した前記Ｘ線の強度に応じた、検出電圧および検出電流の少なくとも一方を検出信号として出力する検出部と、前記Ｘ線制御電源からの電力を変圧して前記フィラメントに供給する変圧器と、当該変圧器の一次側の電圧であるドライブ電圧値および前記変圧器の一次側に流れる電流値であるドライブ電流値を検出するドライブ検出部と、前記フィラメントと前記ターゲット間の電圧である管電圧値および前記フィラメントと前記ターゲット間に流れる電流値である管電流値を検出する管検出部と、を備えるＸ線厚み測定装置から、前記ドライブ電圧値、前記ドライブ電流値、前記管電圧値、前記管電流値、及び、前記検出信号のうち少なくともいずれかを含む測定情報を取得する取得部と、
   前記取得部により取得する前記測定情報の統計を、前記Ｘ線厚み測定装置の異常を診断するための予兆データとして生成する予兆部と、
   前記予兆部により生成される前記予兆データを記憶する記憶部と、を備え、
   前記予兆部は、前記取得部により取得される前記測定情報を前記記憶部に書き込み、前記予兆データの生成後、当該予兆データの生成に用いた前記測定情報を前記記憶部から削除し、前記測定情報のスパイクの発生をトリガにして、前記記憶部からの前記測定情報の削除を中止し、前記測定情報のスパイクが、予め設定された時間、再び発生しなかった場合、前記記憶部からの前記測定情報の削除を再開する予兆データサーバ。
2. 前記Ｘ線厚み測定装置は、前記検出部から出力される前記検出信号に基づいて、前記測定対象の厚みを算出する板厚演算部をさらに備え、
   前記取得部は、前記Ｘ線厚み測定装置から、前記ドライブ電圧値、前記ドライブ電流値、前記管電圧値、前記管電流値、前記検出信号、および前記板厚演算部により算出される厚みの少なくとも１つのパラメータを含みかつ当該パラメータの検出時または算出時の時刻データが付加された前記測定情報を取得し、
   前記予兆部は、所定数の連続する前記測定情報または所定期間毎の前記測定情報の統計を前記予兆データとして生成し、前記予兆データを、当該予兆データの生成に用いた前記測定情報に付加された前記時刻データと対応付けて前記記憶部に書き込む請求項１に記載の予兆データサーバ。
3. 前記取得部により前記測定情報を取得する周期が、前記予兆データの生成に要する時間よりも長い請求項１または２に記載の予兆データサーバ。
4. 前記予兆部は、前記検出信号および前記板厚演算部により算出される厚みにスパイクおよび変動が発生しているが、前記ドライブ電圧値、前記ドライブ電流値、前記管電圧値、および前記管電流値にスパイクおよび変動が発生していない場合、前記Ｘ線厚み測定装置内において、前記フィラメントおよび前記ターゲットが内部に収容されるＸ線管以外の箇所に異常があることを、メンテナンス装置に通知する請求項２に記載の予兆データサーバ。
5. 前記予兆部は、前記測定情報の標準偏差と、第１閾値と、の比較結果、及び、前記測定情報が含む前記検出信号の分散と尖度との積と、第２閾値と、の比較結果を含む前記予兆データを生成する請求項１から４のいずれか一に記載の予兆データサーバ。
6. 請求項１から５のいずれか一に記載の予兆データサーバと、
   前記Ｘ線厚み測定装置と、
   メンテナンス装置と、を備え、
   前記予兆部は、前記メンテナンス装置からの要求に応じて、前記記憶部に記憶される前記予兆データを前記メンテナンス装置に出力し、
   前記メンテナンス装置は、前記予兆データを表示する表示部を備える、
   Ｘ線厚み測定システム。
7. 前記予兆部は、前記測定情報にスパイクが発生する度に、前記測定情報にスパイクが発生したことを前記メンテナンス装置に通知し、
   前記表示部は、前記Ｘ線厚み測定装置の異常レベルを示すインジケータを表示し、前記予兆データサーバから、前記測定情報にスパイクが発生したことが通知される度に、前記異常レベルを上げる請求項６に記載のＸ線厚み測定システム。
8. 前記表示部は、前記Ｘ線厚み測定装置の異常レベルを示すインジケータを表示し、予め設定された期間内の前記予兆データに、予め設定された回数以上、スパイクが発生した場合に、前記異常レベルを上げる請求項６に記載のＸ線厚み測定システム。
9. 前記表示部は、前記予兆データをＸ軸としかつ時間軸をＹ軸とするグラフを表示し、操作部を介して指示された前記Ｙ軸上の時間帯の前記測定情報を表示する請求項６から８のいずれか一に記載のＸ線厚み測定システム。
10. 前記表示部は、前記測定情報にスパイクが発生したことを通知する画像を表示する請求項７に記載のＸ線厚み測定システム。
11. 前記予兆部は、前記予兆データを外部の上位装置に通知する通知部を備える請求項６から１０のいずれか一に記載のＸ線厚み測定システム。

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