KR102385159B1 - 예조 데이터 서버 및 x선 두께 측정 시스템 - Google Patents

Abstract

예조 데이터 서버 및 X선 두께 측정 시스템
실시 형태는 예조 데이터 서버 및 X선 두께 측정 시스템에 관한 것이다.
실시 형태의 X선 두께 측정 장치(12)는 예조 데이터 서버(14)와 접속되며, X선 제어 전원과 X선 발생기와 검출부를 구비한다. 예조 데이터 서버(14)는 취득부(62)와 예조부(64)와 기억부(48)를 구비한다. 취득부(62)는 X선 두께 측정 장치(12)로부터, 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값, 관 전류값 및 검출 신호 중 적어도 어느 것을 포함하는 측정 정보(56)를 취득한다. 예조부(64)는, 취득부(62)에 의하여 취득하는 측정 정보(56)의 통계를, X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단하기 위한 예조 데이터(68)로서 생성한다. 기억부(48)는, 예조부(64)에 의하여 생성되는 예조 데이터(68)를 기억한다.

Description

예조 데이터 서버 및 X선 두께 측정 시스템

본 출원은, 국제 출원 PCT/JP2019/002138(국제 출원일: 2019년 1월 23일)의, 한국으로의 국내 이행 출원이며, 상기 국제 출원을 참조에 의하여 본 명세서에 원용한다. 또한 본 출원은 일본 특허 출원 제2018-105991호(출원일: 2018년 6월 1일)를 기초로 하며, 이 출원으로부터 우선의 이익을 향수한다. 본 출원은, 이 출원을 참조함으로써 동 출원의 내용의 전부를 포함한다.
실시 형태는 예조 데이터 서버 및 X선 두께 측정 시스템에 관한 것이다.

예를 들어 강판 등의 판 형상의 제품(이하, 측정 대상)의 제조 라인 등에 있어서, X선을 이용하여 측정 대상의 두께를 측정하는 X선 두께 측정 장치가 이용되고 있다.
그러나 상술한 X선 두께 측정 장치의 이상을 진단하기 위한 데이터를 생성하는 장치가 알려져 있지 않다.

삭제

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, X선 두께 측정 장치의 이상의 진단을 가능하게 함과 함께, X선 두께 측정 장치의 판 두께 연산부의 처리 부담 및 진단에 필요한 기억 용량을 저감할 수 있는 예조 데이터 서버 및 X선 측정 시스템을 제공하는 것이다.

실시 형태의 예조 데이터 서버는 X선 두께 측정 장치와 접속되어 있다. X선 두께 측정 장치는 X선 제어 전원과 X선 발생기와 검출부와 변압기와 드라이브 검출부와 관 검출부를 구비한다. X선 제어 전원은 전력을 공급한다. X선 발생기는, X선 제어 전원으로부터의 전력에 의하여 전자를 방출하는 필라멘트와 당해 필라멘트로부터 방출되는 전자의 충돌에 의하여 두께의 측정 대상에 X선을 조사하는 타깃을 갖는다. 검출부는, 측정 대상을 통과한 상기 X선의 강도에 따른 검출 전압 및 검출 전류 중 적어도 한쪽을 검출 신호로서 출력한다. 변압기는 X선 제어 전원으로부터의 전력을 변압하여 필라멘트에 공급한다. 드라이브 검출부는, 변압기의 1차측의 전압인 드라이브 전압값 및 변압기의 1차측에 흐르는 전류값인 드라이브 전류값을 검출한다. 관 검출부는, 필라멘트와 타깃 사이의 전압인 관 전압값 및 필라멘트와 타깃 사이에 흐르는 전류값인 관 전류값을 검출한다. 예조 데이터 서버는 취득부와 예조부와 기억부를 구비한다. 취득부는 X선 두께 측정 장치로부터, 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값, 관 전류값 및 검출 신호 중 적어도 어느 것을 포함하는 측정 정보를 취득한다. 예조부는, 취득부에 의하여 취득하는 측정 정보의 통계를, X선 두께 측정 장치의 이상을 진단하기 위한 예조 데이터로서 생성한다. 기억부는, 예조부에 의하여 생성되는 예조 데이터를 기억한다.
상기 구성의 예조 데이터 서버 및 X선 측정 시스템에 의하면, X선 두께 측정 장치의 이상의 진단을 가능하게 함과 함께, X선 두께 측정 장치의 판 두께 연산부의 처리 부담 및 진단에 필요한 기억 용량을 저감시킬 수 있다.

도 1은 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템의 전체 구성을 도시하는 개략도이다.
도 2a는 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템의 제어계의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2b는 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템 내에서 송수신되는 측정 정보의 데이터의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3a는 측정 정보의 관 전압값 TV의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 3b는 측정 정보의 관 전류값 TC의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 3c는 측정 정보의 드라이브 전압값 Ep의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 3d는 측정 정보의 드라이브 전류값 Ip의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 3e는 측정 정보의 검출값 Dv의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 4a는 실시 형태의 메인터넌스 장치가 출력하는 경고 화상의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4b는 실시 형태의 메인터넌스 장치가 출력하는 경고 화상의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 실시 형태의 두께 측정 장치의 제어측 처리부가 실행하는 측정 처리의 흐름도이다.
도 6은 실시 형태의 예조 데이터 서버의 예조측 처리부가 실행하는 예조 처리의 흐름도이다.
도 7은 실시 형태의 메인터넌스 장치의 메인터넌스측 처리부가 실행하는 메인터넌스 처리의 흐름도이다.
도 8a는 측정 정보의 관 전압값 TV의 표준 편차의 그래프이다.
도 8b는 측정 정보의 관 전류값 TC의 표준 편차의 그래프이다.
도 8c는 측정 정보의 드라이브 전압값 Ep의 표준 편차의 그래프이다.
도 8d는 측정 정보의 드라이브 전류값 Ip의 표준 편차의 그래프이다.
도 8e는 측정 정보의 검출값 Dv의 표준 편차의 그래프이다.
도 9는 측정 정보에 포함되는 검출값의 분산과 첨도의 곱의 그래프이다.
도 10은 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버가 취득하는 측정 정보가 포함하는 관 전압의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 평균 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 표준 편차의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 분산의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다.
도 14는 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 왜도의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다.
도 15는 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 첨도의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16은 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 있어서의 측정 정보의 기입 처리의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 제4 실시 형태에 따른 메인터넌스 장치에 의한 예조 데이터 및 측정 정보의 표시 처리의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 실행하는 예조 처리의 흐름의 일례를 도시하는 흐름도이다.

이하의 예시적인 실시 형태나 변형예에는 마찬가지의 구성 요소가 포함되어 있다. 따라서 이하에서는, 마찬가지의 구성 요소에는 공통의 부호가 붙여짐과 함께 중복되는 설명이 부분적으로 생략된다. 실시 형태나 변형예에 포함되는 부분은, 다른 실시 형태나 변형예가 대응하는 부분과 치환하여 구성될 수 있다. 또한 실시 형태나 변형예에 포함되는 부분의 구성이나 위치 등은, 특별히 언급하지 않는 한은 다른 실시 형태나 변형예와 마찬가지이다.

<제1 실시 형태>

도 1은, 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템(10)의 전체 구성을 도시하는 개략도이다. X선 두께 측정 시스템(10)은 X선 두께 측정 장치(12)에 의하여 측정 대상(90)의 두께를 측정함과 함께, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 진단에 필요한 예조 데이터(68)(도 2a 참조)를 생성하고 축적하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단한다.

도 1에 도시한 바와 같이 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템(10)은 X선 두께 측정 장치(12)와 예조 데이터 서버(14)와 메인터넌스 장치(16)와 네트워크(18)를 구비한다. 네트워크(18)는, X선 두께 측정 장치(12)와 예조 데이터 서버(14)와 메인터넌스 장치(16)를, 서로 정보를 송수신 가능하게 접속하는 LAN(Local Area Network) 등이어도 된다. 또한 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템(10)은 TCP/IP 등의 통신 규격에 따라 인터넷 등의 네트워크를 통하여, 당해 X선 두께 측정 시스템(10)의 외부에 마련되는 상위 장치와 통신 가능하다.

X선 두께 측정 장치(12)는, 두께 측정의 대상인 측정 대상(90)에 X선을 조사하여, 측정 대상(90)을 통과한 X선의 양에 따라 측정 대상(90)의 두께를 측정한다. X선 두께 측정 장치(12)는 측정부(20)와 X선 제어 전원(22)과 판 두께 연산부(제어 장치)(24)를 구비한다.

측정부(20)는 측정 대상(90)에 X선을 조사하여, 측정 대상(90)의 두께를 산출하기 위한 검출 전압 또는 검출 전류 중 적어도 어느 것을 검출값으로서 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 실시 형태의 측정부(20)는 보유 지지부(26)와 변압기(28)와 X선 발생기(30)와 검출기(32)와 출력 검출부(34)와 저항(35)을 갖는다.

보유 지지부(26)는 변압기(28)와 X선 발생기(30)와 검출기(32)와 출력 검출부(34)와 저항(35)을 보유 지지한다.

변압기(28)는, X선 제어 전원(22)이 출력한 전력을 변압(예를 들어 승압)하여, 후술하는 X선 발생기(30)의 필라멘트(38)에 공급한다.

X선 발생기(30)는, X선 제어 전원(22)으로부터 공급되는 전력에 의하여 X선을 발생시켜 측정 대상(90)에 조사한다. 실시 형태의 X선 발생기(30)는 X선관(36)과 필라멘트(38)와 타깃(40)을 갖는다. X선관(36)은, 예를 들어 내부를 진공 상태로 유지하는 밀폐된 관이다. X선관(36)은 필라멘트(38) 및 타깃(40)을 내부에 수용하고 보유 지지한다. 필라멘트(38)는, 변압기(28)를 통하여 X선 제어 전원(22)으로부터 공급된 전력에 의하여 전자를 타깃(40)으로 방출한다. 타깃(40)은, 필라멘트(38)가 방출한 전자의 충돌에 의하여 X선을 측정 대상(90)에 조사한다.

검출기(32)는 측정 대상(90)을 사이에 두고 X선 발생기(30)와 대향하는 위치에 배치되어 있다. 실시 형태의 검출기(32)는, X선 발생기(30)로부터 조사되어 측정 대상(90)을 통과한 X선의 강도에 따른 검출 전압 및 검출 전류 중 적어도 어느 값을 검출 신호로서 출력 검출부(34)에 출력한다. 검출기(32)는, 예를 들어 입사된 X선에 따른 검출 전압 및 검출 전류를 출력하는 전리 상자여도 된다.

출력 검출부(34)는, 검출기(32)가 출력한 검출 신호를 변환 처리하여 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 예를 들어 출력 검출부(34)는 AD 변환기 등을 가지며, 아날로그 신호의 검출 신호를 디지털 변환한 값을, 측정 대상(90)의 두께를 산출하기 위한 검출값으로서 출력해도 된다.

X선 제어 전원(22)은 전원의 일례이며, 판 두께 연산부(24)로부터의 전원 제어 신호에 기초하여, 변압기(28)를 통하여 X선 발생기(30)의 필라멘트(38)에 공급되는 전력을 공급한다. X선 제어 전원(22)은, 예를 들어 상용 전원 등의 외부 전원에 접속되어 있어도 된다. 또한 X선 제어 전원(22)은 드라이브 검출부(42) 및 관 검출부(44)를 갖는다.

드라이브 검출부(42)는 드라이브 전압값 및 드라이브 전류값을 검출한다. 드라이브 전압값은, 변압기(28)의 1차측의 전압의 값이며, X선 제어 전원(22)이 공급하는 전력의 전압의 값이다. 드라이브 전류값은, 변압기(28)의 1차측에 흐르는 전류의 값이며, X선 제어 전원(22)이 공급하는 전력의 전류의 값이다. 드라이브 검출부(42)는, 검지(검출)한 드라이브 전압값 및 드라이브 전류값을 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 실시 형태에서는, 드라이브 검출부(42)는, X선 제어 전원(22)이 갖는, 도시하지 않은 RTC(Real Time Clock)로부터 드라이브 전압값 및 드라이브 전류값의 검출 시의 타임 스탬프인 시각 데이터를 취득한다. 그리고 드라이브 검출부(42)는, 검출한 드라이브 전압값 및 드라이브 전류값에 취득한 시각 데이터를 부가하여 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 또한 실시 형태에서는, 드라이브 검출부(42)는 미리 설정된 주기(예를 들어 100㎳)로 드라이브 전압값 및 드라이브 전류값을 검출하는 것으로 한다.

관 검출부(44)는 관 전압값 및 관 전류값을 검출한다. 관 전압값은, 변압기(28)의 2차측의 전압의 값이며, 필라멘트(38)와 타깃(40) 사이의 전압의 값이다. 관 전류값은, X선 발생기(30)의 2차측을 흐르는 전류의 값이며, 필라멘트(38)와 타깃(40) 사이에 흐르는 전류의 값이다. 실시 형태에서는, 관 검출부(44)는 저항(35)의 양단의 전압을 관 전압값으로서 검출하고, 저항(35)에 흐르는 전류의 값을 관 전류값으로서 검출한다. 그리고 관 검출부(44)는, 검지(검출)한 관 전압값 및 관 전류값을 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 실시 형태에서는, 관 검출부(44)는, X선 제어 전원(22)이 갖는, 도시하지 않은 RTC로부터 관 전압값 및 관 전류값의 검출 시의 타임 스탬프인 시각 데이터를 취득한다. 그리고 관 검출부(44)는, 검출한 관 전압값 및 관 전류값에 취득한 시각 데이터를 부가하여 판 두께 연산부(24)에 출력한다. 또한 실시 형태에서는, 관 검출부(44)는 미리 설정된 주기(예를 들어 100㎳)로 관 전압값 및 관 전류값을 검출하는 것으로 한다. 즉, 실시 형태에서는, 드라이브 검출부(42) 및 관 검출부(44)는 동일한 주기로 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값 및 관 전류값의 검출을 행한다.

판 두께 연산부(24)는 X선 두께 측정 장치(12)의 제어 전반을 담당한다. 판 두께 연산부(24)는, X선 두께 측정 장치(12)에 의하여 측정 대상(90)의 두께를 측정하는 오퍼레이터 등이 사용하는 컴퓨터여도 된다. 판 두께 연산부(24)는, 출력 검출부(34)로부터 취득한 검출값에 기초하여 측정 대상(90)의 두께를 산출한다. 판 두께 연산부(24)는, X선 발생기(30)에 공급하는 전력의 관 전압값에 따른 드라이브 전압값을 지시하는 전원 제어 신호를 X선 제어 전원(22)에 출력한다. 판 두께 연산부(24)는, 관 검출부(44)로부터 취득한 관 전압값에 기초하여 설정한 드라이브 전압값을 지시하는 전원 제어 신호를 생성해도 된다. 판 두께 연산부(24)는, 출력 검출부(34)로부터 출력되는 검출값, 드라이브 검출부(42)에 의하여 검출되는 드라이브 전압값, 드라이브 검출부(42)에 의하여 검출되는 드라이브 전류값, 관 검출부(44)에 의하여 검출되는 관 전압값, 관 검출부(44)에 의하여 검출되는 관 전류값 중 적어도 어느 것을 포함하는 측정 정보(56)(도 2a 참조)를 네트워크(18)에 출력한다. 판 두께 연산부(24)는, 예를 들어 브로드캐스트에 의하여 측정 정보(56)를 출력해도 된다. 실시 형태에서는, 판 두께 연산부(24)는, 출력 검출부(34)로부터 취득하는 검출값 및 측정 대상(90)의 두께 중, 검출값을 포함하는 측정 정보(56)를 출력하고 있지만, 검출값 및 측정 대상(90)의 두께 중 적어도 어느 한쪽을 포함하는 측정 정보(56)를 출력하는 것이면 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 판 두께 연산부(24)는, 검출값 및 측정 대상(90)의 두께의 양쪽을 포함하는 측정 정보(56)를 출력해도 되고, 검출값 대신 측정 대상(90)의 두께를 포함하는 측정 정보(56)를 출력해도 된다.

예조 데이터 서버(14)는 판 두께 연산부(24)로부터 측정 정보(56)를 복수 회 반복하여 취득하고, 복수의 측정 정보(56)로부터 생성한, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 예조를 나타내는 데이터(68)(이하, 예조 데이터. 도 2a 참조)를 기억하고 축적한다. 여기서, 예조 데이터(68)는, X선 두께 측정 장치(12)로부터 취득한 측정 정보(56)의 통계이다. 그리고 예조 데이터 서버(14)는 예조 데이터(68)를 메인터넌스 장치(16)로부터의 요구에 따라 출력한다.

메인터넌스 장치(16)는, 예를 들어 X선 두께 측정 장치(12)를 메인터넌스하는 메인터넌스 담당자 등이 사용하는 컴퓨터이다. 메인터넌스 장치(16)는 예조 데이터 서버(14)로부터 취득한 예조 데이터(68)에 기초하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단하고, 진단한 결과를 화상 등에 의하여 출력한다.

도 2a는, 실시 형태의 X선 두께 측정 시스템(10)의 제어계의 구성을 도시하는 블록도이다. 먼저, 도 2a를 이용하여, X선 두께 측정 장치(12)가 갖는 판 두께 연산부(24)의 기능 구성의 일례에 대하여 설명한다. 도 2a에 도시한 바와 같이 판 두께 연산부(24)는 제어측 처리부(46)와 제어측 기억부(48)를 갖는다.

제어측 처리부(46)는 X선 두께 측정 장치(12)의 제어 전반을 담당한다. 제어측 처리부(46)는, 연산 처리 등을 실행하는 CPU(Central Processing Unit) 및 GPU(Graphics Processing Unit) 등의 하드웨어 프로세서여도 된다. 제어측 처리부(46)는, 제어측 기억부(48)에 저장된 프로그램을 읽어들이고, 읽어들인 프로그램을 제어측 기억부(48)에 전개함으로써 다양한 연산 처리를 실행한다. 제어측 처리부(46)는, 예를 들어 측정 프로그램(54)을 읽어들여 접수부(50) 및 산출부(52)로서 기능한다. 또한 접수부(50) 및 산출부(52)의 일부 또는 전부는, ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 또는 FPGA(Field-Programmable Gate Array)를 포함하는 회로 등의 하드웨어에 의하여 구성되어도 된다.

접수부(50)는 측정 정보(56)를 접수하여 산출부(52)에 출력한다. 접수부(50)는, 예를 들어 출력 검출부(34)로부터 출력되는 검출값, 드라이브 검출부(42)에 의하여 검출되는 드라이브 전압값, 드라이브 검출부(42)에 의하여 검출되는 드라이브 전류값, 관 검출부(44)에 의하여 검출되는 관 전압값, 및 관 검출부(44)에 의하여 검출되는 관 전류값을 측정 정보(56)로서 접수한다.

산출부(52)는 접수부(50)로부터 측정 정보(56)를 취득하면, 당해 측정 정보(56)에 기초하여 측정 대상(90)의 두께를 산출함과 함께 X선 두께 측정 장치(12)를 제어한다. 예를 들어 산출부(52)는 검출값에 기초하여 측정 대상(90)의 두께를 산출한다. 실시 형태에서는, 산출부(52)는 출력 검출부(34)로부터 미리 설정된 주기(예를 들어 5㎳)로 검출값을 취득하고, 당해 검출값을 취득할 때마다 측정 대상(90)의 두께를 산출한다. 즉, 산출부(52)는 미리 설정된 주기(예를 들어 5㎳)로 측정 대상(90)의 두께를 산출한다. 또한 실시 형태에서는, 산출부(52)는, 판 두께 연산부(24)가 갖는 도시하지 않은 RTC로부터 검출값의 검출 시의 타임 스탬프인 시각 데이터를 취득한다. 그리고 산출부(52)는 취득한 검출값 및 산출한 측정 대상(90)의 두께에 취득한 시각 데이터를 부가한다. 또한 산출부(52)는, 관 전압값 및 관 전류값이 미리 설정된 설정 전압값 및 설정 전류값으로 되도록 X선 제어 전원(22)에 드라이브 전압값을 지시하는 전원 제어 신호를 생성하여 출력한다. 산출부(52)는 브로드캐스트로 측정 정보(56)를 네트워크(18)에 출력해도 된다.

제어측 기억부(48)는 ROM(Read Only Memory)과, RAM(Random Access Memory)과, HDD(Hard Disk Drive) 등의 주 기억 장치 및 보조 기억 장치를 갖는다. 제어측 기억부(48)는, 제어측 처리부(46)가 실행하는 측정 프로그램(54), 및 측정 프로그램(54)을 실행하기 위하여 취득한 측정 정보(56) 등을 기억한다. 측정 프로그램(54)은, CD-ROM(Compact Disc Read Only Memory) 또는 DVD-ROM(Digital Versatile Disc Read Only Memory) 등의, 컴퓨터에 의하여 판독 가능한 기억 매체에 기억되어 제공되어도 되고, 인터넷 등의 네트워크를 통하여 제공되어도 된다.

다음으로, 도 2a를 이용하여 예조 데이터 서버(14)의 기능 구성의 일례에 대하여 설명한다. 예조 데이터 서버(14)는, 도 2a에 도시한 바와 같이 예조측 처리부(58)와 예조측 기억부(60)를 갖는다.

예조측 처리부(58)는 예조 데이터 서버(14)의 제어 전반을 담당한다. 예조측 처리부(58)는, CPU 및 GPU 등의 하드웨어 프로세서여도 된다. 예조측 처리부(58)는, 예조측 기억부(60)에 저장된 프로그램을 읽어들이고, 읽어들인 프로그램을 예조측 기억부(60)에 전개함으로써 다양한 연산 처리를 실행한다. 예조측 처리부(58)는, 예를 들어 예조 프로그램(66)을 읽어들여 취득부(62) 및 예조부(64)로서 기능한다. 취득부(62) 및 예조부(64)의 일부 또는 전부는, ASIC 또는 FPGA를 포함하는 회로 등의 하드웨어에 의하여 구성되어도 된다.

취득부(62)는 X선 두께 측정 장치(12)로부터 측정 정보(56)를 취득한다. 실시 형태의 취득부(62)는, 네트워크(18) 상에 흐르는 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값, 관 전류값 및 검출값 중 적어도 하나의 파라미터를 포함하고, 또한 당해 파라미터의 검출 시 또는 산출 시의 시각 데이터가 부가된 측정 정보(56)를 복수 회 취득하여 예조부(64)에 출력한다. 실시 형태의 취득부(62)는, 후술하는 예조부(64)에 의한 예조 데이터(68)의 생성에 요하는 시간보다도 긴 주기로 X선 두께 측정 장치(12)로부터 측정 정보(56)를 취득한다. 즉, 취득부(62)에 의하여 측정 정보(56)를 취득하는 주기가, 예조부(64)에 의한 예조 데이터(68)의 생성에 요하는 시간보다도 긴 것으로 한다. 이것에 의하여, 예조부(64)에 의한 예조 데이터(68)의 생성에 의하여 예조 데이터 서버(14)에 걸리는 처리 부하가 커져서 X선 두께 측정 장치(12)로부터의 측정 정보(56)의 취득이 실패하는 것을 방지할 수 있다.

예조부(64)는, 취득부(62)에 의하여 취득한 측정 정보(56)를 예조측 기억부(60)에 기입한다. 또한 예조부(64)는, 취득부(62)에 의하여 취득한 측정 정보(56)의 통계를 예조 데이터(68)로서 생성한다. 그리고 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를 예조측 기억부(60)(기억부의 일례)에 기입한다. 실시 형태의 예조부(64)는 네트워크(18)로부터 취득한 복수의 측정 정보(56)에 기초하여, X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단하기 위한 예조 데이터(68)를 생성하여 예조측 기억부(60)에 축적한다. 예조부(64)는, 예를 들어 복수의 측정 정보(56)와 미리 정해진 역치를 비교한 결과를 통계적으로 처리한 값을 예조 데이터(68)로서 생성해도 된다. 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를 예조측 기억부(60)에 축적한다. 예조부(64)는, 예조측 기억부(60)에 축적한 예조 데이터(68)를 메인터넌스 장치(16)로부터의 요구에 따라 출력한다. 또한 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 포함되는 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값, 관 전류값 및 검출값 중 적어도 어느 것과 역치를 비교한 결과에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성해도 된다. 또한 예조부(64)는, 취득부(62)에 의하여 취득한 측정 정보(56)에 스파이크가 발생할 때마다, 당해 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음을 메인터넌스 장치(16)에 통지한다. 또한 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를 아날로그나 TCP/IP 등의 통신 규격에 따라 외부의 상위 장치에 통지한다.

예조측 기억부(60)는 ROM과, RAM과, HDD 등의 주 기억 장치 및 보조 기억 장치를 갖는다. 예조측 기억부(60)는, 예조측 처리부(58)가 실행하는 예조 프로그램(66), 및 예조 프로그램(66)의 실행에 의하여 생성된 예조 데이터(68) 등을 기억한다. 예조 프로그램(66)은, CD-ROM 또는 DVD-ROM 등의, 컴퓨터에 의하여 판독 가능한 기억 매체에 기억되어 제공되어도 되고, 인터넷 등의 네트워크를 통하여 제공되어도 된다.

다음으로, 도 2a를 이용하여 메인터넌스 장치(16)의 기능 구성의 일례에 대하여 설명한다. 메인터넌스 장치(16)는, 도 2a에 도시한 바와 같이 메인터넌스측 처리부(70)와 메인터넌스측 기억부(72)와 표시부(73)를 갖는다.

메인터넌스측 처리부(70)는 메인터넌스 장치(16)의 제어 전반을 담당한다. 메인터넌스측 처리부(70)는, CPU 및 GPU 등의 하드웨어 프로세서여도 된다. 메인터넌스측 처리부(70)는, 메인터넌스측 기억부(72)에 저장된 프로그램을 읽어들이고, 읽어들인 프로그램을 메인터넌스측 기억부(72)에 전개함으로써 다양한 연산 처리를 실행한다. 메인터넌스측 처리부(70)는, 예를 들어 메인터넌스 프로그램(76)을 읽어들여 진단부(74)로서 기능한다. 진단부(74)의 일부 또는 전부는, ASIC 또는 FPGA를 포함하는 회로 등의 하드웨어에 의하여 구성되어도 된다.

진단부(74)는, 예조 데이터 서버(14)가 출력한 예조 데이터(68)를 취득하고, 예조 데이터(68)에 기초하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단한다. 진단부(74)는, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 경우, X선 두께 측정 장치(12)가 고장 상태에 접근해 있음을 나타내는 정보(경고를 나타내는 정보), 예를 들어 X선 두께 측정 장치(12)가 고장 상태에 접근해 있는 레벨(이하, 이상 레벨이라 함)을 나타내는 인디케이터(경고를 나타내는 화상인 경고 화상)을 생성하여 표시부(73)에 표시시킨다. 표시부(73)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 출력되는 예조 데이터(68)나 경고 화상 등의 각종 정보를 표시한다. 구체적으로는, 표시부(73)는, X선 두께 측정 장치(12)의 이상 레벨을 나타내는 인디케이터를 표시한다. 그리고 표시부(73)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음이 통지될 때마다, 인디케이터가 나타내는 이상 레벨을 높인다.

메인터넌스측 기억부(72)는, ROM과, RAM과, HDD 등의 주 기억 장치 및 보조 기억 장치를 갖는다. 메인터넌스측 기억부(72)는, 메인터넌스측 처리부(70)가 실행하는 메인터넌스 프로그램(76) 등을 기억한다. 메인터넌스 프로그램(76)은, CD-ROM 또는 DVD-ROM 등의, 컴퓨터에 의하여 판독 가능한 기억 매체에 기억되어 제공되어도 되고, 인터넷 등의 네트워크를 통하여 제공되어도 된다.

여기서, 도 2b를 이용하여, X선 두께 측정 장치(12)로부터 출력되는 측정 정보(56)의 데이터의 구성의 일례에 대하여 설명한다. 도 2b는, 실시 형태에 따른 X선 두께 측정 시스템 내에서 송수신되는 측정 정보의 데이터의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.

도 2b에 나타낸 바와 같이 판 두께 연산부(24)는, 관 전압값 TV와, 관 전류값 TC와, 드라이브 전압값 Ep와, 드라이브 전류값 Ip와, 각 값 TV, TC, Ep, Ip에 부가되는 시각 데이터 time1과, 검출값 Dv와, 측정 대상(90)의 두께 T와, 당해 검출값 Dv 및 두께 T에 부가되는 시각 데이터 time2를 포함하는 측정 정보(56)를, 네트워크(18)를 통하여 예조 데이터 서버(14)에 출력한다. 실시 형태에서는, 판 두께 연산부(24)는, 측정 대상(90)의 두께 T를 산출할 때마다(즉, 미리 설정된 주기(예를 들어 5㎳))로 측정 정보(56)를 생성하고, 당해 생성한 측정 정보(56)를 출력한다.

단, 실시 형태에서는, 드라이브 검출부(42) 및 관 검출부(44)에 의하여 각 값 TV, TC, Ep, Ip를 검출하는 주기(예를 들어 100㎳)가, 측정 대상(90)의 두께 T를 산출하는 주기(예를 들어 5㎳)보다도 길기 때문에, 측정 대상(90)의 두께 T를 산출하는 타이밍과 동일한 타이밍에 있어서 각 값 TV, TC, Ep, Ip가 얻어지지 않는 경우가 있다. 그 때문에 판 두께 연산부(24)는, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 측정 대상(90)의 두께 T가 산출되는 타이밍에 있어서 각 값 TV, TC, Ep, Ip가 얻어지지 않는 경우에는, 관 전압값 TV와, 관 전류값 TC와, 드라이브 전압값 Ep와, 드라이브 전류값 Ip와, 각 값 TV, TC, Ep, Ip에 부가되는 시각 데이터 time1로서, 널을 포함하는 측정 정보(56)를 생성한다. 따라서 실시 형태의 판 두께 연산부(24)는, 측정 대상(90)의 두께 T가 산출되는 주기로 측정 정보(56)를 생성하고, 당해 생성한 측정 정보(56)를 출력한다.

본 실시 형태에서는, 판 두께 연산부(24)는 측정 대상(90)의 두께 T를 산출할 때마다 측정 정보(56)를 출력하고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 미리 설정된 수 만큼의 측정 정보(56)가 생성될 때마다, 또는 미리 설정된 주기분의 측정 정보(56)가 생성될 때마다, 미리 설정된 수(소정 수)만큼의 연속되는 측정 정보(56), 또는 미리 설정된 주기분(소정 기일별)의 측정 정보(56)를 통합하여 출력해도 된다.

다음으로, 도 3a 내지 3e를 이용하여, 예조 데이터 서버(14)에 있어서 생성되는 예조 데이터(68)의 일례에 대하여 설명한다. 도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e는 각각, 측정 정보(56)의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 일례를 나타내는 그래프이다. 도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e의 각 그래프의 횡축은 시간을 나타낸다. 도 3a의 그래프의 종축은 관 전압값 TV를 나타낸다. 도 3b의 그래프의 종축은 관 전류값 TC를 나타낸다. 도 3c의 그래프의 종축은 드라이브 전압값 Ep를 나타낸다. 도 3d의 그래프의 종축은 드라이브 전류값 Ip를 나타낸다. 도 3e의 그래프의 종축은 검출값 Dv를 나타낸다. 도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv는, 관 전압값 TV를 100㎸로 유지하기 위하여 드라이브 전압값 Ep를 제어한 경우의 값이다. 취득부(62)는, 판 두께 연산부(24)가 출력한, 도 3a, 도 3b, 도 3c, 도 3d, 도 3e에 나타내는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 네트워크(18)로부터 취득하여 예조부(64)에 출력한다. 예조부(64)는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 취득하면, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv에 대응지어 미리 설정된 역치와 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 비교하여 예조 데이터(68)를 생성한다. 여기서, 미리 설정된 역치는, X선 두께 측정 장치(12)의 출하 시험 시에 있어서의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 정상적인 값으로 보고, 당해 출하 시험 시에 있어서의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 변동 범위에 마진을 더한 값에 기초하여 설정된다.

예조부(64)는, 도 3a에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 관 전압값 TV가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 관 전압값 TV가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하이면 관 전압 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 3a에 나타내는 예에서는, 관 전압값 TV가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하로 되어 있지 않으므로 관 전압 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 관 전류값 TC가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 관 전류값 TC가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하이면 관 전류 이상값을 1 인크리먼트한다. 예를 들어 도 3b에 나타내는 예에서는, 예조부(64)는, 1점 쇄선으로 둘러싸는 영역 내의 관 전류값 TC가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하로 7회 되어 있으므로 관 전류 이상값을 7 인크리먼트한다.

예조부(64)는, 도 3c에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 드라이브 전압값 Ep가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 드라이브 전압값 Ep가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하이면 드라이브 전압 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 3c에 나타내는 예에서는, 드라이브 전압값 Ep가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하로 되어 있지 않으므로 드라이브 전압 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 3d에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 드라이브 전류값 Ip가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 드라이브 전류값 Ip가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하이면 드라이브 전류 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 3d에 나타내는 예에서는, 드라이브 전류값 Ip가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하로 되어 있지 않으므로 드라이브 전류 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 3e에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 검출값 Dv가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 검출값 Dv가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하이면 검출 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 3e에 나타내는 예에서는, 검출값 Dv가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하로 되어 있지 않으므로 검출 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

그리고 예조부(64)는, 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 등의 이상값을 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 또한 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 등의 이상값의 각 초기값은 0이어도 된다. 따라서 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv가 대응하는 역치 범위 내이면, 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv에 대응하는 이상값은 0이다. 상술한 역치는 일례이며, 예를 들어 관 전압값 TV에 따라 역치를 변화시켜도 된다. 이 경우, 역치는 관 전압 TV에 대응지어 예조측 기억부(60)에 저장되어 있어도 된다.

다음으로, 도 4a 및 도 4b를 이용하여, 메인터넌스 장치(16)에 있어서 표시되는 경고 화상의 일례에 대하여 설명한다. 도 4a 및 도 4b는, 메인터넌스 장치(16)가 출력하는 경고 화상(92)의 일례를 도시하는 도면이다. 메인터넌스 장치(16)의 진단부(74)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 취득한 예조 데이터(68)에 기초하여 표시부(73)에 경고 화상(92)을 표시시켜도 된다. 구체적으로는, 진단부(74)는, 예조 데이터(68)에 포함되는 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값에 기초하여 이상 레벨을 진단한다. 예를 들어 진단부(74)는, 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 중, 0이 아닌 이상값의 개수를 이상 레벨로 해도 된다. 이 경우, 진단부(74)는 0 레벨에서 5 레벨까지의 범위에서 이상 레벨을 설정한다. 또한 진단부(74)는, 미리 정해진 이상 판정용 역치에 기초하여 이상 레벨을 설정해도 된다. 이 경우, 진단부(74)는, 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 중, 이상 판정용 역치 이상의 이상값의 개수를 이상 레벨로서 설정해도 된다. 본 실시 형태에서는, 진단부(74)는 이상 레벨로서 0에서 5까지를 설정하는 것으로 하고 있지만 이에 한정되는 것은 아니며, 6 이상을 이상 레벨로서 설정하는 것도 가능하다. 또한 진단부(74)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음이 통지될 때마다, 표시부(73)에 표시되는 경고 화상(92)이 나타내는 이상 레벨을 높여도 된다. 예를 들어 진단부(74)는 0 레벨에서 5 레벨까지의 범위에서 예조 데이터 서버(14)로부터 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음이 통지될 때마다 이상 레벨을 1씩 높여도 된다. 또한 진단부(74)는, 미리 설정된 기간 내의 예조 데이터(68)에 미리 설정된 횟수 이상 스파이크가 발생한 경우에 이상 레벨을 높여도 된다. 이것에 의하여, 일시적으로 예조 데이터(68)에 스파이크가 발생한 경우에 이상 레벨이 높아지는 것을 방지할 수 있으며, X선 두께 측정 장치(12)에 이상이 발생하였을 가능성이 높은 경우에 이상 레벨을 높일 수 있다. 그 결과, 진단부(74)에 의하여 설정되는 이상 레벨의 신뢰성을 높일 수 있다.

그리고 진단부(74)는 이상 레벨에 따라 경고 화상(92)을 생성해도 된다. 구체적으로는, 진단부(74)는, 설정한 이상 레벨을 나타내는 경고 화상(92)을 생성한다. 그리고 표시부(73)는 생성된 경고 화상(92)에 표시한다. 예를 들어 이상 레벨이 1인 경우, 진단부(74)는, 도 4a에 도시한 바와 같이, 경고 화상(92) 내에 배열된 5개의 사각 중 가장 아래의 사각을 착색한 경고 화상(92)을 생성하고, 당해 생성한 경고 화상(92)을 표시부(73)에 표시시켜도 된다. 또한 이상 레벨이 4인 경우, 진단부(74)는 도 4b에 도시한 바와 같이, 경고 화상(92) 내에 배열된 5개의 사각 중 가장 아래로부터 4개의 사각을 착색한 경고 화상(92)을 생성하고, 당해 생성한 경고 화상(92)을 표시부(73)에 표시시켜도 된다. 또한 진단부(74)는, 경고 화상(92) 내의 사각별로 착색하는 색을 변화시켜도 된다. 이와 같이 진단부(74)는, 이상 레벨에 따라 생성한 경고 화상(92)을 표시부(73)에 표시시킨다.

다음으로, 도 5를 이용하여, X선 두께 측정 장치(12)의 제어측 처리부(46)가 실행하는 측정 처리의 흐름의 일례에 대하여 설명한다. 도 5는, X선 두께 측정 장치(12)의 제어측 처리부(46)가 실행하는 측정 처리의 흐름도이다. 제어측 처리부(46)는 측정 프로그램(54)을 읽어들임으로써 측정 처리를 실행한다.

도 5에 도시한 바와 같이 측정 처리에서는, 제어측 처리부(46)의 접수부(50)는 관 전압값 TV 및 관 전류값 TC를 관 검출부(44)로부터 취득하여 산출부(52)에 출력한다(S102). 접수부(50)는 드라이브 전압값 Ep 및 드라이브 전류값 Ip를 드라이브 검출부(42)로부터 취득하여 산출부(52)에 출력한다(S104). 산출부(52)는 관 전압값 TV와 설정 전압값을 비교하여 드라이브 전압값 Ep를 제어한다(S106). 산출부(52)는, 예를 들어 관 전압값 TV가 설정 전압값보다도 낮으면, 취득한 드라이브 전압값 Ep보다 높은 전압값을 지시하는 전원 제어 신호를 X선 제어 전원(22)에 출력한다. 한편, 산출부(52)는, 관 전압값 TV가 설정 전압값보다도 높으면, 취득한 드라이브 전압값 Ep보다 낮은 전압값을 지시하는 전원 제어 신호를 X선 제어 전원(22)에 출력한다. X선 제어 전원(22)은, 취득한 전원 제어 신호가 나타내는 전압값으로 드라이브 전압값 Ep를 변화시키고 X선 발생기(30)에 전력을 공급한다.

접수부(50)는 검출값 Dv를 출력 검출부(34)로부터 취득하여 산출부(52)에 출력한다(S108). 산출부(52)는 검출값 Dv에 기초하여 측정 대상(90)의 두께를 산출한다(S110). 산출부(52)는, 드라이브 전압값 Ep, 드라이브 전류값 Ip, 관 전압값 TV, 관 전류값 TC 및 검출값 Dv를 포함하는 측정 정보(56)를 네트워크(18)에 출력한다(S112). 이후, 제어측 처리부(46)는 스텝 S102 이후를 반복한다.

다음으로, 도 6을 이용하여, 예조 데이터 서버(14)의 예조측 처리부(58)에 의하여 실행되는 예조 처리의 흐름의 일례에 대하여 설명한다. 도 6은, 예조 데이터 서버(14)의 예조측 처리부(58)가 실행하는 예조 처리의 흐름도이다. 예조측 처리부(58)는 예조 프로그램(66)을 읽어들임으로써 예조 처리를 실행한다.

도 6에 도시한 바와 같이 예조 처리에서는, 취득부(62)가 측정 정보(56)를 네트워크(18)로부터 취득하여 예조부(64)에 출력한다(S132). 예조부(64)는 예조 데이터(68)를 생성한다(S134). 예조부(64)는, 예를 들어 측정 정보(56)에 포함되는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv와 역치를 비교하여 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv가 이상값인지 여부를 판정하고, 이상값의 개수를 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를 예조측 기억부(60)에 저장한다(S136). 예조부(64)는, 예조 데이터(68)의 요구를 취득하였는지 여부를 판정한다(S138). 예조부(64)는, 예조 데이터(68)의 요구를 취득하지 않았다고 판정하면(S138: 아니오), 예조측 처리부(58)는 스텝 S132 이후를 반복한다. 예조부(64)는, 예조 데이터(68)의 요구를 취득하였다고 판정하면(S138: 예), 예조 데이터(68)를 네트워크(18)에 출력한다(S140). 이후, 예조측 처리부(58)는 스텝 S132 이후를 반복한다.

다음으로, 도 7을 이용하여, 메인터넌스 장치(16)의 메인터넌스측 처리부(70)가 실행하는 메인터넌스 처리의 흐름의 일례에 대하여 설명한다. 도 7은, 메인터넌스 장치(16)의 메인터넌스측 처리부(70)가 실행하는 메인터넌스 처리의 흐름도이다. 메인터넌스측 처리부(70)는 메인터넌스 프로그램(76)을 읽어들임으로써 메인터넌스 처리를 실행한다.

도 7에 도시한 바와 같이 메인터넌스 처리에서는, 진단부(74)가 예조 데이터(68)의 요구를 네트워크(18)에 출력한다(S152). 진단부(74)는 예조 데이터(68)를 취득하였는지 여부를 판정한다(S154). 진단부(74)는, 예조 데이터(68)를 취득할 때까지 대기 상태로 된다(S154: 아니오). 진단부(74)는, 예조 데이터(68)를 취득하면(S154: 예), 예조 데이터(68)에 포함되는 이상값의 개수에 기초하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 진단하여 이상 레벨을 산출한다(S156). 진단부(74)는, 산출한 이상 레벨에 대응하는 경고를 나타내는 정보(예를 들어 도 4a 및 도 4b에 나타내는 경고 화상(92))를 표시부(73)에 출력한다(S158). 이후, 메인터넌스측 처리부(70)는 스텝 S152 이후를 반복한다.

상술한 바와 같이 제1 실시 형태의 예조 데이터 서버(14)는, X선 두께 측정 장치(12)의 고장 등의 이상을 진단하기 위한 예조 데이터(68)를 생성하고 축적할 수 있다. 이것에 의하여 예조 데이터 서버(14)는, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 진단을 가능하게 함과 함께, X선 두께 측정 장치(12)의 판 두께 연산부(24)의 처리 부담 및 진단에 필요한 기억 용량을 저감시킬 수 있다.

또한 제1 실시 형태의 예조 데이터 서버(14)는 메인터넌스 장치(16)로부터의 요구에 따라, 축적한 예조 데이터(68)를 메인터넌스 장치(16)에 제공하고 있다. 이것에 의하여 예조 데이터 서버(14)는, 메인터넌스 장치(16)에 있어서의 X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 진단을 실현할 수 있다.

<제2 실시 형태>

다음으로, 제1 실시 형태의 예조 데이터(68)의 생성 방법을 변경한 제2 실시 형태에 대하여 설명한다.

제2 실시 형태의 예조부(64)는, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차와 역치를 비교한 결과에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성한다. 즉, 예조부(64)는, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차와 역치의 비교 결과를 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 도 8a, 도 8b, 도 8c, 도 8d, 도 8e는 각각, 측정 정보(56)에 포함되는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차의 그래프이다. 도 8a, 도 8b, 도 8c, 도 8d, 도 8e의 횡축은 시간을 나타낸다. 도 8a의 그래프의 종축은 관 전압값 TV의 표준 편차를 나타낸다. 도 8b의 그래프의 종축은 관 전류값 TC의 표준 편차를 나타낸다. 도 8c의 그래프의 종축은 드라이브 전압값 Ep의 표준 편차를 나타낸다. 도 8d의 그래프의 종축은 드라이브 전류값 Ip의 표준 편차를 나타낸다. 도 8e의 그래프의 종축은 검출값 Dv의 표준 편차를 나타낸다. 도 8a, 도 8b, 도 8c, 도 8d, 도 8e의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차는, 관 전압값 TV를 100㎸로 유지하기 위하여 드라이브 전압값 Ep를 제어한 경우의 값이다.

취득부(62)는, 판 두께 연산부(제어 장치)(24)가 출력한, 도 8a, 도 8b, 도 8c, 도 8d, 도 8e에 나타내는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 네트워크(18)로부터 취득하여 예조부(64)에 출력한다. 예조부(64)는, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv를 취득하면 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차를 산출한다. 예조부(64)는, 당해 표준 편차에 대응지어 미리 설정된 역치와 표준 편차를 비교한 결과에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성한다. 또한 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 포함되는 드라이브 전압값 Ep, 드라이브 전류값 Ip, 관 전압값 TV, 관 전류값 TC 및 검출값 Dv 중 적어도 어느 표준 편차와 역치를 비교한 결과에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성해도 된다. 여기서, 미리 설정된 역치는, X선 두께 측정 장치(12)의 출하 시험 시에 있어서의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차를 정상적인 값으로 보고, 당해 출하 시험 시에 있어서의 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차의 변동 범위에 마진을 더한 값에 기초하여 설정된다.

예조부(64)는, 도 8a에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 관 전압값 TV의 표준 편차가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 관 전압값 TV의 표준 편차가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하이면 관 전압 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 8a에 나타내는 예에서는, 관 전압값 TV의 표준 편차가 제1 역치 Th1+a 이상, 또는 제2 역치 Th1-a 이하로 되어 있지 않으므로 관 전압 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 8b에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 관 전류값 TC의 표준 편차가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 관 전류값 TC 표준 편차가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하이면 관 전류 이상값을 1 인크리먼트한다. 예를 들어 도 8b에 나타내는 예에서는, 예조부(64)는, 파선으로 둘러싸는 영역 내의 관 전류값 TC의 표준 편차가 제3 역치 Th2+b 이상, 또는 제4 역치 Th2-b 이하로 2회 되어 있으므로 관 전류 이상값을 2 인크리먼트한다.

예조부(64)는, 도 8c에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 드라이브 전압값 Ep의 표준 편차가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 드라이브 전압값 Ep의 표준 편차가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하이면 드라이브 전압 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 8c에 나타내는 예에서는, 드라이브 전압값 Ep의 표준 편차가 제5 역치 Th3+c 이상, 또는 제6 역치 Th3-c 이하로 되어 있지 않으므로 드라이브 전압 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 8d에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 드라이브 전류값 Ip의 표준 편차가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 드라이브 전류값 Ip의 표준 편차가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하이면 드라이브 전류 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 8d에 나타내는 예에서는, 드라이브 전류값 Ip의 표준 편차가 제7 역치 Th4+d 이상, 또는 제8 역치 Th4-d 이하로 되어 있지 않으므로 드라이브 전류 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

예조부(64)는, 도 8e에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 검출값 Dv의 표준 편차가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하인지 여부를 판정한다. 예조부(64)는, 예를 들어 검출값 Dv의 표준 편차가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하이면 검출 이상값을 1 인크리먼트한다. 도 8e에 나타내는 예에서는, 검출값 Dv의 표준 편차가 제9 역치 Th5+e 이상, 또는 제10 역치 Th5-e 이하로 되어 있지 않으므로 검출 이상값을 인크리먼트하지 않는다.

그리고 예조부(64)는, 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 등의 이상값을 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 또한 관 전압 이상값, 관 전류 이상값, 드라이브 전압 이상값, 드라이브 전류 이상값 및 검출 이상값 등의 이상값의 각 초기값은 0이어도 된다. 따라서 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차가 대응하는 역치 범위 내이면, 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차에 대응하는 이상값은 0이다.

상술한 바와 같이 제2 실시 형태의 예조 데이터 서버(14)는, 측정 정보(56)에 포함되는 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차에 의하여 예조 데이터(68)를 생성하고 있다. 이것에 의하여 예조 데이터 서버(14)는, 측정 정보(56)의 단시간의 오차에 기초하는, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 오진을 저감 가능한 예조 데이터(68)를 생성할 수 있음과 함께, 예조 데이터(68)의 기억에 필요한 기억 용량을 저감시킬 수 있다.

<제3 실시 형태>

다음으로, 상술한 실시 형태의 예조 데이터(68)의 생성 방법을 변경한 제3 실시 형태에 대하여 설명한다.

제3 실시 형태의 예조부(64)는, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 미리 설정되는 역치의 비교의 결과에 기초하여, 예조 데이터(68)를 생성한다. 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 포함되는 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱을 산출한다. 예조부(64)는, 산출한 분산과 첨도의 곱과, 미리 설정된 역치를 비교한 결과에 기초하여, 예조 데이터(68)를 생성해도 된다. 즉, 예조부(64)는, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 역치의 비교 결과를 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 여기서, 미리 설정된 역치는, X선 두께 측정 장치(12)의 출하 시험 시에 있어서의 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱을 정상적인 값으로 보고, 당해 출하 시험 시에 있어서의 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱의 변동 범위에 마진을 더한 값에 기초하여 설정한다. 도 9는, 측정 정보(56)에 포함되는 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱의 그래프이다.

측정 대상(90)의 두께에 대한 통계 오차는 포와송 분포로 된다. 이 통계적인 오차를 이용하여 잡음의 성질을 검출한다. 통계 오차가 포와송 분포를 따르는 경우, 분산 및 첨도는, 평균값 m을 이용하여 다음 식으로 나타낼 수 있다.

분산=m

첨도=1/m

따라서 포와송 분포를 따르는 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱은 평균값 m에 의존하지 않고 일정한 값(즉, 1)으로 된다. 따라서 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱은, 필라멘트(38) 등에 이상이 없으면 거의 1로 된다. 한편, 필라멘트(38)가 끊어지기 직전이면, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱은, 도 9에 파선의 사각으로 둘러싸는 영역으로 나타낸 바와 같이 높은 값을 나타낸다. 따라서 예조부(64)는, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 미리 정해진 역치 Th6을 비교함으로써, 필라멘트(38) 등의 이상을 검출할 수 있다. 예조부(64)는, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱이 역치 Th6 이상으로 된 경우, 검출 이상값을 1 인크리먼트하여 예조 데이터(68)를 생성해도 된다.

상술한 바와 같이 제3 실시 형태의 예조 데이터 서버(14)는, 측정 정보(56)에 포함되는 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱에 의하여 예조 데이터(68)를 생성하고 있다. 이것에 의하여 예조 데이터 서버(14)는, 측정 정보(56)의 단시간의 오차에 기초하는, X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 오진을 저감 가능한 예조 데이터(68)를 생성할 수 있음과 함께, 예조 데이터(68)의 기억에 필요한 기억 용량을 저감시킬 수 있다.

제3 실시 형태에 있어서는, 예조부(64)는, 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 미리 설정된 역치를 비교한 결과에 기초하여, 예조 데이터(68)를 생성하고 있지만, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차와, 미리 설정된 역치를 비교한 결과, 및 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 미리 설정된 역치를 비교한 결과 중 적어도 어느 한쪽에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성하는 것이면, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 예조부(64)는, 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv의 표준 편차와, 미리 설정된 역치를 비교한 결과, 및 검출값 Dv의 분산과 첨도의 곱과, 미리 설정된 역치를 비교한 결과의 양쪽에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성해도 된다.

<제4 실시 형태>

본 실시 형태는, 예조 데이터 서버(14)가, X선 두께 측정 장치(12)로부터 취득하는 측정 정보(56)를 기억하고, 연속되는 소정 수의 측정 정보(56) 또는 소정 기일별 측정 정보(56)의 통계를 예조 데이터(68)로서 생성하는 예이다. 이하의 설명에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략한다.

먼저, 본 실시 형태의 예조 데이터 서버(14)의 기능 구성의 일례에 대하여 설명한다.

취득부(62)는, X선 두께 측정 장치(12)로부터 취득한 측정 정보(56)를 예조측 기억부(60)에 기입한다.

예조부(64)는, 예조측 기억부(60)에 기억되는 측정 정보(56) 중, 소정 수의 연속되는 측정 정보(56) 또는 소정 기간의 측정 정보(56)의 통계를 예조 데이터(68)로서 생성한다. 여기서, 연속되는 측정 정보(56)는, X선 두께 측정 장치(12)(산출부(52))에 의하여 연속하여 생성되는 측정 정보(56)이다. 또한 소정 수는 미리 설정된 수이며, 예를 들어 하루에 6만 개이다. 또한 소정 기간은 미리 설정된 기간이며, 예를 들어 하루에 5분 간이다.

그리고 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를, 당해 예조 데이터(68)의 생성에 이용한 측정 정보(56)에 부가되는 시각 데이터와 대응지어 예조측 기억부(60)에 기입한다.

그런데 X선 발생기(30)에 고장 등의 이상이 발생하면, 측정 대상(90)의 두께의 산출을 하지 못하게 되어서 강판 제조 라인에 있어서의 측정 대상(90)의 두께의 제어 및 감시를 하지 못하게 된다. 따라서 X선 발생기(30)에 이상이 발생하기 전에(예를 들어 강판 제조 라인의 정기 점검 시) X선 발생기(30)의 이상 개소의 교환 등의 메인터넌스를 행할 수 있으면, X선 발생기(30)의 이상에 의한, 강판 제조 라인에 대한 영향을 작게 할 수 있다.

그러나 측정 정보(56)를 이용하여 생성되는 예조 데이터(68)는 방대한 수로 되며, 방대한 수의 예조 데이터(68) 중에서 필요한 예조 데이터(68)를 찾아내는 것은 곤란하다. 그래서 본 실시 형태에서는, 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를, 당해 예조 데이터(68)의 생성에 이용한 측정 정보(56)에 부가되는 시각 데이터와 대응지어 예조측 기억부(60)에 기입한다. 이것에 의하여, 예조측 기억부(60)에 기억되는 예조 데이터(68)와 대응지어지는 시각 데이터를 참조하여 필요한 예조 데이터(68)를 검색하는 것이 가능해진다. 그 결과, 예조측 기억부(60)에 기억되는 방대한 수의 예조 데이터(68)로부터 필요한 예조 데이터(68)를 찾아내기 쉽게 할 수 있다.

실시 형태에서는, 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를, 당해 예조 데이터(68)의 생성에 이용한 측정 정보(56) 중, 처음에 취득한 측정 정보(56)에 부가된 시각 데이터 및 마지막에 취득한 측정 정보(56)에 부가되는 시각 데이터와 대응지어 예조측 기억부(60)에 기입한다.

또한 예조부(64)는 예조 데이터(68)를 생성 후, 예조측 기억부(60)에 기억되는 측정 정보(56) 중, 당해 예조 데이터(68)의 생성에 이용한 측정 정보(56)를 예조측 기억부(60)로부터 삭제한다. 이것에 의하여, 예조 데이터 서버(14)에 있어서 측정 정보(56)의 기억에 요하는 기억 용량을 삭감할 수 있다. 단, 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생한 경우, 당해 측정 정보(56)의 스파이크의 발생을 트리거로 하여 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 중지한다. 이것에 의하여, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하여 X선 두께 측정 장치(12)에 이상이 발생하였을 가능성이 있는 경우에 예조 데이터(68)뿐 아니라 측정 정보(56)를 이용하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 해석할 수 있다.

실시 형태에서는, 예조부(64)는, 측정 정보(56)가 포함하는 관 전압값, 관 전류값, 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 검출값 및 두께 중 적어도 하나에 스파이크가 발생한 경우에 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 중지한다. 또한 실시 형태에서는, 예조부(64)는, 예조측 기억부(60)에 기억되는 측정 정보(56) 중, 스파이크가 발생한 측정 정보(56)에 부가되는 시각 데이터보다 나중의 시각 데이터가 부가된 측정 정보(56)를 삭제하지 않는다.

그리고 예조부(64)는, 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 중지하고 나서, 미리 설정된 기간(예를 들어 24시간), 다시 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하지 않은 경우, 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 재개한다. X선 두께 측정 장치(12)로의 먼지 등의 진입에 의하여 일시적으로 측정 정보(56)에 스파이크가 발생한 경우에는 X선 두께 측정 장치(12)의 이상이 발생하였을 가능성이 높아, 측정 정보(56)를 이용하여 X선 두께 측정 장치(12)의 이상을 해석할 필요성이 낮기 때문에, 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 재개한다. 이것에 의하여, 예조 데이터 서버(14)에 있어서 측정 정보(56)의 기억에 요하는 기억 용량을 삭감할 수 있다. 실시 형태의 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하고 나서, 미리 설정된 기간, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하지 않은 경우, 스파이크가 발생한 측정 정보(56)에 부가된 시각 데이터로부터 미리 설정된 기간 경과한 후의 시각 데이터가 부가된 측정 정보(56)에 대해서는 예조측 기억부(60)로부터 삭제한다.

또한 예조부(64)는, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생할 때마다, 측정 정보(56)에 스파이가 발생하였음을 네트워크(18)를 통하여 메인터넌스 장치(16)에 통지한다. 또한 예조부(64)는, 측정 정보(56)가 포함하는 검출값 및 측정 대상(90)의 두께에 스파이크가 발생하였지만 측정 정보(56)가 포함하는 드라이브 전압값, 드라이브 전류값, 관 전압값 및 관 전류값에 스파이크 및 변동이 발생하지 않은 경우, X선 두께 측정 장치(12) 내에 있어서, X선관(36) 이외의 개소에 이상이 있음을 검출한다. 그리고 예조부(64)는, X선 두께 측정 장치(12) 내에 있어서 X선관(36) 이외의 개소에 이상이 있음을 네트워크(18)를 통하여 메인터넌스 장치(16)에 통지한다.

다음으로, 본 실시 형태의 메인터넌스 장치(16)의 기능 구성의 일례에 대하여 설명한다.

진단부(74)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 취득한 예조 데이터(68)를 X축으로 하고 시간축을 Y축으로 하는 그래프(이하, 예조 데이터 그래프라 함)를 표시부(73)에 표시시킨다. 그리고 진단부(74)는, 메인터넌스 장치(16)가 갖는, 도시하지 않은 조작부를 통하여 지시된, 예조 데이터 그래프의 시간축 상의 시간대의 측정 정보(56)를 표시부(73)에 표시시킨다.

이것에 의하여 메인터넌스 장치(16)의 오퍼레이터가, 표시부(73)에 표시된 예조 데이터(68)를 보고 X선 두께 측정 장치(12)의 이상이 있음을 인식한 경우에 용이하게 측정 정보(56)를 확인할 수 있으므로, 측정 정보(56)를 이용한 X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 해석을 용이화할 수 있다. 실시 형태에서는, 진단부(74)는, X선 두께 측정 장치(12)로부터 출력되는 측정 정보(56)를 미리 취득해 두고, 취득한 측정 정보(56) 중, 지시된 시간대의 시각 데이터가 부가된 측정 정보(56)를 표시부(73)에 표시시키는 것으로 한다.

또한 진단부(74)는, 예조 데이터 서버(14)로부터 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음이 통지된 경우에, 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였음을 통지하는 통지 화상을 표시부(73)에 표시시킨다. 이것에 의하여 메인터넌스 장치(16)의 오퍼레이터가, X선 두께 측정 장치(12)에 어떠한 이상이 발생하고 있음을 용이하게 인식할 수 있다.

다음으로, 도 10 내지 15를 이용하여, 측정 정보(56)가 포함하는 관 전압 TV의 통계인 예조 데이터(68)의 생성 처리의 일례에 대하여 설명한다. 여기서는, 측정 정보(56)가 포함하는 관 전압의 예조 데이터(68)를 생성하는 예에 대하여 설명하지만, 측정 정보(56)가 포함하는 다른 파라미터(예를 들어 관 전류값 TC, 드라이브 전압값 Ep, 드라이브 전류값 Ip, 검출값 Dv 및 두께 T)에 대해서도 마찬가지로 하여 예조 데이터(68)를 생성하는 것으로 한다.

도 10은, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버가 취득하는 측정 정보가 포함하는 관 전압의 일례를 나타내는 도면이다. 도 10에 있어서, 종축은 관 전압 TV(㎸)를 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는, 도 10에 나타낸 바와 같이 약 130㎸의 관 전압 TV의 검출 결과를 포함하는 측정 정보(56)를 취득한다. 그리고 예조부(64)는, 도 10에 나타내는 관 전압 TV의 검출 결과에 기초하여 소정 기간(여기서는 100s)별 관 전압 TV의 예조 데이터(68)(예를 들어 평균, 표준 편차, 분산, 왜도 및 첨도)를 생성한다.

도 11은, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 평균 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다. 도 11에 있어서, 종축은 관 전압 TV의 평균(㎸)을 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는, 도 11에 나타낸 바와 같이 소정 기간(여기서 100s)별 관 전압 TV의 평균을 예조 데이터(68)로서 생성한다.

도 12는, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 표준 편차의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다. 도 12에 있어서, 종축은 관 전압 TV의 표준 편차(㎸)를 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는, 도 12에 나타낸 바와 같이 소정 기간(여기서는 100s)별 관 전압 TV의 표준 편차 σ를 예조 데이터(68)로서 생성한다.

도 13은, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 분산의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다. 도 13에 있어서, 종축은 관 전압 TV의 분산을 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는, 도 13에 나타낸 바와 같이 소정 기간(여기서는 100s)별 관 전압 TV의 분산을 예조 데이터(68)로서 생성한다.

도 14는, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 왜도의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다. 도 14에 있어서, 종축은 관 전압 TV의 왜도를 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는 도 14에 나타낸 바와 같이 소정 기간(여기서는 100s)별 관 전압 TV의 왜도를 예조 데이터(68)로서 생성한다.

도 15는, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 생성되는 관 전압의 첨도의 생성 결과의 일례를 나타내는 도면이다. 도 15에 있어서, 종축은 관 전압 TV의 첨도를 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는, 도 15에 나타낸 바와 같이 소정 기간(여기서는 100s)별 관 전압 TV의 첨도를 예조 데이터(68)로서 생성한다.

다음으로, 도 16을 이용하여, 본 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버(14)에 의한 측정 정보(56)의 기입 처리의 일례에 대하여 설명한다. 여기서는, 관 전압 TV에 스파이크가 발생한 경우의 측정 정보(56)의 기입 처리에 대하여 설명하지만, 측정 정보(56)가 포함하는 다른 파라미터(예를 들어 관 전류값 TC, 드라이브 전압값 Ep, 드라이브 전류값 Ip, 검출값 Dv 및 두께 T)에 대하여 스파이크가 발생한 경우에도 마찬가지로 하여 측정 정보(56)의 기입 처리를 실행한다.

도 16은, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 있어서의 측정 정보의 기입 처리의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 도 16에 있어서, 종축은 관 전압 TV(㎸)를 나타내고 횡축은 시간축(㎳)을 나타낸다. 예조부(64)는 예조 데이터(68)를 생성 후, 예조측 기억부(60)에 기억되는 측정 정보(56) 중, 예조 데이터(68)의 생성에 이용한 측정 정보(56)를 예조측 기억부(60)로부터 삭제한다.

단, 도 16에 나타낸 바와 같이 시각 t1에 있어서 관 전압 TV에 스파이크가 발생한 경우, 예조부(64)는 측정 정보(56)의 삭제를 중지한다. 그리고 도 16에 나타낸 바와 같이, 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 중지하고 나서 미리 설정된 기간(예를 들어 830s) 경과한 시각 t2까지 다시 관 전압 TV에 스파이크가 발생하지 않은 경우, 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 재개한다.

다음으로, 도 17을 이용하여, 본 실시 형태에 따른 메인터넌스 장치(16)에 의한 예조 데이터(68) 및 측정 정보(56)의 표시 처리의 일례에 대하여 설명한다. 여기서는, 측정 정보(56)가 포함하는 관 전압 TV의 예조 데이터(68)의 일례인 표준 편차 σ를 표시하는 예에 대하여 설명하지만, 측정 정보(56)가 포함하는 다른 파라미터의 예조 데이터(68)에 대해서도 마찬가지로 하여 표시한다.

도 17은, 제4 실시 형태에 따른 메인터넌스 장치에 의한 예조 데이터 및 측정 정보의 표시 처리의 일례를 설명하기 위한 도면이다. 도 17에 도시한 바와 같이 메인터넌스 장치(16)의 진단부(74)는, 종축이 관 전압 TV의 표준 편차 σ를 나타내고 횡축이 시간축(㎳)을 나타내는 예조 데이터 그래프(1701)를 포함하는 윈도우 W1을 표시부(73)에 표시시킨다.

그리고 진단부(74)는, 메인터넌스 장치(16)가 갖는, 도시하지 않은 조작부를 통하여, 표시부(73)에 표시한 윈도우 W1 내의 예조 데이터 그래프(1701)의 시간축에 있어서, 측정 정보(56)를 표시시키는 시간대가 지시되면, 당해 지시된 시간대의 관 전압 TV의 그래프를 포함하는 윈도우 W2를 표시부(73)에 표시시킨다. 여기서, 관 전압 TV의 그래프는, 종축이 관 전압 TV(㎸)를 나타내고 횡축이 시간축(㎳)을 나타낸다.

이것에 의하여 메인터넌스 장치(16)의 오퍼레이터가, 윈도우 W1에 표시된 예조 데이터 그래프(1701)를 보고 X선 두께 측정 장치(12)의 이상이 있음을 인식한 경우에 용이하게 관 전압 TV의 그래프를 확인할 수 있으므로, 측정 정보(56)를 이용한 X선 두께 측정 장치(12)의 이상의 해석을 용이화할 수 있다.

다음으로, 도 18을 이용하여, 본 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버(14)의 예조측 처리부(58)에 의하여 실행되는 예조 처리의 흐름의 일례에 대하여 설명한다.

도 18은, 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버에 의하여 실행하는 예조 처리의 흐름의 일례를 도시하는 흐름도이다.

도 18에 도시한 바와 같이 본 실시 형태의 예조 처리에서는, 취득부(62)가 네트워크(18)를 통하여 X선 두께 측정 장치(12)로부터 측정 정보(56)를 취득하여 예조측 기억부(60)에 기입한다(S1801). 예조부(64)는, 소정 수의 연속되는 측정 정보(56)를 취득하였는지 여부를 판단한다(S1802). 소정 수의 연속되는 측정 정보(56)가 취득되지 않은 경우(S1802: 아니오), S1801로 되돌아가 취득부(62)는 새로운 측정 정보(56)를 취득한다.

한편, 소정 수의 연속되는 측정 정보(56)를 취득한 경우(S1802: 예), 예조부(64)는, 소정 수의 연속되는 측정 정보(56)에 기초하여 예조 데이터(68)를 생성한다(S1803). 예조부(64)는, 예를 들어 측정 정보(56)에 포함되는 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv와 역치를 비교하여 각 값 TV, TC, Ep, Ip, Dv가 이상값인지 여부를 판정하고, 이상값의 개수를 포함하는 예조 데이터(68)를 생성한다. 그리고 예조부(64)는, 생성한 예조 데이터(68)를 예조측 기억부(60)에 저장한다(S1804).

또한, 예조부(64)는, 취득한 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하였는지, 또는 측정 정보(56)에 마지막으로 스파이크가 발생하고 나서 새로운 스파이크가 발생하지 않고 미리 설정된 기간 경과하였는지를 판단한다(S1805). 취득한 측정 정보(56)에 스파이크가 발생하지 않은 경우, 또는 측정 정보(56)에 마지막으로 스파이크가 발생하고 나서 미리 설정된 기간 경과한 경우(S1805: 아니오), 예조부(64)는 예조측 기억부(60)로부터, 취득한 측정 정보(56)를 삭제한다(S1806). 한편, 취득한 측정 정보(56)에 스파이크가 발생한 경우, 또는 측정 정보(56)에 마지막으로 스파이크가 발생하고 나서 미리 설정된 기간 경과하지 않은 경우(S1805: 예), 예조부(64)는 예조측 기억부(60)로부터의 측정 정보(56)의 삭제를 행하지 않는다.

이어서, 예조부(64)는, 메인터넌스 장치(16)로부터 예조 데이터(68)의 요구를 취득하였는지 여부를 판정한다(S1807). 예조부(64)는, 예조 데이터(68)의 요구를 취득하지 않았다고 판정하면(S1807: 아니오), 예조측 처리부(58)는 스텝 S1801이후를 반복한다. 예조부(64)는, 예조 데이터(68)의 요구를 취득하였다고 판정하면(S1807: 예), 예조 데이터(68)를 네트워크(18)에 출력한다(S1808). 이후, 예조측 처리부(58)는 스텝 S1801 이후를 반복한다.

이와 같이 제4 실시 형태에 따른 예조 데이터 서버(14)에 따르면, 예조측 기억부(60)에 기억되는 예조 데이터(68)와 대응지어지는 시각 데이터를 참조하여 필요한 예조 데이터(68)를 검색하는 것이 가능해진다. 그 결과, 예조측 기억부(60)에 기억되는 방대한 수의 예조 데이터(68)로부터 필요한 예조 데이터(68)를 찾아내기 쉽게 할 수 있다.

본 발명의 몇몇 실시 형태를 설명하였지만 이들 실시 형태는 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시 형태는 그 외의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 청구의 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.

상술한 실시 형태에서는, 예조 데이터 서버(14)와는 다른 메인터넌스 장치(16)에 진단부(74)를 마련하는 예를 들어 설명하였지만, 진단부(74)는 예조 데이터 서버(14)에 마련되어 있어도 된다.

Claims (13)

1. 전력을 공급하는 X선 제어 전원과, 상기 X선 제어 전원으로부터의 전력에 의하여 전자를 방출하는 필라멘트와 당해 필라멘트로부터 방출되는 전자의 충돌에 의하여 두께의 측정 대상에 X선을 조사하는 타깃을 갖는 X선 발생기와, 상기 측정 대상을 통과한 상기 X선의 강도에 따른, 검출 전압 및 검출 전류 중 적어도 한쪽을 검출 신호로서 출력하는 검출부와, 상기 X선 제어 전원으로부터의 전력을 변압하여 상기 필라멘트에 공급하는 변압기와, 당해 변압기의 1차측의 전압인 드라이브 전압값 및 상기 변압기의 1차측에 흐르는 전류값인 드라이브 전류값을 검출하는 드라이브 검출부와, 상기 필라멘트와 상기 타깃 사이의 전압인 관 전압값 및 상기 필라멘트와 상기 타깃 사이에 흐르는 전류값인 관 전류값을 검출하는 관 검출부를 구비하는 X선 두께 측정 장치로부터, 상기 드라이브 전압값, 상기 드라이브 전류값, 상기 관 전압값, 상기 관 전류값 및 상기 검출 신호 중 적어도 어느 것을 포함하는 측정 정보를 취득하는 취득부와,
   상기 취득부에 의하여 취득하는 상기 측정 정보의 통계를, 상기 X선 두께 측정 장치의 이상을 진단하기 위한 예조 데이터로서 생성하는 예조부와,
   상기 예조부에 의하여 생성되는 상기 예조 데이터를 기억하는 기억부
   를 구비하고,
   상기 예조부는, 상기 취득부에 의하여 취득되는 상기 측정 정보를 상기 기억부에 기입하고, 상기 예조 데이터의 생성 후, 당해 예조 데이터의 생성에 이용한 상기 측정 정보를 상기 기억부로부터 삭제하고, 상기 측정 정보의 스파이크의 발생을 트리거로 하여 상기 기억부로부터의 상기 측정 정보의 삭제를 중지하고, 상기 측정 정보의 스파이크가, 미리 설정된 기간에 다시 발생하지 않은 경우, 상기 기억부로부터의 상기 측정 정보의 삭제를 재개하는, 예조 데이터 서버.
2. 제1항에 있어서,
   상기 X선 두께 측정 장치는, 상기 검출부로부터 출력되는 상기 검출 신호에 기초하여 상기 측정 대상의 두께를 산출하는 판 두께 연산부를 더 구비하고,
   상기 취득부는 상기 X선 두께 측정 장치로부터, 상기 드라이브 전압값, 상기 드라이브 전류값, 상기 관 전압값, 상기 관 전류값, 상기 검출 신호, 및 상기 판 두께 연산부에 의하여 산출되는 두께 중 적어도 하나의 파라미터를 포함하고, 또한 당해 파라미터의 검출 시 또는 산출 시의 시각 데이터가 부가된 상기 측정 정보를 취득하고,
   상기 예조부는, 소정 수의 연속되는 상기 측정 정보 또는 소정 기일별 상기 측정 정보의 통계를 상기 예조 데이터로서 생성하고, 상기 예조 데이터를, 당해 예조 데이터의 생성에 이용한 상기 측정 정보에 부가된 상기 시각 데이터와 대응지어 상기 기억부에 기입하는, 예조 데이터 서버.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 취득부에 의하여 상기 측정 정보를 취득하는 주기가, 상기 예조 데이터의 생성에 요하는 시간보다도 긴, 예조 데이터 서버.
6. 제2항에 있어서,
   상기 예조부는, 상기 검출 신호 및 상기 판 두께 연산부에 의하여 산출되는 두께에 스파이크 및 변동이 발생하였지만 상기 드라이브 전압값, 상기 드라이브 전류값, 상기 관 전압값 및 상기 관 전류값에 스파이크 및 변동이 발생하지 않은 경우, 상기 X선 두께 측정 장치 내에 있어서, 상기 필라멘트 및 상기 타깃이 내부에 수용되는 X선관 이외의 개소에 이상이 있음을 메인터넌스 장치에 통지하는, 예조 데이터 서버.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 예조부는, 상기 측정 정보의 표준 편차와 제1 역치의 비교 결과, 및 상기 측정 정보가 포함하는 상기 검출 신호의 분산과 첨도의 곱과 제2 역치의 비교 결과를 포함하는 상기 예조 데이터를 생성하는, 예조 데이터 서버.
8. 제1항 또는 제2항에 기재된 예조 데이터 서버와,
   상기 X선 두께 측정 장치와,
   메인터넌스 장치를 구비하고,
   상기 예조부는 상기 메인터넌스 장치로부터의 요구에 따라, 상기 기억부에 기억되는 상기 예조 데이터를 상기 메인터넌스 장치에 출력하고,
   상기 메인터넌스 장치는, 상기 예조 데이터를 표시하는 표시부를 구비하는,
   X선 두께 측정 시스템.
9. 제8항에 있어서,
   상기 예조부는, 상기 측정 정보에 스파이크가 발생할 때마다, 상기 측정 정보에 스파이크가 발생하였음을 상기 메인터넌스 장치에 통지하고,
   상기 표시부는, 상기 X선 두께 측정 장치의 이상 레벨을 나타내는 인디케이터를 표시하고, 상기 예조 데이터 서버로부터 상기 측정 정보에 스파이크가 발생하였음이 통지될 때마다 상기 이상 레벨을 높이는, X선 두께 측정 시스템.
10. 제8항에 있어서,
    상기 표시부는, 상기 X선 두께 측정 장치의 이상 레벨을 나타내는 인디케이터를 표시하고, 미리 설정된 기간 내의 상기 예조 데이터에, 미리 설정된 횟수 이상 스파이크가 발생한 경우에 상기 이상 레벨을 높이는, X선 두께 측정 시스템.
11. 제8항에 있어서,
    상기 표시부는, 상기 예조 데이터를 X축으로 하고 또한 시간축을 Y축으로 하는 그래프를 표시하고, 조작부를 통하여 지시된, 상기 Y축 상의 시간대의 상기 측정 정보를 표시하는, X선 두께 측정 시스템.
12. 제9항에 있어서,
    상기 표시부는, 상기 측정 정보에 스파이크가 발생하였음을 통지하는 화상을 표시하는, X선 두께 측정 시스템.
13. 제8항에 있어서,
    상기 예조부는, 상기 예조 데이터를 외부의 상위 장치에 통지하는 통지부를 구비하는, X선 두께 측정 시스템.

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