JP6576542B2 - 立体形状計測装置、立体形状計測プローブ - Google Patents
立体形状計測装置、立体形状計測プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6576542B2 JP6576542B2 JP2018507932A JP2018507932A JP6576542B2 JP 6576542 B2 JP6576542 B2 JP 6576542B2 JP 2018507932 A JP2018507932 A JP 2018507932A JP 2018507932 A JP2018507932 A JP 2018507932A JP 6576542 B2 JP6576542 B2 JP 6576542B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- angle
- measurement
- angle detection
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
- G01B9/02091—Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る立体形状計測装置100の構成を示す図である。立体形状計測装置100は、測定ビーム300を回転させながら、ビームが当たった測定対象301上の点までの距離を測定することにより、測定対象301の立体形状を計測する装置である。立体形状計測装置100は、測定プローブ160、射出光学系/検出光学系200、制御装置210を備える。これらの動作は図4を用いて後述する。
本発明の実施形態2では、測定プローブ160の複数の構成例について説明する。その他構成は実施形態1と同様であるので、以下では主に測定プローブ160に関する差異点について説明する。
本発明の実施形態3では、角度検出マーカ170を形成する複数の例を説明する。その他構成は実施形態1と同様であるので、以下では主に角度検出マーカ170に関する差異点について説明する。
本発明の実施形態4では、測定プローブ160の複数の構成例について説明する。その他構成は実施形態1と同様であるので、以下では主に測定プローブ160に関する差異点について説明する。
本発明の実施形態5では、制御装置210による信号処理の例について説明する。その他構成は以上の実施形態と同様であるため、以下では制御装置210による信号処理について主に説明する。
実施形態1においては、測定対象301までの距離を計測する方法としてFMCWやSS−OCTを用いる方法を説明した。その他の距離計測手法としてFD−OCT(Fourier−Domain OCT)や白色共焦点検出と呼ばれる方法も存在する。これら方法を用いる場合であっても、実施形態1〜5と同様の効果を発揮することができる。本発明の実施形態6では、その構成例について説明する。
図13Aは、本発明の実施形態7に係る測定プローブ160の構成例である。図13Aにおいては、図1と比較すると角度検出マーカ170がミラー163の周囲に配置されている点が異なる。したがって、角度検出光はミラー163によって生成され、測定ビーム300はハーフミラー164によって生成される。図13Aの構成においても図1と同様の効果を発揮することができる。ただし測定対象301までの距離によっては、角度検出マーカ170から反射された光と測定対象301から反射された光が干渉する可能性がある。
本発明に係る立体形状計測装置は、測定ビーム300を分岐して角度検出光として角度検出マーカ170(あるいは角度検出ディスク175)に当て、これを測定光とともに検出する。これにより、角度検出のために新たに光ファイバ/信号配線/検出器を増やすことなく、測定ビーム300の角度誤差を補正した上で立体形状を測定することができる。また測定ビーム300が角度検出を兼ねることによる誤差も抑制することができる。
本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
102:発振器
103:ファイバカプラ
104:ファイバカプラ
105:光ファイバ
106:ファイバカプラ
107:受光器
108:サーキュレータ
109:受光器
109’:分光器
110:光スイッチ
111:ファイバカプラ
112:参照ミラー
150:制御線
151:光ファイバ
160:測定プローブ
161:光ファイバコリメータ
162:モータ
163:ミラー
164:ハーフミラー
165:透明部
167:レンズ
168:円環状ミラー
169:ミラー
170:角度検出マーカ
171:反射膜
175:角度検出ディスク
190:フォーカス機構
191:光ファイバカプラ
192:レンズ
200:射出光学系/検出光学系
201:AD/DA変換器
210:制御装置
220:表示装置
230:プローブ送り機構
300:測定ビーム
301:測定対象
Claims (13)
- 射出光ファイバを介して測定光を射出する射出光学系、
検出光ファイバを介して検出光を検出する検出光学系、
前記射出光学系が射出した前記測定光を対象物に対して照射するとともに前記対象物から戻ってきた光を前記検出光ファイバに対して前記検出光として戻す光学素子、
前記光学素子を回転させることにより前記測定光の進行方向を回転させる回転装置、
前記射出光学系が射出した前記測定光の一部を前記対象物に対して向かう方向とは異なる方向に進行させることにより前記回転装置の回転角を測定するための角度測定光を生成する角度検出光生成部、
前記回転装置の回転角を表す角度検出光として前記角度測定光を前記検出光ファイバに対して戻す角度検出部、
前記光学素子、前記回転装置、および前記角度検出光生成部を収容するプローブ筐体、
を備え、
前記回転装置は、前記検出光学系と前記光学素子との間に配置され、前記測定光と前記検出光を通す穴を有する中空モータとして構成されている
ことを特徴とする立体形状計測装置。 - 前記角度検出部は、前記プローブ筐体に複数形成され前記角度測定光を反射するマークとして構成されており、
前記角度検出光生成部は、前記光学素子とともに回転するビームスプリッタとして構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記立体形状計測装置は、前記ビームスプリッタとともに回転し前記ビームスプリッタが生成した前記角度測定光を前記マークに対して集束させる集束レンズを備える
ことを特徴とする請求項2記載の立体形状計測装置。 - 前記角度検出部は、前記角度測定光を反射するマークが形成された角度検出板として構成されており、
前記角度検出光生成部は、前記光学素子とともに回転するビームスプリッタとして構成されており、
前記プローブ筐体の表面には、前記ビームスプリッタが生成した前記角度検出光を前記角度検出板に向けて反射させるミラーが配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記角度検出部は、前記角度測定光を反射するマークが表面に形成された角度検出板として構成されており、
前記角度検出光生成部は、前記光学素子内に形成され前記測定光の一部を前記角度検出板へ向かって回折させる回折格子として構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記立体形状計測装置は、前記測定光をフォーカスさせるフォーカス機構を備え、
前記フォーカス機構は、前記対象物と前記角度検出光生成部との間に配置されている
ことを特徴とする請求項4記載の立体形状計測装置。 - 前記角度検出部は、前記角度測定光を反射するマークが形成された角度検出板として構成されており、
前記角度検出光生成部は、前記測定光を分岐することにより前記角度測定光を生成するカプラ、前記カプラが分岐した前記測定光を前記角度検出板に向かって伝搬させる分岐光ファイバ、および前記分岐光ファイバの先端に配置され前記角度検出板に向かって前記角度測定光を照射するレンズ、によって構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記射出光学系は、
前記測定光を伝搬し互いに長さが異なる第1および第2測定光ファイバ、
前記測定光の伝搬経路を前記第1および第2測定光ファイバの間で切り替える測定光スイッチ、
を備えることを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記検出光学系は、
前記測定光を生成するレーザ、
前記測定光の一部を参照光として分岐させるカプラ、
前記参照光を伝搬し互いに長さが異なる第1および第2参照光ファイバ、
前記参照光の伝搬経路を前記第1および第2参照光ファイバの間で切り替える参照光スイッチ、
を備えることを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記立体形状計測装置は、前記検出光学系が検出した前記検出光に基づき前記対象物の立体形状を測定する演算部を備える
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 前記演算部は、
前記検出光に基づき前記対象物までの距離を算出することにより前記対象物の立体形状を測定し、
前記演算部は、
前記検出光のうち、前記角度検出部から反射された成分を、前記検出光に基づき算出した距離に応じて前記対象物から反射された成分から分離することにより、前記回転角を検出する
ことを特徴とする請求項10記載の立体形状計測装置。 - 前記射出光学系と前記検出光学系は、一体の光学系として構成されており、
前記射出光ファイバと前記検出光ファイバは、同一の光ファイバである
ことを特徴とする請求項1記載の立体形状計測装置。 - 立体形状計測プローブであって、
測定光を対象物に対して照射するとともに前記対象物から戻ってきた光を検出光ファイバに対して検出光として戻す光学素子、
前記光学素子を回転させることにより前記測定光の進行方向を回転させる回転装置、
前記測定光の一部を前記対象物に対して向かう方向とは異なる方向に進行させることにより前記回転装置の回転角を測定するための角度測定光を生成する角度検出光生成部、
前記回転装置の回転角を表す角度検出光として前記角度測定光を前記検出光ファイバに対して戻す角度検出部、
前記光学素子、前記回転装置、および前記角度検出光生成部を収容するプローブ筐体、
を備え、
前記回転装置は、前記立体形状計測プローブに対して前記測定光が入射する入射端と前記光学素子との間に配置され、前記測定光と前記検出光を通す穴を有する中空モータとして構成されている
ことを特徴とする立体形状計測プローブ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2016/060373 WO2017168628A1 (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 立体形状計測装置、立体形状計測プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017168628A1 JPWO2017168628A1 (ja) | 2018-06-07 |
JP6576542B2 true JP6576542B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=59962704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018507932A Active JP6576542B2 (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 立体形状計測装置、立体形状計測プローブ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10436572B2 (ja) |
JP (1) | JP6576542B2 (ja) |
DE (1) | DE112016003116T5 (ja) |
WO (1) | WO2017168628A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021100792A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | アダマンド並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置及び光学式内面測定方法 |
US20210208275A1 (en) * | 2020-01-02 | 2021-07-08 | Analog Devices International Unlimited Company | Angle of rotation determination in scanning lidar systems |
CN111157886B (zh) * | 2020-01-07 | 2022-04-26 | 华东交通大学 | 一种接触网隔离开关故障诊断方法 |
WO2021245778A1 (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 日本電信電話株式会社 | 測距装置 |
CN113790670A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-14 | 上海理工大学 | 一种柔性分布式光纤传感器及制作方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2676368B2 (ja) * | 1988-06-07 | 1997-11-12 | 財団法人電力中央研究所 | 高耐熱深部型ボアホールスキャナ装置 |
JP4021975B2 (ja) | 1997-08-28 | 2007-12-12 | オリンパス株式会社 | 光走査プローブ装置 |
WO2006084279A2 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Single fiber endoscopic full-field optical coherence tomography (oct) imaging probe |
EP2289398A3 (en) | 2006-01-19 | 2011-04-06 | The General Hospital Corporation | Methods and systems for optical imaging of epithelial luminal organs by beam scanning thereof |
US8773521B2 (en) | 2006-11-28 | 2014-07-08 | Olympus Corporation | Endoscope apparatus |
JP4836820B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2011-12-14 | Hoya株式会社 | Octシステム |
JP5301193B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-09-25 | 富士フイルム株式会社 | 光断層画像形成方法および光断層画像化装置 |
US8125645B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-02-28 | Fujifilm Corporation | Optical tomographic imaging system, tomographic image acquiring method, and optical tomographic image forming method |
JP5683782B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2015-03-11 | 株式会社トプコン | 距離測定装置及び距離測定方法 |
US8687928B2 (en) * | 2009-05-07 | 2014-04-01 | Konica Minolta Opto, Inc. | Optical characteristic measuring probe |
JP5568363B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2014-08-06 | 株式会社トプコン | レーザスキャナ |
JP2012010913A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Fujifilm Corp | Octプローブ |
JP5887839B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2016-03-16 | 株式会社ニデック | 眼内レンズ度数決定装置及びプログラム |
US9709388B2 (en) * | 2015-05-20 | 2017-07-18 | Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha | Optical inner surface measuring device |
JP6502720B2 (ja) * | 2015-03-27 | 2019-04-17 | 株式会社トプコン | 眼科用顕微鏡 |
-
2016
- 2016-03-30 US US15/747,789 patent/US10436572B2/en active Active
- 2016-03-30 WO PCT/JP2016/060373 patent/WO2017168628A1/ja active Application Filing
- 2016-03-30 DE DE112016003116.5T patent/DE112016003116T5/de not_active Withdrawn
- 2016-03-30 JP JP2018507932A patent/JP6576542B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112016003116T5 (de) | 2018-04-26 |
WO2017168628A1 (ja) | 2017-10-05 |
US20190011249A1 (en) | 2019-01-10 |
US10436572B2 (en) | 2019-10-08 |
JPWO2017168628A1 (ja) | 2018-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6576542B2 (ja) | 立体形状計測装置、立体形状計測プローブ | |
JP4916573B2 (ja) | 光干渉計測方法および光干渉計測装置 | |
US10900773B2 (en) | Distance measuring device and three-dimensional shape measuring apparatus | |
US11644545B2 (en) | Distance measuring device, distance measuring method, and three-dimensional shape measuring apparatus | |
JP5669182B2 (ja) | 白色干渉法による振動測定装置及び振動測定方法 | |
US11421976B2 (en) | Shape measurement system, probe tip unit, and shape measurement method | |
JP5724133B2 (ja) | 構造測定方法および構造測定装置 | |
JP4026929B2 (ja) | 干渉測定装置 | |
JP7194260B2 (ja) | 形状計測システム、及び形状計測方法 | |
US11092427B2 (en) | Metrology and profilometry using light field generator | |
JPH09297014A (ja) | レーザレーダ三次元形状計測装置 | |
JP5704150B2 (ja) | 白色干渉装置及び白色干渉装置の位置及び変位測定方法 | |
JP4804977B2 (ja) | 波長可変レーザ装置および光断層画像化装置 | |
WO2016084195A1 (ja) | 白色干渉装置及び白色干渉装置による位置及び変位測定方法 | |
WO2023243220A1 (ja) | 形状計測装置、及び形状計測方法 | |
JP6610090B2 (ja) | 非接触内面形状測定装置 | |
WO2018225496A1 (ja) | 距離測定装置、及び立体形状測定装置 | |
Arumugam et al. | Methods of optical profiling surfaces | |
JP3021090B2 (ja) | 非接触測定プローブ | |
JP2018091722A (ja) | 光干渉断層撮影装置及び光干渉断層撮影方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190129 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190327 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190820 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6576542 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |