JP6575387B2 - カーボンナノ構造体の製造方法及びカーボンナノ構造体の製造装置 - Google Patents
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本件発明の一態様に係るカーボンナノ構造体の製造方法は、溶融した炭素含有金属の表面に引き出し用部材の一部を接触させる接触工程と、前記引き出し用部材を前記溶融した炭素含有金属から引き離し、前記引き出し用部材と前記溶融した炭素含有金属との間にカーボンナノ構造体を成長させる引き出し工程とを備える。なお、「炭素含有金属」とは、炭素が含まれる金属のことを意味する。
本発明の各実施形態についての具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
カーボンナノ構造体は、以下の工程を備える製造方法により得ることができる。
(1)溶融した炭素含有金属の表面に引き出し用部材の一部を接触させる接触工程。
(2)前記引き出し用部材を溶融した炭素含有金属から引き離し、引き出し用部材と溶融した炭素含有金属との間にカーボンナノ構造体を成長させる引き出し工程。
(3)前記引き出し工程と並行して、溶融した炭素含有金属に炭素を供給し、炭素溶解量を連続的に保つ炭素供給工程をさらに備えてもよい。
図1に示すカーボンナノ構造体の製造装置は、密閉容器である反応室11と、反応室11の内部に配置され炭素含有金属12を支持する支持体13と、支持体13の周辺に配置され炭素含有金属12を加熱溶融させる加熱部14と、溶融した炭素含有金属12に炭素を供給する炭素供給部15と、溶融した炭素含有金属12に接触させカーボンナノ構造体を引き出す引き出し用部材16と、引き出し用部材16の溶融した炭素含有金属12に接触する面に形成される微細構造部17と、引き出し用部材16を把持する把持部18と、把持部18に連結され引き出し用部材を移動可能にする駆動部19と、引き出したカーボンナノ構造体を回収する回収部20と、反応室11に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給部21と、反応室11からガスを排出するための排気部22とを備える。また、図1のカーボンナノ構造体の製造装置は、加熱部14と、炭素供給部15と、駆動部19と、回収部20と、不活性ガス供給部21と、排気部22を制御するための制御部23とをさらに備える。
接触工程は、溶融した炭素含有金属12の表面に微細構造部17を有する引き出し用部材16の一部を接触させる。具体的には図5(a)に示すように引き出し用部材16を上下移動させることで、支持体13内の溶融した炭素含有金属12に徐々に近づけ、図5(b)に示すように引き出し用部材16を接触させる。このとき、溶融した炭素含有金属12は、その金属の融点以上の温度となっているため、引き出し用部材16が溶融しないように接触時間が短いことが好ましい。
引き出し工程は、図5(c)に示すように、溶融した炭素含有金属12の表面と接触させた引き出し用部材16を上下運動することで、溶融した炭素含有金属12から引き離し、微細構造部17がカーボンナノ構造体Aの成長起点となり、引き出し用部材16と炭素含有金属12との間にカーボンナノ構造体Aを成長させる。このとき、引き出し用部材16の引き出し速度は、特に限定されず、カーボンナノ構造体Aの成長の仕方を確認しながら調整することができる。例えば、引き出し速度を、10−3mm/s以上102m/s以下とすることで、カーボンナノ構造体Aが一定の張力が加えられた状態で成長するため、曲がり等の変形が抑制されたカーボンナノ構造体Aを製造することができる。
炭素供給工程は、前記引き出し工程と並行して、炭素含有金属12に炭素を供給し、炭素溶解量を連続的に保つ。
12 炭素含有金属
13 支持体
14 加熱部
15 炭素供給部
16 引き出し用部材
17 微細構造部
18 把持部
19 駆動部
20 回収部
21 不活性ガス供給部
22 排気部
23 制御部
61 炭素含有金属突起体
62 レーザー光発振器
63 金属突起体支持部材
A カーボンナノ構造体
Claims (10)
- 溶融した炭素含有金属の表面に引き出し用部材の一部を接触させる接触工程と、
前記引き出し用部材を前記溶融した炭素含有金属から引き離し、前記引き出し用部材と
前記溶融した炭素含有金属との間にカーボンナノ構造体を成長させる引き出し工程と
を備え、
前記溶融した炭素含有金属は、少なくとも1以上の突起部を有する金属体の前記突起部
に炭素供給及び加熱することで形成される、
カーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記引き出し工程と並行して、前記溶融した炭素含有金属に炭素を供給し、前記溶融した炭素含有金属内の炭素溶解量を連続的に保つ炭素供給工程をさらに備える、
請求項1に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記炭素供給工程は、前記突起部向けて炭素源ガスを吹き付けることで行われる、
請求項1または請求項2に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記突起部の先端の大きさは、直径0.4nm以上直径100nm以下である、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記加熱は、前記突起部にレーザー光を照射することで前記突起部の先端部を溶融させる、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記引き出し工程での引き出し速度が、10−3mm/s以上102mm/s以下である、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記引き出し用部材は、前記接触工程で前記溶融した炭素含有金属と接触する面が平面、あるいは、少なくとも1以上の突起部、線状の炭素繊維部、又はシート状の炭素繊維部を備える面である、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 前記炭素含有金属は、鉄、ニッケル、コバルト及びそれらの合金からなる群より選択さ
れる少なくとも1種を含む金属である、
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のカーボンナノ構造体の製造方法。 - 少なくとも1以上の突起部を有する金属体と、
前記金属体の前記突起部を加熱するレーザー光発振器と、
引き出し用部材とを備え、
前記加熱された前記突起部と前記引き出し用部材とが接触及び引き離しできるように、
前記金属体と前記引き出し用部材との位置が相対的に移動可能に構成されるカーボンナノ
構造体の製造装置。 - カーボンナノ構造体を回収する回収部をさらに備える、請求項9に記載のカーボンナノ
構造体の製造装置。
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JP2016025433A JP6575387B2 (ja) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | カーボンナノ構造体の製造方法及びカーボンナノ構造体の製造装置 |
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JP2023136805A (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-29 | 日本碍子株式会社 | Si-SiC系複合構造体の製造方法 |
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2016
- 2016-02-15 JP JP2016025433A patent/JP6575387B2/ja active Active
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