JP2012017228A - カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置、カーボンナノチューブ、およびカーボンナノチューブ構造体 - Google Patents
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Abstract
【課題】長尺状のカーボンナノチューブを容易に製造することができるカーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ16を長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、触媒14を担持した線状の支持体3を加熱するステップと、前記支持体3に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給するステップとを備え、前記支持体3上に前記カーボンナノチューブ16を長尺状に成長させる。
【選択図】図2
【解決手段】カーボンナノチューブ16を長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、触媒14を担持した線状の支持体3を加熱するステップと、前記支持体3に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給するステップとを備え、前記支持体3上に前記カーボンナノチューブ16を長尺状に成長させる。
【選択図】図2
Description
本発明は、カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置、カーボンナノチューブ、およびカーボンナノチューブ構造体に関し、特に長尺状のカーボンナノチューブを製造する場合に好適なものである。
カーボンナノチューブ(以下、「CNT」という。)は、直径数〜数10nmの細長い1次元の繊維であり、軽量性・高引張り強度・高電流耐性・高誘電率から、軽量・高強度繊維、軽量・高電流耐性導線として期待されてきた。CNTは、生産性の観点からCVD法により合成されるのが主流となっている(例えば、特許文献1)。ところが、通常形成されるワイヤー状のCNTは、数μm程度の長さのCNTを複数連結した形態であるのでCNT間の界面で機械強度や抵抗等の特性が決まってしまうため、理論値より低い特性しか得られなかった。合成技術の進歩により、数cm長でのCNT合成も報告されてきているが、一定面積を有する基板上に触媒を配置してCNTを成長させる場合でも、前記触媒の極一部から稀に伸びる程度(億〜兆の触媒から数〜数十本程度)である(例えば、非特許文献1)。また、高温の反応器中に基板を設置し、触媒原料と炭素原料を供給し続ける場合には、触媒生成と新たなCNTの成長が繰り返し起きるために、CNTは見かけは数cmの高さまで林状に成長しても、1本ずつはより短い(例えば、非特許文献2)。このように、長尺CNTの実用的な合成技術がなかった。
L. X. Zheng, et al., Nature Materials 3, 673 (2004).
G. Eres, et al., Appl. Phys. Lett. 84, 1759 (2004).
CNTの長さが制限される要因は、触媒の失活によるCNT成長の停止や、成長したCNT自体が原料の拡散抵抗となることによる原料供給の停止などがある。
そこで、本発明は、長尺状のCNTを容易に製造することができるCNTの製造方法、CNTの製造装置、CNTおよびCNT構造体を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に係るカーボンナノチューブの製造方法は、カーボンナノチューブを長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体を加熱するステップと、前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給するステップとを備え、コールドウォール方式で、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを長尺状に成長させることを特徴とする。
本発明の請求項2に係るカーボンナノチューブの製造方法は、前記支持体は、前記線状の部材を交差させた網形状であることを特徴とする。
本発明の請求項3に係るカーボンナノチューブの製造方法は、前記支持体を、間隔をあけて複数積層したことを特徴とする。
本発明の請求項4に係るカーボンナノチューブの製造方法は、長尺状に成長した前記カーボンナノチューブを巻き取るステップを備えることを特徴とする。
本発明の請求項5に係るカーボンナノチューブの製造装置は、カーボンナノチューブを長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造装置において、触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体と、前記支持体を加熱する加熱部と、前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給する原料供給部とを備え、コールドウォール方式で、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを長尺状に成長させることを特徴とする。
本発明の請求項6に係るカーボンナノチューブの製造装置は、前記支持体は、前記線状の部材を交差させた網形状であることを特徴とする。
本発明の請求項7に係るカーボンナノチューブの製造装置は、前記支持体を、間隔をあけて複数設けたことを特徴とする。
本発明の請求項8に係るカーボンナノチューブの製造装置は、長尺状に成長した前記カーボンナノチューブを巻き取る巻取り部を備えることを特徴とする。
本発明の請求項9に係るカーボンナノチューブの製造装置は、触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体を加熱し、前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給して、コールドウォール方式で、前記支持体上に長尺状に成長させたことを特徴とする。
本発明の請求項10に係るカーボンナノチューブは、長手方向に継ぎ目がなく、長尺状に形成されたことを特徴とする。
本発明の請求項11に係るカーボンナノチューブの構造体は、請求項10に係るカーボンナノチューブが平行に複数連設してなることを特徴とする。
本発明によれば、線状の支持体に担持された触媒に炭素原料と触媒原料を継続的に供給することにより、CNTが拡散抵抗とならずに炭素原料と触媒原料が触媒に届くためにCNTの成長を継続し触媒の失活を抑制でき、またコールドウォール方式で線状の支持体のみを加熱してCNTを成長させるので、生成したCNTが低温に保たれてCNT上に炭素や触媒の不純物析出を抑えて継続的にCNTを成長させ、長尺状のCNTを製造することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
(全体構成)
図1に示すように、本実施形態に係るCNTの製造装置(以下、「製造装置」という。)1は、反応室2と、触媒を担持した支持体3と、前記支持体3を加熱する加熱部としての第1の加熱部4と、前記反応室2に原料ガスを供給する原料供給部5とを備える。本実施形態の場合、反応室2は、管状の容器で構成され、一側に設けられた触媒原料供給部7と、他側に設けられたCVD反応部8とを有する。
(全体構成)
図1に示すように、本実施形態に係るCNTの製造装置(以下、「製造装置」という。)1は、反応室2と、触媒を担持した支持体3と、前記支持体3を加熱する加熱部としての第1の加熱部4と、前記反応室2に原料ガスを供給する原料供給部5とを備える。本実施形態の場合、反応室2は、管状の容器で構成され、一側に設けられた触媒原料供給部7と、他側に設けられたCVD反応部8とを有する。
CVD反応部8には、上記支持体3の長手方向を反応室2の半径方向に配置した状態で、支持体3が保持されている。このCVD反応部8は、いわゆるコールドウォール型であって、特にヒータなどが設けられておらず、原料ガスと触媒が単独でもしくは互いに反応する温度未満、例えば、50℃以下に保持されている。反応室2の他端は、図示しない排気ダクトに連通されている。製造装置1は、コールドウォール方式のCVD法によって、CVD反応室8において選択的に加熱された支持体3上においてのみ原料ガスと触媒とを反応させることにより、支持体3上にCNT16(本図には図示しない)を長尺状に成長させる。
支持体3は、ワイヤーやリボンやメッシュなどの線状の部材で構成され、表面に触媒が担持されている。本実施形態の場合、支持体3は、図2に示すように、炭素で形成されたワイヤーからなり、当該支持体3表面に担体6としてのAl2O3層が形成されている。当該担体6上には、触媒14としてのFe層またはCo層が形成されている。なお、触媒14は、所定温度に加熱されることにより、粒子状に変化する。
この支持体3の両端は、導線4Aによって、反応室2の外に設けられた前記第1の加熱部4に電気的に接続されている。第1の加熱部4は、支持体3に電流を供給して、当該電流により支持体3にジュール熱を発生させる。これにより支持体3は、所定温度、この場合650℃〜850℃に加熱される。
原料供給部5は、炭素原料供給部10と触媒原料供給部7とを有し、原料ガスとして炭素原料ガスと触媒原料ガスとを供給する。
炭素原料供給部10は、本実施形態の場合、反応室2の一端から炭素原料を含有する炭素原料ガスを供給する。供給された炭素原料ガスは、反応室2の他端から排気される。炭素原料は、種々のものが考えられるが、例えば、C2H2(アセチレン)を用いることができる。
触媒原料供給部7は、本実施形態の場合、触媒原料を収容する容器12と、前記触媒原料が昇華する温度に当該触媒原料を加熱する第2の加熱部13とを有する。前記容器12は反応室2内の一側に配置される。触媒原料は、種々のものが考えられるが、例えば、Fe(C5H5)2(フェロセン)や、Co(C5H5)2(コバルトセン)などを用いることができる。第2の加熱部13は、本実施形態の場合、反応室2の一側の前記容器12が設置された周囲に巻回されたコイルで構成され、供給された電流によりジュール熱を発生させる。
また、本実施形態に係る製造装置1には、図3に示すように、巻取り部15を反応室2に設けてもよい。巻取り部15は、支持体3上に成長したCNT16を巻き取る。本実施形態の場合、CVD反応部8内には、支持体3が複数(4本)、平行に配置されている。巻取り部15は、支持体3の上方に配置され、当該支持体3の長手方向に直交する方向に巻取り軸17が突出形成されていて、CNTはワイヤー状に巻き取られる。なお、当該支持体3の長手方向に平行する方向に巻き取り軸17が突出形成されていると、シート状のCNTを巻き取ることができる。巻取り軸17は、反応室2の外部に設けられた図示しない駆動部に連結されており、当該駆動部の駆動力により、CNT16の成長に合わせて回転する。
(製造方法)
次に、上記製造装置1を用いて、本実施形態に係る長尺状のCNT16を製造する方法について説明する。まず、反応室2内のCVD反応部8に支持体3を設置する。当該支持体3は、第1の加熱部4から供給された電流によって780℃に加熱される。加熱されたことにより、支持体3上の触媒は、軟化して表面張力により粒子状に変化する。
次に、上記製造装置1を用いて、本実施形態に係る長尺状のCNT16を製造する方法について説明する。まず、反応室2内のCVD反応部8に支持体3を設置する。当該支持体3は、第1の加熱部4から供給された電流によって780℃に加熱される。加熱されたことにより、支持体3上の触媒は、軟化して表面張力により粒子状に変化する。
反応室2内には、C2H2が0.26vol%、H2Oが50ppmv、残部がArに調整された炭素原料ガスが一端から供給され、他端から排気される。また、反応室2内の触媒原料供給部7は、触媒原料のフェロセンを収容した容器12が設置されている。第2の加熱部13は、前記容器12を50℃に加熱して、触媒原料を昇華させ、触媒原料ガスを生成する。当該触媒原料ガスは、炭素原料ガスによってCVD反応部8に供給される。
このようにして、CVD反応部8に設置された支持体3に、炭素原料ガスと触媒原料ガスとからなる原料ガスが供給される。なお、原料ガスに含まれる触媒原料の濃度は、10ppmv以下である。支持体3上では、図2に示すように、粒子状に変化した触媒20と原料ガス中の炭素原料とが反応してCNT16が成長する。さらに、原料ガスによって触媒原料が継続的に供給されることにより、前記CNT16が継続的に成長する。
(効果)
本実施形態に係るCNT16の製造装置1では、線状の支持体3に担持された触媒に炭素原料と触媒原料を継続的に供給することにより、CNT16が拡散抵抗とならずに炭素原料と触媒原料が触媒に届くためにCNT16の成長を継続し触媒の失活を抑制でき、またコールドウォール方式で線状の支持体3のみを加熱してCNT16を成長させるので、生成したCNT16が低温に保たれてCNT16上に炭素や触媒の不純物析出を抑えて継続的にCNT16を成長させ、長尺状のCNT16を製造することができる。
本実施形態に係るCNT16の製造装置1では、線状の支持体3に担持された触媒に炭素原料と触媒原料を継続的に供給することにより、CNT16が拡散抵抗とならずに炭素原料と触媒原料が触媒に届くためにCNT16の成長を継続し触媒の失活を抑制でき、またコールドウォール方式で線状の支持体3のみを加熱してCNT16を成長させるので、生成したCNT16が低温に保たれてCNT16上に炭素や触媒の不純物析出を抑えて継続的にCNT16を成長させ、長尺状のCNT16を製造することができる。
したがって、製造装置1は、長手方向に継ぎ目がない長尺状のCNT16を製造することができる。
製造装置1は、支持体3を第1の加熱部4により選択的に加熱することにより、成長したCNT16の基端のみで炭素原料と触媒原料を反応させることができるので、基端から継続的に伸びる長いCNT16を製造することができる。
また、支持体3を第1の加熱部4により選択的に加熱することにより、成長したCNT16の表面と原料ガスとは、反応しない温度に保持されるので、成長したCNT16の表面における触媒原料と炭素原料との反応を抑制することができる。
さらに、製造装置1は、支持体3を第1の加熱部4により選択的に加熱する構成としたことにより、触媒と原料とが反応する温度にCVD反応部8全体を加熱する場合に比べ、全体として小型化を実現することができる。
本実施形態に係る製造装置1は、巻取り部15を設けた場合には、成長するCNT16を連続的に紡ぐことにより、反応室2より長いCNT16を製造することができる。
(実施例)
次に本発明に係る一実施例について説明する。反応室には、石英ガラス管を用いた。支持体には、14mm×5mm×0.2mmのリボン形状を有する炭素板を用いた。支持体上には、担体として20nm厚のAl2O3層と、当該Al2O3層上に触媒として0.8nm厚のFe層とが、スパッタ法により形成されている。支持体の加熱温度は、780℃とした。
次に本発明に係る一実施例について説明する。反応室には、石英ガラス管を用いた。支持体には、14mm×5mm×0.2mmのリボン形状を有する炭素板を用いた。支持体上には、担体として20nm厚のAl2O3層と、当該Al2O3層上に触媒として0.8nm厚のFe層とが、スパッタ法により形成されている。支持体の加熱温度は、780℃とした。
炭素原料ガスは、C2H2を0.26vol%、H2Oを50ppmv含有し、残部がArからなる混合ガスを用いた。触媒原料は、Fe(C5H5)2を用い、第2の加熱部により、50℃に加熱した。
反応室を上記条件に保持し、支持体上で12時間、CNTを成長させた。図4に示すように、CNTは、12時間で約2cmの長さに成長した。ラマン分光法で確認したところ、このCNTは、多層CNTであった。本実施例では、反応時間を12時間としたが、図5に示すように、CNTの成長は停止していないので、反応時間をさらに長くすることにより、より長い長尺状のCNTを製造することができると考えられる。比較例として触媒原料を供給しなかった場合には、図6に示すように、反応開始後、5分程度、長さ0.5mm程度でCNTの成長が停止したことが確認できた。これは、支持体上のCNTの基端における触媒が失活したことによるものと考えられる。
図7に示すように、CNTは、支持体に対し垂直方向に継続的に成長していることが確認できた。
(変形例)
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
例えば、上記実施形態では、ワイヤーからなる支持体3によって、長尺状のCNTを製造する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、ワイヤーからなる支持体3によって、図8に示すように、長尺状のCNTを平行に複数連設してシート状のCNT構造体20を製造することも可能である。この場合、隣り合うCNT同士は、ファンデルワールス力により、一体化する。
また、断面が円形のワイヤーからなる支持体3を用いて、この支持体3の全面に担体6と触媒14を担持することで、図9に示すように、支持体3に対し垂直方向に放射状に長尺状のCNT16が複数配置されたブラシ状のCNT構造体19を作ることも可能となる。
さらに、ワイヤーを環状に形成した支持体を用いることにより、長尺状のCNTを平行に複数連設して管状のCNT構造体を製造することも可能となる。
また、支持体3がワイヤーである場合について説明したが、本発明はこれに限らず、図10に示すように、複数のワイヤー21を交差させた網形状としてもよい。網形状の支持体3Bを用いた場合は、図11に示すように、長尺状のCNTを平行に複数連設してハニカム状のCNT構造体22を製造することが可能となる。
また、製造装置は、図12に示すように、支持体3Bを、互いに間隔をあけて表面に対し平行に複数設けることとしてもよい。
また、支持体が網形状である場合は、網目状に隙間を有する板状の部材で構成することとしてもよい。
また、上記実施形態では、断面が円形のワイヤーからなる支持体3を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、図13に示すように、断面が矩形のリボン状の支持体3Cを用いてもよい。
また、第2の加熱部13は、赤外線により触媒原料を加熱することとしてもよい。また、触媒原料は、第2の加熱手段で昇華させて供給する場合について説明したが、触媒原料を有機溶媒に溶かした触媒液を気化させることにより供給することとしてもよい。
また、上記実施形態では、反応室2が、一側に設けられた触媒原料供給部7と、他側に設けられたCVD反応部8とを有する、いわゆる横型である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、初期加熱部とCVD反応部が上下に配置されたいわゆる縦型であってもよい。
また、上記実施形態では、反応室2に触媒原料供給部7を設けた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、触媒原料供給部7を反応室2と別体に設けることとしてもよい。この場合、図示しないが、触媒原料供給部は、供給路により反応室に連通され、前記供給路を通じて触媒原料供給部において昇華された触媒原料をCVD反応部に供給することとしてもよい。
また、触媒原料供給部7は、第2の加熱部を有する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、第2の加熱部を設けずに、常温にて触媒原料を昇華ないし蒸発させてCVD反応部へ触媒原料を供給してもよい。
1 製造装置(カーボンナノチューブの製造装置)
2 反応室
3 支持体
3B 支持体
3C 支持体
4 第1の加熱部(加熱部)
4A 導線
5 原料供給部
6 担体
7 触媒原料供給部
8 CVD反応部
10 炭素原料供給部
12 容器
13 第2の加熱部
14 触媒
15 巻取り部
16 カーボンナノチューブ
17 巻取り軸
19 カーボンナノチューブ構造体
20 カーボンナノチューブ構造体
21 ワイヤー
22 カーボンナノチューブ構造体
2 反応室
3 支持体
3B 支持体
3C 支持体
4 第1の加熱部(加熱部)
4A 導線
5 原料供給部
6 担体
7 触媒原料供給部
8 CVD反応部
10 炭素原料供給部
12 容器
13 第2の加熱部
14 触媒
15 巻取り部
16 カーボンナノチューブ
17 巻取り軸
19 カーボンナノチューブ構造体
20 カーボンナノチューブ構造体
21 ワイヤー
22 カーボンナノチューブ構造体
Claims (11)
- カーボンナノチューブを長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体を加熱するステップと、
前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給するステップと
を備え、
コールドウォール方式で、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを長尺状に成長させる
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 前記支持体は、前記線状の部材を交差させた網形状であることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記支持体を、間隔をあけて複数積層したことを特徴とする請求項2記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 長尺状に成長した前記カーボンナノチューブを巻き取るステップを備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブを長尺状に成長させるカーボンナノチューブの製造装置において、
触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体と、
前記支持体を加熱する加熱部と、
前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給する原料供給部と
を備え、
コールドウォール方式で、前記支持体上に前記カーボンナノチューブを長尺状に成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。 - 前記支持体は、前記線状の部材を交差させた網形状であることを特徴とする請求項5記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 前記支持体を、間隔をあけて複数設けたことを特徴とする請求項6記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 長尺状に成長した前記カーボンナノチューブを巻き取る巻取り部を備えることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造装置。
- 触媒を担持した1または2以上の線状の部材を有する支持体を加熱し、前記支持体に炭素原料と触媒原料とを含有する原料ガスを供給して、コールドウォール方式で、前記支持体上に長尺状に成長させたことを特徴とするカーボンナノチューブ。
- 長手方向に継ぎ目がなく、長尺状に形成されたことを特徴とするカーボンナノチューブ。
- 請求項10に係るカーボンナノチューブが平行に複数連設してなることを特徴とするカーボンナノチューブ構造体。
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JP2012126637A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Boeing Co:The | 極めて長いカーボンナノチューブを化学蒸着させるための増強された反応器 |
JP2015174797A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | ヤマハ株式会社 | Cnt成長用基板、及びカーボンナノチューブの製造方法 |
JP2020525399A (ja) * | 2017-06-26 | 2020-08-27 | ナワテクノロジー | 基材に固定されたカーボンナノチューブの製造方法 |
-
2010
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