JP6574547B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
11 チャンバ
12 サセプタ
13 フォーカスリング
14 上部電極
15,15a〜15g LC回路
16 VF電源
18,27 内側電極
19,28 外側電極
20,39 側壁電極
22 スイッチングボックス
24 サーキュレータ
26 内側電極
29 コンデンサ
Claims (20)
- 基板を収容してプラズマによって前記基板に処理を施す処理室と、
前記処理室内で前記プラズマを生成する電極と、
前記電極に接続され、該電極へ供給される高周波電力の周波数を所定の範囲で連続的に変化させる周波数可変電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記周波数可変電源から発して前記プラズマを経由する複数の高周波電流の経路が存在し、前記複数の高周波電流の経路は少なくとも第1の経路及び第2の経路を含み、
前記第1の経路の反射最小周波数と、前記第2の経路の反射最小周波数とは異なり、
前記プラズマ処理装置は、前記周波数可変電源から発する高周波電流の周波数を、前記第1の経路の反射最小周波数及び前記第2の経路の反射最小周波数を含むように変化させることにより、前記第1の経路を流れる高周波電流の量と、前記第2の経路を流れる高周波電流の量とを調整する調整手段をさらに備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1の経路の反射最小周波数及び前記第2の経路の反射最小周波数の差は2MHz以内であることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する前記電極としての載置台と、前記載置された基板を囲むように配置されるフォーカスリングとをさらに備え、
前記載置台には前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記載置台、前記載置された基板及び前記プラズマを経由し、
前記第2の経路は前記載置台、前記フォーカスリング及び前記プラズマを経由することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記載置台と前記プラズマを介して対向する対向電極をさらに備え、
前記対向電極は、前記基板に対向する内側電極と、前記フォーカスリングに対向し且つ前記内側電極を囲むように配置される外側電極とを有し、
前記第1の経路はさらに前記内側電極を経由し、
前記第2の経路はさらに前記外側電極を経由することを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する前記電極としての載置台をさらに備え、 前記処理室は側壁において前記プラズマに面する側壁電極を有し、
前記載置台及び前記側壁電極に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記載置台、前記載置された基板及び前記プラズマを経由し、
前記第2の経路は前記側壁電極及び前記プラズマを経由することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する前記電極としての載置台と、前記処理室外に配置されて容量を変化させる容量変化スイッチングボックスとをさらに備え、
前記載置台に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記載置台、前記載置された基板、前記プラズマ及び前記容量変化スイッチングボックスを経由し、
前記容量変化スイッチングボックスの容量は、前記プラズマの着火前後における前記プラズマの容量の変化に応じて変化することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する前記電極としての載置台と、前記載置台に前記プラズマを介して対向する対向電極と、前記対向電極及び接地の間に配置されるサーキュレータとをさらに備え、
前記載置台に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記載置台、前記載置された基板及び前記プラズマを経由し、
前記第2の経路は前記サーキュレータ、前記対向電極及び前記プラズマを経由することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する載置台と、前記載置台に前記プラズマを介して対向する前記電極としての対向電極とをさらに備え、
前記対向電極は、少なくとも第1の電極及び第2の電極に分割され、
前記第1の電極及び前記第2の電極に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記第1の電極及び前記プラズマを経由し、
前記第2の経路は前第2の電極及び前記プラズマを経由することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記周波数可変電源と、前記第1の経路及び前記第2の経路の分岐点との間にコンデンサが介在することを特徴とする請求項8記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の経路において前記周波数可変電源及び前記第1の電極は容量結合し、
前記第2の経路において前記周波数可変電源及び前記第2の電極は容量結合することを特徴とする請求項8又は9記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の電極は内側電極であり、前記第2の電極は前記内側電極を囲むように配置される外側電極であることを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する載置台と、前記載置台に前記プラズマを介して対向する前記電極としての対向電極とをさらに備え、
前記処理室は側壁において前記プラズマに面する側壁電極を有し、
前記対向電極及び前記側壁電極に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記対向電極及び前記プラズマを経由し、
前記第2の経路は前記側壁電極及び前記プラズマを経由することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理室内に配置されて前記基板を載置する載置台と、前記載置台に前記プラズマを介して対向する前記電極としての対向電極と、前記処理室外に配置されて容量を変化させる容量変化スイッチングボックスとをさらに備え、
前記対向電極に前記周波数可変電源が接続され、
前記第1の経路は前記対向電極、前記プラズマ、前記載置された基板、前記載置台及び前記容量変化スイッチングボックスを経由し、
前記容量変化スイッチングボックスの容量は、前記プラズマの着火前後における前記第1の経路のインピーダンスの変化に応じて変化することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の経路及び前記第2の経路の少なくとも一方はインピーダンス調整回路を含むことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 平行平板容量結合型のプラズマ処理装置であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 基板を収容してプラズマによって前記基板に処理を施す処理室と、前記処理室内で前記プラズマを生成する電極と、前記電極に接続され、該電極へ供給される高周波電力の周波数を所定の範囲で連続的に変化させる周波数可変電源とを備え、前記周波数可変電源から発して前記プラズマを経由する複数の高周波電流の経路が存在し、前記複数の高周波電流の経路は少なくとも第1の経路及び第2の経路を含み、前記第1の経路の反射最小周波数と、前記第2の経路の反射最小周波数とは異なるプラズマ処理装置におけるプラズマ処理方法であって、
前記周波数可変電源は、前記第1の経路の反射最小周波数及び前記第2の経路の反射最小周波数を含むように、発する前記高周波電流の周波数を変化させることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記第1の経路の反射最小周波数及び前記第2の経路の反射最小周波数の差は2MHz以内であることを特徴とする請求項16記載のプラズマ処理方法。
- 前記周波数可変電源は、前記第1の経路の反射最小周波数の高周波電流の発生と、前記第2の経路の反射最小周波数の高周波電流の発生とを交互に繰り返すことを特徴とする請求項16又は17記載のプラズマ処理方法。
- 前記第1の経路の反射最小周波数の高周波電流の発生期間及び前記第2の経路の反射最小周波数の高周波電流の発生期間の比率は、前記第1の経路の反射最小周波数における高周波電流の反射率及び前記第2の経路の反射最小周波数における高周波電流の反射率の比率に応じて決定されることを特徴とする請求項16乃至18のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記周波数可変電源は、前記第1の経路の反射最小周波数及び前記第2の経路の反射最小周波数の間の周波数の高周波電力を供給することを特徴とする請求項16又は17記載のプラズマ処理方法。
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