JP6572607B2 - ダイヤフラム式アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、ダイヤフラム式アクチュエータに関する。

従来、エンジンのターボチャージャにおけるウェイストゲートバルブの弁体を開閉するアクチュエータとして、例えばダイヤフラム式アクチュエータが採用されている（例えば、特許文献１参照）。ダイヤフラム式アクチュエータは、弁体に接続された作動ロッドと、この作動ロッドを駆動するダイヤフラムと、作動ロッドの軸線方向においてダイヤフラムを挟んで隣接する低圧室及び高圧室と、低圧室内に配置されダイヤフラムを付勢する復帰スプリングとを備えている。

特開平７−２６９５１２号公報

例えば、ウェイストゲートバルブが開状態から閉状態となる際には、ウェイストゲートバルブの弁体が、開口部の周縁部である弁座（シート面）に密着する。作動ロッドによる駆動力が強いと、弁座に対して弁体が当たる際に接触音が発生する。高圧室に正圧を印加することで、作動ロッドを押し出すタイプの正圧タイプのダイヤフラム式アクチュエータでは、高圧室の内部の圧力に抗して、ウェイストゲートバルブの弁体を閉状態に保持するために、作動ロッドを押し出す方向の反対方向にダイヤフラムを付勢する必要がある。そのため、正圧タイプのダイヤフラム式アクチュエータでは、復帰スプリングのバネ係数が高く設定されている。従って、復帰スプリングによって、ダイヤフラムが強く付勢されることで、作動ロッドが勢いよく戻されることになり、弁体が弁座に当たる際の力が増大し、弁座と弁体とが当たる際の接触音が大きくなる。

本発明は、押し出された作動ロッドが戻る際の駆動力を緩和することが可能なダイヤフラム式アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明は、作動ロッドを作動ロッドの軸線方向に駆動するダイヤフラム式アクチュエータであって、作動ロッドに連結され作動ロッドに駆動力を伝達するダイヤフラムと、ダイヤフラムの軸線方向における一端側に隣接する高圧室と、ダイヤフラムの軸線方向における他端側に隣接する低圧室と、低圧室に設けられ、ダイヤフラムを高圧室側に付勢する復帰スプリングと、高圧室のダイヤフラムに対向する壁面に設けられた吸収部と、を備える。

このダイヤフラム式アクチュエータでは、高圧室の内部圧力が降下すると、低圧室の内部に設けられた復帰スプリングがダイヤフラムを付勢して高圧室側に移動し、作動ロッドが一端側に駆動される。このダイヤフラム式アクチュエータでは、ダイヤフラムが高圧室側に移動して停止する際に、ダイヤフラムに作用する力が吸収部によって吸収されるので、他端側に押し出された作動ロッドが一端側に戻されて停止する際の作動ロッドによる駆動力を緩和することができる。

また、吸収部は、高圧室のダイヤフラムに対向する壁面に設けられ、軸線方向において、ダイヤフラムと対向して配置された弾性部材を備える構成でもよい。この構成によれば、ダイヤフラムが高圧室側に移動して、高圧室のダイヤフラムに対向する壁面に最も接近したときに、ダイヤフラムが弾性部材に当たる。これにより、ダイヤフラムに作用する力を弾性部材によって吸収させて、作動ロッドによる駆動力を緩和することができる。

また、弾性部材は、他端側に配置された第１の弾性部と、一端側に配置された第２の弾性部と、を備え、第１の弾性部のバネ係数は、第２の弾性部のバネ係数より低い構成でもよい。高圧室の内部で他端側に配置された第１の弾性部は、一端側に配置された第２の弾性部よりもダイヤフラムに近い方に配置されている。ダイヤフラムが高圧室側に移動すると、ダイヤフラムは、第２の弾性部よりも先に第１の弾性部に当たる。ダイヤフラムに作用する力は、まず、バネ係数が低い方の第１の弾性部によって吸収され、そのあとに、バネ係数が高い方第２の弾性部によって吸収される。そのため、ダイヤフラムの高圧室側への移動量が少ないときには、ダイヤフラムに作用する力を比較的弱く吸収させて、ダイヤフラムの高圧室側への移動量がさらに増加したときには、ダイヤフラムに作用する力をより強く吸収させることができる。

弾性部材は、軸線方向に沿うように配置された圧縮コイルバネであり、圧縮コイルバネは、一端側から他端側に向かうにつれて、コイルの外径が小さくなるように形成され、他端側に配置された第１のコイルは、第１のコイルの一端側に隣接する第２のコイルより径方向内側に配置されている構成でもよい。この構成によれば、ダイヤフラムに近づくにつれて、圧縮コイルバネのバネ係数を低くすることができるので、ダイヤフラムの高圧室側への移動量が少ないときには、ダイヤフラムに作用する力を比較的弱く吸収させて、ダイヤフラムの高圧室側への移動量が増加するにつれて、ダイヤフラムに作用する力をより強く吸収させることができる。

また、作動ロッドの一端側には、ダイヤフラムから高圧室の内部に突出する突出部が設けられている構成でもよい。これにより、作動ロッドの一端側に設けられた突出部を吸収部に押し当てることで、ダイヤフラム及び作動ロッドに作用する力を緩和することができる。

また、吸収部は、軸線方向において突出部に対向して配置された吸収膜を備える構成でもよい。これにより、吸収膜に突出部を押し当てることで、突出部に作用する力を吸収して吸収させることができる。その結果、ダイヤフラム及び作動ロッドに作用する力を緩和することができる。

また、高圧室のダイヤフラムに対向する壁体には、突出部が進入可能な凹部が形成され、当該凹部に吸収部が配置されている構成でもよい。この構成によれば、凹部内に突出部を進入させると共に、凹部内に配置された吸収部に突出部を当てることができる。これにより、突出部の移動量を確保しつつ、突出部に作用する力を吸収させて、ダイヤフラム及び作動ロッドに作用する力を緩和することができる。

本発明のダイヤフラム式アクチュエータによれば、作動ロッドによる駆動力を緩和することができる。

本発明の実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータを備えた車両用過給機を示す断面図である。 図１に示す車両用過給機の側面図であり、車両用過給機の側面に取り付けられたダイヤフラム式アクチュエータを示す図である。 図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第２実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第３実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第４実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第５実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第６実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第７実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第８実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。 本発明の第９実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータの断面図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

（過給機）
図１〜図３に示される過給機１は、車両用の過給機であり、図示しないエンジンから排出された排気ガスを利用して、エンジンに供給される空気を圧縮するものである。この過給機１は、図３に示すウェイストゲートバルブ２０を開閉するダイヤフラム式アクチュエータ５０を備えている。この過給機１は、タービン２とコンプレッサ（遠心圧縮機）３とを備える。タービン２は、タービンハウジング４と、タービンハウジング４に収納されたタービン翼車６と、を備えている。コンプレッサ３は、コンプレッサハウジング５と、コンプレッサハウジング５に収納されたコンプレッサ翼車７と、を備えている。

タービン翼車６は回転軸１４の一端に設けられており、コンプレッサ翼車７は回転軸１４の他端に設けられている。タービンハウジング４とコンプレッサハウジング５との間には、軸受ハウジング１３が設けられている。回転軸（ロータ軸）１４は、軸受１５を介して軸受ハウジング１３に回転可能に支持されている。過給機１は、タービンロータ軸１６を備え、このタービンロータ軸１６は、回転軸１４と、この回転軸１４の一端に設けられたタービン翼車６とを備えている。タービンロータ軸１６及びコンプレッサ翼車７は一体の回転体として回転する。

タービンハウジング４には、排気ガス流入口８及び排気ガス流出口１０が設けられている。エンジンから排出された排気ガスは、排気ガス流入口８を通じてタービンハウジング４内に流入し、タービン翼車６を回転させ、その後、排気ガス流出口１０を通じてタービンハウジング４外に流出する。

コンプレッサハウジング５には、吸入口９及び吐出口１１が設けられている。上記のようにタービン翼車６が回転すると、タービンロータ軸１６及びコンプレッサ翼車７が回転する。回転するコンプレッサ翼車７は、吸入口９を通じて外部の空気を吸入し、圧縮して吐出口１１から吐出する。吐出口１１から吐出された圧縮空気は、エンジンに供給される。

図１及び図３に示されるように、タービンハウジング４の内部には、排気ガス流入口８から導入した排気ガスの一部を、タービン翼車６をバイパスさせて排気ガス流出口１０側へ導出するためのバイパス通路（図３参照）１７が形成されている。バイパス通路１７は、タービン翼車６側へ供給される排気ガスの流量を可変とするためのガス流量可変通路である。

（ウェイストゲートバルブ）
タービンハウジング４の内部には、流量可変バルブ機構の１つとしてウェイストゲートバルブ２０が設けられている。ウェイストゲートバルブ２０は、バイパス通路１７の開口部を開閉するバルブである。ウェイストゲートバルブ２０は、タービンハウジング４の外壁に対して回転可能に支持されたステム２１と、ステム２１からステム２１の径方向に張り出す揺動片２２と、揺動片２２に支持された弁体２３と、を備えている。

タービンハウジング４の外壁には、外壁の板厚方向に貫通する支持穴２４が形成されている。この支持穴２４内には、円筒状のブッシュ２５が挿通されている。このブッシュ２５は、タービンハウジング４の外壁に対して固定されている。

ステム２１は、ブッシュ２５に挿通されて、タービンハウジング４の外壁に対して、回転可能に支持されている。揺動片２２はステム２１に対して固定されている。ステム２１は、ステム２１の軸線回りに回転し、揺動片２２を揺動させる。揺動片２２の先端部には、弁体２３を取付けるための取付穴が設けられている。

弁体２３は、バイパス通路１７の開口部の周縁部に当接離隔可能なものであり、例えば円盤状を成している。弁体２３には、バイパス通路１７の開口部とは反対側に突出するバルブ軸２６が設けられている。バルブ軸２６は、揺動片２２の先端部の取付穴に挿通されている。バルブ軸２６の弁体２３とは反対側の端部には止め金２７が固定されており、この止め金２７によって、取付穴に挿通されたバルブ軸２６が保持されている。弁体２３は、揺動片２２に対して微動（傾動を含む）可能に支持されている。これにより、弁体２３が揺動片２２に対して微動するので、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部（弁座）に対して密着する。そして、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当接してウェイストゲートバルブ２０が閉状態となり、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部から離れてウェイストゲートバルブ２０が開状態となる。

また、ステム２１のタービンハウジング４の外部に配置された端部には、ステム２１の径方向に突出する板状のリンク部材２８が固定されている。リンク部材２８の先端部には、連結ピン２９が挿通される取付穴が形成され、この取付穴に連結ピン２９が挿通されている。また、この連結ピン２９は、後述するダイヤフラム式アクチュエータ５０の作動ロッド５１の先端部である他端部５１ｂに形成された取付穴に挿通されている。連結ピン２９の一方の端部はカシメによって作動ロッド５１に固定されている。連結ピン２９の他方の端部には、クリップ３０が装着されて、連結ピン２９の取付穴からの脱落が防止されている。ステム２１は、リンク部材２８及び連結ピン２９を介して、ダイヤフラム式アクチュエータ５０の作動ロッド５１に連結されている。

（ダイヤフラム式アクチュエータ）
次に、ダイヤフラム式アクチュエータ５０について説明する。ダイヤフラム式アクチュエータ５０は、図２及び図３に示されるように、コンプレッサハウジング５から側方に突出するブラケット１８に固定されている。

ダイヤフラム式アクチュエータ５０は、図４に示されるように、作動ロッド５１と、この作動ロッド５１を軸線方向に駆動するアクチュエータ本体５２とを備えている。アクチュエータ本体５２は、作動ロッド５１に連結され作動ロッド５１に駆動力を伝達するダイヤフラム５３と、ダイヤフラム５３の一方側に隣接する高圧室５５と、ダイヤフラム５３の他方側に隣接する低圧室５４と、低圧室５４の内部に設けられ、ダイヤフラム５３を高圧室５５側に付勢する復帰スプリング５６とを備えている。作動ロッド５１は、アクチュエータ本体５２によって駆動される棒状の部材である。

アクチュエータ本体５２は、内部に低圧室５４を形成する低圧側カップ部５８と、内部に高圧室５５を形成する高圧側カップ部５９とを備える。低圧側カップ部５８及び高圧側カップ部５９は、鉄などの金属から形成されている。低圧側カップ部５８は、円筒部５８ａと、この円筒部５８ａの他端側（図示左側）を閉じる正面壁５８ｂとを備えている。円筒部５８ａの一端側には、開口部の周縁部から円筒部５８ａの径方向に張り出すフランジ部５８ｃが設けられている。

高圧側カップ部５９は、円筒部５９ａと、この円筒部５９ａの一端側（図示右側）を閉じる背面壁５９ｂとを備えている。円筒部５９ａの他端側には、開口部の周縁部から円筒部５９ａの径方向に張り出すフランジ部５９ｃが設けられている。高圧側カップ部５９の円筒部５９ａの内径は、低圧側カップ部５８の円筒部５８ａの内径に対応している。なお、円筒部５８ａ，５９ａ同士の内径は、同一であってもよく、同一でなくてもよい。また、背面壁５９ｂの中央部には、作動ロッド５１を挿通させる開口部が形成されている。また、円筒部５９ａには、ノズル５９ｄが設けられている。このノズル５９ｄには、例えば、コンプレッサハウジング５の吸気圧力とエンジン側ポンプ（不図示）のブースト制御圧力の混合された圧力が印加される。

低圧側カップ部５８及び高圧側カップ部５９は、作動ロッド５１の軸線方向において、ダイヤフラム５３を挟んで、互いの開口部が対向するように配置されて接合されている。ダイヤフラム５３は、例えば円形を成し、ダイヤフラム５３の周縁部は、低圧側カップ部５８及び高圧側カップ部５９のフランジ部５８ｃ，５９ｃによって挟持されている。低圧側カップ部５８及び高圧側カップ部５９のフランジ部５８ｃ，５９ｃ同士は、例えばカシメによって接合されている。低圧側カップ部５８と高圧側カップ部５９とは、例えば、溶接によって接合されていてもよく、ねじを用いて接合されていてもよく、その他の方法によって接合されていてもよい。

ダイヤフラム５３は、円筒部５８ａ，５９ａの内径よりも大きな外形を有している。低圧側カップ部５８及び高圧側カップ部５９の内部において、ダイヤフラム５３の中央部が作動ロッド５１の軸線方向に移動可能となっている。

ダイヤフラム５３の一方（図示右側）の面には、高圧側リテーナ６２が設けられ、ダイヤフラム５３の他方（図示左側）の面には、低圧側リテーナ６１が設けられている。低圧側リテーナ６１及び高圧側リテーナ６２は、例えば鉄などの金属から形成されている。低圧側リテーナ６１は、ダイヤフラム５３の一方の面に当接する円盤状のリテーナ本体６１ａと、リテーナ本体６１ａの外周側の周縁部から作動ロッド５１の軸線方向に突出する突出部６１ｂと、を備えている。高圧側リテーナ６２は、ダイヤフラム５３の他方の面に当接する円盤状のリテーナ本体６２ａと、リテーナ本体６２ａの外周側の周縁部から作動ロッド５１の軸線方向に突出する突出部６２ｂと、を備えている。高圧側リテーナ６２のリテーナ本体６２ａの外径は、低圧側リテーナ６１のリテーナ本体６１ａの外径より小さくなっている。また、リテーナ本体６１ａ，６２ａの中央部には、開口部が形成されている。

作動ロッド５１の一端部５１ａは、ダイヤフラム５３に連結されている。具体的には、作動ロッド５１の一端部５１ａは、低圧側リテーナ６１の開口部、ダイヤフラム５３の開口部、及び高圧側リテーナ６２の開口部に挿通されて、例えば、カシメによって、低圧側リテーナ６１及び高圧側リテーナ６２に対して固定されている。低圧側リテーナ６１及び高圧側リテーナ６２は、作動ロッド５１の軸線方向において両側から、ダイヤフラム５３の中央部を挟んで支持している。なお、作動ロッド５１と、ダイヤフラム５３との連結方法は、カシメによって連結する方法に限定されない。例えば、作動ロッド５１の一端部にネジ部を形成し、このネジ部にナットを締め付けることで、作動ロッド５１を、低圧側リテーナ６１及び高圧側リテーナ６２を介して、ダイヤフラム５３に連結してもよい。

また、復帰スプリング５６は、例えば圧縮コイルバネであり、復帰スプリング５６の一端部は、低圧側リテーナ６１のリテーナ本体６１ａに当接し、復帰スプリング５６の他端部は、低圧側カップ部５８の正面壁５８ｂに当接している。復帰スプリング５６は、作動ロッド５１の軸線方向に伸長、圧縮可能であり、低圧側リテーナ６１を高圧室５５側に付勢することで、ダイヤフラム５３を高圧室５５側に付勢する。

作動ロッド５１は、ダイヤフラム５３から低圧室５４側に延在し、低圧側カップ部５８の正面壁５８ｂを貫通して、低圧室５４の外部に延出している。正面壁５８ｂの開口部に対応する位置には、作動ロッド５１を保持する軸受け部６３が設けられている。

軸受け部６３は、円筒状のブッシュ６４と、ブッシュ６４を収容するブッシュ収容部６５とを備えている。ブッシュ収容部６５は、円筒部６５ａと、正面壁６５ｂと、を備える。円筒部６５ａは、ブッシュ６４の外周面を覆うように配置されている。正面壁６５ｂは、円筒部６５ａの他端側で、径方向の内側に張り出すように形成されている。正面壁６５ｂの中央部には、作動ロッド５１を挿通させる開口部が形成されている。正面壁６５ｂは、ブッシュ６４の他端側の端面を覆うように配置されている。

円筒部６５ａの一端側は、低圧室５４の正面壁５８ｂに連続している。ブッシュ６４は、作動ロッド５１の軸線方向において、低圧側カップ部５８の正面壁５８ｂよりも、外方に張り出すように配置されている。また、ブッシュ６４の一端側の端面は、低圧側カップ部５８の正面壁５８ｂよりも内側に張り出さないように配置されている。

ここで、ダイヤフラム式アクチュエータ５０は、高圧室５５の内部で、作動ロッド５１の軸線方向において、高圧側リテーナ６２と背面壁５９ｂとの間に、圧縮コイルバネ（吸収部、弾性部材）６６を備えている。

圧縮コイルバネ６６は、作動ロッド５１と同軸上に配置されている。圧縮コイルバネ６６の一端部は、高圧室５５の背面壁５９ｂの内壁面に当接し、圧縮コイルバネ６６の他端部は、高圧側リテーナ６２のリテーナ本体６２ａに当接している。また、圧縮コイルバネ６６のバネ係数は、復帰スプリング５６のバネ係数より低く設定されている。

そして、圧縮コイルバネ６６は、一端側から他端側に向かうにつれて、コイルの外径が小さくなっている。圧縮コイルバネ６６の軸線方向に隣接するコイル６６ａ，６６ｂにおいて、他端側に配置されたコイル（第１のコイル）６６ａは、一端側に配置されたコイル（第２のコイル）６６ｂよりも、コイルの径方向内側に配置されている。換言すると、コイル６６ａのコイル外径は、コイル６６ｂのコイル内径よりも小さくなっている。例えば、コイルバネの形状によって、圧縮コイルバネ６６が圧縮された場合には、コイル６６ａは、コイルの径方向において、コイル６６ｂの内側に収まることになる。なお、コイルの径方向は、圧縮コイルバネ６６の軸線方向に直交する方向である。図４では、圧縮コイルバネ６６の軸線方向は、作動ロッド５１の軸線方向に一致しているので、コイルの径方向は作動ロッド５１の軸線方向に直交する方向となる。

また、圧縮コイルバネ６６は、コイルの線径が等しく、一端側から他端側に向かうにつれて、コイルの外径が小さくなっているので、軸線方向において、バネ係数を変化させることができる。具体的には、ダイヤフラム５３に近い方のバネ係数を低くし、背面壁５９ｂに近い方のバネ係数を高くすることができる。そのため、ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に移動し始めたときは、圧縮コイルバネ６６によって、ダイヤフラム５３は比較的弱い力で低圧室５４側に付勢される。そして、ダイヤフラム５３の中央部の高圧室５５への移動量が増え、ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに接近するのに従い、圧縮コイルバネ６６によってダイヤフラム５３を付勢する力が増加する。ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに最も接近したときに、圧縮コイルバネ６６によって付勢する力が最大となる。

次に、過給機１の作用、効果について説明する。

排気ガス流入口８から流入した排気ガスはタービンスクロール流路４ａを通過して、タービン翼車６の入口側に供給される。タービン翼車６は供給された排気ガスの圧力を利用して、回転力を発生させ、回転軸１４及びコンプレッサ翼車７をタービン翼車６と一体的に回転させる。これにより、コンプレッサ３の吸入口９から吸入した空気を、コンプレッサ翼車７を用いて圧縮する。コンプレッサ翼車７によって圧縮された空気は、ディフューザー流路５ａ及びコンプレッサスクロール流路５ｂを通過して吐出口１１から排出される。吐出口１１から排出された空気は、エンジンに供給される。

過給機１の運転中に、過給圧（吐出口１１から排出される空気の圧力）が設定圧に達すると、ポンプによって、ダイヤフラム式アクチュエータ５０の高圧室５５に正圧が印加される。例えば、低圧室５４の内部の圧力が大気圧である場合には、高圧室５５には、大気圧よりも高い圧力が印加される。このとき、高圧室５５の内部圧力は、低圧室５４の内部圧力より高く、高圧室５５の内部圧力によって、ダイヤフラム５３が付勢されて、ダイヤフラム５３の中央部は低圧室５４側に移動する。復帰スプリング５６は圧縮された状態となり、圧縮コイルバネ６６は伸長した状態となる。

高圧室５５に正圧が印加されている状態では、ダイヤフラム５３の中央部は低圧側カップ部５８の正面壁５８ｂに接近した状態となっている。作動ロッド５１は軸線方向において他端側に押し出された状態であり、作動ロッド５１による押出し力（駆動力）は、この作動ロッド５１に連結されたリンク部材２８、ステム２１及び揺動片２２を介して、弁体２３に伝達される。これにより、弁体２３は、バイパス通路１７の開口部の周縁部から離れるように移動して、ウェイストゲートバルブ２０は、開状態となる。このとき、排気ガス流入口８から流入した排気ガスの一部は、バイパス通路１７を通過し、タービン翼車６をバイパスする。そのため、タービン翼車６に供給される排気ガスの流量を減少させることができる。

そして、過給機１の運転中に、過給圧が設定圧未満になると、コンプレッサハウジング５内の吸気圧力とエンジン側ポンプのブースト制御圧力の混合率を制御することで、高圧室５５の内部圧力が降下して、高圧室５５の内部圧力は低圧室５４の内部圧力に近づくことになる。このとき、圧縮された状態であった復帰スプリング５６は伸長され、ダイヤフラム５３は、復帰スプリング５６によって付勢されて、ダイヤフラム５３の中央部は高圧室５５側に移動する。

ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に移動すると、ダイヤフラム５３の中央部の移動に伴って、作動ロッド５１は軸線方向において、一端側に移動する。作動ロッド５１は軸線方向において一端側に押し戻された状態であり、作動ロッド５１による一端側への駆動力は、リンク部材２８に伝達される。リンク部材２８は、ステム２１を中心として揺動し、ステム２１がその軸線回りに回転して、揺動片２２が揺動する。これにより、弁体２３は、バイパス通路１７の開口部の周縁部へ接近し、開口部の周縁部に押し当てられて、ウェイストゲートバルブ２０は、閉状態となる。すなわち、タービン２において、バイパス通路１７による排気ガスのバイパスは行われていない状態となっている。

そして、復帰スプリング５６が伸長して、ダイヤフラム５３の中央部が付勢されて高圧室５５側に移動する際には、ダイヤフラム５３は圧縮コイルバネ６６によって低圧室５４側に付勢されながら移動する。ダイヤフラム５３が、高圧室５５側に移動し始めたときには、圧縮コイルバネ６６による付勢力は比較的弱く、ダイヤフラム５３の高圧室５５側への移動量が増えるに従い、圧縮コイルバネ６６による付勢力は増大する。

圧縮コイルバネ６６による付勢力は、復帰スプリング５６による付勢力とは、逆向きの力であるので、ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに近づくにつれて、ダイヤフラム５３が復帰スプリング５６によって付勢される力を吸収することになる。ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに最も接近した状態では、圧縮コイルバネ６６による付勢力が最大となり、ダイヤフラム５３が高圧室５５側へ付勢される力は弱められる。そのため、作動ロッド５１が他端側に最も移動した状態から一端側に移動し始める際に、作動ロッド５１の動作性への影響を抑制することができる。

従って、ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５の背面壁５９ｂに最も接近して停止する際に、ダイヤフラム５３に作用する力が吸収されることになる。そのため、作動ロッド５１が一端側に戻されて停止する際の作動ロッド５１による駆動力が緩和される。その結果、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当接する際において、弁体２３が周縁部に当たる際の力を弱めることができ、弁体２３と周縁部とが当たる際の接触音を抑制することができる。

（第２実施形態）
次に、図５を参照して、第２実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｂについて説明する。第２実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｂが、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と異なる点は、圧縮コイルバネ６６に代えて、軸線方向における長さが圧縮コイルバネ６６よりも短い圧縮コイルバネ６６Ｂを備える点である。なお、第２実施形態の説明において、第１実施形態と同様の説明は省略する。

圧縮コイルバネ６６Ｂは、圧縮コイルバネ６６と比較してコイルの巻き数が少なく、伸長された状態において、軸線方向の長さが短くなっている。圧縮コイルバネ６６Ｂの一端部は、高圧室５５の背面壁５９ｂの内壁面に接着などによって取り付けられている。圧縮コイルバネ６６Ｂの他端部は、高圧側リテーナ６２に対して固定されていない。

高圧室５５に正圧が印加された状態では、ダイヤフラム５３の中央部は低圧室５４側に移動し、高圧側リテーナ６２と圧縮コイルバネ６６Ｂとは軸線方向において離間している。高圧室５５における正圧の印加状態が解除されると、ダイヤフラム５３が高圧室５５に移動する。ダイヤフラム５３の高圧室５５側への移動量が増加すると、高圧側リテーナ６２と圧縮コイルバネ６６Ｂとが接触する。これにより、圧縮コイルバネ６６Ｂがダイヤフラム５３を低圧室５４側に付勢され、ダイヤフラム５３の高圧室５５側への移動量の増加に伴って、圧縮コイルバネ６６Ｂによって付勢される力が増加し、復帰スプリング５６によってダイヤフラム５３が付勢される力が弱められる。その結果、ダイヤフラム５３に作用する力を吸収させて、作動ロッド５１が一端側に移動して停止する際の駆動力が緩和される。

このように、第２実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｂにおいても、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

（第３実施形態）
次に、図６を参照して、第３実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｃについて説明する。第３実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｃが、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と異なる点は、他端側に向かってコイルの径が小さくなっている圧縮コイルバネ６６に代えて、軸線方向においてコイル径が均一である圧縮コイルバネ６９を備える点である。なお、第３実施形態の説明において、第１，第２実施形態と同様の説明は省略する。

圧縮コイルバネ６９は、他端側に配置された第１の弾性部６７と、一端側に配置された第２の弾性部６８とを備える。第１の弾性部６７は、圧縮コイルバネ６９の他端側の部分であり、第２の弾性部６８は、圧縮コイルバネ６９の一端側の部分である。第１の弾性部６７のコイルの線径は、第２の弾性部６８のコイルの線径より小さくなっている。換言すれば、第１の弾性部６７のバネ係数は、第２の弾性部６８のバネ係数より低くなっている。

また、第２の弾性部６８の一端部は、高圧室５５の背面壁５９ｂの内壁面に当接している。第２の弾性部６８の他端部は、第１の弾性部６７の一端部に連続している。そして、第１の弾性部６７の他端部は、高圧側リテーナ６２のリテーナ本体６２ａに当接している。

また、圧縮コイルバネ６９のコイルの外径は、復帰スプリング５６のコイルの外径よりも小さくなっている。第１の弾性部６７及び第２の弾性部６８のコイルの線径は、復帰スプリング５６のコイルの線径よりも小さい。そして、圧縮コイルバネ６９のバネ係数は、復帰スプリング５６のバネ係数よりも低い。

ダイヤフラム５３に対して、高圧室５５側に向いて作用する力は、まず、バネ係数が低い方の第１の弾性部６７によって吸収され、そのあとに、バネ係数が高い方第２の弾性部６８によって吸収される。そのため、ダイヤフラム５３の高圧室５５側への移動量が少ないときには、ダイヤフラム５３に作用する力を比較的弱く吸収させて、ダイヤフラム５３の高圧室５５側への移動量がさらに増加したときには、ダイヤフラム５３に作用する力をより強く吸収させることができる。すなわち、ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに最も接近したときに、ダイヤフラム５３に作用する力をより強く吸収させることになる。

このような第３実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｃにおいても、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

なお、第３実施形態において、第１の弾性部６７の他端部が高圧側リテーナ６２に当接されている構成としているが、第１の弾性部６７の他端部は、ダイヤフラム５３が低圧室５４側に移動した状態において、高圧側リテーナ６２に当接しない構成でもよい。要は、ダイヤフラム５３が高圧室５５側に移動して、ウェイストゲートバルブ２０の弁体２３が、開口部の周縁部である弁座に接触する前に、圧縮コイルバネ６９によってダイヤフラム５３を低圧室５４側に付勢可能な構成であればよい。

また、第３実施形態において、第１の弾性部６７のコイルの外径と、第２の弾性部６８のコイルの外径とは、同一であるとしているが、第１の弾性部６７及び第２の弾性部６８のコイルの外径が異なっている構成でもよい。第１の弾性部６７のコイルの外径が、第２の弾性部６８のコイルの外径よりも小さい構成でもよい。

また、第３実施形態において、第１の弾性部６７のコイルの線径と、第２の弾性部６８のコイルの線径とを変えることで、第１の弾性部６７のバネ係数を第２の弾性部６８のバネ係数よりも低く設定しているが、その他の方法によりバネ係数を変えてもよい。例えば、コイルの材質を変えることで、バネ係数を変えてもよい。

また、第３実施形態において、圧縮コイルバネ６９は、バネ係数が異なる２つの部分（第１の弾性部６７及び第２の弾性部６８）を備える構成としているが、バネ係数が異なる３つ以上の部分を備える圧縮コイルバネでもよい。

また、第３実施形態において、第１の弾性部６７及び第２の弾性部６８は、連続する構成としているが、第１の弾性部６７及び第２の弾性部６８は他の部材を介して接続されている構成でもよい。

（第４実施形態）
次に、図７を参照して、第４実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｄについて説明する。第４実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｄが、第３実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｃと異なる点は、圧縮コイルバネ６９を保持する保持部７３を備える点である。なお、第４実施形態の説明において、第１〜第３実施形態と同様の説明は省略する。

保持部７３は、高圧室５５の背面壁５９ｂに形成された凹部である。保持部７３は、作動ロッド５１の軸線方向において、外向きに凹んでいる。保持部７３は、円筒部７３ａと、背面壁７３ｂとを備える。円筒部７３ａは、背面壁５９ｂから作動ロッド５１の軸線方向において外向きに張り出すように形成されている。円筒部７３ａの他端側は、背面壁５９ｂに連続して設けられている。保持部７３の背面壁７３ｂは、円筒部７３ａの一端側を閉じるように形成されている。

そして、圧縮コイルバネ６９の一端部は、保持部７３に嵌められている。圧縮コイルバネ６９の一端部は、保持部７３の背面壁７３ｂに当接している。また、圧縮コイルバネ６９の一端部の外周は、保持部７３の円筒部７３ａの内壁面に当接している。

このような第４実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｄにおいても、第３実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０Ｃと同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

なお、第４実施形態において、保持部７３は、作動ロッド５１の軸線方向において外向きに凹んでいる構成としているが、保持部はその他の構成でもよい。例えば、保持部は、高圧室５５の背面壁５９ｂに形成された凸部でもよい。凸部である保持部は、背面壁５９ｂからダイヤフラム５３側に向かって突出するように構成され、この凸部を構成する円筒部の外周面が圧縮コイルバネ６９の内周に当接する構成でもよい。また、保持部は、コイル形状に対応したリング状の溝部でもよい。

（第５実施形態）
次に、図８を参照して、第５実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０について説明する。第５実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０が、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と異なる点は、圧縮コイルバネ６６に代えて、ゴム部材（吸収部、弾性部材）７１を備える点である。なお、第５実施形態の説明において、第１〜第４実施形態と同様の説明は省略する。

ゴム部材７１は、切頭円錐体を成すように形成されている。ゴム部材７１の一端部は、他端部よりも大きな径を有する。ゴム部材７１は、一端側から他端側に向かって外径が小さくなっている。ゴム部材７１の他端部は、高圧室５５の背面壁５９ｂの内壁面に当接し、ゴム部材７１の一端部は、高圧側リテーナ６２のリテーナ本体６２ａと対向して配置されている。ゴム部材７１の一端部は、例えば背面壁５９ｂの内壁面に接着されている。ゴム部材７１の他端部は、ダイヤフラム５３が低圧側カップ部５８と高圧側カップ部５９との中間位置に配置されたときに、軸線方向において、高圧側リテーナ６２と離間して配置されている。

また、ゴム部材７１の材質は、例えば、シリコンゴム、クロロプレンゴム等の耐熱性のゴムである。なお、高圧室５５の内部の温度は、過給機１の使用状態において、例えば、１００℃程度である。

このような第５実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０においても、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

なお、第５実施形態においてゴム部材７１は切頭円錐体を成すように形成されているが、ゴム部材７１は、その他の形状でもよい。ゴム部材７１は、例えば、円柱、円筒、角柱を成すように形成されていてもよい。

（第６実施形態）
次に、図９を参照して、第６実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０Ｂについて説明する。第６実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０Ｂが、第６実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ７０と異なる点は、切頭円錐体を成すゴム部材７１に代えて、一対のゴム部材（吸収部、弾性部材）７２を備える点である。なお、第６実施形態の説明において、第１〜第５実施形態と同様の説明は省略する。

一対のゴム部材７２は、例えば円柱状に形成されている。一対のゴム部材７２は、作動ロッド５１の径方向に離間して配置されている。なお、ゴム部材７２は、３本以上の複数でもよい。

このような第６実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ７０Ｂにおいても、第５実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ７０と同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

（第７実施形態）
次に、図１０を参照して、第７実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０について説明する。第７実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０が、第１実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ５０と異なる点は、作動ロッド５１の一端部５１ａとダイヤフラム５３との連結方法が異なる点、及び、吸収部の構成が異なる点である。なお、第７実施形態の説明において、第１〜第６実施形態と同様の説明は省略する。

作動ロッド５１の一端部５１ａは、高圧側リテーナ６２よりも高圧室５５の内部に突出するように形成されている。一端部５１ａにはねじ部が形成され、このねじ部にナット８２が装着されている。一端部５１ａのねじ部にナット８２を締め付けることで、作動ロッド５１の一端部５１ａに、低圧側リテーナ６１、ダイヤフラム５３及び高圧側リテーナ６２が連結されている。ダイヤフラム式アクチュエータ８０では、作動ロッド５１の一端側でダイヤフラム５３から高圧室５５の内部に突出する突出部８３が形成されている。この突出部８３は、作動ロッド５１の一端部５１ａにナット８２を取付けることで構成されている。

また、ダイヤフラム式アクチュエータ８０は、軸線方向において突出部８３に対向して配置された吸収用ダイヤフラム（吸収膜、吸収部）８４と、この吸収用ダイヤフラム８４を支持する支持部８５とを備えている。吸収用ダイヤフラム８４は、伸縮性を有する膜部材である。

支持部８５は、作動ロッド５１の軸線方向において、背面壁５９ｂから外向きに凹むように形成されている。支持部８５は、背面壁５９ｂから外向きに張り出す張出部８６と、張出部８６に取り付けられた封入用カップ部８７とを備えている。張出部８６は、円筒部８６ａと、この円筒部８６ａの一端側に設けられたフランジ部８６ｂとを備える。フランジ部８６ｂは、円筒部８６ａの一端側の開口部の周縁部から径方向外側に張り出している。

封入用カップ部８７は、円筒部８７ａと、背面壁８７ｂとを備える。円筒部８７ａは、円筒部８６ａと同一の内径を有する。背面壁８７ｂは、円筒部８７ａの一端側を閉じるように形成されている。円筒部８７ａの他端側には、開口部の周縁部から円筒部８７ａの径方向の外側に張り出すフランジ部８７ｃが設けられている。

円筒部８６ａ及び円筒部８７ａは、作動ロッド５１の軸線方向において、吸収用ダイヤフラム８４を挟んで、互いの開口部が対向するように配置されて接合されている。吸収用ダイヤフラム８４は、例えば円形を成し、吸収用ダイヤフラム８４の周縁部は、フランジ部８６ｂ，８７ｃによって挟持されている。また、封入用カップ部８７の内部には、例えば空気が封入されている。また、空気に代えて、液体が封入されている構成でもよい。フランジ部８６ｂ，８７ｃ同士は、例えばカシメによって接合されている。フランジ部８６ｂ，８７ｃ同士は、例えば、溶接によって接合されていてもよく、ねじを用いて接合されていてもよく、その他の方法によって接合されていてもよい。

吸収用ダイヤフラム８４は、円筒部８６ａ，８７ａの内径よりも大きな外形を有している。円筒部８６ａ，８７ａの内部において、吸収用ダイヤフラム８４の中央部が作動ロッド５１の軸線方向に移動可能となっている。

このようなダイヤフラム式アクチュエータ８０では、ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に移動すると、突出部８３が円筒部８６ａの内部に進入して、吸収用ダイヤフラム８４に当接する。ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に更に移動すると、突出部８３は吸収用ダイヤフラム８４によって低圧室５４側に付勢される。これにより、ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに近づくにつれて、ダイヤフラム５３が復帰スプリング５６によって付勢される力が吸収することになる。ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに最も接近した状態では、吸収用ダイヤフラム８４による付勢力が最大となり、ダイヤフラム５３が高圧室５５側へ付勢される力は弱められる。

従って、ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５の背面壁５９ｂに最も接近して停止する際に、ダイヤフラム５３に作用する力が吸収されることになる。そのため、作動ロッド５１が一端側に戻されて停止する際の作動ロッド５１による駆動力が緩和される。その結果、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当接する際において、弁体２３が周縁部に当たる際の力を弱めることができ、弁体２３と周縁部とが当たる際の接触音を抑制することができる。

（第８実施形態）
次に、図１１を参照して、第８実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｂについて説明する。第８実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｂが、第７実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ８０と異なる点は、吸収用ダイヤフラム（吸収部）８８の支持方法が異なる点である。なお、第８実施形態の説明において、第１〜第７実施形態と同様の説明は省略する。

高圧室５５の背面壁５９ｂには、空気が封入される封入部８９が形成されている。封入部８９は、円筒部８９ａと、背面壁８９ｂとを備える。円筒部８９ａは、高圧側カップ部５９の背面壁５９ｂから作動ロッド５１の軸線方向において外向きに張り出すように形成されている。円筒部８９ａの他端側は、高圧側カップ部５９の背面壁５９ｂに連続して設けられている。封入部８９の背面壁８９ｂは、円筒部８９ａの一端側を閉じるように形成されている。また、封入部８９の内部には空気が封入されている。

吸収用ダイヤフラム８８は、背面壁５９ｂの内壁面及び封入部８９を覆うように配置されている。吸収用ダイヤフラム８８は、例えば接着剤によって背面壁５９ｂの内壁面に接着されて、封入部８９に封入された空気の漏洩を防止している。また、吸収用ダイヤフラム８８は、ワッシャー９０によって低圧室５４側から背面壁５９ｂに対して押し付けられている。ワッシャー９０は、高圧側カップ部５９の円筒部５９ａに圧入されている。吸収用ダイヤフラム８８は、作動ロッド５１の軸線方向において、背面壁５９ｂとワッシャー９０とによって挟まれている。ワッシャー９０の中央開口部は、円筒部８９ａに対応して配置されている。吸収用ダイヤフラム８８は、ワッシャー９０と背面壁５９ｂとによって挟持され、吸収用ダイヤフラム８８の中央部は、高圧室５５側に移動した突出部８３に当接して、円筒部８９ａの内部に移動可能となっている。

このようなダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｂでは、ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に移動すると、吸収用ダイヤフラム８８に当接する。ダイヤフラム５３の中央部が高圧室５５側に更に移動すると、突出部８３は円筒部８９ａ内に進入すると共に、封入部８９に封入された空気によって突出部８３に作用する力が吸収される。そのため、ダイヤフラム５３が背面壁５９ｂに近づくにつれて、ダイヤフラム５３が復帰スプリング５６によって付勢される力が吸収することになる。

従って、作動ロッド５１が一端側に戻されて停止する際の作動ロッド５１による駆動力が緩和される。その結果、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当接する際において、弁体２３が周縁部に当たる際の力を弱めることができ、弁体２３と周縁部とが当たる際の接触音を抑制することができる。

（第９実施形態）
次に、図１２を参照して、第９実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｃについて説明する。第９実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｃが、第８実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｂと異なる点は、吸収部９１の構成が異なる点である。

ダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｃは、例えば、弾性ゴムからなる中空の円柱体の内部に空気が封入された吸収部９１を備えている。この吸収部９１が封入部８９に挿入されて保持されている。

このような第９実施形態に係るダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｃにおいても、第８実施形態のダイヤフラム式アクチュエータ８０Ｂと同様の作用効果を奏し、弁体２３がバイパス通路１７の開口部の周縁部に当たる際の接触音を抑制することができる。

本発明は、前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で下記のような種々の変形が可能である。

上記実施形態では、ダイヤフラム式アクチュエータ５０を、過給機１のウェイストゲートバルブ２０の駆動源として用いているが、その他のバルブを開閉するための駆動源として用いてもよい。また、ダイヤフラム式アクチュエータ５０は、バルブ以外の対象物を駆動させる駆動源として利用してもよい。

また、上記実施形態では、吸収部として、圧縮コイルバネ、ゴム部材、又は吸収用ダイヤフラムを備える構成について説明しているが、吸収部はその他の構成でもよい。例えば、圧縮コイルバネに代えて、皿ばね、板ばね等その他のばね部材を備える構成でもよい。吸収部は、ダイヤフラムが高圧室側に移動して停止する際に、ダイヤフラムに作用する力を吸収（緩和）するものであればよい。

また、上記実施形態では、高圧側リテーナ６２は、高圧室５５の内部に突出する突出部６２ｂを備える構成としているが、高圧側リテーナ６２は、高圧室５５の内部に突出する突出部６２ｂを備えていない構成でもよい。また、突出部６２ｂは、リテーナ本体６２ａの外周部から突出するものに限定されず、径方向における中間部から突出する構成でもよい。

また、上記実施形態では、吸収部に対してリテーナ本体６２ａ又は突出部８３が当接する構成を開示しているが、吸収部に対して、その他の部位が当接することで、ダイヤフラム５３に作用する力を吸収させる構成でもよい。例えば、吸収部に対して、高圧側リテーナ６２の突出部６２ｂが当接することで、ダイヤフラム５３に作用する力を吸収させる構成でもよい。

また、上記実施形態では、ウェイストゲートバルブ２０が採用された過給機１を車両用として例示しているが、過給機は車両用に限定されず、船舶用のエンジンに用いられてもよく、その他のエンジンに用いられてもよい。

１ 過給機
５０、５０Ｂ、５０Ｃ、５０Ｄ、７０、７０Ｂ、８０、８０Ｂ、８０Ｃ ダイヤフラム式アクチュエータ
５１ 作動ロッド
５１ａ 一端部
５２ アクチュエータ本体
５３ ダイヤフラム
５４ 低圧室
５５ 高圧室
５６ 復帰スプリング
５９ｂ 背面壁（ダイヤフラムに対向する壁体）
６２ 高圧側リテーナ
６６、６６Ｂ、６９ 圧縮コイルバネ（吸収部、弾性部材）
６６ａ 第１のコイル
６６ｂ 第２のコイル
６７ 第１の弾性部
６８ 第２の弾性部
７１、７２ ゴム部材（吸収部、弾性部材）
７３ 保持部
８３ 突出部
８４、８８ 吸収用ダイヤフラム（吸収部、吸収膜）
８９ 封入部
９１ 吸収部。

Claims (5)

1. 作動ロッドを前記作動ロッドの軸線方向に駆動するダイヤフラム式アクチュエータであって、
   前記作動ロッドに連結され前記作動ロッドに駆動力を伝達するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における一端側に隣接する高圧室と、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における他端側に隣接する低圧室と、
   前記低圧室に設けられ、前記ダイヤフラムを前記高圧室側に付勢する復帰スプリングと、
   前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する壁面に設けられた吸収部と、を備え、
   前記吸収部は、前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する前記壁面に設けられ、前記軸線方向において、前記ダイヤフラムと対向して配置された弾性部材を備え、
   前記弾性部材は、前記他端側に配置された第１の弾性部と、前記一端側に配置された第２の弾性部と、を備え、
   前記第１の弾性部のバネ係数は、前記第２の弾性部のバネ係数より低いダイヤフラム式アクチュエータ。
2. 作動ロッドを前記作動ロッドの軸線方向に駆動するダイヤフラム式アクチュエータであって、
   前記作動ロッドに連結され前記作動ロッドに駆動力を伝達するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における一端側に隣接する高圧室と、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における他端側に隣接する低圧室と、
   前記低圧室に設けられ、前記ダイヤフラムを前記高圧室側に付勢する復帰スプリングと、
   前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する壁面に設けられた吸収部と、を備え、
   前記吸収部は、前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する前記壁面に設けられ、前記軸線方向において、前記ダイヤフラムと対向して配置された弾性部材を備え、
   前記弾性部材は、前記軸線方向に沿うように配置された圧縮コイルバネであり、
   前記圧縮コイルバネは、前記一端側から前記他端側に向かうにつれて、コイルの外径が小さくなるように形成され、
   前記他端側に配置された第１のコイルは、前記第１のコイルの前記一端側に隣接する第２のコイルより径方向内側に配置されているダイヤフラム式アクチュエータ。
3. 前記作動ロッドの一端側には、前記ダイヤフラムから前記高圧室の内部に突出する突出部が設けられている請求項１又は２に記載のダイヤフラム式アクチュエータ。
4. 作動ロッドを前記作動ロッドの軸線方向に駆動するダイヤフラム式アクチュエータであって、
   前記作動ロッドに連結され前記作動ロッドに駆動力を伝達するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における一端側に隣接する高圧室と、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における他端側に隣接する低圧室と、
   前記低圧室に設けられ、前記ダイヤフラムを前記高圧室側に付勢する復帰スプリングと、
   前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する壁面に設けられた吸収部と、を備え、
   前記作動ロッドの一端側には、前記ダイヤフラムから前記高圧室の内部に突出する突出部が設けられており、
   前記吸収部は、前記軸線方向において前記突出部に対向して配置された吸収膜を備えるダイヤフラム式アクチュエータ。
5. 作動ロッドを前記作動ロッドの軸線方向に駆動するダイヤフラム式アクチュエータであって、
   前記作動ロッドに連結され前記作動ロッドに駆動力を伝達するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における一端側に隣接する高圧室と、
   前記ダイヤフラムの前記軸線方向における他端側に隣接する低圧室と、
   前記低圧室に設けられ、前記ダイヤフラムを前記高圧室側に付勢する復帰スプリングと、
   前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する壁面に設けられた吸収部と、を備え、
   前記作動ロッドの一端側には、前記ダイヤフラムから前記高圧室の内部に突出する突出部が設けられており、
   前記高圧室の前記ダイヤフラムに対向する壁体には、前記突出部が進入可能な凹部が形成され、
   前記凹部に前記吸収部が配置されているダイヤフラム式アクチュエータ。

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