JP6569153B2 - 棒状試験片の表面研磨装置および表面研磨方法 - Google Patents

Description

本発明は、棒状試験片の表面研磨装置および表面研磨方法に関する。

近年、石油および天然ガスなどの資源の枯渇が懸念されている。このため、従来は資源開発が行われていなかったような高深度かつ硫化水素を含む環境下において、油井およびガス井の開発が進められている。このような過酷な環境下において掘削および輸送に用いられる油井管およびラインパイプに対しては、降伏強さで７５８ＭＰａ（１１０ｋｓｉ）級以上でかつ優れた耐硫化物応力腐食割れ性（以下、耐ＳＳＣ性と記載する。）を備えることが要求されている。

油井管等において使用される鋼材の耐ＳＳＣ性は、例えば、ＮＡＣＥ−ＴＭ０１７７−２００５ ｍｅｔｈｏｄ Ａに準拠した試験によって評価される。同試験では、具体的には、鋼材から採取された所定寸法の棒状試験片の平行部に所定の引張応力を付加した状態で、該試験片を試験液中に７２０時間浸漬する。そして、棒状試験片が破断するか否かによって、耐ＳＳＣ性が評価される。

耐ＳＳＣ性に影響する因子としては、鋼材特有の機械的特性、組織、および介在物などに加えて、耐ＳＳＣ試験に供される棒状試験片の表面粗さなどの研磨状態が考えられる。このため、鋼材の耐ＳＳＣ性を適切に評価するためには、棒状試験片の表面粗さを極力低減するとともに、該表面粗さのばらつきを低減することが望ましい。

従来、試験片の表面を研磨するための種々の装置および方法が提案されている。例えば、特許文献１には、自動研磨装置が開示されている。特許文献１に開示された自動研磨装置では、被研磨材固定部上に被研磨材を固定し、ローラーに巻きつけた研磨材を被研磨材上で移動させることによって、被研磨材が研磨される。

特開平１０−７１５４７号公報 特公昭５６−４５７４９号公報

ところで、特許文献１には、板状の試験片の表面を研磨することについて記載されているが、棒状の試験片の表面を研磨することについては記載されていない。そこで、本発明者らは、特許文献１の研磨装置によって、棒状試験片を研磨することについて検討した。

その結果、特許文献１の研磨装置によって棒状試験片を研磨することは可能であると考えられるが、棒状試験片の表面を均一に研磨することは難しいことが分かった。

そこで、本発明は、棒状試験片の表面の研磨状態が不均一になることを抑制できる、棒状試験片の表面研磨装置および表面研磨方法を提供することを目的としている。

本発明は、下記の棒状試験片の表面研磨装置および表面研磨方法を要旨とする。

（１）棒状試験片の表面を研磨するための表面研磨装置であって、
前記棒状試験片をその周方向に回転可能に保持する、試験片保持部と、
一方の面に研磨材が設けられた長尺状の研磨紙を保持する、研磨紙保持部と、
前記棒状試験片の径方向から見て、前記研磨紙が前記棒状試験片を横切るように、前記研磨紙を前記研磨紙保持部から前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送る、送り機構と、
前記研磨紙が前記棒状試験片を横切る際に前記研磨紙の前記一方の面を前記棒状試験片に押し付ける、押し付け部材と、
前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片を前記周方向に回転させる、回転駆動機構と、
前記径方向から見て、前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片および前記送り機構によって送られる前記研磨紙を、前記棒状試験片の前記軸方向に相対的に往復移動させる、移動機構と、を備える表面研磨装置。

（２）前記棒状試験片は、一対のつかみ部、前記一対のつかみ部の間に設けられる平行部、および前記平行部と前記一対のつかみ部との間に設けられる一対の肩部を含み、
前記移動機構は、前記研磨紙が少なくとも前記平行部及び前記一対の肩部と接触できるように、前記研磨紙および前記棒状試験片を、前記棒状試験片の前記軸方向に相対的に往復移動させる、上記（１）に記載の表面研磨装置。

（３）前記押し付け部材を前記棒状試験片側に向かって引っ張る引張機構をさらに備え、
前記押し付け部材は、前記棒状試験片の径方向に移動可能に設けられている、上記（１）または（２）に記載の表面研磨装置。

（４）前記研磨紙保持部は、ロール状に巻回された状態の研磨紙を保持し、
前記送り機構は、前記研磨紙保持部において払い出された前記研磨紙を前記棒状試験片の前記軸方向に直交する方向に送る、上記（１）から（３）のいずれかに記載の表面研磨装置。

（５）前記回転機構は、前記棒状試験片の表面において前記研磨紙との接触部が、前記研磨紙の送り方向とは逆方向に移動するように、前記棒状試験片を回転させる、上記（１）から（４）のいずれかに記載の表面研磨装置。

（６）上記（１）から（５）のいずれかに記載の表面研磨装置を用いて棒状試験片の表面を研磨する方法であって、
前記棒状試験片を第１回転速度で周方向に回転させ、研磨紙を前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送り、かつ前記研磨紙および前記棒状試験片を前記棒状試験片の前記軸方向に第１移動速度で相対的に往復移動させながら、前記研磨紙を前記棒状試験片に押し付けることによって前記棒状試験片の表面を研磨する、第１研磨工程と、
前記棒状試験片を前記第１回転速度よりも小さい第２回転速度で周方向に回転させ、前記研磨紙を前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送り、かつ前記研磨紙および前記棒状試験片を前記棒状試験片の前記軸方向に前記第１移動速度よりも大きい第２移動速度で相対的に往復移動させながら、前記研磨紙を前記棒状試験片に押し付けることによって前記棒状試験片の表面を研磨する、第２研磨工程と、を備える、表面研磨方法。

（７）前記第１研磨工程後に前記第２研磨工程が実施され、前記第１研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度は、前記第２研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度よりも小さい、上記（６）に記載の表面研磨方法。

本発明によれば、棒状試験片の表面の研磨状態が不均一になることを抑制できる。

図１は、本発明の一実施形態に係る表面研磨装置を示す概略図である。 図２は、棒状試験片を示す図である。 図３は、棒状試験片が往復移動する際の表面研磨装置を示す概略図である。 図４は、棒状試験片の加工方法の一例を示すフロー図である。

以下、本発明の一実施形態に係る棒状試験片の表面研磨装置およびそれを用いた表面研磨方法について説明する。

（表面研磨装置の構成）
まず、表面研磨装置の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る表面研磨装置を示す概略図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。なお、図１および後述の図３は、表面研磨装置を模式的に示した図であり、表面研磨装置の形状及び寸法を忠実に示したものではない。

また、図２は、本実施形態に係る表面研磨装置によって表面が研磨される棒状試験片の一例を示す図である。図１および図２を参照して、棒状試験片１０は、断面円形状を有する。より具体的には、棒状試験片１０は、平行部１２、一対の肩部１４および一対のつかみ部１６を有している。図２を参照して、本実施形態では、棒状試験片１０は、例えば、前述した耐ＳＳＣ性評価試験に供される引張試験片であり、平行部１２の直径Ｄは、例えば、６．３５ｍｍであり、平行部１２の長さＬは、例えば、２５．４ｍｍである。

図１（ａ）を参照して、本実施形態に係る表面研磨装置１００は、台座１８と、台座１８上に設けられる装置本体２０とを備える。装置本体２０は、一対の試験片保持部材２２ａ，２２ｂと、研磨紙保持ローラー２４と、送り機構２６と、押し付け部材２８と、回転駆動機構３０と、移動機構３２と、ガイド機構３４とを備える。また、図１（ａ）には示していないが、図１（ｂ）に示すように、装置本体２０は、さらに引張機構３６を備える。なお、図面が煩雑になることを避けるために、図１（ｂ）においては、試験片保持部材２２ａ，２２ｂ、回転駆動機構３０、および移動機構３２の図示を省略している。本実施形態では、一対の試験片保持部材２２ａ，２２ｂが試験片保持部に対応し、研磨紙保持ローラー２４（以下、ローラー２４と略記する。）が研磨紙保持部に対応する。

図１（ａ）を参照して、試験片保持部材２２ａ，２２ｂは、棒状試験片１０を、棒状試験片１０の周方向に回転可能に支持する。本実施形態では、試験片保持部材２２ａによって一方のつかみ部１６が保持され、試験片保持部材２２ｂによって他方のつかみ部１６が保持される。試験片保持部材２２ａ，２２ｂは、図示しない支持部材を介して移動機構３２の後述する移動板３２ｄに支持されている。

ローラー２４は、長尺状（帯状）の研磨紙４０を保持する。ローラー２４は、図示しない支持部材を介して台座１８に回転可能に支持されている。本実施形態では、ローラー２４は、ロール状に巻回された状態の研磨紙４０を保持する。図１（ｂ）を参照して、研磨紙４０の一方の面４０ａには、研磨材が設けられている。なお、以下においては、ロール状に巻回された状態の研磨紙４０を、研磨紙ロール４２と称する。

図１（ａ）を参照して、送り機構２６は、棒状試験片１０の径方向から見て、研磨紙４０が棒状試験片１０を横切るように、研磨紙４０を、ローラー２４から棒状試験片１０の軸方向に直交する方向（矢印Ｘで示す方向：以下、Ｘ方向とも記載する。）に所定の速度で送る。

図１（ａ）,（ｂ）を参照して、本実施形態では、送り機構２６は、一対の送りローラー２６ａ,２６ｂと、回転駆動装置２６ｃとを備える。本実施形態では、送りローラー２６ａ,２６ｂは、送りローラー２６ａと送りローラー２６ｂとの間に研磨紙４０を挟むことができるようにかつ回転可能に設けられている。回転駆動装置２６ｃは、例えば電動モータを含み、送りローラー２６ａを回転駆動する。本実施形態では、送り機構２６の電動モータの回転速度を調整することによって、研磨紙４０の送り速度を調整することができる。

図１（ｂ）を参照して、本実施形態では、送りローラー２６ａ,２６ｂによって研磨紙４０を挟んだ状態で、回転駆動装置２６ｃによって送りローラー２６ａを一方向（矢印Ｃ１で示す方向）に回転させる。これにより、送りローラー２６ａ,２６ｂによって研磨紙４０が引っ張られる。その結果、ローラー２４において研磨紙ロール４２から研磨紙４０を順次払い出すことができ、かつ払い出された研磨紙４０をＸ方向（図１（ａ）参照）に送ることができる。なお、回転駆動装置２６ｃが送りローラー２６ｂを回転駆動してもよい。

図１（ａ）,（ｂ）を参照して、押し付け部材２８は、棒状試験片１０との間に研磨紙４０を挟むように、棒状試験片１０の径方向に設けられる。本実施形態では、押し付け部材２８は、棒状試験片１０の径方向に移動可能に設けられる。台座１８と押し付け部材２８とを連結するように、引張機構３６が設けられる。引張機構３６は、例えば、バネ等の弾性部材を含み、押し付け部材２８を棒状試験片１０側に引っ張る。これにより、押し付け部材２８は、研磨紙４０が棒状試験片１０を横切る際に研磨紙４０の一方の面４０ａを棒状試験片１０に押し付けることができる。なお、押し付け部材２８の重みによって、十分な力で研磨紙４０を棒状試験片１０に押し付けることができる場合には、引張機構３６が設けられなくてもよい。

図１（ａ）を参照して、回転駆動機構３０は、例えば電動モータを含み、試験片保持部材２２ａ，２２ｂに保持された棒状試験片１０を回転駆動する。本実施形態では、回転駆動機構３０は、棒状試験片１０の表面において研磨紙４０と接触する部分が、研磨紙４０の送り方向（Ｘ方向）とは逆方向（図１（ｂ）に矢印Ｃ２で示す方向。）に移動するように、棒状試験片１０を回転させる。本実施形態では、回転駆動機構３０の電動モータの回転速度を調整することによって、棒状試験片１０の回転速度を調整することができる。

図１（ａ）を参照して、移動機構３２は、棒状試験片１０および研磨紙４０を、棒状試験片１０の軸方向（矢印Ｙで示す方向：以下、Ｙ方向とも記載する。）に相対的に往復移動させる。本実施形態では、移動機構３２は、棒状試験片１０を、押し付け部材２８および研磨紙４０に対して、Ｙ方向に相対的に往復移動させる。以下、移動機構３２について具体的に説明する。

本実施形態では、移動機構３２は、回転駆動装置３２ａ、回転部材３２ｂ、リンク機構３２ｃ、および移動板３２ｄを備える。移動板３２ｄは、図示しない支持部材を介して、Ｙ方向に移動可能に台座１８に支持されている。また、上述したように、移動板３２ｄには、試験片保持部材２２ａ，２２ｂが支持されている。台座１８、試験片保持部材２２ａ，２２ｂ、棒状試験片１０および回転駆動機構３０は、Ｙ方向に一体的に移動する。

回転駆動装置３２ａは、例えば電動モータを含み、回転部材３２ｂを回転駆動する。リンク機構３２ｃは、回転部材３２ｂと移動板３２ｄとを連結し、回転部材３２ｂの回転運動を、Ｙ方向の往復運動に変換して移動板３２ｄに伝達する。これにより、移動板３２ｄがＹ方向に往復運動し、棒状試験片１０が押し付け部材２８および研磨紙４０に対してＹ方向に往復移動する。本実施形態では、移動機構３２の電動モータの回転速度を調整することによって、棒状試験片１０の往復移動の速度を調整することができる。なお、移動機構３２の構成は上記の例に限定されず、棒状試験片１０をＹ方向に往復移動させることができる公知の種々の構成を採用することができる。

図３（ａ），（ｂ）は、棒状試験片１０がＹ方向に往復移動する際の表面研磨装置１００を示す概略図である。図１（ａ）および図３（ａ），（ｂ）を参照して、棒状試験片１０が研磨紙４０に対してＹ方向に往復移動することによって、研磨紙４０が、少なくとも平行部１２及び一対の肩部１４と接触する。本実施形態では、研磨紙４０は、棒状試験片１０がＹ方向に往復移動することによって、平行部１２の表面の全域および一対の肩部１４の表面の全域に接触する。これにより、平行部１２だけでなく、一対の肩部１４についても研磨紙４０による研磨を行うことができる。

図１（ａ），（ｂ）を参照して、ガイド機構３４は、複数（本実施形態では、３個）の送りローラー３４ａ,３４ｂ,３４ｃと、跳ね上がり防止部材３４ｄを備えている。ローラー３４ａ,３４ｂ,３４ｃはそれぞれ回転可能に設けられ、ローラー２４と送り機構２６との間において、研磨紙４０の一方の面４０ａを支持している。跳ね上がり防止部材３４ｄは、ローラー３４ａとの間に研磨紙４０が通るように、ローラー３４ａの径方向に設けられる。跳ね上がり防止部材３４ｄは、研磨紙４０の跳ね上がりを防止する。

（表面研磨方法）
次に、上述の表面研磨装置１００を用いた表面研磨方法について説明する。図４は、本実施形態に係る表面研磨方法を利用した、棒状試験片の加工方法の一例を示すフロー図である。なお、図４に示すフロー図においては、ステップＳ３，Ｓ４の第１研磨工程および第２研磨工程が、本発明の一実施形態に係る表面研磨方法に対応する。

図４に示すように、本実施形態では、まず、機械加工によって、鋼材（例えば、評価対象となる鋼管）から、所定寸法の角材が切り出される（ステップＳ１）。次に、ステップＳ１で切り出された角材を切削することによって、図２に示した形状の棒状試験片１０を得る（ステップＳ２）。ステップＳ２では、例えば、ＮＣ旋盤によって角材が切削される。ＮＣ旋盤の送り速度は、例えば、０．０５〜０．０８ｍｍ／ｒｅｖに設定される。

なお、鋼材からの角材の切り出し、および角材から棒状試験片への切削は、棒状試験片の公知の製造方法と同様に行なうことができる。したがって、ステップＳ１,Ｓ２の処理内容は特に限定されない。

次に、上述の表面研磨装置１００を用いて第１研磨工程および第２研磨工程を順に実施して、ステップＳ２で得られた棒状試験片１０の表面を研磨する（ステップＳ３,Ｓ４）。

具体的には、第１研磨工程（ステップＳ３）では、回転駆動機構３０によって棒状試験片１０を第１回転速度で周方向に回転させ、送り機構２６によって研磨紙４０をＸ方向（図１（ａ）参照）に送り、かつ移動機構３２によって研磨紙４０および棒状試験片１０をＹ方向（図１（ａ）参照）に第１移動速度で相対的に往復移動させながら、押し付け部材２８によって研磨紙４０を棒状試験片１０に押し付けることによって、棒状試験片１０の表面を研磨する。

第２研磨工程（ステップＳ４）では、回転駆動機構３０によって棒状試験片１０を第２回転速度で周方向に回転させ、送り機構２６によって研磨紙４０をＸ方向に送り、かつ移動機構３２によって研磨紙４０および棒状試験片１０をＹ方向に第２移動速度で相対的に往復移動させながら、押し付け部材２８によって研磨紙４０を棒状試験片１０に押し付けることによって、棒状試験片１０の表面を研磨する。

なお、第２回転速度は、第１回転速度よりも小さく設定され、第２移動速度は、第１移動速度よりも大きく設定される。第１回転速度は、例えば、１０００〜２０００ｒｐｍに設定され、第１移動速度（棒状試験片１０の１分当たりの往復回数）は、例えば、５〜２０ｒｐｍに設定される。第２回転速度は、例えば、０．１〜０．７ｒｐｍに設定され、第２移動速度（棒状試験片１０の１分当たりの往復回数）は、例えば、１００〜１５０ｒｐｍに設定される。また、第１研磨工程において、研磨紙４０の送り速度は、例えば、０．５〜０．９ｒｐｍに設定され、第２研磨工程において、研磨紙４０の送り速度は、例えば、０．５〜０．９ｒｐｍに設定される。本実施形態では、例えば、第１回転速度が１５００ｒｐｍに設定され、第１移動速度が１０ｒｐｍに設定され、第２回転速度が０．４ｒｐｍに設定され、第２移動速度が１２５ｒｐｍに設定され、第１研磨工程および第２研磨工程における研磨紙４０の送り速度がそれぞれ０．７５ｒｐｍに設定される。

また、本実施形態では、第１研磨工程と第２研磨工程とで、異なる研磨紙が用いられる。具体的には、第１研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度は、第２研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度よりも小さい。言い換えると、第１研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の平均粒径は、第２研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の平均粒径よりも大きい。例えば、第１研磨工程では、ＪＩＳ Ｒ６００１−２ ２０１７で規定される粒度が♯６００〜１５００の乾式研磨紙が用いられ、第２研磨工程では、ＪＩＳ Ｒ６００１−２ ２０１７で規定される粒度が♯１５００〜２０００の乾式研磨紙が用いられる。

最後に、棒状試験片１０に対して、砥粒流動研磨を施す（ステップＳ５）。なお、ステップＳ５においては、公知の砥粒流動加工装置を利用できるので、詳細な説明は省略する。具体的には、例えば、特許文献２に開示された砥粒流動加工装置を利用することができる。ステップＳ５においては、棒状試験片１０を研磨メディア４０中に配置し、研磨メディア４０を棒状試験片１０の軸方向に繰り返し往復運動させる。これにより、棒状試験片１０の外周面が、研磨メディア４０によって研磨される。

（作用効果）
本実施形態では、棒状試験片１０の回転速度およびＹ方向への移動速度を変更して、第１研磨工程および第２研磨工程が実施される。第１研磨工程では、棒状試験片１０の周方向の研磨が主に行われ、第２研磨工程では、棒状試験片１０の軸方向の研磨が主に行われる。このように、第１研磨工程と第２研磨工程とで主な研磨方向を変えることによって、棒状試験片１０の表面粗さの周方向におけるばらつきおよび軸方向におけるばらつきをともに低減できる。すなわち、棒状試験片１０の表面の研磨状態が不均一になることを抑制できる。

また、本実施形態では、送り機構２６によって研磨紙４０がＸ方向に送られる。このため、研磨紙４０のうち棒状試験片１０を研磨することによって研磨材が消耗した部分（研磨能力が低下した部分）を、順次Ｘ方向に送ることができる。言い換えると、研磨紙４０のうち研磨材が消耗していない部分を棒状試験片１０に順次供給することができる。これにより、棒状試験片１０を効率よく研磨することができる。

また、本実施形態では、第１研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度は、第２研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度よりも小さい。この場合、第１研磨工程において比較的粗い研磨を行った後、第２研磨工程において棒状試験片１０を適切な表面粗さに研磨することができるので、研磨時間を短くすることができる。

また、本実施形態では、引張機構３６によって押し付け部材２８が棒状試験片１０側に引っ張られている。これにより、研磨紙４０によって肩部１４が研磨されている際にも、十分な力で研磨紙４０を肩部１４に押し付けることができる。これにより、肩部１４を研磨する際に、研磨紙４０が肩部１４から離れてしまうことを抑制できるので、肩部１４を適切に研磨することができる。

本発明によれば、棒状試験片の表面の研磨状態が不均一になることを抑制できる。

１０ 棒状試験片
１２ 平行部
１４ 肩部
１８ 台座
２０ 装置本体
２２ａ，２２ｂ 試験片保持部材
２４ 研磨紙保持ローラー
２６ 送り機構
２８ 押し付け部材
３０ 回転駆動機構
３２ 移動機構
３４ ガイド機構
３６ 引張機構
４０ 研磨紙

Claims (7)

1. 耐硫化物応力腐食割れ性試験に供される棒状試験片の表面を研磨するための表面研磨装置であって、
   前記棒状試験片をその周方向に回転可能に保持する、試験片保持部と、
   一方の面に研磨材が設けられた長尺状かつ帯状の研磨紙を保持する、研磨紙保持部と、
   前記棒状試験片の径方向から見て、前記研磨紙が前記棒状試験片を横切るように、前記研磨紙を前記研磨紙保持部から前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送る、送り機構と、
   前記研磨紙が前記棒状試験片を横切る際に前記研磨紙の前記一方の面を前記棒状試験片に押し付ける、押し付け部材と、
   前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片を前記周方向に回転させる、回転駆動機構と、
   前記径方向から見て、前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片および前記送り機構によって送られる前記研磨紙を、前記棒状試験片の前記軸方向に相対的に往復移動させる、移動機構と、を備える表面研磨装置。
2. 前記棒状試験片は、一対のつかみ部、前記一対のつかみ部の間に設けられる平行部、および前記平行部と前記一対のつかみ部との間に設けられる一対の肩部を含み、
   前記移動機構は、前記研磨紙が少なくとも前記平行部及び前記一対の肩部と接触できるように、前記研磨紙および前記棒状試験片を、前記棒状試験片の前記軸方向に相対的に往復移動させる、請求項１に記載の表面研磨装置。
3. 前記押し付け部材を前記棒状試験片側に向かって引っ張る引張機構をさらに備え、
   前記押し付け部材は、前記棒状試験片の径方向に移動可能に設けられている、請求項１または２に記載の表面研磨装置。
4. 前記研磨紙保持部は、ロール状に巻回された状態の研磨紙を保持し、
   前記送り機構は、前記研磨紙保持部において払い出された前記研磨紙を前記棒状試験片の前記軸方向に直交する方向に送る、請求項１から３のいずれかに記載の表面研磨装置。
5. 前記回転駆動機構は、前記棒状試験片の表面において前記研磨紙との接触部が、前記研磨紙の送り方向とは逆方向に移動するように、前記棒状試験片を回転させる、請求項１から４のいずれかに記載の表面研磨装置。
6. 棒状試験片をその周方向に回転可能に保持する、試験片保持部と、
   一方の面に研磨材が設けられた長尺状の研磨紙を保持する、研磨紙保持部と、
   前記棒状試験片の径方向から見て、前記研磨紙が前記棒状試験片を横切るように、前記研磨紙を前記研磨紙保持部から前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送る、送り機構と、
   前記研磨紙が前記棒状試験片を横切る際に前記研磨紙の前記一方の面を前記棒状試験片に押し付ける、押し付け部材と、
   前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片を前記周方向に回転させる、回転駆動機構と、
   前記径方向から見て、前記試験片保持部に保持されている前記棒状試験片および前記送り機構によって送られる前記研磨紙を、前記棒状試験片の前記軸方向に相対的に往復移動させる、移動機構と、を備えた表面研磨装置を用いて棒状試験片の表面を研磨する方法であって、
   前記棒状試験片を第１回転速度で周方向に回転させ、研磨紙を前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送り、かつ前記研磨紙および前記棒状試験片を前記棒状試験片の前記軸方向に第１移動速度で相対的に往復移動させながら、前記研磨紙を前記棒状試験片に押し付けることによって前記棒状試験片の表面を研磨する、第１研磨工程と、
   前記棒状試験片を前記第１回転速度よりも小さい第２回転速度で周方向に回転させ、前記研磨紙を前記棒状試験片の軸方向に直交する方向に送り、かつ前記研磨紙および前記棒状試験片を前記棒状試験片の前記軸方向に前記第１移動速度よりも大きい第２移動速度で相対的に往復移動させながら、前記研磨紙を前記棒状試験片に押し付けることによって前記棒状試験片の表面を研磨する、第２研磨工程と、を備える、表面研磨方法。
7. 前記第１研磨工程後に前記第２研磨工程が実施され、前記第１研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度は、前記第２研磨工程において利用される研磨紙の研磨材の粒度よりも小さい、請求項６に記載の表面研磨方法。

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