JP6566615B2 - 印刷用マスク及びその製造方法 - Google Patents
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Description
さらに、前記基板対向面では、粗面によって、基板との離れ易さ(版離れ性)が向上することとなり、印刷用マスクへのはんだペーストの付着が抑制され、基板上ではんだペーストにより構成されるパターン部が、正確かつ高精細なものとなる。
以下、本発明に係る第1の実施形態を上記図1〜図7に基づいて説明する。
先ず、図3(a)に示すように、メタルマスクを載置するための母型300(母型基板)を用意する(S1)。この母型300を構成する材料としては、ステンレス鋼(SUS)を用いる。図3(b)に示すように、この母型300の上面をめっきし、凹凸面又は光沢面を有する下地めっき310を形成する(S2)。
この他にも、このフッ素加工は、レジスト400を除去した後、母型300及び下地めっき310を剥離する前に実施しても良い。
図5(c)に示すように、スキージ600がこの開口部2を通過した後には、この開口部2の内部へ引き込まれたはんだペースト200が開口部2に十分に充填された状態となる。
また、上記実施形態では、前記開口内側面21をコーティングする撥水層として、フッ素樹脂を用いたが、これに限定されず、この他にも撥水性(低表面張力性)を有する素材であれば、上記の撥水層を形成することが可能である。
以下、本発明に係る第2の実施形態を上記図8〜図12に基づいて説明する。
1a メタルマスク原型
11 フッ素樹脂
2 開口部
21 開口内側面
3 基板対向面
31 粗面
32 基板対向凹部
33 基板対向凸部
4 スキージ面
100 基板
100a パターン部
100b 絶縁部分
200 はんだペースト
200a 滲み
300 母型
310 下地めっき
400 レジスト
401 レジスト
410 凹部
500 研磨面
600 スキージ
Claims (4)
- 上下方向に貫通する開口部と、印刷対象となる基板に対向する側の基板対向面とを有し、当該基板対向面を当該基板に接触させ、当該開口部から当該基板上にはんだペーストを塗布可能とする印刷用マスクにおいて、
前記基板対向面の全面にわたり形成される粗面と、
前記開口部の内側面及び前記基板対向面に、コーティングされる撥水層とを備え、
前記基板対向面とは反対側の面であるスキージ面が、シボ面であり、
前記スキージ面には前記撥水層がコーティングされていないことを特徴とする印刷用マスク。 - 請求項1に記載の印刷用マスクにおいて、
前記開口部の内側面が、鏡面加工されていることを特徴とする印刷用マスク。 - 上下方向に貫通する開口部と、印刷対象となる基板に対向する側の基板対向面とを有する印刷用マスクを製造する印刷用マスク製造方法において、
母型上に、シボ面を有する下地めっき層が形成する下地めっき層形成工程と、
前記下地めっき層上に、レジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記レジストパターンに覆われていない前記母型上に、金属めっき層を堆積する金属めっき層形成工程と、
前記金属めっき層に対してエッチングして、前記基板対向面となる前記金属めっき層の表面に粗面を形成する粗面形成工程と、
前記母型基板及び下地めっき層を除去して、スキージ面となる前記下地めっき層と接していた側の前記金属めっき層の表面にシボ面を形成するシボ面形成工程と、
前記レジストを除去後、少なくとも前記開口部の内側面及び前記基板対向面に、撥水層をコーティングするコーティング工程とを含み、
前記コーティング工程においては、前記スキージ面には前記撥水層がコーティングされないようにすることを特徴とする印刷用マスク製造方法。 - 請求項3に記載の印刷用マスク製造方法において、
前記開口部の内側面に対して鏡面加工する鏡面加工工程を含むことを特徴とする印刷用マスク製造方法。
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