JP6562706B2 - 面デバイス、タッチスクリーン及び液晶表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、面に沿って布設された配線を有する面デバイス、タッチスクリーン及び液晶表示装置に関する。

面に沿って布設された配線を有する面デバイスの一種であるタッチパネルは、指などによるタッチを検出して、タッチされた位置の位置座標を特定する装置である。タッチパネルは、優れたユーザーインターフェース手段の１つとして注目されている。現在、抵抗膜方式、静電容量方式などの種々の方式のタッチパネルが製品化されている。一般に、タッチパネルは、タッチセンサが内蔵されるタッチスクリーンと、タッチスクリーンからの信号に基づいてタッチされた位置座標を特定する検出装置とから構成されている。

静電容量方式のタッチパネルの１つとして、投影型静電容量（Projected Capacitive）方式のタッチパネルがある（例えば特許文献１参照）。このような投影型静電容量方式のタッチパネルは、タッチセンサが内蔵されるタッチスクリーンの前面側を厚さが数ｍｍ程度のガラス板などの保護板で覆った場合でも、タッチの検出が可能である。この方式のタッチパネルは、保護板を前面に配設できるので堅牢性に優れる。また、手袋装着時でもタッチの検出が可能である。また、機械的に変形する可動部を有さないので長寿命である。

投影型静電容量方式のタッチパネルは、例えば、静電容量を検出するための検出用配線として、薄い誘電膜上に形成された第１シリーズの導体エレメントと、第１シリーズの導体エレメント上に絶縁膜を隔てて形成された第２シリーズの導体エレメントとを備えている。なお、各導体エレメントは互いに電気的に接触しておらず、複数箇所で立体的に交差している。指などの指示体と、検出用配線である第１シリーズの導体エレメント及び第２シリーズの導体エレメントとの間に形成される静電容量を検出回路で検出することによって、指示体がタッチした位置の位置座標が特定される。この検出方式は、一般に自己容量検出方式と呼ばれる（例えば特許文献２参照）。

また、例えば、行方向に延びて設けられる複数の行方向配線と、列方向に延びて設けられる複数の列方向配線との間の電界変化、すなわち相互容量の変化を検出することで、タッチされた位置座標を特定する検出方式がある。この検出方式は、一般に相互容量検出方式と呼ばれる（例えば特許文献３参照）。

上述した自己容量方式及び相互容量方式の何れの構成においても、行方向配線と列方向配線とによって格子状に区画された平面領域（検出セル）に指などの指示体によるタッチがある場合に、センサブロックでの検出値と、その近傍の検出セルの検出値とのバランスに基づいて、タッチされた位置座標を特定する方法が一般的に用いられる。

最近では、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜ではなく、低抵抗な金属からなるメッシュ配線を形成することによって、検出速度の向上やタッチスクリーンの大型化を実現することが提案されている（例えば特許文献４）。

また、面に沿って布設された配線を有する面デバイスの別の一種である表示装置、例えば薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下「ＴＦＴ」と記す）をスイッチングとして用いたアクティブマトリックス型ＴＦＴを備える表示装置が、電力消費の抑制化及び装置の薄型化するために活用されている。これら表示装置は、画面の大型化や高レート化、または高精細化に伴い、引き出し配線などのさらなる低抵抗化が要望されるに至っている。

特開２０１２−１０３７６１号公報 特表平９−５１１０８６号公報 特表２００３−５２６８３１号公報 特許第４８６９３０９号公報

しかしながら、特許文献４のように低抵抗の金属からなるメッシュ配線を用いてセンサ用配線（検出用配線）を形成しても、タッチスクリーンを大型化すると、タッチスクリーンの信号入力端子部から検出用配線へ延びる引き出し配線のうち、特に外側の引き出し配線が長くなるため、その配線抵抗が大きくなる。引き出し配線の抵抗が高くなると、静電気放電（ＥＳＤ）によってセンサ用配線を構成する絶縁膜の絶縁破壊が起こりやすくなり、タッチ機能を失いやすくなるという問題があった。

また、表示装置でも同様に、ＴＦＴが形成されるＴＦＴ基板の大型化に伴って外側の引き出し配線の抵抗が高くなることにより、この引き出し配線に接続されたゲート配線とソース配線との間の絶縁膜の絶縁破壊が発生しやすくなり、表示装置の線欠陥が生じやすくなるという問題があった。

そこで、本発明は、上記のような問題点を鑑みてなされたものであり、静電気放電による絶縁破壊を抑制可能な技術を提供することを目的とする。

本発明に係る面デバイスは、面に沿って布設された配線を有する面デバイスであって、予め定められた領域において、第１方向に沿って延在し、前記第１方向と垂直な第２方向に配列された複数の領域配線と、前記予め定められた領域の外側に配設された複数の端子部と、前記複数の端子部と前記複数の領域配線とをそれぞれ電気的に接続する複数の引き出し配線とを備える。２以上の前記引き出し配線が、互いに異なる幅で設定された幅調整配線を含むことにより、全ての前記引き出し配線のそれぞれの抵抗値が、前記領域配線の抵抗値よりも低くなっている。

本発明によれば、２以上の引き出し配線が、互いに異なる幅で設定された幅調整配線を含むことにより、全ての引き出し配線のそれぞれの抵抗値が、領域配線の抵抗値よりも低くなっている。これにより、静電気放電による絶縁破壊を抑制することができる。

実施の形態１に係るタッチスクリーンの層構造を示す斜視図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの引き出し配線の幅を示す図である。 実施の形態１に係る行方向配線及び列方向配線の構成を示す平面図である。 関連タッチスクリーンの抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態１に係るタッチスクリーンの抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの引き出し配線の幅を示す図である。 実施の形態２に係るタッチスクリーンの抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの引き出し配線の幅を示す図である。 実施の形態３に係るタッチスクリーンの抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。 実施の形態１〜３の変形例に係るタッチスクリーンの構成を示す平面図である。 実施の形態１〜３の変形例に係るタッチスクリーンの層構造を示す斜視図である。

＜実施の形態１＞
以下、本発明の実施の形態１では、面に沿って布設された配線を有する面デバイスがタッチスクリーンに適用されている場合について説明する。なお、本実施の形態１に係るタッチスクリーンは、投影型静電容量方式のタッチスクリーンであるとして説明するが、これに限ったものではない。

図１は、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１の層構造を示す斜視図である。図１において、タッチスクリーン１の最下面層は、透明なガラス材料または透明な樹脂から成る透明基板１０である。透明基板１０の上には、下部電極２０が配設されている。また、下部電極２０を被覆するように、層間絶縁膜１１が配設される。層間絶縁膜１１は、シリコン窒化膜またはシリコン酸化膜等の透明な絶縁膜である。層間絶縁膜１１の上面には上部電極３０が配設される。

さらに、層間絶縁膜１１の上面には、上部電極３０を被覆するように、保護膜１２が配設される。保護膜１２は、層間絶縁膜１１と同様に、シリコン窒化膜などの透光性を有する絶縁性の膜である。保護膜１２の上面には、タッチスクリーン１が装着される液晶ディスプレイ用の偏光板１３が貼り付けられる。そして、当該偏光板１３の上面にはタッチスクリーン１を保護するために、例えば透明なガラス材料または透明な樹脂からなる透明基板１４が粘着（接着）されている。

下部電極２０は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明配線材料またはアルミニウムもしくは銅等の金属配線材料から成る複数本の行方向配線２１を備える。また、上部電極３０は、下部電極２０と同様にＩＴＯ等の透明配線材料またはアルミニウムもしくは銅等の金属配線材料から成る複数本の列方向配線３１を備える。

本実施の形態１では、上述の列方向配線３１及び行方向配線２１のそれぞれに、アルミニウム系合金層とその窒化層とから成る多層構造を適用した。これによって、配線抵抗を小さくでき、かつ検出可能エリアの光の反射率を低減させることができる。また、本実施の形態１では、列方向配線３１を行方向配線２１上に配設したが、これらの位置関係を逆にして、行方向配線２１を列方向配線３１上に配設してもよい。さらに、列方向配線３１及び行方向配線２１の材料をアルミニウム系合金層とその窒化層から成る多層構造に統一したが、これらの材料は統一しなくてもよい。例えば列方向配線３１の材料をアルミニウム系合金層とその窒化層から成る多層構造とし、行方向配線２１をＩＴＯ等の透明配線材料としてもよい。

また、本実施の形態１では、列方向配線３１を行方向配線２１上に配設したが、これらを同一レイヤーに配設して、行方向配線２１と列方向配線３１とが平面視で重なる部分においてのみ、これら配線の間に層間絶縁膜１１を配設してこれら配線を電気的に分離してもよい。

使用者は、タッチスクリーン１の表面を成す透明基板１４に指などの指示体でタッチして操作を行う。透明基板１４に指示体が触れると、指示体と透明基板１４下部の行方向配線２１及び列方向配線３１の少なくともいずれか１つとの間に容量結合（タッチ容量）が発生する。相互容量方式では、当該タッチ容量の発生に応じて発生する、行方向配線２１及び列方向配線３１の間の相互容量の変化に基づいて、検出可能エリア内のどの位置において指示体がタッチしたかを特定するように構成されている。

なお、図１には、タッチスクリーン１だけでなく、表示素子５１及び粘着材５２も想像線（二点鎖線）で示されている。表示素子５１には、例えば液晶表示素子、または、ＬＣＤ（液晶表示装置）パネルなどの表示パネルが適用される。

図２は、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１の構成を示す平面図である。タッチスクリーン１の検出可能エリアは、少なくとも容量性負荷及び抵抗性負荷を有するアクティブエリア（予め定められた領域）の一種である。検出可能エリアは、行方向（Ｘ方向、横方向）に延在し、列方向（Ｙ方向、縦方向）に配列された複数の行方向配線２１と、列方向に延在し、行方向に配列された複数の列方向配線３１とが、平面視において重なることによって形成されるマトリックス領域である。以下、第１方向は列方向（Ｙ方向、縦方向）であり、第２方向は列方向と垂直な行方向（Ｘ方向、横方向）であり、複数の領域配線（複数のセンサ用配線）は行方向配線２１であるものとして説明するが、これに限ったものではない。

図２のタッチスクリーン１は、外部の配線（図示せず）と接続するための複数の端子部８と、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５と、引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０とを備えている。つまり、本実施の形態１では、複数の引き出し配線は、第１〜第ｎの引き出し配線においてｎ＝２５であるが、もちろんこれに限ったものではない。

複数の端子部８は、検出可能エリアの外側に配設されている。引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５は、複数の端子部８と、複数の行方向配線２１とをそれぞれ電気的に接続する。なお、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の全長は、この順に長くなっている。引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０は、複数の端子部８と、複数の列方向配線３１とをそれぞれ電気的に接続する。

引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５及び引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０は、検出可能エリアの外周に沿って配設されている。列方向配線３１の引き出し配線Ｃ４０と、行方向配線２１の引き出し配線Ｒ１との間には、グランド電位等の基準電位が印加されたシールド配線４０が配設されている。このシールド配線４０の配設により、引き出し配線Ｃ４０と引き出し配線Ｒ１との間のクロス容量を低減することが可能となるため、指示体のタッチを誤って検出することを抑制することが可能となっている。

次に図３及び図４を用いて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の詳細な構造を説明する。図３は、図２中の領域Ａにおいて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ３が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図４は、図２中の領域Ｂにおいて、引き出し配線Ｒ２３〜Ｒ２５が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図３において、破線で示される境界部Ｔは端子部８側から列方向に延在する引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が、引き出し配線Ｒ１から順に行方向に延在し始める境界部である。

引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５のうちの２以上の引き出し配線は、互いに異なる幅で設定（調整）された幅調整配線を含んでいる。本実施の形態１では、その一例として、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が、第１〜第２５の幅調整配線をそれぞれ含んでいるものとして説明する。

第１〜第２５の幅調整配線は、図３及び図４に示される列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５（第１〜第２５の第２方向延在配線）をそれぞれ含んでいる。列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５は、列方向に延在し、検出可能エリア側から順に行方向に配列されている。図３及び図４に示すように、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さは、Ｗ（１）〜Ｗ（２５）である。

第１の幅調整配線以外の第２〜第２５の幅調整配線は、図３及び図４に示される突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５（第２〜第２５の突出配線）をそれぞれさらに含んでいる。このうち、突出配線Ｒ２＿２は、複数の行方向配線２１と列方向延在配線Ｒ１＿２とを電気的に接続し、当該接続された列方向延在配線Ｒ１＿２よりも行方向において検出可能エリア側に突出している。同様に、突出配線Ｒ２＿３〜Ｒ２＿２５は、複数の行方向配線２１と列方向延在配線Ｒ１＿３〜Ｒ１＿２５とを電気的に接続し、当該接続された列方向延在配線Ｒ１＿３〜Ｒ１＿２５よりも行方向において検出可能エリア側に突出している。突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の列方向の長さは、列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５の行方向の長さと同じＷ（２）〜Ｗ（２５）である。

ここで本実施の形態１では、上述した幅調整配線の幅の設定（調整）によって、第１〜第２５の幅調整配線の幅Ｗ１〜Ｗ（２５）がこの順に大きくなっている。つまり、Ｗ（１）≦Ｗ（２）≦・・・≦Ｗ（２５）となっている。

図５に第１〜第２５の幅調整配線の長さＷ（１）〜Ｗ（２５）の値を示す。記載値の単位はμｍである。図５に示されるように、第１〜第２５の幅調整配線の幅Ｗ１〜Ｗ（２５）がこの順に大きくなっている。このように設定（調整）された第１〜第２５の幅調整配線により、後で詳細に説明するように、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５のそれぞれの抵抗値が、行方向配線２１の抵抗値よりも低くなっている。

次に図６を用いて、行方向配線２１及び列方向配線３１の詳細な構造を説明する。図６に例示するように、各列方向配線３１は、（１）列方向Ｙに対して傾斜角度４５°で斜めに傾斜した第１傾斜部分２ａＳと、列方向Ｙに平行で且つ第１傾斜部分２ａＳに繋がった第１平行部分２ａＰとが、列方向Ｙに沿ってジグザグ状に繰り返されて配設されて成るジグザグパターンの第１金属配線２ａと、（２）列方向Ｙを軸として第１金属配線２ａに線対称な構成を有する第２金属配線２ｂとの一組から成る。

同様に、各行方向配線２１は、（３）行方向Ｘに対して傾斜角度４５°で斜めに傾斜した第２傾斜部分３ａＳと、行方向Ｘに平行で且つ第２傾斜部分３ａＳに繋がった第２平行部分３ａＰとが、行方向Ｘに沿ってジグザグ状に繰り返されて配設されて成るジグザグパターンの第３金属配線３ａと、（４）行方向Ｘを軸として第３金属配線３ａに線対称な構成を有する第４金属配線３ｂとの一組から成る。

しかも、複数の列方向配線３１の内の任意の１本の検出用列配線と、複数の行方向配線２１の内の任意の１本の検出用行配線とが立体的に交差して成る各エリアにおいて、以下のような位置関係が成立する。

すなわち、いずれかのエリア内に属する第１金属配線２ａの２つの第１傾斜部分２ａＳの内で一方の傾斜部分２ａＳ１は、その中点（中心部）において、当該エリア内に属する第３金属配線３ａの２つの第２傾斜部分３ａＳの内の一方の傾斜部分３ａＳ１と、その中点（中心部）において立体的に直交している。さらに、いずれかのエリア内に属する第１金属配線２ａの２つの第１傾斜部分２ａＳの内で他方の傾斜部分２ａＳ２は、その中点（中心部）において、当該エリア内に属する第４金属配線３ｂの２つの第２傾斜部分３ｂＳの内の一方の傾斜部分３ｂＳ１と、その中点（中心部）において立体的に直交している。

加えて、いずれかのエリア内に属する第２金属配線２ｂの２つの第１傾斜部分２ｂＳの内で一方の傾斜部分２ｂＳ１は、その中点（中心部）において、当該エリア内に属する第３金属配線３ａの２つの第２傾斜部分３ａＳの内の他方の傾斜部分３ａＳ２と、その中点（中心部）において立体的に直交している。さらに、いずれかのエリア内に属する第２金属配線２ｂの２つの第１傾斜部分２ｂＳの内で他方の傾斜部分２ｂＳ２は、その中点（中心部）において、当該エリア内に属する第４金属配線３ｂの２つの第２傾斜部分３ｂＳの内の他方の傾斜部分３ｂＳ２と、その中点（中心部）において立体的に直交している。このような傾斜部分同士の直交関係の設定により、平行部分２ａＰ，２ｂＰの列方向Ｙに沿っての寸法、及び、平行部分３ａＰ，３ｂＰの行方向Ｘに沿っての寸法は、最小値化される。

図６に示した本構成、つまり行方向配線２１及び列方向配線３１にメッシュ状の金属線を適用した構成によれば、行方向配線２１と列方向配線３１との配線間で発生する寄生容量の値を最小化することが可能となる。さらに、本構成によって、平面視における行方向配線２１及び列方向配線３１が存在しない箇所の全面積を、本構成を採用しない場合よりも低減することができるため、指示体と行方向配線２１との間の静電容量、及び、指等の指示体と列方向配線３１との間の静電容量から成るタッチ容量を各エリアで均一に検出することが可能となる。

本実施の形態１では、行方向配線２１及び列方向配線３１に適用したメッシュ状の金属線の幅は３μｍであるとした。以上のように構成された行方向配線２１の抵抗値をシミュレーションにより計算したところ、７８０Ωであった。

なお、行方向配線２１及び列方向配線３１の材料としては、ＩＴＯもしくはグラフェン等の透明導線性材料、または、アルミニウム、クロム、銅もしくは銀等の金属材料を用いることができる。あるいは、それらの材料としては、アルミニウム、クロム、銅、銀等の合金、または、これら合金上に窒化アルミニウム等を形成した多層構造を用いることができる。ただし、導線幅、メッシュ間隔及び抵抗値は、上述の説明に限定されるものではなく、タッチスクリーン１の用途等に応じて適宜変更されてよい。

図７は、本実施の形態１に関連するタッチスクリーン（以下「関連タッチスクリーン」と記す）における、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。図８は、本実施の形態１のタッチスクリーン１における、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。図７及び図８では、端子部８から境界部Ｔまでの抵抗値と、境界部Ｔから行方向配線２１の入力端子２２までの抵抗値（幅調整配線の抵抗値）とを分けて記載している。なお、記載値の単位はΩである。

関連タッチスクリーンでは、第１〜第２５の幅調整配線に相当する部分の幅を全て４０μｍとした。この結果、図７に示すように、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の全長に応じて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値がこの順に大きくなっている。そして、引き出し配線Ｒ１９〜Ｒ２５の抵抗値は、行方向配線２１の抵抗値よりも高くなっている。

これに対して、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１では、第１〜第２５の幅調整配線に、図５に示した幅を適用した。この結果、図８に示すように、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値は、行方向配線２１の抵抗値である７８０Ωよりも低くなった。

＜効果＞
本実施の形態１に係るタッチスクリーン１の効果を確認するために、１．０ｍｍの厚さのガラス材料からなる透明基板１４を備える本実施の形態１に係るタッチスクリーン１及び関連タッチスクリーンを作成し、それらについて静電気放電試験を行った。放電試験の条件は、放電コンデンサを３３０ｐＦとし、放電抵抗を３３０Ωとした。その結果、放電が１５ｋＶ程度になった場合に、関連タッチスクリーンでは引き出し配線Ｒ２５と行方向配線２１の入力端子２２との接続部分近傍で絶縁破壊が確認された。これに対して、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１では、放電が１５ｋＶより大きくなった場合でも絶縁破壊が確認されなかった。

以上のように本実施の形態１によれば、タッチパネル上の導体などからの静電気放電による絶縁破壊が起こりにくく、信頼性の高いタッチスクリーンを実現することができる。また、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１及び関連タッチスクリーンをタッチパネル検出用コントローラーに接続し、透明基板１４に指示体を接触させた後の、座標出力までの応答時間を測定した。その結果、本実施の形態１に係るタッチスクリーン１の応答速度は、関連タッチスクリーンの応答速度の約６５％程度であった。したがって、本実施の形態１によれば、タッチパネルの応答速度の改善も期待できる。また、全ての幅調整配線の幅を一律に太くするのではなく、抵抗値が比較的高い引き出し配線の幅調整配線の幅を太くすることにより、引き出し配線全体を配設するための領域を低減することができる。したがって、タッチパネルの額縁を狭くしたタッチスクリーン１を実現することができる。

なお、以上の説明では、幅調整の対象となる第２〜第２５の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ２＿２〜Ｒ１＿２５だけでなく、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５を含んでおり、これらの幅が調整されていた。しかしこれに限ったものではなく、例えば、第２〜第２５の幅調整配線が、列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５だけを含むとして、これらの幅だけが調整されてもよい。このような構成であっても、上述と同様の効果を得ることは可能である。

＜実施の形態２＞
実施の形態１では、図３及び図４に示したように、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５同士の行方向における間隔は比較的小さいが、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５同士の列方向における間隔は比較的大きかった。そこで、本発明の実施の形態２では、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の列方向の長さを大きくすることによって、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５同士の列方向における間隔を比較的小さくするように構成されている。なお、本実施の形態２に係るタッチスクリーン１及び引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５等の全体構成は、実施の形態１の図１及び図２で示した構造と同様なので、その説明を省略する。

図９及び図１０を用いて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の詳細な構造を説明する。図９は、図２中の領域Ａにおいて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ３が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図１０は、図２中の領域Ｂにおいて、引き出し配線Ｒ２３〜Ｒ２５が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図９において、破線で示される境界部Ｔは端子部８側から列方向に延在する引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が、引き出し配線Ｒ１から順に行方向に延在し始める境界部である。

図９及び図１０に示すように、引き出し配線Ｒ１の第１の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ１＿１を含んでいる。そして、引き出し配線Ｒ２〜Ｒ２５の第２〜第２５の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５と、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５とを含んでいる。

列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さは、Ｗ１（１）〜Ｗ１（２５）であり、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５同士は、行方向に予め定められた間隔（絶縁を維持可能な間隔）で離間して配列されている。

一方、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の行方向の長さは、Ｗ２（２）〜Ｗ２（２５）である。また、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の、行方向配線２１の接続部分と接続された部分（第２〜第ｎの突出配線の少なくとも一部）の列方向の長さは、Ｌ２〜Ｌ２５である。これら部分の長さＬ２〜Ｌ２５は、Ｌ２＝Ｌ３＝・・・＝Ｌ２５となっており、互いに等しくなっている。

ここで、Ｗ２（２）〜Ｗ２（２５）及びＬ２〜Ｌ２５をなるべく大きくすることにより、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５同士は、列方向に上述の予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている。この結果として、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５同士が、行方向に予め定められた間隔で離間して配列されるとともに、列方向にも当該予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている。

このような構成によれば、行方向配線２１の入力端子２２近傍での引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗を下げることができる。このため、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の抵抗値を維持しつつ、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さＷ１（１）〜Ｗ１（２５）を小さくすることができる。これにより、タッチスクリーン１の額縁を小さくすることが可能となる。

図１１に列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さＷ１（１）〜Ｗ１（２５）の値と、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の行方向の長さＷ２（２）〜Ｗ２（２５）の値とを示す。記載値の単位はμｍである。図１１に示されるように、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さがＷ１（１）≦Ｗ１（２）≦・・・≦Ｗ１（２５）となるように設定（調整）されており、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５の行方向の長さがＷ２（２）≦Ｗ２（３）≦・・・≦Ｗ２（２５）となるように設定（調整）されている。この設定（調整）によって、本実施の形態２でも実施の形態１と同様に、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５のそれぞれの抵抗値が、行方向配線２１の抵抗値よりも低くなっている。

行方向配線２１及び列方向配線３１の詳細な構成は、実施の形態１の図６と同様なので、その説明を省略する。なお、本実施の形態２に係る行方向配線２１の抵抗値は、実施の形態１と同様に７８０Ωであるものとする。

なお、行方向配線２１及び列方向配線３１の材料としては、ＩＴＯもしくはグラフェン等の透明導線性材料、または、アルミニウム、クロム、銅もしくは銀等の金属材料を用いることができる。あるいは、それらの材料としては、アルミニウム、クロム、銅、銀等の合金、または、これら合金上に窒化アルミニウム等を形成した多層構造を用いることができる。ただし、導線幅、メッシュ間隔及び抵抗値は、上述の説明に限定されるものではなく、タッチスクリーン１の用途等に応じて適宜変更されてよい。

図１２は、本実施の形態２のタッチスクリーン１における、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。図１２では、端子部８から境界部Ｔまでの抵抗値と、境界部Ｔから行方向配線２１の入力端子２２までの抵抗値（幅調整配線の抵抗値）とを分けて記載している。なお、記載値の単位はΩである。

幅調整配線に図１１に示した幅を適用した本実施の形態２に係るタッチスクリーン１では、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値は、図１２に示すように行方向配線２１の抵抗値である７８０Ωよりも低くなった。また、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の行方向の長さは、実施の形態１では図５のＷ（１）〜Ｗ（２５）の合計の長さ（概ね３０８２μｍ）に対応するのに対して、本実施の形態２では図１１のＷ２（２５）の長さ（２８４４μｍ）に対応する。このことから分かるように、本実施の形態２では、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の行方向の長さが短くなった。

＜効果＞
本実施の形態２に係るタッチスクリーン１の効果を確認するために、１．０ｍｍの厚さのガラス材料からなる透明基板１４を備える本実施の形態２に係るタッチスクリーン１及び実施の形態１に係るタッチスクリーンを作成し、それらについて静電気放電試験を行った。放電試験の条件は、放電コンデンサを３３０ｐＦとし、放電抵抗を３３０Ωとした。その結果、放電が１８ｋＶ程度になった場合に、実施の形態１のタッチスクリーン１では引き出し配線Ｒ２５と行方向配線２１の入力端子２２との接続部分近傍で絶縁破壊が確認された。これに対して、本実施の形態２に係るタッチスクリーン１では、放電が１８ｋＶより大きくなった場合でも絶縁破壊が確認されなかった。

以上のように本実施の形態２によれば、タッチパネル上の導体などからの静電気放電による絶縁破壊が起こりにくく、信頼性の高いタッチスクリーンを実現することができる。さらに、本実施の形態２に係るタッチスクリーン１及び実施の形態１に係るタッチスクリーンについて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が占有する行方向の最大幅（額縁）を比較した。その結果、実施の形態１に係るタッチスクリーン１は３．３３ｍｍであったのに対し、本実施の形態２に係るタッチスクリーン１は３．０９ｍｍと小さくすることができた。したがって、本実施の形態２によれば、タッチパネルの額縁を狭くしたタッチスクリーン１を実現することができる。

また、本実施の形態２によれば、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿ｎの少なくとも一部の列方向の長さＬ２〜Ｌｎは互いに等しくなっている。これにより、行方向配線２１と引き出し配線との寄生容量が、複数の引き出し配線において均等になるため、容量偏差による誤動作を抑制することができる。

なお、以上の説明では、幅調整の対象となる第２〜第２５の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ２＿２〜Ｒ１＿２５だけでなく、突出配線Ｒ２＿２〜Ｒ２＿２５も含んでおり、これらの幅が調整されていた。しかしこれに限ったものではなく、例えば、第２〜第２５の幅調整配線が、列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５だけを含むとして、これらの幅だけが調整されてもよい。このような構成であっても、上述と同様の効果を得ることは可能である。

＜実施の形態３＞
本発明の実施の形態３では、多くの突出配線が、段階的に検出可能エリア側に突出する突出部分配線を含んでいる点が、実施の形態１及び２と異なる。なお、本実施の形態３に係るタッチスクリーン１及び引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５等の全体構成は、実施の形態１の図１及び図２で示した構造と同様なので、その説明を省略する。

図１３は、本実施の形態３に係るタッチスクリーン１の構成を示す平面図である。検出可能エリアは、行方向（Ｘ方向、横方向）に延在し、列方向（Ｙ方向、縦方向）に配列された複数の行方向配線２１と、列方向に延在し、行方向に配列された複数の列方向配線３１とが、平面視において重なることによって形成されるマトリックス領域である。

引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５は、複数の端子部８と、複数の行方向配線２１とをそれぞれ電気的に接続する。同様に、引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０は、複数の端子部８と、複数の列方向配線３１とをそれぞれ電気的に接続する。

引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５及び引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０は、検出可能エリアの外周に沿って配設されており、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の全長は、この順に長くなっている。列方向配線３１の引き出し配線Ｃ４０と、行方向配線２１の引き出し配線Ｒ１との間には、グランド電位等の基準電位が印加されたシールド配線４０が配設されている。このシールド配線４０の配設により、引き出し配線Ｃ４０と引き出し配線Ｒ１との間のクロス容量を低減することが可能となるため、指示体のタッチを誤って検出することを抑制することが可能となっている。

引き出し配線Ｒ１は、検出可能エリアの外周に沿って配置される。引き出し配線Ｒ２のうち、概ねの部分は、引き出し配線Ｒ１に沿って配置されるが、引き出し配線Ｒ１が行方向配線２１の入力端子２２に入力される位置から、引き出し配線Ｒ２が次の行方向配線２１の入力端子２２に入力される位置までの部分は、検出可能エリアの外周に沿って配置される。引き出し配線Ｒ３〜Ｒ２５も同様に構成することで、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５は、この順に、検出可能エリアの外周側に詰めて配置される。また、引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０も同様に、端子部８に近い引き出し配線から順に、検出可能エリアの外周側に詰めて配置される。

このように引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５及び引き出し配線Ｃ１〜Ｃ４０をなるべく検出可能エリアの外周側に詰めて配設することで、タッチスクリーン１が装着される表示素子５１（図１）と、最外の引き出し配線Ｒ１，Ｃ１を除いた引き出し配線Ｒ２〜Ｒ２５，Ｃ２〜Ｃ４０のそれぞれとの間のフリンジ容量を抑制することができる。

なお本実施の形態３では、最外引き出し配線Ｒ１，Ｃ１の外側には、複数の行方向配線２１、複数の列方向配線３１、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５，Ｃ１〜Ｃ４０を囲む最外シールド配線４１が配設されている。この最外シールド配線４１には、グランド電位が印加されている。これにより、表示素子５１（図１）と、最外の引き出し配線Ｒ１，Ｃ１のそれぞれとの間のフリンジ容量を抑制することができる。また、本実施の形態３では、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５は等間隔で配置されている。

次に図１４及び図１５を用いて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の詳細な構造を説明する。図１４は、図１３中の領域Ａにおいて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ３が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図１５は、図１３中の領域Ｂにおいて、引き出し配線Ｒ２３〜Ｒ２５が行方向配線２１の入力端子２２へ接続される領域周辺を拡大した平面図である。図１４において、破線で示される境界部Ｔは端子部８側から列方向に延在する引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が、引き出し配線Ｒ１から順に行方向に延在し始める境界部である。

図１４及び図１５に示すように、引き出し配線Ｒ１の第１の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ１＿１を含んでいる。そして、引き出し配線Ｒ２〜Ｒ２５の第２〜第２５の幅調整配線は、列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５と、図１４及び図１５では符号が付されていない第２〜第２５の突出配線とを含んでいる。

列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さは、Ｗ１（１）〜Ｗ１（２５）であり、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５同士は、行方向に予め定められた間隔（絶縁を維持可能な間隔）で離間して配列されている。

第２〜第２５の突出配線のうち任意の第ｋ（ｋ＝２，３，・・・，２５）の突出配線は、段階的に検出可能エリア側に突出する（ｋ−１）個の突出部分配線ＰＲ２＿ｋ，ＰＲ３＿ｋ，・・・，ＰＲｋ＿ｋを含んでいる。例えば、第２の突出配線は、１段階で検出可能エリア側に突出する１個の突出部分配線ＰＲ２＿２を含んでいる。また例えば、第２５の突出配線は、２４段階で検出可能エリア側に突出する２４個の突出部分配線ＰＲ２＿２５，ＰＲ３＿２５，・・・，ＰＲ２５＿２５を含んでいる。

列方向延在配線Ｒ１＿２〜Ｒ１＿２５のうち任意の第ｋ（ｋ＝２，３，・・・，２５）の列方向延在配線Ｒ１＿ｋは、それより突出する突出部分配線ＰＲ２＿ｋと接続され、突出部分配線ＰＲ２＿ｋは、それより突出する突出部分配線ＰＲ３＿ｋと接続され、・・・、突出部分配線ＰＲ（ｋ−１）＿ｋは、それより突出する突出部分配線ＰＲｋ＿ｋと接続されている。つまり、突出部分配線ＰＲ２＿ｋ、ＰＲ３＿ｋ、・・・、ＰＲｋ＿ｋは、この順に、列方向延在配線Ｒ１＿ｋと接続されているとともに、この順に、段階的に検出可能エリア側に突出している。

特に、任意の第ｋ（ｋ＝２，３，・・・，２５）の突出配線は、最外の第２５の突出配線を除いて、列方向に延在する配線を、突出部分配線ＰＲ２＿ｋ、ＰＲ３＿ｋ、・・・、ＰＲｋ＿ｋとして含んでいる。そして、第ｋの列方向延在配線Ｒ１＿ｋの一端の検出可能エリア側部分は、突出部分配線ＰＲ２＿ｋの一端と接続され、突出部分配線ＰＲ２＿ｋの他端の検出可能エリア側部分は、突出部分配線ＰＲ３＿ｋの一端と接続され、・・・、突出部分配線ＰＲ（ｋ−１）＿ｋの他端の検出可能エリア側部分は、突出部分配線ＰＲｋ＿ｋの一端と接続されている。

このように構成された引き出し配線Ｒ２〜Ｒ２４は、屈曲しながら行方向配線２１の入力端子２２に近づいていくため、境界部Ｔからの電流経路の最短距離が、実施の形態２よりも短くなる。これにより、抵抗値が小さくなるので、同様にタッチスクリーン１の額縁を小さくすることが可能となる。

さて、突出部分配線ＰＲ２＿ｋ、ＰＲ３＿ｋ、・・・、ＰＲｋ＿ｋの長さは、Ｗ２（ｋ）、Ｗ３（ｋ）、・・・、Ｗｋ（ｋ）である。図１４及び図１５には、それらの一部である、Ｗ２（２）、Ｗ２（３）、Ｗ３（３）、Ｗ２（４）、Ｗ３（４）、Ｗ４（４）、・・・、Ｗ２５（２５）などが示されている。また、第（ｋ−１）の突出配線に含まれるｍｋ番目の突出部分配線ＰＲｍｋ＿ｋ−１と、第ｋの突出配線に含まれるｍｋ番目の突出部分配線ＰＲｍｋ＿ｋとの間のスリット幅は、Ｓｋ−１＿ｋ（ｍｋ）である。図１５には、第２３の突出配線に含まれる２３番目の突出部分配線ＰＲ２３＿２３と、第２４の突出配線に含まれる２３番目の突出部分配線ＰＲ２３＿２４との間のスリット幅Ｓ２３＿２４（２３）が図示されている。また図１５には、第２４の突出配線に含まれる２３番目の突出部分配線ＰＲ２３＿２４と、第２５の突出配線に含まれる２３番目の突出部分配線ＰＲ２３＿２５との間のスリット幅Ｓ２４＿２５（２３）が図示されている。

ここで本実施の形態３では、上述した幅調整配線の幅の設定（調整）によって、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５のうちの２以上の行方向の長さが互いに異なり、かつ、同じ段階で突出する突出部分配線の２以上の行方向の長さが互いに異なっている。また、Ｗ１（１）＋Ｗ１（２）＋・・・＋Ｗ１（ｎ）＋Ｓ１＿２（１）＋Ｓ２＿３（１）＋・・・＋Ｓｎ−１＿ｎ（１）≧Ｗ２（２）＋Ｗ２（３）＋・・・＋Ｗ２（ｎ）＋Ｓ２＿３（２）＋Ｓ３＿４（２）＋・・・＋Ｓｎ−１＿ｎ（２）≧・・・≧Ｗｎ−１（ｎ−１）＋Ｗｎ−１（ｎ）＋Ｓｎ−１＿ｎ（ｎ−１）≧Ｗｎ（ｎ）が成り立っている。このことについては後で図１６を用いて説明する。

なお、突出部分配線ＰＲ２＿２、ＰＲ３＿３、・・・、ＰＲ２５＿２５の、行方向配線２１の接続部分と接続された部分（第２〜第ｎの突出配線の少なくとも一部）の列方向の長さは、Ｌ２〜Ｌ２５である。これら部分の長さＬ２〜Ｌ２５は、Ｌ２＝Ｌ３＝・・・＝Ｌ２５となっており、互いに等しくなっている。

ここで、Ｗ２（２）、Ｗ２（３）、Ｗ３（３）、Ｗ２（４）、Ｗ３（４）、Ｗ４（４）、・・・、Ｗｎ（ｎ）及びＬ２〜Ｌ２５をなるべく大きくすることにより、第１〜第２５の突出配線同士は、列方向または行方向に上述の予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている。この結果として、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５同士が、行方向に予め定められた間隔で離間して配列されるとともに、列方向にも当該予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている。

このような構成によれば、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗を下げることができる。このため、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の抵抗値を維持しつつ、列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さＷ１（１）〜Ｗ１（２５）を小さくすることができる。これにより、タッチスクリーン１の額縁を小さくすることが可能となる。

図１６に列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の行方向の長さＷ１（１）〜Ｗ１（２５）の値と、突出部分配線ＰＲ２＿２、ＰＲ２＿３、・・・、ＰＲ２５＿２５の行方向の長さＷ２（２）、Ｗ２（３）、・・・、Ｗ２５（２５）の値とを示す。記載値の単位はμｍである。

列方向延在配線Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５の長さＷ１（１）〜Ｗ１（２５）は、概ね互いに異なり、かつ、ｉ段階で突出する突出部分配線の長さＷｉ＋１（ｉ＋１）、Ｗｉ＋１（ｉ＋２）、・・・、Ｗｉ＋１（２５）は、概ね互いに異なっている。

また、図１６では、上述した不等式の一例として、Ｗ１（１）＋Ｗ１（２）＋・・・＋Ｗ１（２５）＋Ｓ１＿２（１）＋Ｓ２＿３（１）＋・・・＋Ｓ２４＿２５（１）＝・・・＝Ｗ２４（２４）＋Ｗ２４（２５）＋Ｓ２４＿２５（２４）＝Ｗ２５（２５）となっている。ただし、図１６では四捨五入したことによって、上記等号に若干のずれはある。

さらに、図１６に示される平均は、引き出し配線Ｒ１の長さ（Ｗ１（１））、引き出し配線Ｒ２の長さの平均（（Ｗ１（２）＋Ｗ２（２））／２）、・・・、引き出し配線Ｒ２５の長さの平均（（Ｗ１（２５）＋Ｗ２（２５）＋・・・＋Ｗ２５（２５））／２５）を示す。この平均に示されるように、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の行方向の長さは、概ねこの順に大きくなっている。

以上のような設定（調整）によって、本実施の形態３でも実施の形態１と同様に、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５のそれぞれの抵抗値が、行方向配線２１の抵抗値よりも低くなっている。

行方向配線２１及び列方向配線３１の詳細な構成は、実施の形態１の図６と同様なので、その説明を省略する。なお、本実施の形態３に係る行方向配線２１の抵抗値は、実施の形態１と同様に７８０Ωであるものとする。

なお、行方向配線２１及び列方向配線３１の材料としては、ＩＴＯもしくはグラフェン等の透明導線性材料、または、アルミニウム、クロム、銅もしくは銀等の金属材料を用いることができる。あるいは、それらの材料としては、アルミニウム、クロム、銅、銀等の合金、または、これら合金上に窒化アルミニウム等を形成した多層構造を用いることができる。ただし、導線幅、メッシュ間隔及び抵抗値は、上述の説明に限定されるものではなく、タッチスクリーン１の用途等に応じて適宜変更されてよい。

図１７は、本実施の形態３のタッチスクリーン１における、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。図１７では、端子部８から境界部Ｔまでの抵抗値と、境界部Ｔから行方向配線２１の入力端子２２までの抵抗値（幅調整配線の抵抗値）とを分けて記載している。なお、記載値の単位はΩである。

幅調整配線に図１６に示した幅を適用した本実施の形態３に係るタッチスクリーン１では、全ての引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５の抵抗値は、図１７に示すように行方向配線２１の抵抗値である７８０Ωよりも低くなった。また、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の行方向の長さは、実施の形態２では図１１のＷ２（２５）の長さ（２８４４μｍ）に対応するのに対して、本実施の形態３では図１７のＷ２（２５）の長さ（２３１０μｍ）に対応する。このことから分かるように、本実施の形態３では、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５全体の行方向の長さがより短くなった。

＜効果＞
本実施の形態３に係るタッチスクリーン１の効果を確認するために、１．０ｍｍの厚さのガラス材料からなる透明基板１４を備える本実施の形態３に係るタッチスクリーン１及び実施の形態１に係るタッチスクリーンを作成し、それらについて静電気放電試験を行った。放電試験の条件は、放電コンデンサを３３０ｐＦとし、放電抵抗を３３０Ωとした。その結果、放電が１８ｋＶ程度になった場合に、実施の形態１のタッチスクリーン１では引き出し配線Ｒ２５と行方向配線２１の入力端子２２との接続部分近傍で絶縁破壊が確認された。これに対して、本実施の形態３に係るタッチスクリーン１では、放電が１８ｋＶより大きくなった場合でも絶縁破壊が確認されなかった。

以上のように本実施の形態３によれば、タッチパネル上の導体などからの静電気放電による絶縁破壊が起こりにくく、信頼性の高いタッチスクリーンを実現することができる。さらに、本実施の形態３に係るタッチスクリーン１及び実施の形態２に係るタッチスクリーンについて、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が占有する行方向の最大幅（額縁）を比較した。その結果、実施の形態２に係るタッチスクリーン１は３．０９ｍｍであったのに対し、本実施の形態３に係るタッチスクリーン１は２．５６ｍｍと小さくすることができた。したがって、本実施の形態３によれば、タッチパネルの額縁を狭くしたタッチスクリーン１を実現することができる。

＜実施の形態１〜３の変形例＞
以上に説明した実施の形態１〜３において、引き出し配線は、行方向配線２１の一端から接続していた。しかしこれに限ったものではなく、引き出し配線は、行方向配線２１の両端から接続してもよい。図１８に示す例では、引き出し配線Ｒ１〜Ｒ２５が行方向配線２１に対し、左右両側から接続されている。この場合、行方向配線２１の抵抗及び容量から成る負荷を実効的に減少させることができ、検出速度を短くすることが可能となる。

また、実施の形態１及び実施の形態３において、上述の図１に示した透明基板１０の代わりに、液晶ディスプレイのカラーフィルター基板が備えられてもよい。図１９は、タッチスクリーン１の層構造の斜視図である。図１９に示す例では、カラーフィルター基板１５の表示面上に下部電極２０、層間絶縁膜１１、上部電極３０、及び、保護膜１２が順に形成され、その上面には透明なガラス材料または透明な樹脂から成る透明基板１４が設けられている。この場合、タッチスクリーン１の透明基板１０と液晶ディスプレイ（表示素子５１）のカラーフィルター基板１５を共用するため、液晶ディスプレイにタッチスクリーン１を装着した構成において薄型化が実現できる。

また、実施の形態１〜３では、アクティブエリア（予め定められた領域）は検出可能エリアであり、複数の領域配線は複数の行方向配線２１であり、面デバイスはタッチスクリーン１であるものとして説明した。しかしこれに限ったものではなく、アクティブエリア（予め定められた領域）は表示領域であり、面デバイスは、表示領域において複数の領域配線（ソース配線及びゲート配線）と接続された複数の薄膜トランジスタを備えるＴＦＴアレイからなる液晶表示装置であってもよい。このような液晶表示装置においても、上述のタッチスクリーン１と同様に、ＥＳＤによる絶縁破壊を抑制することができるとともに、ＴＦＴの充電不足による表示ムラの改善なども期待できる。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態及び各変形例を自由に組み合わせたり、各実施の形態及び各変形例を適宜、変形、省略したりすることが可能である。

１ タッチスクリーン、８ 端子部、２１ 行方向配線、Ｒ１〜Ｒ２５ 引き出し配線、Ｒ１＿１〜Ｒ１＿２５ 列方向延在配線、Ｒ２＿２〜Ｒ２５＿２５ 突出配線、ＰＲ２＿２〜ＰＲ２５＿２５ 突出部分配線。

Claims (10)

1. 面に沿って布設された配線を有する面デバイスであって、
   予め定められた領域において、第１方向に沿って延在し、前記第１方向と垂直な第２方向に配列された複数の領域配線と、
   前記予め定められた領域の外側に配設された複数の端子部と、
   前記複数の端子部と前記複数の領域配線とをそれぞれ電気的に接続する複数の引き出し配線と
   を備え、
   ２以上の前記引き出し配線が、互いに異なる幅で設定された幅調整配線を含むことにより、全ての前記引き出し配線のそれぞれの抵抗値が、前記領域配線の抵抗値よりも低くなっている、面デバイス。
2. 請求項１に記載の面デバイスであって、
   第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の前記引き出し配線は第１〜第ｎの前記幅調整配線をそれぞれ含み、
   前記第１〜第ｎの幅調整配線は、
   前記第２方向に延在し、前記予め定められた領域側から順に前記第１方向に配列された第１〜第ｎの第２方向延在配線をそれぞれ含み、
   前記第１〜第ｎの幅調整配線の幅がこの順に大きくなっている、面デバイス。
3. 請求項１または請求項２に記載の面デバイスであって、
   前記複数の引き出し配線同士は、
   前記第１方向に予め定められた間隔で離間して配列されるとともに、前記第２方向にも当該予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている、面デバイス。
4. 請求項１に記載の面デバイスであって、
   第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の前記引き出し配線は第１〜第ｎの前記幅調整配線をそれぞれ含み、
   前記第１〜第ｎの幅調整配線は、
   前記第２方向に延在し、前記予め定められた領域側から順に前記第１方向に配列された第１〜第ｎの第２方向延在配線をそれぞれ含み、
   前記第２〜第ｎの幅調整配線は、
   前記複数の領域配線と前記第２〜第ｎの第２方向延在配線とを電気的に接続し、当該接続された第２方向延在配線よりも前記第１方向において前記予め定められた領域側に突出する第２〜第ｎの突出配線をそれぞれさらに含み、
   前記第２〜第ｎの突出配線のうち任意の第ｋの突出配線は、段階的に前記予め定められた領域側に突出する（ｋ−１）個の突出部分配線を含み、
   ２以上の前記第２方向延在配線の前記第１方向の長さが互いに異なり、かつ、同じ段階で突出する２以上の前記突出部分配線の前記第１方向の長さが互いに異なる、面デバイス。
5. 請求項４に記載の面デバイスであって、
   前記第１〜第ｎの第２方向延在配線の前記第１方向の長さをＷ１（１）〜Ｗ１（ｎ）とし、前記第ｋの突出配線に含まれる前記（ｋ−１）個の突出部分配線の前記第１方向の長さを、突出する順にＷ２（ｋ）、Ｗ３（ｋ）、…、Ｗｋ（ｋ）とし、前記第（ｋ−１）の突出配線に含まれるｍｋ番目に突出する前記突出部分配線と、前記第ｋの突出配線に含まれるｍｋ番目に突出する前記突出部分配線との間のスリット幅をＳｋ−１＿ｋ（ｍｋ）とした場合に、
   Ｗ１（１）＋Ｗ１（２）＋・・・＋Ｗ１（ｎ）＋Ｓ１＿２（１）＋Ｓ２＿３（１）＋・・・＋Ｓｎ−１＿ｎ（１）≧Ｗ２（２）＋Ｗ２（３）＋・・・＋Ｗ２（ｎ）＋Ｓ２＿３（２）＋Ｓ３＿４（２）＋・・・＋Ｓｎ−１＿ｎ（２）≧・・・≧Ｗｎ−１（ｎ−１）＋Ｗｎ−１（ｎ）＋Ｓｎ−１＿ｎ（ｎ−１）≧Ｗｎ（ｎ）が成り立つ、面デバイス。
6. 請求項４または請求項５に記載の面デバイスであって、
   前記複数の引き出し配線同士は、
   前記第１方向に予め定められた間隔で離間して配列されるとともに、前記第２方向にも当該予め定められた間隔と同じ間隔で離間して配列されている、面デバイス。
7. 請求項１に記載の面デバイスであって、
   第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の前記引き出し配線は第１〜第ｎの前記幅調整配線をそれぞれ含み、
   前記第１〜第ｎの幅調整配線は、
   前記第２方向に延在し、前記予め定められた領域側から順に前記第１方向に配列された第１〜第ｎの第２方向延在配線をそれぞれ含み、
   前記第２〜第ｎの幅調整配線は、
   前記複数の領域配線と前記第２〜第ｎの第２方向延在配線とを電気的に接続し、当該接続された第２方向延在配線よりも前記第１方向において前記予め定められた領域側に突出する第２〜第ｎの突出配線をそれぞれさらに含み、
   前記第２〜第ｎの突出配線の少なくとも一部の前記第２方向の長さは、互いに等しい、面デバイス。
8. 請求項１から請求項７のうちのいずれか１項に記載の面デバイスを備え、
   前記予め定められた領域は検出可能エリアであり、
   前記複数の領域配線は複数のセンサ用配線である、タッチスクリーン。
9. 請求項８に記載のタッチスクリーンであって、
   各前記センサ用配線は、メッシュ状の金属線を含む、タッチスクリーン。
10. 請求項１から請求項７のうちのいずれか１項に記載の面デバイスを備え、
    前記予め定められた領域は表示領域であり、
    前記表示領域において、前記複数の領域配線と接続された複数の薄膜トランジスタをさらに備える、液晶表示装置。

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