JP6553286B2 - 単結晶成長方法 - Google Patents
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Description
(付記1)
チョクラルスキー法により、シリコン溶融液において目標とする比抵抗を有する単結晶インゴットを成長させる方法であって、
原材料内に含まれたドーパント濃度による比抵抗値を導出し、これを信頼性あるデータとしてテーブル化するステップと、
目標とする比抵抗値に対するドーパント濃度の基準値を設定するステップと、
前記原材料自体に含まれたドーパント濃度に対する測定値を導出するステップと、
前記基準値と前記測定値との間の差値を算出するステップと、
前記差値だけ前記シリコン溶融液にカウンタードーピング(counter doping)を実施するステップと、
を含む単結晶インゴットの成長方法。
前記目標とする比抵抗は8〜14KΩcmの範囲を有する、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記単結晶インゴットはP−typeであることを特徴とする、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記ドーパント濃度は、P−typeドーパントの濃度からN−typeドーパントの濃度を引いた値であることを特徴とする、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記P−typeドーパントはボロン(Boron)であり、前記N−typeドーパントはリン(phosphorus)である、付記4に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記原材料自体に含まれたドーパント濃度に対する測定値を導出するステップは、
前記シリコン溶融液にドーパントを投入せずにポリシリコンのみを投入してインゴットを成長させてドーパントの濃度を測定する、
付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記原材料はポリシリコン及び石英るつぼを含む、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記差値だけ前記シリコン溶融液にカウンタードーピング(counter doping)を実施するステップは、
前記シリコン溶融液に前記差値だけのN−typeドーパントを投入することを特徴とする、
付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記基準値は、単結晶インゴットのすべてのボディー区間で8〜14KΩcmの範囲の比抵抗を確保できる理論値であることを特徴とする、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
前記単結晶インゴットのボディー0cmで必要なN−typeドーパントは、ドーパントの偏析係数のため、実際のカウンタードーピング量に対して29.4%であり、前記カウンタードーピング量は下記の数式のように計算される、付記1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
Claims (10)
- チョクラルスキー法により、シリコン溶融液において目標とする比抵抗を有する単結晶インゴットを成長させる方法であって、
原材料内に含まれたドーパント濃度による比抵抗値を導出し、これを信頼性あるデータとしてテーブル化するステップと、
目標とする比抵抗値に対するドーパント濃度の基準値を設定するステップと、
前記原材料自体に含まれたドーパント濃度に対する測定値を導出するステップと、
前記基準値と前記測定値との間の差値を算出するステップと、
前記差値だけ前記シリコン溶融液にカウンタードーピング(counter doping)を実施するステップと、
を含む単結晶インゴットの成長方法。 - 前記目標とする比抵抗は8〜14KΩcmの範囲を有する、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記単結晶インゴットはP−typeであることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記ドーパント濃度は、P−typeドーパントの濃度からN−typeドーパントの濃度を引いた値であることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記P−typeドーパントはボロン(Boron)であり、前記N−typeドーパントはリン(phosphorus)である、請求項4に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記原材料自体に含まれたドーパント濃度に対する測定値を導出するステップは、
前記シリコン溶融液にドーパントを投入せずにポリシリコンのみを投入してインゴットを成長させてドーパントの濃度を測定する、
請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。 - 前記原材料はポリシリコン及び石英るつぼを含む、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記差値だけ前記シリコン溶融液にカウンタードーピング(counter doping)を実施するステップは、
前記シリコン溶融液に前記差値だけのN−typeドーパントを投入することを特徴とする、
請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。 - 前記基準値は、単結晶インゴットのすべてのボディー区間で8〜14KΩcmの範囲の比抵抗を確保できる理論値であることを特徴とする、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
- 前記単結晶インゴットのボディー0cmで必要なN−typeドーパントは、ドーパントの偏析係数のため、実際のカウンタードーピング量に対して29.4%であり、前記カウンタードーピング量は下記の数式のように計算される、請求項1に記載の単結晶インゴットの成長方法。
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