JP6549676B2 - 絶対角度位置の測定 - Google Patents

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Description

本発明は、磁場を使用する角度位置センサの分野に関する。より詳細には、本発明は、非接触装置及び特定の磁石、センサデバイス、そのような磁石を使用して、0°〜360°の範囲の角度位置を決定する方法に関する。
回転角度の測定は、手動電気スイッチまたは、モータもしくはバルブなどの位置検出など、様々な用途に必要とされている。コスト及び精度の制約に応じて、この作業は、機械的接触、ポテンショメータ、光学式エンコーダ、または磁気式エンコーダなどのさまざまな方法で行うことができる。
現代の集積回路技術は、磁気センサ及びその読み出し回路、ならびに角度計算エレクトロニクスを単一のチップ上に集積する可能性を提供する。これは、回転子に据え付けられた永久磁石と、固定子に据え付けられたモノリシックに集積されたセンサとからなる機械的回転の検出器を、競争力のあるコストと良好な性能で提供することを可能にする。磁石を有する回転子とセンサを有する固定子との間の機械的接触がないことは、センサの密閉封入が可能にする。これにより、過酷な環境条件下で摩耗のない角度測定が可能になる。
欧州特許第0916074号公報 米国出願公開第2002/0021124号明細書 国際公開第2014/029885号公報
電気システムのコンパクトさの増大、特にハイブリッドエンジンシステムの到来を伴う自動車では、そのような位置センサは、さらに、強電流(例えば、100A超)を有する近くの電流導体からの外部磁場に曝される。このような条件下で高い検知精度を維持するために、センサは強磁性シールドによってシールドすることができ、またはそのような場に対して本質的に頑強にする必要がある。
特許文献1は、0°から360°の範囲の角度を測定することができる角度位置センサを記載している。
特許文献2は、1つ以上のいわゆる磁場コンセントレータ(略称「IMC」)を使用して、IMCの下に位置する水平ホール素子、またはIMCの縁部に接して位置する垂直ホール素子のいずれかと組み合わせて、磁力線を曲げるための位置センサを記載している。
本発明と同一の出願人によって出願された特許文献3は、多極子磁石と、円上に配列された複数のセンサ素子を含むセンサと、を含む角度位置測定装置を記載している。角度位置を計算するための2つのアルゴリズムが開示されている。そこに記載されたセンサは、外部場(「Fremdfeld」)に対する鈍感性のようないくつかの有利な特徴を提供するが、この装置の欠点は、角度位置範囲が360°の整数分率のみに、すなわち、4極子磁石の場合は180°、6極磁石の場合は120°、高次磁石の場合はさらに少ない角度に制限されることである。
本発明の目的は、望ましくない外部磁場(「Fremdfeld」)に対して実質的に鈍感であり、360°の測定範囲を有する固定子に対する回転子の絶対角度位置を測定するための装置、方法、及びセンサデバイスを提供することである。
この目的は、本発明の実施形態による装置及び方法によって達成される。
第1の態様では、本発明は、磁石アセンブリ及び磁気センサを備える磁気センサ装置を提供する。磁石アセンブリは、磁気センサの場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分を有する磁場を形成するように配列され、磁気センサは、異なる磁場成分を検知して、少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を生成する手段を含む。磁気センサ装置はさらに、少なくとも第1及び第2の信号を受信し、これらを結合してセンサに対する磁石の固有の角度位置を生成するための演算素子を備える。
このような磁気センサ装置の利点は、全360°の範囲の角度を提供できることである。
本発明の実施形態の利点は、この装置が一定の外部磁場に対して非常に鈍感(頑強)であることである。
本発明の実施形態では、磁石アセンブリは、磁化された材料の連続要素を意味する、単一の磁石であり得る。
本発明の実施形態では、磁石アセンブリは、異なる大きさの2つ以上の磁極を有することができる。磁石アセンブリは異なるセクタを有してもよく、異なる大きさは磁石アセンブリの差分セクタ磁化の結果であってもよい。本発明の実施形態では、差分セクタ磁化は、異なるセクタの磁化強度または異なるセクタ領域の結果であってもよく、またはそれらの組み合わせであってもよい。
本発明の実施形態では、磁石アセンブリは、永久磁石であってもよいし、永久磁石を含んでもよい。別の実施形態では、磁石アセンブリは、コイル及び磁石コントローラの装置とすることができる。後者の実施形態では、磁石アセンブリは、異なる大きさの2つ以上の磁極を有してもよく、磁石コントローラは、異なる大きさの磁極を形成するためにコイルに電流に対する異なる電圧を供給してもよい。
本発明の実施形態では、磁気センサは、2つ以上のセンサ素子を備えてもよい。
本発明の実施形態では、演算素子は、第1及び第2のセンサ素子信号を結合する回路を含むことができる。
本発明の特定の実施形態では、磁気センサは、表面と、電気出力を提供し、磁気センサの表面に配設された2つ以上の検知素子と、を有する。検知素子の電気出力は、線形結合され、第1及び第2の信号を生成することができる。磁場検知素子は、表面に垂直であるか、または表面に平行な磁場またはそれらの組み合わせに敏感であり得る。
本発明の実施形態では、演算素子手段は、フーリエ変換回路を含まない。
第2の態様では、本発明は、センサに対する磁石アセンブリの固有の角度位置を決定する方法を提供し、磁石アセンブリは、磁気センサの場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分を有する磁場を形成し、磁気センサは、検知するための手段と、演算素子とを含む。この方法は、磁気センサを検出するための手段を使用して、異なる磁場成分を検出して少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を生成することと、少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を受信し、それらを結合して演算手段を使用して該固有の角度位置を生成することと、を含む。少なくとも1つのセンサを使用して、少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を検知することができる。
本発明の特定の好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に記載されている。従属請求項からの特徴は、独立請求項の特徴及び適切かつ単に請求項に明記されない他の従属請求項の特徴と結合させることができる。
本発明を要約する目的及び先行技術を超えて達成される利点のために、本発明の特定の目的及び利点を上記で説明した。もちろん、そのような目的または利点の全てが必ずしも本発明の特定の実施形態に従って達成されるわけではないことを理解されたい。したがって、例えば、本明細書に教示または示唆されるような他の目的または利点を必ずしも達成することなく、本明細書に教示された利点または利点群を達成または最適化する方法で本発明を具現化または実施できることを当業者は認識するであろう。
本発明の上記及び他の態様は、以下に記載される実施形態(複数含む)を参照して明らかになるであろう。
ここで、添付の図面を参照して、例として、本発明をさらに説明する。
特許文献3の図2のコピーであり、4極子ディスク磁石を使用して180°範囲での絶対角度位置測定のための先行技術の装置を示している。磁極の数、センサ素子の数及び使用されるアルゴリズムに依存して、このセンサ装置は、一定の外乱場に対して非常に鈍感である。 特許文献3の図24のコピーであり、図1と同様の先行技術の装置を示すが、一定の外部場の代わりに、電流導線によって生じる外部磁場が示されている。磁極の数、センサ素子の数及び使用されるアルゴリズムに依存して、センサは、磁場勾配を有する外乱磁場に対しても鈍感である。この先行技術のセンサの測定範囲も180°である。 特許文献3の図6のコピーであり、上面図(図3の底部)及び内側面図(図3の上部)に示されている中心開口を有する4極子リング磁石の例を示す。図3はまた、磁石からの距離に位置する平面内の先行技術のセンサデバイスのセンサ素子の例示的な位置を示す。 特許文献3の図7のコピーであり、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極子リング磁石の接線方向場成分「Bt」のシミュレーションを示す。外側及び中間の円は、リング磁石の外径及び内径に対応する。内側の円は、センサ素子が載置される仮想円に対応する。 特許文献3の図15のコピーであり、(線A−A上で測定できるように)半径の関数として図4の接線磁場成分「Bt」の強度を示している。 特許文献3の図9のコピーであり、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極子リング磁石の半径方向場成分「Br」のシミュレーションを示す。図4と同一のリングが示されている。 特許文献3の図14のコピーであり(線A−A上で測定できるように)半径の関数として、図6の半径方向磁場成分「Br」の強度を示している。 特許文献3の図11のコピーであり、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極子リング磁石の軸方向場成分「Bz」のシミュレーションを示す。図4と同一のリングが示されている。 特許文献3の図13のコピーであり、(線A−A上で測定できるように)半径の関数として図8の軸方向磁場成分の強度を示している。 本発明の第1の実施形態の装置を示す図である。これは、4極子と単一双極子とから構成される磁石と、第1の円上に配列された複数の1次センサ素子を含むセンサデバイスとを含む。4極子によって発生した場は、1次磁場「Bp」と呼ばれる。双極子によって発生した場は、2次磁場「Bs」呼ばれる。 単一の円筒双極子によって発生する磁場の典型的な例を示す。この磁場の下部は、センサ素子によって「見える」磁場である。 1次センサ素子を有する第1の円の拡大図を示し、図10の円筒双極子によって発生した2次磁場「Bs」のXY平面内の磁力線を示す。また、センサ素子を有する半径の典型的な相対的な寸法、及び双極子からの距離を示す。 距離の関数として双極子によって発生した2次磁場「Bs」の典型的な大きさ曲線を示す。 径方向または接線方向にそれぞれ配向された垂直ホール素子によって測定された1次信号の和及び差に及ぼす、この2次磁場Bsの影響を示す。 径方向または接線方向にそれぞれ配向された垂直ホール素子によって測定された1次信号の和及び差に及ぼす、この2次磁場Bsの影響を示す。 図13(a)及び図13(c)は図10の4極子によって発生する1次磁場「Bp」の軸方向場成分「Bz」に対するコンピュータシミュレーションであり、図13(b)及び図13(d)は4極子によって発生した1次磁場「Bp」と図10の双極子によって発生した2次磁場「Bs」とを含む結合磁場の軸方向場成分「Bz」のコンピュータシミュレーションである。 図14(a)は4極子によって発生した図13(a)の1次磁場「Bp」の軸方向場成分の「Bz」信号の一例を示す図であり、図14(b)は図13(c)の1次及び2次結合磁場の軸方向場成分の「Bz」信号の一例を示す図であり、図14(c)は図14(a)に示すような信号を加算して減算すること及び特定の公式を使用して、その位相シフトされたバージョンにより得られる第1、第2の差信号「diff1」、「diff2」を示し、図14(d)は図14(b)の信号及びその位相シフトされたバージョンに基づく第1及び第2の差信号「diff1」、「diff2」を示す図である。 本発明の第2の実施形態としての第2の装置を示す図である。この装置は、4極子と、回転軸の両側に位置し、回転軸から同一の距離にあり、反対方向に配向された2つの同一の円筒双極子とからなる永久磁石を含む。 図15の2つの双極子によって発生した2次磁場「Bs」のXY平面内の磁力線を示す(4極子の場は示されていない)。 この2次磁場「Bs」が半径方向または接線方向に配向された垂直ホール素子によって測定された1次信号の和及び差に及ぼす影響を示す。 この2次磁場「Bs」が半径方向または接線方向に配向された垂直ホール素子によって測定された1次信号の和及び差に及ぼす影響を示す。 本発明の一実施形態による角度位置を0°〜360°の範囲で算出する方法を示すフローチャートである。最初の2つのステップは、特許文献3に記載されている「第2のアルゴリズム」とまったく同一である。これらのステップは、4極子の場合には0°〜180°の範囲の角度α1を提供する。残りのステップは、2次磁場を使用して1次角度α1を0°〜360°の範囲の角度に変換するために使用される。 図16(補正ステップ174の後、すなわち4極子によって発生した1次磁場「Bp」の「除去」の後の1次センサ素子から得られる信号に対応する、図15の2つの双極子によって発生した)の2次磁場の方向(以下、「2次角度α2」と称する)が、4極子によって発生した回転対称磁場の半径方向成分「Br」を測定するように配列された(同一の)垂直ホール素子を含む。 図16(補正ステップ174の後、すなわち4極子によって発生した1次磁場「Bp」の「除去」の後の1次センサ素子から得られる信号に対応する、図15の2つの双極子によって発生した)の2次磁場の方向(以下、「2次角度α2」と称する)が、4極子によって発生した回転対称磁場の接線方向成分「Bt」を測定するように配列された(同一の)垂直ホール素子を含む。 図20(a)〜図20(g)は図18及び図19で決定した2次角度α2に対する外乱場の影響を示している。 図18の変形例である。 図19の変形例である。(図32または図33に示された磁石の2つの外側リングセグメントによって発生した第2の場「Bs」の磁力線を示し、補正ステップ174の後、すなわち4極子によって生成された1次場「Bp」の「除去」の後の1次センサ素子から得られた信号に対応する)。 図14(b)及びその位相シフトされたバージョンの信号のような2つの「Bz」信号の比較を、1次角度α1を完全な360°範囲の角度に変換するために使用することができるかを示す図である。 本発明の第3の実施形態の別の例示装置を示す図である。この装置は、4極子と3つの同一の円筒双極子から構成された永久磁石を含み、その少なくとも2つは異なる方向に配向されている。 図25〜図30は本発明の実施形態で使用可能なセンサデバイスのいくつかの例を示し、図25は、第1の円上に配列され、X−Y平面内の半径方向場成分「Br」を測定するように配向された垂直ホール素子の形態の8つの1次センサ素子及び第2の円上に配列され、任意選択で、X−Y平面に垂直な垂直方向場成分「Bz」を測定するために配向された2つの追加の水平ホール素子の形態の複数の少なくとも2つの2次センサを有する本発明の実施形態によるセンサデバイスを示す。 第1の円上に配列され、X−Y平面内の接線方向場成分「Bt」を測定するように配向された垂直ホール素子の形態の8つの1次センサ素子、及び任意選択で第2の円上に配列され、任意選択で、X−Y平面に垂直な垂直方向場成分「Bz」を測定するために配向された2つの水平ホール素子の形態の複数の少なくとも2つの2次センサを有する本発明の実施形態によるセンサデバイスを示す。 8個の水平ホール素子を有し、中央ディスクと複数の細長いストリップとの形態の集積磁場コンセントレータをさらに備えた本発明の実施形態によるセンサデバイスの上面図を示し、ホール素子は、中央ディスクの下に配列される。この図は特許文献3の図26と同様であるが、センサ素子及びストリップの数は異なり、角度を計算するためのアルゴリズムは異なる。 は、センサ素子とその信号を示す。 図27(a)の上面図に示すセンサデバイスの変形例の上面図を示す。8つの1次センサ素子は、細長いストリップの下に位置する。この図は、特許文献3の図27と同様であるが、センサ素子とストリップの数は異なり、角度を計算するアルゴリズムは異なる。 は、センサ素子とその信号を示す。 8対の水平ホール素子を有し、第1の円の上方に配列されたリングセグメントの形態の集積磁場コンセントレータ(IMC)をさらに備える、本発明によるセンサデバイスの実施形態を示す。この図は特許文献3の図19と同様であるが、センサ素子とストリップの数は異なり、角度を計算するアルゴリズムは異なる。 図29の変形例を示す図であり、第2の円上に配列された複数の少なくとも2つの第2のホール素子をさらに備える。 図31〜図59は本発明の実施形態で使用可能な磁石のいくつかの例を示し、図31は一定でない厚さの4極子ディスク磁石の例を示す。 中心部が4極子のディスク磁石であり、外部が垂直方向(図面の奥行き方向)に磁化された2つのリング状セグメントの例を示す。 中心部が4極子のディスク磁石であり、外部が垂直方向(図面の奥行き方向)に磁化された2つのリング状セグメントの例を示す。 一定の厚さの4つのディスクセグメントを有するが、サイズが異なる少なくとも2つのディスクセグメントを有する不規則な4極子ディスク磁石の例を示す。 偏心磁化を有する不規則な4極子ディスク磁石の他の例を示す図である。この磁石は、磁石の幾何学的中心が回転子の回転軸上に位置するように取り付けられるが、磁気の「ゼロ点」は該回転軸からオフセットされる。 (上面図)本発明の実施形態で使用することができる永久磁石アセンブリを示しており、磁石アセンブリは、2つの第1のサイズ、2つの第1のサイズとは異なる第2のサイズで、エポキシまたはポリマーなどの結合材料によって一緒に保持される4つの別々の円筒双極子磁石よりなる。1次磁場は4極子であり、2次磁場は2つの垂直双極子の組み合わせである。 (斜視図)本発明の実施形態で使用することができる永久磁石アセンブリを示しており、磁石アセンブリは、2つの第1のサイズ、2つの第1のサイズとは異なる第2のサイズで、エポキシまたはポリマーなどの結合材料によって一緒に保持される4つの別々の円筒双極子磁石よりなる。1次磁場は4極子であり、2次磁場は2つの垂直双極子の組み合わせである。 (上面図)本発明の実施形態で使用することができる永久磁石アセンブリを示しており、磁石アセンブリは、4つの別個の円筒双極子磁石、3つの第1のサイズ、1つの第1のサイズとは異なる第2のサイズの4つの別々の円筒双極子磁石よりなる。1次磁場は4極子であり、2次磁場は単一の垂直双極子である。 (斜視図)本発明の実施形態で使用することができる永久磁石アセンブリを示しており、磁石アセンブリは、4つの別個の円筒双極子磁石、3つの第1のサイズ、1つの第1のサイズとは異なる第2のサイズの4つの別々の円筒双極子磁石よりなる。1次磁場は4極子であり、2次磁場は単一の垂直双極子である。 本発明の実施形態で使用することができる不規則な4極子の上面図であり、4極子は、同一のサイズの、全て同一の直立位置(例えば、センサの平面に対して90°未満)に配向された4つの別個の円筒双極子磁石のみからなる磁石アセンブリの形態である。3つの双極子は、回転軸上に中心が位置する円上に位置するが、双極子の1つは、該円に対して半径方向内側または外側にシフトする。 本発明の実施形態で使用することができる不規則な4極子の斜視図であり、4極子は、同一のサイズの4つの別個の円筒双極子磁石のみからなる磁石の形態であり、全て円形である回転軸上に位置する中心を有する円上に位置する。3つの双極子は、センサの平面に平行に配向され、一方の双極子は、センサ平面に垂直な該方向に対して10°〜90°の範囲の角度で傾斜する。 (上面図)本発明の実施形態で使用することができる永久磁石アセンブリを示しており、磁石アセンブリは、6つの円筒双極子磁石よりなり、4極子を形成する第1のサイズの4つ(内側)円筒双極子と、2次磁場を発生する第2のサイズの2つの(外側の)円筒双極子とを含む。回転軸は、2つの双極子間の真ん中にある。 図42に示す磁石アセンブリの変形例であり、同一の円筒磁石からなるが、2つの外側磁石は対称的に位置合わせされていない。また、この磁石アセンブリは、本発明の実施形態で使用されてもよい。 本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、磁石は4極子リング磁石の形態である1つの内側部分と、リングセグメントの形態である2つの外側部分を有する。 本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、磁石は4極子リング磁石の形態である1つの内側部分と、リングセグメントの形態である2つの外側部分を有する。 本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、磁石は4極子リング磁石の形態である1つの内側部分と、リングセグメントの形態である2つの外側部分を有する。 本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、磁石は4極子リング磁石の形態である1つの内側部分と、リングセグメントの形態である2つの外側部分を有する。 本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、磁石は4極子リング磁石の形態である1つの内側部分と、リングセグメントの形態である2つの外側部分を有する。 本発明の実施形態で使用され得る磁石を示し、磁石は、4極リング磁石の形態の1つの内側部分と、ビームの形態のリング磁石の外側に位置する2つの双極子とを含む。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用することができる図44〜図49に示す磁石の変形例であり、磁石は、4極子リング磁石の形態の外側部分と、リングセグメントまたは回転非対称である2次磁場を形成するためのビームの形態の内側部分とを有する。 本発明の実施形態で使用可能であり、回転対称の6極子(120°の周期性を有する)、回転非対称である2次磁場を形成するための1つまたは2つまたは3つの垂直双極子を形成するように適合された磁石アセンブリのいくつかの例を示す。これらの磁石は、12個の1次センサ素子(4つのグループ×3つの要素/グループ)を有するセンサデバイスと連結して使用される。 本発明の実施形態で使用可能であり、回転対称の6極子(120°の周期性を有する)、回転非対称である2次磁場を形成するための1つまたは2つまたは3つの垂直双極子を形成するように適合された磁石アセンブリのいくつかの例を示す。これらの磁石は、12個の1次センサ素子(4つのグループ×3つの要素/グループ)を有するセンサデバイスと連結して使用される。 本発明の実施形態で使用可能であり、回転対称の6極子(120°の周期性を有する)、回転非対称である2次磁場を形成するための1つまたは2つまたは3つの垂直双極子を形成するように適合された磁石アセンブリのいくつかの例を示す。これらの磁石は、12個の1次センサ素子(4つのグループ×3つの要素/グループ)を有するセンサデバイスと連結して使用される。 本発明の実施形態で使用可能であり、回転対称の6極子(120°の周期性を有する)、回転非対称である2次磁場を形成するための1つまたは2つまたは3つの垂直双極子を形成するように適合された磁石アセンブリのいくつかの例を示す。これらの磁石は、12個の1次センサ素子(4つのグループ×3つの要素/グループ)を有するセンサデバイスと連結して使用される。 本発明の実施形態で使用可能であり、回転対称の6極子(120°の周期性を有する)、回転非対称である2次磁場を形成するための1つまたは2つまたは3つの垂直双極子を形成するように適合された磁石アセンブリのいくつかの例を示す。これらの磁石は、12個の1次センサ素子(4つのグループ×3つの要素/グループ)を有するセンサデバイスと連結して使用される。
図面は概略的なものに過ぎず、限定的ではない。図面において、要素のいくつかのサイズは、説明のために誇張されており、縮尺通りに描かれていない場合がある。寸法及び相対的な寸法は、必ずしも本発明を実施するための実際の縮小に対応するものではない。
特許請求の範囲の参照符号は、その範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
異なる図面において、同一の参照符号は、同一のまたは類似の要素を指す。
本発明は、個別の実施形態に関して、及び特定の図面を参照して説明されるが、本発明はそれに限定されず、請求項によってのみ限定される。
説明及び特許請求の範囲における第1、第2などの用語は、類似の要素を区別するために使用され、必ずしも時間的に、空間的に、または他の方法で順序を記述するためではない。そのように使用される用語は、適切な状況下で交換可能であり、本明細書に記載された本発明の実施形態は、本明細書に記載または図示されている以外の順序で動作可能であることを理解されたい。
さらにその上、説明及び特許請求の範囲における上部(top)、下部(bottom)、前部(front)、後部(back)、先行(leading)、後続(trailing)、下方(under)、上方(over)などのような方向の用語は、記載されている図面の方向を参照して説明目的で使用されており、相対的な位置を記述するために必要ではない。本発明の実施形態の成分は多数の異なる方向に位置付けすることができるので、方向の用語は説明のためにのみ使用され、他に指示がない限り、決して限定することを意図するものではない。したがって、そのように使用される用語は、適切な状況下で交換可能であり、本明細書に記載された本発明の実施形態は、本明細書に記載または図示されている以外の方向で動作可能であることを理解されたい。
特許請求の範囲で使用される用語「含んでいる(comprising)」は、その後に列挙される手段に限定されると解釈されるべきではないことに留意されるべきであり、他の要素またはステップを排除するものではない。したがって、記載された特徴、整数、ステップまたは成分の存在を特定するものとして解釈されるが、1つ以上の他の特徴、整数、ステップまたは成分、またはそれらのグループの存在または追加を排除するものではない。したがって、「手段A及びBを含むデバイス」という表現の範囲は、成分A及びBのみからなるデバイスに限定されるべきではない。これは、本発明に関して、デバイスの唯一の関連する成分は、A及びBであることを意味する。
本明細書を通して、「一実施形態」または「実施形態」は、実施形態に関連して説明される特定の特徴、構造または特性が本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書の様々な箇所における「一実施形態では」または「実施形態では」という表現の出現は、必ずしも全てが同一の実施形態を指しているわけではないが、そうでなくてもよい。さらに、特定の特徴、構造または特性は、1つ以上の実施形態において、本開示から当業者に明らかであるように、任意の好適な方法で結合させることができる。
同様に、本発明の例示的な実施形態の説明において、本発明の様々な特徴は、開示を合理化し、様々な発明的態様の1つ以上の理解を助けるために、その単一の実施形態、図面及びその説明の中に、時々グループ化されることは理解されるべきである。しかしながら、この開示の方法は、特許請求された発明が各請求項に明示的に記載されているより多くの特徴を必要とするという意図を反映するものと解釈されるべきではない。むしろ、以下の特許請求の範囲が反映するように、本発明の態様は、単一の前述の開示された実施形態の全ての特徴よりも少ないものである。したがって、詳細な説明に続く請求項は、この詳細な説明に明示的に組み込まれ、各請求項は、本発明の別個の実施形態として独立して成り立っている。
さらに、本明細書に記載されたいくつかの実施形態は、他の実施形態に含まれるいくつかの特徴を含み、他の特徴を含まないが、異なる実施形態の特徴の組み合わせは本発明の範囲内であり、当業者によって理解されると考えられるように、異なる実施形態を形成することが意味される。例えば、以下の特許請求の範囲において、特許請求された実施形態のいずれかは、任意の組み合わせで使用することができる。
本発明の特定の特徴または態様を説明するときに、特定の用語を使用することは、その用語が関連付けられる本発明の特徴または態様の任意の特定の特徴を含むことを制限されるように用語が本明細書で再定義されていることを意味するものではないことは留意すべきである。
本明細書で提供される説明では、多くの具体的な詳細が述べられている。しかし、本発明の実施形態は、これらの特定の詳細なしに実施され得ることが理解される。他の例では、周知の方法、構造及び技術は、この説明の理解を不明瞭にしないために詳細に示されていない。
「外部磁場」または「不要磁場」または「外乱磁場」または「Fremdfeld」または「Strayfield」を参照する場合、磁気センサ装置の磁石によって引き起こされる磁場以外の磁場を意味する。
「回転軸に対する回転対称場」とは、磁場が周期性として知られている360°の整数部分、特に4極の磁石の場合は180°、6極の磁石の場合は120°などに等しい角度にわたって該回転軸の周りを回転した後に磁場が同一に見えることを意味する。
「回転軸に対する回転非対称場」とは、場が該回転軸に対して回転対称でないことを意味し、これは周期性が360°であることを意味する。
「一定の外部場」または「均一な外部場」とは、一定の振幅及び一定の方向を有する場を意味する。このような場は、定数ベクトル(Bxo、Byo、Bzo)として記述することができる。
「一定の勾配を有する場」とは、距離と共に直線的に変化する振幅を有する場を意味する。このような場は、Bxo、Byo、Bzo、GradX、GradY、GradZが定数であり、x、y、zが座標であるとき、(Bx0+GradX*x、By0+GradY*y、Bz0+GradZ*z)によって記述される。
本出願において、用語「磁石」または「磁石アセンブリ」または「磁石構造」は、同義語として使用される。磁石は、永久磁石であってもよいし、コイル及び磁石コントローラの装置であってもよい。
この出願では、「規則的なディスク磁石」という用語は、図1に示されるようなディスク磁石を意味し、各ディスクセグメントが同一の厚さを有し、同一の材料で作られ、同一の角度(4極子の場合には90°、6極子の場合には60°)のセグメントを画定し、磁化の中心は、ディスクの幾何学的中心と一致する。
「規則的なリング磁石」についても同様の定義を与えることができ、ここで磁石はディスク状ではなくリング状である。
本出願において、用語「不規則なディスク磁石」は、少なくとも1つの不規則性を有するディスク磁石を意味し、例えば、一定ではない厚さ、及び/または異なる角度を画定するセグメント、及び/またはディスクの幾何学的中心と一致しない磁化の中心などである。
この出願において、「アルゴリズム2」または「第2のアルゴリズム」が参照される場合、式[2](さらに参照されたい)を参照するか、または4極子を有する磁石の場合、式[3]〜[10]または式[11]〜[14]の組または式[15]〜[16]の組、または等価式を参照する。
この文書では、用語「4極子」または「四−極」または「4−極」または「4極の多極」という用語を同義語として使用される。
この文書では、「XY平面」と「センサ平面」という用語と「第1の円で画定される平面」という用語は同義語として使用される。
本発明は、本発明と同一の出願人によって出願された、最も近い先行技術であると考えられる特許文献3(A1)に開示されているもののさらなる改良である。この開示をよく理解することは、本発明を完全に理解し理解するために重要である。特許文献3の全文は、参照により本明細書に組み込まれる。そのような組み込みが許可されていない管轄区域については、その開示の概要が十分であるとみなされる。興味のある読者は、必要であれば、特許文献3に詳細な情報を問い合わせることができる。
図1は、180°の範囲における絶対角度位置測定のための先行技術の装置1を示す。装置1は、4極子ディスク磁石5と、一定の外部場Bfremd内に円上に配列された複数のセンサ素子を含むセンサデバイス6と、を備える。この図は、特許文献3の図2のコピーであり、この文献では、「アルゴリズム1」及び「アルゴリズム2」と称される角度位置を決定するための2つのアルゴリズムが記載されている。つまり、アルゴリズム1は次の式に要約される。
arctan(Σ(Si)/Σ(Ti))[1]、
アルゴリズム2は次の式に要約される。
arctan((Σ(Si)−Σ(Ui))/(Σ(Ti)−Σ(Vi))[2]、
Si、Ti、Ui、Viは、特許文献3に記載されているように、特定の幾何学的関係を有するセンサ素子から得られる信号を表す。式[2]は、本明細書では「合計の差の比率の絶対値」とも呼ばれる。
本発明は、4極子及び8つのセンサ素子を有するセンサに限定されないが、以下に説明する例の多くは、よりよい理解を提供するために、4極子に関連している。
図1の磁石5が、規則的な4極子である場合、「第2のアルゴリズム」は、以下の方程式の組によっても表すことができる。
和1=S1+S2 [3]
和2=T1+T2 [4]
和3=U1+U2 [5]
和4=V1+V2 [6]
差1=和1−和3 [7]
差2=和2−和4 [8]
R=差1/差2 [9]
α1=(arctan R)/2 [10]
または、式の次の組によって、
差1=(S1+S2)−(U1+U2) [11]
差2=(T1+T2)−(V1+V2) [12]
R=差1/差2 [13]
α1=(arctan R)/2 [14]
または、式の任意の他の等価組によって、例えば、
R=(U1+U2−S1−S2)/(V1+V2−T1−T2) [15]
α1=(arctan R)/2 [16]
さらに図1を参照すると、磁極の数、センサ素子の数、及び使用される「第1または第2のアルゴリズム」(それぞれ式[1]及び[2]に対応する)に応じて、先行技術のセンサデバイス6は、4極子磁石によって発生する磁場を測定することによって、センサデバイスに対する、したがって固定子に対する回転子の磁石の回転角度位置α1を決定することができる。この決定は、均一な外乱場に対して非常に鈍感である。この点に関して、特許文献3の表1を参照すると、そのような装置の最も重要な特徴の概要が示されている。
本発明では、「第2アルゴリズム」(すなわちアルゴリズム2)のみが使用されるが、混乱を避けるために、本明細書では、それが1次角度α1を計算するため、またはより正確に計算するために現在使用されている唯一のアルゴリズムであるとしても、「第2アルゴリズム」となお、称され、本発明による方法は、この「第2のアルゴリズム」をステップの1つとして使用する(図17のステップ172)が、さらなるステップが追加される。
図2は、図1のものと同様の先行技術の装置1を示すが、一定の外部場の代わりに、電流導線によって生じる外部場Bfremdが示されている。磁極の数、センサ素子の数及び使用されるアルゴリズムに応じて、先行技術のセンサデバイス6は、場勾配(すなわち、距離と共に変化する振幅を有する)を有する外乱磁場に対しても鈍感である。この図は、特許文献3の図24のコピーである。この先行技術のセンサ装置6の測定範囲は180°である。
図3は、上面図(図3の底部)及び内側面図(図3の上部)に示された中心開口を有する規則的な4極子リング磁石15及び、磁石15から距離d1で平面XY内の円上に位置する複数のセンサ素子「E」を有するセンサデバイスを備える先行技術の装置の一例を示す。これは特許文献3の図6のコピーである。
図4は、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極子リング磁石15の接線方向場成分「Bt」のシミュレーションを示す。外側及び中間の円はリング磁石15の外径及び内径に対応する。内側の円は、センサ素子Eが載置されている仮想円に対応する。これは特許文献3の図7のコピーである。図示していないが、円8上の異なる位置で測定された接線方向場成分「Bt」は、正弦波状に変化する。
図5は、センサ素子Eが位置する円8の半径rの関数として図4の接線方向場成分Btの強度を示す。この図は、特許文献3の図15のコピーである。この図は、接線方向場Btを測定するように適合されたセンサが位置誤差に対して非常に鈍感であることを説明するのに有用である。また、「Bt」の信号振幅は、半径8が減少するにつれて減少することを示し、これは、接線方向場を測定することができるセンサデバイスが(原理的に)非常に小さいサイズに収縮できることを意味する。そして実際には、想定されるセンサデバイスの場合、センサ素子が位置する半径は、好ましくは100ミクロン〜2500ミクロンの範囲、例えば200ミクロン〜2500ミクロンの範囲にある。
図6は、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極子リング磁石の半径方向成分「Br」のシミュレーションを示す。図4と同一のリングが示されている。これは特許文献3の図9のコピーである。図示されていないが、円8上の異なる位置で測定された半径方向成分「Br」は、正弦波状に変化する。
図7は、センサ素子Eが位置する円8の半径の関数として図6の半径方向場成分Brの強度を示す。これは特許文献3の図14のコピーである。この図は、半径方向磁場Brを測定するように適合されたセンサが位置誤差に対しても非常に鈍感であることを説明するのに有用である。また、「Br」の信号振幅は、半径8が減少するにつれて減少し、したがって、このデバイスも(原理的に)非常に小さいサイズに収縮することができることを示す。
図8は、磁石表面から3mm下方の距離にある図3の4極リング磁石の軸方向場成分Bzのシミュレーションを示す。図4と同一のリングが示されている。これは特許文献3の図11のコピーである。図示していないが、円8上の異なる位置で測定された軸方向場成分Bzは正弦波状に変化する。
図9は、センサ素子Eが位置する円8の半径の関数として図8の軸方向場成分Bzの強度を示す。これは特許文献3の図13のコピーである。示されているように、信号振幅は半径と線形に変化しない。このプロットは、そのようなセンサが位置誤差に対してより敏感であることを示している。
特許文献3に記載され、図1〜図9に示されたセンサ装置は、高感度、位置−オフセット誤差に対する無感度または低感度、均一な外場(Fremdfeld)に対する感度または低感度、及び場の勾配を有する外部場に対する低感度など、非常に有利な特徴を有するとしても、1つの主要な欠点を有する、すなわち、その測定範囲が限定されており、4極子磁石アセンブリでは180°に、6極子磁石アセンブリでは120°に制限され、一般的にN個の磁極を有する磁石装置の場合360°/(N/2)になる。
本発明の発明者らは、先の発明によってもたらされた全ての利点を失うことなく、完全な360°の範囲にわたって角度の測定を可能にする方法の発見の課題に直面した。彼らは驚くべきことに、もはや外部場を課題として、すなわち測定されないように「フィルタリングされる」必要がある場とは考えないという考えに至った。彼らは、先の発明に極めて対向する、回転子軸に関して回転対称ではない2次磁場「Bs」を故意に導入し、この2次磁場「Bs」を使用して角度不確定性を解決することを決断した(すなわち、4極子磁石アセンブリを使用する場合、180°を追加するべきかどうか、6極子磁石アセンブリの場合に、0°または120°または240°を追加するべきかどうか、など、または、一般的に、kを整数として、N極子磁石アセンブリの場合に、360°/(N/2k)を、測定値に追加するべきかどうか)。これは、本発明の根底にある考えの1つである。
図10は、本発明の第1の実施形態としての装置100を示す。装置100は、磁石アセンブリ25及びセンサデバイス6を備える。磁石アセンブリ25は、センサデバイス6の場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分を有する磁場を形成する。図示の実施形態では、磁石アセンブリ25は、例えば、エポキシまたはポリマー(図示せず)を用いて、任意の好適な方法で一緒に固定接続された規則的な4極子26及び単一の円筒双極子27を含む。図示のように、回転子2の回転軸4は、4極子26の中心を通り、センサ素子が位置する円8の中心を通過する。後で明らかにする理由により、図示された8つの例示センサ素子において、センサ素子が位置する円8は「第1の円」と呼ばれ、45°の角度距離で図示された例において、第1の円上に位置するセンサ素子は、「1次センサ素子」と呼ばれる。
4極子26によって発生した磁場は、「1次磁場」と称される。この場は、180°の周期性を有する回転軸4に関して回転対称であり、1次センサ素子は特許文献3(「第2のアルゴリズム」を使用して)と全く同一の方法で使用して、0°から180°の範囲でα1を計算し、本明細書では「1次角度」と称される。
しかし、先行技術とは対照的に、センサデバイス6によって見られる磁場は、4極子26によって発生する場だけでなく、双極子27が偏心して取り付けられているので、回転軸4に関して回転対称ではない円筒双極子27によって形成されるこの1次磁場「Bp」と2次磁場「Bs」重ね合わせでもある。
図11は、先行技術で本来知られている単一円筒双極子によって発生する磁場の典型的な例を示す。この場の下部は、センサ素子によって「見える」場である。
図12〜図14は、この2次磁場Bsが、アルゴリズム2に連結して、第1の円8上の1次センサ素子によって大きく(完全ではないが)フィルタリングされていることを示すために使用され、従って、1次角度α1の測定に重大な影響を与えない。
図12(a)は、「1次センサ素子」(黒丸で示す)を有する「第1の円」8の上面図と、図10の円筒双極子27によって発生する2次磁場Bsの拡大図と、を示す。矢印は、XY平面における2次磁場Bsの磁力線を表し、破線の円のセグメントは、XY平面における2次磁場Bsの等磁場面を表す。当技術分野で知られているように、双極子27の長手方向軸に垂直な平面XY内の図11の双極子27の磁力線は、半径方向に配向され、磁気振幅は双極子27からの距離が増加するにつれて減少する。
図12(b)は、双極子27によって発生した2次磁場Bsの半径方向「Br」成分及び接線方向「Bt」成分の典型的な大きさ曲線をXY平面の場所で測定したものを示す。
図12(c)及び図12(d)は、接線または半径方向に配向された垂直ホール素子によって測定された1次信号の和及び差に対するこの2次磁場Bsの影響をそれぞれ示している。
分かるように、和と差の少なくともいくつかは正確にゼロには等しくないので、双極子によって発生した2次磁場Bsは、1次角度α1の測定に影響するが、第1の円8の寸法(比較的小さい)及びセンサ素子と円筒双極子27の長手方向軸との間の距離(比較的大きい)を考慮すると、そして双極子27の磁力線を考慮すると、その影響が実際には非常に小さいことが分かり、1次角度上の誤差が、0.5度未満であると推定され、例えばBs/Bpの最大比(例えば、センサ素子によって測定され得るような)が、少なくとも50倍、好ましくは少なくとも100倍である場合、0.1度のオーダーにある。この誤差は、円8の半径を減少させることによって及び/または(双極子26によって発生する)1次磁場Bpに対して(双極子27によって発生する)2次磁場Bsの磁場強度を減少させることにより、及び/または双極子27の回転軸4と長手方向軸との間の距離を増加させることによって、さらに低減することができる。
しかしながら、全ての用途が0.5°の角度精度を必要とするわけではなく、例えば約1°〜2°の角度位置誤差が許容される用途では、センサ素子と円筒双極子27の長手方向軸の間の距離と第1の円8の直径に対する比d3/d1は、適切に、例えば係数10.0より小さく、例えば3.0〜9.0の範囲の係数、例えば約8.0または約6.0または約4.0から選択することができる。
図13(a)は、図1の規則的な4極子5によって発生した1次磁場「Bp」の軸方向場成分「Bz」のコンピュータシミュレーションにより得られた強度プロットである(図10のような円筒双極子の存在なしで単独で行われる)。第1の円8上のセンサ素子の場所は「+」記号で示されている。
図13(c)は、図13(a)の強度場に対応する磁力線を示す。理解できるように、1次磁場Bpは、180°の周期性(黒と白の図が誤って示唆されるように90°ではない)で回転軸(中心)に関して回転対称である。
図13(b)は、図10の永久磁石アセンブリ25によって発生した磁場の軸方向場成分「Bz」の例示的な強度プロットであり、4極子26によって発生した1次磁場「Bp」と、垂直に設置された円筒双極子27によって発生した2次磁場「Bs」との重ね合わせである。分かるように、この結合場(Bp及びBs)は、図13(a)に示されたものとは全く異なり、回転軸4を(第1の円の中心)中心に回転対称ではない。
図13(d)は、図13(b)の強度場に対応する磁力線を示す。分かるように、これらの磁力線は、図13(c)示されたものとは全く異なる。
図14(a)は、図10に示すような円筒双極子27がない場合、第1の円8上の個々の1次センサ素子によって測定されるように多極子磁石5によって発生する図13(a)に示す1次磁場Bpの軸方向場成分Bzに対応する信号を示す。他の1次センサ素子は、正確に同一の信号を測定するが、45°の整数倍だけ位相シフトしている(8つの1次センサが存在する場合)。分かるように、これは、180°の周期性を有する正弦波状信号である(磁石アセンブリ5が4極子である場合)。
図14(c)は、図14(a)と同様の信号及び位相シフトされたバージョン(1つの信号のみが示されている)のような信号を使用して、上述した式[11]及び[12]による第1及び第2差信号diff1及びdiff2を示している。分かるように、図14(a)のものと同一の状況下では、これらの差信号は、に示すように、180°の周期性を有する正弦波状信号である。
図14(b)は、多極子、例えば、4極子26による1次磁場Bp及び双極子27による2次磁場Bsの重ね合わせである結合場の存在下で個々の1次センサ素子によって測定されるように図13(c)に示す磁場の軸方向場成分Bzに対応する信号を示している。分かるように、この信号は、180°の周期性を有しない。
図14(d)は、上述した式[11]及び[12]による第1及び第2差信号diff1及びdiff2を、他のセンサ素子によって測定されるように、図14(b)及びその位相シフトされたバージョン(1つの信号のみが示されている)のような信号を使用して示す。
これらの差信号diff1、diff2が図14(c)のものとほぼ同一であることがわかる。したがって、diff1とdiff2の比のarctan関数は、双極子が存在しない図14(c)及び双極子27が存在する図14(d)とほぼ同一の結果を与える。これは、「第2のアルゴリズム」と称される第2のアルゴリズムと共に使用される場合、8つの1次センサ素子を有するセンサデバイス6が双極子27によって発生するBz場に対して非常に鈍感であることを証明する。
2次磁場Bsを使用して360°の角度で角度を計算する方法を説明する前に、本発明の永久磁石は2つ以上の単一双極子、例えば図15に示すような2つの双極子、図24に示すような、3つの双極子、または3つ以上の双極子(図示せず)の1つ以上を含んでもよい。
図15は、本発明の第2の実施形態としての装置150を示す。この装置は、またセンサデバイス6の場所の異なる角度周期性を有する磁場成分を形成する永久磁石アセンブリ25を備える。図示された実施形態では、磁石アセンブリ25は、規則的な4極子26と、第1及び第2の磁石27、28、この実施形態では、同一の円筒双極子は、回転軸4に平行に配向され、例えば、垂直方向及び磁気的に反対方向に配向されている。図示された実施形態では、回転子2の回転軸4は、2つの双極子27、28の間の真ん中に、それらの長手方向軸に平行に配列されている。
4極子26は、上記と同様に回転対称で180°の周期性を有する1次磁場Bpを発生する。2つの双極子27、28は、180°の周期性を持たない2次磁場Bsを発生する。
図16(a)は、図15に示す装置150の双極子27、28によって発生した2次磁場Bsの磁力線を示す概略図である。
図16(b)は、半径方向場「Br」を測定するため配向された垂直ホール素子の形態の8つの1次センサ素子を有するセンサのために、対称的に配列された双極子27、28によって形成された2次磁場Bsが、上述の「diff1」及び「diff2」の式に及ぼす影響を示している。分かるように、場が一定ではないにもかかわらず、diff1とdiff2の値は驚くほど正確にゼロになる。これは、1次角度α1の測定に対する2次磁場Bsの影響が完全に排除されていることを意味する。さらにその上、これは、第1の円8の半径(1次センサ素子が位置する)の半径の寸法に関係なく当てはまる。これは、双極子27、28の間の距離d4が減少しても、1次角度α1の測定の精度が2次場の存在によって悪影響を受けないことを暗示し、センサデバイス6を小型化することができるだけでなく磁石アセンブリ25自体を小型化することができ、さらにその上、これは互いに独立して可能である。磁石の価格はそのサイズ(または重量)に大きく依存するので、これは、本発明の装置150を技術によって許容されるほど小さくすることが好ましいことを意味する。これは、本発明の実施形態の大きな利点である。
図16(c)は、同一の記述が、「第2のアルゴリズム」を使用するときにはセンサデバイス6によって完全に除去されているように見える接線方向場「Bt」を測定するように配向された垂直ホール素子の形の8つの1次センサ素子の形態の8つのセンサ素子を有するセンサデバイス6に用意されていることを示す。
図17〜図23は、本発明の実施形態による方法を示す。図17は、この方法の一般的な表現である。図18〜図20は、第1の特定の実施形態を示し、1次センサ素子から得られた信号を使用して2次場Bsの角度α2が測定または推定される。図21及び図22は、図32の磁石と同一の原理を示している。図23は、1次センサ素子の一部であっても、または追加のセンサ素子であってもよい水平ホール素子から得られる位相シフトされたBz測定値に基づく第2の特定の実施形態を示す。
図17は、固定子に対する回転子2の角度位置α1を計算する方法を示すフローチャートであり、角度は0°から360°の範囲の値である。
1次センサ素子から1次センサ信号S1、S2、T1、T2、U1、U2、V1、V2を取得する第1のステップ171と、「第2のアルゴリズム」を適用する第2のステップ172(上記式[2]〜[16]参照)は、センサデバイス6の場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分を有する非回転対称磁場に対してこれらのステップが実行されるが、先行技術で行われたのと同一であり、この磁場は、回転子2に多極子磁石からなる磁石アセンブリと、回転子2に対して偏心して載置された少なくとも1つの円筒双極子磁石と、によって発生する。方法ステップ171、172は、回転子2の回転軸における多極子磁石の磁極子数Nを有する0°〜360°(N/2)の範囲内の1次角度α1提供し、4極子の場合は0°〜180°、6極子の場合は0°〜120°など、である。
次のステップ173において、少なくとも1つの円筒双極子磁石によって発生した2次磁場Bsが、2次センサ素子を使用して測定される。いくつかの実施形態(例えば、センサデバイスが追加の水平ホール素子を有さない場合)では、このステップ173は、実際にはステップ171と同一のステップであり、この場合、信号S1〜V2は2次信号としても使用される。他の実施形態(センサデバイスが少なくとも2つの追加のホール素子XE1、XE2を有する場合)では、このステップは、これらの少なくとも2つの追加のホール素子XE1、XE2を使用して磁場を測定し、これらの少なくとも2つのセンサ素子から得られたセンサ信号SE1、SE2を「2次信号」として提供することを意味する(「2次信号」は「2次磁場」Bsに関する情報を含むため「2次信号」と称される)。
この方法はまた、多極子によって発生する1次磁場Bpの影響を除去するため及び補正された信号を提供するために、いくつかの実施形態では、2次センサ信号S1〜V2、または他の実施形態では、SE1、SE2などを補正する任意選択のステップ174を含む。この段階では、このステップは、このステップでは、1次角度α1が既知であるので可能であることに注意するべきである(180°の範囲であるが、1次磁場は180°の周期で回転対称であるため、問題ではない)。
補正された信号を使用することは、2次磁場の配向を誤って推定するリスクを低減し、外部場の感度を高めるので、有利である。
ステップ175では、固定子3に対する回転子2の角度位置αが、式α=α1+M.UAを使用して計算され、Nは多極子の磁極の数Nで、UAは360°(N/2)の不確定角度または周期性であり、4極子の場合は180°、6極子の場合は120°など)であり、Mは0、1、...、の整数値であり、Mは任意選択で補正された2次信号、いくつかの実施形態ではS1〜V2、他の実施例ではSE1、SE2などに基づいて選択される。
Mの値を決定するための計算は、例えば、比較を含む、または最大値または最小値の発見を含む単純なBoolean演算または算術演算、によって実行され得ることは有利である。
この式の背後にある考え方は、双極子(複数含む)によって発生した2次磁場Bsの方向(ここでは2次角度α2と称される)の推定に基づいて不確定性が解決されるという考え方である。この推定は、さらに説明するように、異なる方法で行うことができるが、本発明は、これらの特定の方法に限定されず、他の方法も使用可能である。
図18は、4極子によって発生した1次磁場Bpの半径方向成分「Br」を測定するように配列された8個の垂直ホール素子を有するセンサデバイス6について、2次磁場Bsの2次角α2を決定するための第1の具体例を示す。示されているのは、ステップ174において、少なくとも信号S1〜V2のサブセットについて、1次磁場Bpの影響が除去されたと仮定して、2次磁場Bsのみの磁力線である。信号の大きさに応じて、任意選択のステップ174は必要でない場合もある。
この例では、1次センサ素子から得られた個別信号S1〜V2は、2次信号SE1〜SE8としても使用される。2次角度α2は、例えば、最大の正の信号を生じる1次センサ素子を見つけることによって容易に決定することができる。示された例では、これは、信号U1に対応するセンサ素子であり、したがって、この例では、図の左側を指しているこのセンサ素子に対応する方向として2次角度α2が選択される。最大値を見つける代わりに、最も低い値(最も負の値)を見つけることも可能であり、この場合は信号U2であり、反対方向(図の左側)を選択する。多極子の磁極の数Nを有する、例えば、4極子の場合は8つのセンサ位置となる、N*2個のセンサ位置があり、例えば、1つの最大値または1つの最小値のような選択された極値のみが存在し得るので、結果として得られる角度α2は、8つのセンサ位置に対して45°の整数倍のような、360°/(N*2)の整数倍となるが、2次角度α2は、ステップ172で決定された1次角度α1に180°を加算する必要があるか否かを判断するためだけに使用されるので、十分に正確である。したがって、半径方向場「Br」を測定するように配向された8つの垂直ホール素子を有する、図示の実施形態のセンサデバイス6では、2次磁場Bsを測定するために追加のホール素子は必要なく、センサデバイスのソフトウェアを変更する必要があるだけである。
図18は、2つの双極子によって発生した磁力線を示しているが、任意選択で信号S1〜V2を補正し、任意選択で補正された信号S1〜V2の最大値または最小値を見つける同一のステップは、単一の双極子によって発生した2次磁場の2次角度α2を決定するために適用することができる(図12aを参照)。この場合にも、信号U1に対応するセンサが最大の値を生じるので、センサは、図12(a2の2次場Bsが、また左を指すことを検出することができる。
4極子26と1つ以上の双極子27、28(所与の磁石に対して固定され、プログラム内でハードコードされているか、または不揮発性メモリに格納されている)の相対的な角度位置(オフセット)に依存して、このオフセットに対して2次角度α2を補正することができ、任意の好適な距離基準、例えば、最小角度距離を使用して、角度α1またはα1+180°のいずれが、推定され、任意選択でオフセットされた角度α2によく対応しているかに応じて、1次角度α1に180°を加えるべきかどうかを決定することができる。
図19は、4極子26によって発生した1次磁場Bpの接線方向成分「Bt」を測定するために配列された8つの垂直ホール素子を有するセンサデバイス6の特定の実施形態のための、2次磁場Bsの2次角α2を決定するための第2の具体例を示している。この場合にも、8つの1次信号S1〜V2の最大値が見いだされ、この場合は信号S2となる。このようにして得られた2次角度α2は、S2に対応するセンサ素子に示された矢印記号であり、再度、図の左側を指している。したがって、接線方向場を測定するために配向された8つの垂直ホール素子を有するこのセンサデバイスについても、2次磁場Bsを測定するために追加のホール素子は必要とされない。最小値が見つかった場合、結果は信号S1であり、α2の方向は矢印記号の反対に選択され、したがって再度、図の左側を指す。再び、多極子磁石と双極子(複数含む)の相対的な角度位置(オフセット)に応じて、角度α1またはα1+180°のいずれが、推定された及び任意選択で、オフセット補正された角度α2に最もよく対応するかが決定され得る。
最大値または最小値を見つける代わりに、例えば、余弦波状信号として(U2−U1)を、正弦波状信号として(S1−S2)、または1次信号の2つ以上の他の組み合わせを考慮することによって、2磁場Bsの方向α2を見出すこともできる。
乱場:
上述の方法は、望ましくない外乱角(Fremdfeld)が存在する場合にも非常に良好に機能する。すなわち、
1)「第2のアルゴリズム」(ステップ172)によって決定される1次角度α1は、(特許文献3に記載されているように)一定の外部場に対して非常に鈍感であり、
2)2次角度α2は、次に説明するように、外部場に対して非常に鈍感な方法で決定することもできる。
図20を参照すると、ステップ172で算出された1次角度α1を図20(a)に示す角度とする。これは、図20(b)に示すように、「実際の」回転子位置が位置α1または位置α1+180°のいずれかにあることを意味する。一定の外部場Bfremdが、図20(c)に示すような大きさ及びサイズで存在し、2次角度α2は、左を指し、図20(d)に示すような振幅を有するベクトルとして決定されたものと仮定すると、実際の2次磁界Bs_realは、図20(d)に示す推定されたベクトルの代わりに、図20(e)に示すベクトルとなる。しかし、ベクトルBs_estimateは、図20(b)に示すα1+180°よりも図20(a)に示すベクトルα1に「近い」ので、正しい結果をもたらす0°が加えられるべきである(すなわち、M=0の値が選択されるべきである)と決定される。
図20(f)は、外部場Bfremdを表すベクトルのいくつかの他の例を示し、図20(g)は、2次磁場の大きさBs_realが外部場Bfremdの大きさよりも大きい限り、最も近い角度として(α1+180°)ではなく(α1)を選択する正しい決定が行われることを示している。これらの図から、本発明の方法は、(2次磁場より小さい大きさを有する)外乱場Bfremdが存在する場合であっても、0°〜360°までの範囲の角度αに対して正確で正しい結果を提供することが理解できる。
2次場ベクトルの推定値Bs_estimateを使用して、外部場Bfremdの強度の推定値を提供することができることに留意されたい。これは、2次磁石部分の場強度が固定される、例えば、校正中に事前定義され、または測定され、ハードコード化されるか、または不揮発性メモリに格納され得るために可能である。このようにして計算された外部場Bfremdの強度値は、センサによって任意選択で出力されてもよく、例えば、いくつかの用途において重要な測定の信頼性の指標として使用されてもよい。
図21は、図32または図33に示された磁石アセンブリ31の図18の変形例であり、ここでは、1次磁場は規則的な4極子ディスク磁石32によって発生し、2次磁場は2つのハーフリング部分33によって形成される。図21は、補正ステップ174を実行した後の2次場Bsの磁力線のみを示している。この2次磁場Bsの磁力線は均一であり、第2のアルゴリズムはこの磁場を完全に相殺するので、2次磁場Bsの存在は、4極子によって発生した1次磁場Bpに関する1次角度α1の測定に悪影響を及ぼさない。図18で説明したのと同一の原理をここで使用して、2次角度α2を決定することもできる。
図22は、図32または図33の磁石アセンブリ31の図19の変形例であり、第1の円に接線方向に配向された垂直ホール素子を使用して2次磁場の方向をどのように測定できるかの別の例が示されている。
図12(a)〜図12(d)及び図16(a)〜図16(c)、図18及び図19、図21及び図22から、本開示の恩恵を受ける当業者にとっては、本発明の原理を使用して、第2のアルゴリズムによるセンサ装置がそのような2次磁場に対して強くまたは完全に頑強であるため、特許文献3に記載されているのと同一の方法で、2次場Bsの存在の影響が全くないかまたはほとんどなく、1次角度α1を測定することができ、1次磁場の周期性に起因する限定された測定範囲を解決するために2次磁場Bsを使用することができることは明らかである。これを、単一の円筒双極子については図12に、1対の円筒双極子については図16及び図18図に、そして1対の半円形双極子については、図21及び図22に示す。これらの例から、当業者は、2次磁石部分の形状は、1次角度α1の精度に軽微な影響を及ぼし得るが、本明細書に記載される全ての実施形態の角度位置は、360°の全範囲において決定され得ることを理解するであろう。
図23は、少なくとも2つまたは少なくとも3つの水平ホール素子からの信号を使用して2次角度α2がどのように見出されるかを説明するために使用される。
図24は、本発明の第3の実施形態としての別の例示的な装置240を示す。この装置は、別個の規則的な4極子41と3つの個々の円筒双極子42、43、44とからなる永久磁石アセンブリ40を含む。双極子42、43、44は垂直に(すなわち、4極子41の平面、図示された実施形態ではXY平面で示される、に直交して)、配向され、それらの少なくとも2つは、対向して配向され、示された実施例では、双極子42、43は双極子44に対向して配向されている。4極子41は180°の周期性を有する回転軸4の周りに回転対称である1次磁場Bpを発生する。3つの双極子42、43、44のセットは、回転軸4の周りで回転対称ではない2次磁場Bsを発生する。
3つの双極子42、43、44の全てが上向きまたは全部が下向きである場合、すなわち全て同一の方向に配向される場合、2次場Bsは、機能しない120°の周期性を有する回転対称であることに留意されたい。この双極子の組42、43、44によって発生する磁場は、図12(a)に示す種類の3つの磁場の重ね合わせである。図15に示す2つの双極子の組とは対照的に、3つの双極子42、43、44によって発生した場は、「第2のアルゴリズム」によって完全に除去されず、したがって、1次角度α1に小さな誤差が生じる。図12に関して示されているように、この誤差は実際の寸法及び場強度を考慮に入れた場合、実際には小さく、第1の円8のより小さい半径及び/または回転軸4と双極子の長手方向軸との間の大きな距離を選択することによって及び/または1次磁場Bpに対する2次磁場Bsの強度を減少させることによって、さらに低減することができる。
上述した実施形態では、センサデバイス6は、半径方向または接線方向に配向された垂直ホール素子の形態の8つの1次センサ素子を有し、同一の1次センサ素子またはそのサブセットは、もう1つの双極子によって発生した2次磁場Bsを検出するために使用することもできるが、それは絶対に必要なわけではない。
図25に示すセンサデバイス6は、第1の円8と同心の第2の円9上に配列された少なくとも2つの追加の水平ホール素子XE1、XE2(そのうちの2つのみが示されている)を有する。この例では、第2の円9の半径は、第1の円8の半径より小さいが、同一であってもよいし、大きくてもよい。この例では、少なくとも2つの追加のホール素子XE1、XE2が約35°の角度距離で示されているが、これは必要ではなく、この角度を比較的小さく、例えば5°〜45°の範囲に保つことが好ましいが、約5°〜約175°の範囲の任意の角度も機能する。水平ホール素子の使用は、垂直ホール素子と比較して感度が高く、オフセットが小さいという利点がある。
少なくとも2つの水平ホール素子XE1、XE2は、磁石とセンサとの間の全磁場、例えば図13(b)及び図13(d)に示す磁場、の垂直磁場成分Bzの値を示す信号SE1、SE2を提供する。
図23は、信号SE1及びSE2を比較することによって(例えば、2つの信号のうち最大のものを見つけることによって)、1次角度α1に0°または180°が加算されるべきか否かを決定することができることを示す。この例では、SE1>SE2であれば、方法ステップ175でMを0に設定し、1次角度α1に0°を加算する。SE1<SE2であれば、方法ステップ175において、Mは1に等しく設定され、180°が1次角度α1加算される。これは、理論上は正しいが、実際には、信号S1及びS2がほぼ同一の場合(図23の例ではα1が160°に近く340°に近い場合)誤った結論が採用され得るが、この問題は、例えば信号SE1とSE2がほぼ同一であれば、SE1とSE3またはSE2とSE3は、全く異なるので、少なくとも3つの水平ホール素子XE1、XE2、XE3(図示せず)を使用することによって容易に解決することができる。全ての信号SE1、SE2及び任意選択でSE3に同一の値を加えることは、比較(複数含む)の結果を変更しないので、この原理は一定の外部場に対して非常に頑強であることに留意されたい。
したがって、少なくとも2つの追加のセンサ素子XE1、XE2をセンサ6に追加することにより、一定の漂遊場に対して実質的に頑強な形態で2次角度α2を見つけることができる。少なくとも3つの追加のセンサ素子XE1〜XE3の使用は、一定の勾配を有する漂遊磁界に対して実質的に頑強な形態で2次角度α2を見つけることができる。
図23で分かるように、信号SE1、SE2は、図14(b)に示す結合磁場(1次場Bpと2次場Bs)の信号Bz1、Bz2にそれぞれ対応している場合、(図17の)任意の補正ステップ174を行わなくても、2次信号SE1、SE2自体に対して比較を直接実行することができる。他の実施形態では、補正ステップ174は、比較を行う前に実行される。
図26は、本発明の一実施形態による別のセンサデバイス6を示す。このセンサデバイスは、接線方向場Btを測定するために方向付けられ、第1の円8上に位置する垂直ホール素子VH1〜VH8の形態の8つの1次センサ素子を有し、第1の円8と同心の第2の円9上に位置する水平ホール素子の形態の3つの追加の2次素子XE1、XE2、XE3を有する。第2の円9の半径は、1次センサ素子が位置する第1の円8の半径よりも小さく、等しいか、または大きくすることができる。分かるように、追加のセンサ素子XE1、XE2、XE3の位置は、1次センサ素子の位置に関連する必要はなく、独立して選択することができる。もちろん、ステップ175において、全てのセンサ素子の相対角度位置が考慮される。これらの相対位置は、使用される磁石アセンブリとは独立しているが、不揮発性メモリに格納することもできるため、通常はハードコード化されている。
2次センサ素子XE1、XE2、XE3は、磁石とセンサとの間の全磁場の垂直場成分Bzの値を示す信号SE1、SE2、SE3を提供する。これらの値は、4極子によって発生した対称的な場Bzの影響を減じるために任意選択で補償することができるが、必ずしも必要ではない。
1次角度α1に、0°または180°(4極子の場合)、または多極子磁石の磁極数Nのとき、より一般的に360°/(N/2)にするか否かの決定は、図25に関連して説明したように、信号SE1、SE2、SE3の比較に基づく。水平ホール素子は、任意選択で、上部にIMCを有することができるが、これは必ずしも必要ではない。IMCと組み合わせて水平ホール素子を使用する利点は、IMCが磁力線を曲げ、水平ホール素子がそうでなければ測定できない信号を測定できることである。IMCは受動的な方法で信号増幅を提供する。
図27(a)及び図27(b)は、8つの水平ホール素子HH1〜〜HH8を有し、中央ディスク11の形態の集積磁場コンセントレータと、複数の半径方向に配向された細長いストリップ10とをさらに備える、本発明によるセンサ装置6の実施形態を示し、ホール素子は中央ディスク11の下に配列されている。この図は特許文献3の図26と同様であるが、センサ素子とストリップの数は異なる。図27(a)は、センサデバイスの上面図を示し、図27(b)は、1次センサ素子HH1〜HH8及びその信号S1〜T1を示す。
このセンサを使用して0°〜360°までの範囲内の角度を決定する方法では、ステップ172において、「第2のアルゴリズム」を使用して(例えば、式[2]または式[3]〜[10]または式[11]〜[14]または式[15〜[16]を使用して)1次角度α1を計算することができる。信号S1〜V2は既に2次場Bsに関する情報を含んでおり、1次信号は2信号SE1〜SE8として使用することもできるので、図13(d)図に示すBz場を測定するために追加の2次センサ素子XE1、XE2等は必要ではない。この実施形態の利点は、空間を節約するように、専用の2次センサ素子を必要としないことである。
この方法のステップ174は、1次角度α1が決定されると、1次センサHH1〜HH8から得られた値から図13(c)に示す場を減算することを意味するが、このステップは任意である。信号SE1〜SE8は、例えば、2次磁場の方向を、例えば、個々のセンサの最も大きい(最大)信号を見つけることによって、または最も小さいもの(最小)を見つけることによって、及びこれらの角度のいずれが2次磁場の方向α2に最も良く対応するかに応じて、回転子位置αをα1(ステップ175でN=0)またはα1+180°(ステップ175でN=1)として選択し、任意選択で、上述したように、磁石の1次磁場Bpと2次磁場Bsとの間の角度オフセットを考慮に入れることによって決定するために使用することができる。
図28(a)及び図28(b)は、図27(a)及び27(b)に示すセンサデバイスの変形例を示し、8つの1次センサ素子HH1〜HH8が、中央ディスク11の下ではなく半径方向に配向された細長いストリップ10の下に位置する。実際、この実施形態では、中央ディスク11は不要であり、省略することができる。
図29は、8対の水平ホール素子を有し、センサ素子が位置する第1の円8の上方に配列されたリングセグメントの形態の集積磁場コンセントレータ(IMC)をさらに含む、本発明によるセンサデバイス6の実施形態を示す。この図は特許文献3の図19と同様であるが、センサ素子とIMCストリップの数は異なっており、角度αを計算する方法、特に方法の第2の部分(すなわち、ステップ173〜175)は異なる。本実施形態では、180°加算するか否かを、例えば、上述したように、最大値または最小値を見つけることによって、信号S1〜V2を、決定するための2次信号として使用することができるので、専用の2次センサ素子を備えていない。
図30は、図29の実施形態の変形例を示し、図26で説明したように、追加の信号SE1、SE2のどちらが大きいかに依存して、180°が加えられるべきかどうかを決定するために使用され得る2つの追加のセンサ素子XE1、XE2が追加される。上述したように、少なくとも3つの追加のホール素子XE1、XE2、XE3(図示せず)を有する方がよい。
図31〜図60は、本発明の実施形態で使用可能な磁石のいくつかの例を示す。
図31は、一定でない厚さを有する4極ディスク磁石50の例を示す。例えば、セグメント51a、51dは第1の厚さT1を有し、セグメント51b、51cは第1の厚さT1と異なる第2の厚さT2を有する。別の例(図示せず)では、セグメント51a、51b、51cは第1の厚さT1を有し、セグメント51dは第1の厚さT1とは異なる第2の厚さT2を有する。この磁石は単一の磁性材料で構成されているが(具体的には成形され、磁化されているが)、実際には、このような磁石は、規則的な4極子の形態の1次磁場と、1つ以上の双極子の形態の2次磁場と、任意選択で、図10に示す磁石によって形成される磁場に非常に類似した、センサの挙動に有意な影響を及ぼさない、いくつかの高次の項と、との重ね合わせと考え得る磁場を形成する。この例では、厚さの変化は2次磁場Bsを引き起こす。
図32及び図33は、本発明の実施形態で使用することができる磁石の例を示しており、中央部分が規則的な4極子ディスク磁石(一定の厚さ及び90°のセグメントを有し、磁石の幾何学的中心が回転軸と一致するように取り付けられる)を有し、2つの垂直双極子(図面の深さ方向に垂直に磁化されていると仮定する)として作用する2つのリングセグメントの形態の外側部分を有する。これらのリングセグメントによって形成された2次場を図20及び図21に示した。
図32及び図33は、同様の磁石アセンブリの2つの例を示すが、4極子32と2つのリングセグメント33との間に異なる角度オフセットを有する。他の実施形態(図示せず)では、4極子32及び双極子33の別の相対的な角度位置、例えば10°または20°または30°または任意の他の値を選択することができる。相対角度位置(例えば、角度オフセット)は、ハードコードされていてもよいし、不揮発性メモリに格納されてもよい。図32の実施形態は、図16に関連して説明したのと同一の対称性の利点を提供することが期待されるが、これは本発明が機能するために必要とされるものではない。
図34は、4つのディスクセグメントを有する不規則な4極子ディスク磁石34の例を示しており、その少なくとも1つは90°とは異なる角度、例えば92°から110°の範囲の角度を画定する。シミュレーションは、そのような磁石が、規則的な4極子の形態の1次磁場と、1つ以上の双極子の形態の2次磁場と、任意選択でセンサの挙動に重大な影響を及ぼさないある程度高い次数の項との重ね合わせと考え得る磁場を形成することを示している。この例では、セグメント角度の変化は、2次磁場Bsを引き起こす。
図35は、4つのディスクセグメントを有し、90°の角度を画定する不規則な4極子ディスク磁石35の他の例を示しているが、磁石の中心(すなわち、磁場成分Bt、Br、Bzがゼロの場所、図5、図7及び図9参照、は磁石の幾何学的中心と一致していない。シミュレーションは、そのような磁石が、規則的な4極子の形態の1次磁場と、1つ以上の双極子の形態の2次磁場と、任意選択でセンサの挙動に重大な影響を及ぼさないある程度高い次数の項との重ね合わせと考え得る磁場を形成することを示している。この例では、磁化のオフセットは、この磁石が回転軸4上にその幾何学的中心を持って取り付けられるとき、2次磁場Bsを生じる。この磁石の1次磁場Bpは完全に回転対称ではないが、オフセットdx、dyが第1の円の半径に対して十分に小さい場合には、「第2のアルゴリズム」と組み合わせて1次センサ素子によって「見られる」1次磁場が、磁石が完全に規則的である(dx=0及びdy=0の場合)場合と正確に同一の1次角度α1を提供する。この例では、オフセットdx、dyは2次磁場Bsを引き起こす。
特定の実施形態では、磁石の外径は、20mmより小さくても10mmよりも小さくてもよく、オフセットdx及び/またはdyは、例えば、ディスク磁石の外径の少なくとも3%、少なくとも5%、例えば少なくとも10%または少なくとも15%または少なくとも20%の値である。
図36(上面図)及び図37(斜視図)は、第1のサイズの2つと、第1のサイズとは異なる第2のサイズの2つの、4つの別個の円筒双極子磁石から構成される永久磁石アセンブリを示す。図38(上面図)及び図39(斜視図)は、第1のサイズの3つと、第1のサイズとは異なる第2のサイズのうちの1つの、4つの円筒双極子磁石から構成される永久磁石アセンブリを示す。これらの円筒双極子磁石は、エポキシまたはポリマーまたは任意の他の好適な材料のような非磁性材料によって一緒に保持される。これらの磁石は、4極子と1つまたは2つの垂直双極子との組み合わせとして見ることができる。第2のサイズ(例えば直径)と第1のサイズ(例えば直径)との比は、例えば、約200%〜約105%の範囲、例えば約120%または約130%または約140%または約150%で選択することができるが、他の値を使用してもよい。120%の比率であっても、例えば図14(d)に示すような信号Bz、中程度の外部場の存在下で、値を補正しなくても(ステップ174)180°を追加する必要があるかどうかについて確実に判断できるように十分に大きいことが期待される。
図40は、全てが同一の直立位置(例えば、センサ平面に対して90°未満)に配向された、同一のサイズの4つの円筒双極子磁石のみからなる磁石アセンブリの上面図である。3つの双極子は、回転軸上に中心を有する円上に位置するが、一方の双極子は、距離drにわたって半径方向に内側または外側にシフトする。
図41は、全てが回転軸上に中心を有する円上に位置する同一のサイズの4つの円筒双極子磁石のみからなる磁石アセンブリの上面図である。3つの双極子は、センサ平面に対して垂直に配向され、双極子の1つは、該センサ平面の法線に対して5°〜80°、好ましくは10°〜30°の範囲の角度φの下に傾斜する。
図31、図34、図35、図38、図39、図40、及び図41に示す磁石は、例えば厚さの変化、セグメント角度の変化、または磁気の中心と幾何学的中心との間のオフセットの変化、または個々の磁石のサイズの変化、または内方または外方への半径方向シフト、または傾斜角、またはこれらの組み合わせ、の形態の意図的な不規則性を有する多極子磁石が、回転軸4を中心に実質的に回転対称な1次磁場(N極子の多極子の場合、360°/(N/2)の周期性を有する、例えば4極子の場合には180°の周期性)と、回転対称ではない2次磁場との重ね合わせとして考え得る磁場を形成することができることを示す例である。
図42(上面図)は、共に規則的な4極子を形成する第1の大きさの4つの(内側の)円筒双極子、及び2次磁場を形成する第2の大きさの2つの(外側の)双極子の、6つの円筒双極子磁石から構成される永久磁石アセンブリを示す。第2のサイズは、第1のサイズよりも小さく、等しいか、または大きくすることができる。このように形成された4極子の回転軸は、2つの外側双極子の間の真ん中にある。この実施形態は、図16に関して説明したのと同一の対称性利点を提供することが期待されるがこれは本発明が機能するために必要とされるものではない。
この実施形態の変形例(図示せず)では、外側双極子の1つが省略されている。
図43は、図42に示す磁石アセンブリの変形例であり、2つの外側円筒磁石は、4つの内側双極子によって形成された4極子の回転軸の両側に整列していない。
図42及び図43の変形例では、6つの円筒双極子は全て同一のサイズを有し、このような磁石アセンブリを製造する場合に有利である。
図44〜図48は、規則的な4極子リング磁石の形態の内側部分と、リングセグメントの形態の2つの外側部分とを有する磁石アセンブリ48のいくつかの実施形態を示す。実用上の理由から、リング部分及びリングセグメントは、互いに小さな距離に位置付けされ、例えば、両者の間の黒色領域によって示唆されるようにエポキシまたはポリマーを使用して、共に保持され得る。外側部分の角度位置は、内側部分の角度位置から独立して選択することができるが、上で説明したように、これは、本発明が機能するためには必要ではないが、いくつかの実施形態は、図16に関して説明したのと同一の対称性を提供することができる。本発明の実施形態では、例えば図49に示すように、リングセグメントは、4極子リング磁石のリング部分を完全に取り囲む必要はない。
これらの実施形態の変形例(図示せず)では、外側リングセグメントの1つが省略されている。
図49は、内側の部分が規則的な4極子リング磁石の形をした磁石アセンブリと、2つの垂直双極子をビームの形で示している。この磁石の変形例では、2つの外側部分は、2つの円筒磁石、または任意の他の好適な形状の磁石である。
図50〜図55は、図44〜図49に示された磁石の変形例であり、規則的な4極子のリング磁石の形態の外側の部分と2次磁場を形成する内側の部分を含む。これらの磁石は、図44〜図49のものと非常に類似の結果をもたらすことが期待される。
これらの磁石(図示せず)の変形例では、内側部分の1つが省略されている。
6極子磁石:
図56〜図60は、回転対称6極子(120度の周期性を有する)を形成するための磁石アセンブリのいくつかの実施例を示し、本発明の実施形態で使用され得る、2次磁場Bsを形成するための、1つのみ、または2つまたは3つのみの垂直双極子を示す。
これらの磁石は、特許文献3に記載されている方法で、及びその図23及びその図25に示されているように、1グループに3つの1次素子を有する、グループS、T、U、Vの4つのグループに分けられた12個の1次センサ素子を有するセンサデバイス6と連結して使用されるべきものである。1次センサ素子は、(特許文献3の図22のように)半径方向場成分を測定するのに適した垂直ホール素子であってもよいし、(特許文献3の図23のように)接線方向場成分を測定するために適合された垂直ホール素子であってもよいし、(特許文献3の図24〜図27のように)IMCによってカバーされる水平ホール素子であってもよい。4極子に適用可能な式[3]〜[16]の代わりに、次の式[17]と[18]、または同等の式がこの場合に使用される。
diff1=(S1+S2+S3)−(U1+U2+U3) [17]
diff2=(T1+T2+T1)−(V1+V2+V3) [18]
図56〜図60の全ての磁石、及び4極子ディスク/リング/円筒が、6極子ディスク/リング/円筒によって再載置されている図31〜図55の変形例は、1次角度α1の精度に影響はないか、またはわずかであるように、角度αが360°の範囲で決定されるという意味で、これらのセンサと組み合わせて機能する。図57の磁石では、式[17]及び式[18]は、2つの双極子によって発生した2次場Bsに対して完全に鈍感であり、図56及び図58〜図60の他の磁石では、2次磁場Bsはおそらくより多くの影響を有し、1次角度α1にある程度の不正確さをもたらす。しかし、上述したのと同一の理由で、不正確さは約2°より小さくなることが予想され、第1の半径が減少し、及び/または回転軸と双極子の長手方向軸との間の距離が増加するにつれて、及び/または2次磁場の強度が1次場に対して減少するにつれて、精度が向上することが期待される。方法のステップ175(図17参照)では、それぞれM=0,1または2に対応して0°または120°または240°を追加する必要があるかどうか、を決定する、不確定角度またはUA=120°の周期性(6極子の場合)。上述のように、Mに関する最良の値は、複数の少なくとも2つ、または少なくとも3つ、または少なくとも4つ、例えば、6つ、または8つまたは12個の2次信号SEi、に基づくことができ、それらは、複数の少なくとも2つのまたは少なくとも3つの追加の水平ホール素子XEiから得られる信号であってもよく、または1次センサ信号と同一の信号であってもよい。信号SEまたはS1〜V2は、任意選択で補正することができる(図17の方法ステップ174参照)。
図56〜図60と同様に、6つの円筒双極子の代わりに、6極子磁石は6つのセグメントを有するディスク磁石することができ、図32及び図33と同様、双極子(複数含む)はリングセグメントすることができるが(図示せず)、4極子は6極子に再載置される。外側リングセグメントの数は2つのままである。
他の実施形態(図示せず)では、6つの円筒双極子の代わりに、6極子磁石は、6つのセグメントを有するリング磁石とすることができ、図44〜図55と同様、1つまたは2つ以上の双極子を、リングセグメントまたはビームとすることができるが、4つのリングセグメントを有するリングは、6つのリングセグメントを有するリングによって再載置される。
図31の変形例では、6つのセグメントを有し、少なくとも1つのセグメントが他のセグメントとは異なる厚さを有する6極ディスク磁石が提供される。
図34の変形例では、6つのセグメントを有し、少なくともオンセグメントが、60°とは異なる、例えば45°〜75°の範囲、または50°〜70°の範囲、または55°〜65°の範囲の角度を画定する6極子ディスク磁石が提供される。
図35に示す変形例では、磁石の中心が磁石の幾何学的中心と一致しない6つのセグメントを有する6極子ディスク磁石が、提供される。
以上から、本開示の恩恵を受ける当業者は、本発明の教示を8極磁石または高次磁石に容易に拡張することができる。
多くの例が円筒磁石で与えられているが、本発明は、もちろん、例えば梁形状の磁石(正方形または長方形の断面を有する)のような他の形状を有する磁石でも機能する。
本発明は、磁場を形成する永久磁石を用いて説明したが、本発明は、バックバイアス磁石または少なくとも1つのコイルの形態の磁石でも機能する。
本発明は、図面及び前述の説明において詳細に図示され説明されたが、そのような図示及び説明は、設系用または例示的であって限定的ではないとみなされるべきである。前述の説明は、本発明の特定の実施形態を詳述している。しかしながら、上記のことがどのように詳細に記載されているとしても、本発明は多くの方法で実施され得ることが理解されるであろう。本発明は開示された実施形態に限定されない。

Claims (15)

  1. 磁気センサ装置(100、150、240)であって、
    −磁石アセンブリ(25、31)及び磁気センサ(6)であって、前記磁石アセンブリ(25、31)が、前記磁気センサ(6)の場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分(Bp、Bs)を有する磁場を形成し、前記磁気センサ(6)が、前記異なる磁場成分(Bp、Bs)を検知して、少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を生成するための手段を含む、磁石アセンブリ(25、31)及び磁気センサ(6)と、
    −前記少なくとも第1及び第2の信号を受信し、それらを結合して、前記磁気センサ(6)に対する前記磁石アセンブリ(25、31)の固有の角度位置を生成する演算素子と、を備える、磁気センサ装置。
  2. 前記磁石アセンブリが、単一の磁石、つまり連続的な磁化材料の素子である、請求項1に記載の磁気センサ装置。
  3. 前記磁石アセンブリが、異なる大きさの2つ以上の磁極を有する、請求項1または請求項2に記載の磁気センサ装置。
  4. 前記磁石アセンブリが、異なるセクタを有し、前記異なる大きさが、前記磁石アセンブリの差分セクタ磁化の結果である、請求項3に記載の磁気センサ装置。
  5. 前記差分セクタ磁化が、異なるセクタの磁化強度もしくは異なるセクタ領域、またはそれらの組み合わせの結果である、請求項4に記載の磁気センサ装置。
  6. 前記磁石アセンブリが、永久磁石を含むことができる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  7. 前記磁石アセンブリが、コイル及び磁石コントローラの装置である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  8. 前記磁石アセンブリが、異なる大きさの2つ以上の極を有し、前記磁石コントローラが、異なる大きさの前記極を形成するために、前記コイルに電流に対する異なる電圧を提供する、請求項7に記載の磁気センサ装置。
  9. 前記磁気センサが、2つ以上のセンサ素子を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  10. 前記演算素子が、前記第1のセンサ素子信号及び前記第2のセンサ素子信号を結合して、前記磁気センサに対する前記磁石アセンブリ(25、31)の固有の角度位置を生成する回路を含む、請求項1〜9のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  11. 前記磁気センサが、表面と、電気出力を提供し、前記磁気センサの前記表面に配設された2つ以上の検知素子と、を有する、請求項1〜10のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  12. 前記検知素子の前記電気出力が、前記第1及び第2の信号を生成するように線形結合される、請求項11に記載の磁気センサ装置。
  13. 前記知素子が、前記表面に対して垂直であるか、または前記表面に平行であるか、またはそれらの組み合わせである磁場に敏感である、請求項12に記載の磁気センサ装置。
  14. 前記演算素子、フーリエ変換回路を含まない、請求項1〜13のいずれか1項に記載の磁気センサ装置。
  15. 磁気センサ(6)に対する磁石アセンブリ(25、31)の固有の角度位置を決定する方法であって、
    前記磁石アセンブリ(25、31)が、前記磁気センサ(6)場所に異なる角度周期性を有する少なくとも2つの磁場成分(Bp、Bs)を有する磁場を形成し、
    前記磁気センサ(6)が、検知手段と、演算素子と、を含む、方法であって、
    −前記磁気センサ(6)を検知するための前記検知手段を使用して、前記異なる磁場成分(Bp、Bs)を検知して、少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を生成することと、
    −前記演算素子を使用して、前記少なくとも第1及び第2のセンサ素子信号を受信し、それらを結合して、前記固有の角度位置を生成することと、を含む、方法。
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017211491A1 (de) * 2017-07-06 2019-01-10 Robert Bosch Gmbh Drehwinkelsensoranordnung, LiDAR-System, Arbeitsvorrichtung und Betriebsverfahren für ein LiDar-System
DE102017216536B4 (de) * 2017-09-19 2023-07-06 Vitesco Technologies GmbH Verfahren zur Kompensation von Störungen eines gemessenen Winkelsignals eines magnetischen Winkelsensors einer elektrischen Maschine und ein entsprechend ausgebildeter Mikrokontroller, eine elektrische Maschine, sowie ein Computerprogrammprodukt
US10969435B2 (en) * 2018-02-12 2021-04-06 Brandon & Clark, Inc. System and method for induction motor rotor bar surface magnetic field analysis
US10670425B2 (en) * 2018-03-30 2020-06-02 Nxp B.V. System for measuring angular position and method of stray field cancellation
EP3581893B1 (en) 2018-06-12 2022-06-01 Melexis Technologies SA Multipole magnet, method of producing, and sensor system comprising same
US10914609B2 (en) * 2018-06-19 2021-02-09 Nxp B.V. System and method for angle sensing using magnet having asymmetric magnetization configuration
EP4056956A1 (en) * 2018-06-26 2022-09-14 Melexis Technologies SA Position sensor system and method, robust against disturbance fields
DE102018211240A1 (de) * 2018-07-07 2020-01-09 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Klassifizieren einer Relevanz eines Objekts
US10914611B2 (en) * 2018-08-27 2021-02-09 Nxp B.V. Magnetic field sensor system and method for rotation angle measurement
EP4184122A1 (en) * 2018-11-13 2023-05-24 Ratier-Figeac SAS Magnetic angular position sensor
EP3686560B1 (en) 2019-01-28 2021-07-14 Melexis Technologies SA Magnetic attractive rotary button system
EP3702736B1 (en) * 2019-02-26 2023-08-02 Melexis Technologies SA Sensor system for rotation angular detection and 3d joystick function
US11486742B2 (en) 2019-08-16 2022-11-01 Nxp B.V. System with magnetic field shield structure
DE102019124371B9 (de) * 2019-09-11 2021-04-29 Infineon Technologies Ag Vorrichtung und verfahren zum ermitteln eines drehwinkels
DE102020100720A1 (de) * 2020-01-14 2021-07-15 Thyssenkrupp Ag Verfahren zur Störfeldkompensation einer Messung eines Drehwinkels eines Rotors einer Kraftfahrzeuglenkung
JP7167954B2 (ja) * 2020-03-19 2022-11-09 Tdk株式会社 磁気センサ装置及びその製造方法、並びに回転動作機構
EP3885778B1 (en) * 2020-03-23 2024-02-07 Melexis Technologies SA Position sensor devices, methods and systems based on magnetic field gradients
CN111721329B (zh) * 2020-07-07 2021-11-23 哈尔滨理工大学 一种三霍尔磁电编码器及免反正切计算角度解算方法
US11637482B2 (en) 2020-10-08 2023-04-25 Analog Devices International Unlimited Company Magnetic sensor system for motor control
US11460323B2 (en) 2021-02-05 2022-10-04 Analog Devices International Unlimited Company Magnetic field sensor package
CN113093068A (zh) * 2021-03-01 2021-07-09 麦歌恩电子(上海)有限公司 磁场方向探测方法及系统
WO2023235631A1 (en) * 2022-06-03 2023-12-07 Motus Labs, LLC Magnetic field detection apparatus, system, and method

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3544226B2 (ja) * 1994-05-30 2004-07-21 ヤマハ発動機株式会社 スロットル開度検出装置
EP0916074B1 (en) 1997-05-29 2003-07-30 AMS International AG Magnetic rotation sensor
JP4936299B2 (ja) 2000-08-21 2012-05-23 メレクシス・テクノロジーズ・ナムローゼフェンノートシャップ 磁場方向検出センサ
CN101375131B (zh) 2006-01-12 2011-10-19 铁姆肯美国公司 具有高分辨率磁道和低分辨率磁道的磁传感器
JP4897953B2 (ja) * 2006-06-14 2012-03-14 古河電気工業株式会社 回転角度検出装置
KR101272699B1 (ko) * 2006-07-25 2013-06-10 엘지이노텍 주식회사 조향각 센싱장치 및 센싱방법
JP5004985B2 (ja) * 2008-03-19 2012-08-22 三菱電機株式会社 磁気式位置センサ
CN103221790B (zh) * 2010-11-18 2016-02-03 三菱电机株式会社 旋转角度检测装置
DE102011007023A1 (de) * 2011-04-08 2012-10-11 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Erfassen einer Winkelposition
DE102011002179B4 (de) * 2011-04-19 2023-10-12 Avago Technologies International Sales Pte. Limited Verfahren und Anordnung zur Synchronisation eines Segmentzählers mit einem Feinpositionssensor
JP2013257231A (ja) * 2012-06-13 2013-12-26 Jtekt Corp 回転角センサ
GB2505226A (en) * 2012-08-23 2014-02-26 Melexis Technologies Nv Arrangement, method and sensor for measuring an absolute angular position using a multi-pole magnet
US9671214B2 (en) * 2013-07-17 2017-06-06 Infineon Technologies Ag Discrete magnetic angle sensor device, a magnetic angle sensor arrangement, a method for generating an angle signal and a method for providing a sensor signal
GB201315964D0 (en) * 2013-09-06 2013-10-23 Melexis Technologies Nv Magnetic field orientation sensor and angular position sensor using same
US9841485B2 (en) * 2014-11-14 2017-12-12 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having calibration circuitry and techniques
JP3215077U (ja) * 2015-01-23 2018-03-01 インフィネオン テクノロジーズ アーゲーInfineon Technologies Ag シャフト外磁気角度感知システム
US10323958B2 (en) * 2016-03-18 2019-06-18 Allegro Microsystems, Llc Assembly using a magnetic field sensor for detecting a rotation and a linear movement of an object

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