JP6540593B2 - 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、部材の欠陥を検出する欠陥検査装置、および、欠陥検査方法に関する。

部材の電気抵抗を算出することによって当該部材の欠陥を検出可能な欠陥検査装置が知られている。例えば、特許文献１には、被検査対象であるセラミック基板の両面に設けられる導電性液体、当該導電性液体に電圧を印加可能な電極、および、電極を介して導電性液体に電圧を印加したとき導電性液体に流れる電流を検出可能な電流検出部を備える欠陥検査装置が記載されている。

特開平０９−３０４３２４号公報

特許文献１に記載の欠陥検査装置では、導電性液体に印加した電圧と検出した電流とに基づいてセラミック基板の電気抵抗を算出する。しかしながら、セラミック基板に比べ薄い絶縁膜では抵抗変化のＳ／Ｎ比が小さくなるため、小さな電気抵抗の変化として検出される微小な欠陥を検出することが困難である。
また、微小な欠陥を検出することを目的として電気抵抗の変化を大きくするには、印加する電圧を大きくする方法が考えられる。しかしながら、印可する電圧を大きくすると、導電性液体が電気分解するおそれがある。導電性液体が電気分解すると当該導電性液体中に気泡が発生する。気泡が発生すると電気抵抗が変化するため、欠陥の検出間違いが発生するおそれがあり、欠陥の検出精度が低下する。

本発明は、部材の欠陥を高精度に検出可能な欠陥検査装置を提供することにある。

本発明は、絶縁材料から形成されている部材の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、貯留タンク、第一の電極、第二の電極、電圧印加部、電流検出部、抵抗算出部、および、流速制御部を備える。
電圧印加部は、部材と電気的に接続可能な第一の電極および第一の電極とは異なる位置において部材と電気的に接続可能な第二の電極と電気的に接続し、部材の表面を流れる導電性液体を電気分解可能な電圧を第一の電極および第二の電極に印加可能である。
電流検出部は、第一の電極を流れる電流の大きさを検出可能である。
抵抗算出部は、電圧印加部が印加する電圧の大きさと電流検出部が検出する電流の大きさとに基づいて表面に導電性液体が流れているときの部材の電気抵抗を算出可能である。
流速制御部は、表面を流れる導電性液体の流速を表面に付着している気泡を表面から離すことが可能な流速に制御可能である。

本発明の欠陥検査装置では、電圧印加部が第一の電極および第二の電極に電圧を印加したときの第一の電極を流れる電流の大きさを検出することによって、表面に導電性液体が流れている部材の電気抵抗を算出する。このとき、電圧印加部は導電性液体が電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加するため、欠陥近傍の表面には電気分解による気泡が発生し付着する場合がある。本発明の欠陥検査装置では、流速制御部は、表面を流れる導電性液体の流速が気泡を表面から離すことが可能な流速に制御可能である。これにより、表面の気泡が除去されるため、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。
このように、本発明の欠陥検査装置は、導電性液体を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって比較的微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。これにより、部材の欠陥を高精度に検出することができる。

また、本発明は、絶縁材料から形成されている部材の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、液体流し工程、電圧印加工程、電流検出工程、および、抵抗算出工程を含む。
液体流し工程は、部材の表面に導電性液体を流す。
電圧印加工程は、表面を流れる導電性液体の流速を表面に付着している気泡を表面から離すことが可能な流速となるよう制御しつつ、部材と電気的に接続する第一の電極および第一の電極とは異なる位置において部材と電気的に接続する第二の電極に導電性液体を電気分解可能な電圧を印加する。
電流検出工程は、第一の電極を流れる電流の大きさを検出する。
抵抗算出工程は、電圧印加工程において第一の電極および第二の電極に印加した電圧の大きさと電流検出工程において検出した電流の大きさとに基づいて表面に導電性液体が流れるときの部材の電気抵抗を算出する。

本発明の欠陥検査方法では、電圧印加工程において、第一の電極および第二の電極に導電性液体を電気分解可能な電圧を印加する。このとき、導電性液体の電気分解によって欠陥近傍の表面に発生し付着する気泡は、当該気泡を表面から離すことが可能な流速に制御されている導電性液体によって除去される。これにより、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。したがって、本発明の欠陥検査方法は、導電性液体を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって比較的微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができるため、部材の欠陥を高精度に検出することができる。

本発明の第一実施形態による欠陥検査装置の模式図である。 図１のＩＩ部拡大図である。 本発明の第一実施形態による欠陥検査方法のフローチャートである。 本発明の第二実施形態による欠陥検査装置の模式図である。 本発明の第二実施形態による欠陥検査方法のフローチャートである。 本発明の第三実施形態による欠陥検査方法のフローチャートである。 本発明の第四実施形態による欠陥検査装置の模式図である。 本発明の第四実施形態による欠陥検査方法のフローチャートである。

以下、本発明の複数の実施形態について図面に基づいて説明する。

（第一実施形態）
本発明の第一実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図１〜３を参照して説明する。第一実施形態による欠陥検査装置１は、車両などが搭載するエンジンシステムが備えるＥＧＲクーラ９０の内壁に形成されている「部材」としての膜９１の欠陥を検出することが可能である。

ＥＧＲクーラ９０は、エンジンシステムが備える吸気系と排気系とを接続する排気還流管に設けられている。排気還流管は、排気系を流れる排気の一部を還流排気として吸気系に還流する機能を有している。還流排気は、エンジンでの燃焼によって排出された直後の排気であるため、比較的高温であるだけでなく、水蒸気の他に塩素イオンや硫酸イオン、硝酸イオンなどが含まれており、凝縮し濃縮されると強い酸性を示す。このため、ＥＧＲクーラ９０の内壁に設けられる膜９１は、このような還流排気が流れる環境条件下でステンレスから形成されているＥＧＲクーラ９０が腐食しないよう耐腐食性および耐熱性が比較的高いセラミック材料から形成されている。

欠陥検査装置１は、支持部１０、電解液供給部１５、「第一の電極」としての電極２１、「第二の電極」としての電極２２、制御部３０などを備える。欠陥検査装置１は、中空筒状の膜９１の「表面」としての内壁面９１１に「導電性液体」としての電解液８を流しつつ膜９１に電圧を印加する。欠陥検査装置１では、膜９１に印加された電圧と内壁面９１１に電解液８が流れているときに電極２１を流れる電流との関係に基づいて算出される電気抵抗の値から膜９１の欠陥の有無を検査したり、欠陥の大きさを判定したりする。図１は、膜９１の内壁面９１１によって形成されている流路９１０に電解液８が流れている状態の欠陥検査装置１を示している。

支持部１０は、ＥＧＲクーラ９０を支持可能な支持台１１を有する。支持部１０は、ＥＧＲクーラ９０が有する二つの開口部９２、９３に接続可能な接続部１２、１３を有する。接続部１２が有する接続口１２０は、開口部９２が有する開口９２０と連通可能に形成されている。接続部１２は、配管１２１を介して電解液供給部１５に接続している。接続部１３が有する接続口１３０は、開口部９３が有する開口９３０と連通可能に形成されている。接続部１３は、配管１３１を介して流路９１０の電解液８を吸引可能な吸引ポンプ１９に接続している。

電解液供給部１５は、貯留タンク１６、流速制御部１７を有する。貯留タンク１６は、流路９１０に供給される電解液８を貯留可能に形成されている。本実施形態での電解液８は、水、電解質、および、「界面活性剤」としてのエタノールを混合したものであって、電気抵抗は、膜９１を形成するセラミック材料の電気抵抗に比べ小さい。

流速制御部１７は、貯留タンク１６と配管１２１との間に設けられている。流速制御部１７は、内壁面９１１における電解液８の流速を制御しつつ、貯留タンク１６内の電解液８を流路９１０に供給可能に形成されている。

電極２１は、配管１２１の外壁に膜９１と電気的に接続するよう設けられる。電極２１は、制御部３０と電気的に接続している。電極２１の一部は、配管１２１が有する流路１２２に突出している（図２参照）。

電極２２は、ＥＧＲクーラ９０の外壁に膜９１と電気的に接続するよう設けられている。電極２２は、制御部３０と電気的に接続している。これにより、流路９１０に電解液８が供給されると、電極２１と電極２２とは流路９１０の電解液８を介して電気的に接続される。

制御部３０は、「電圧印加部」としての電源３１、電流検出部３２、および、抵抗算出部３３を有する。
電源３１は、電極２１、２２と電気的に接続している。電源３１は、電解液８を電気分解可能な一定の大きさの直流電圧を電極２１、２２に印加可能に形成されている。
電流検出部３２は、電源３１、電極２１、流路９１０の電解液８、および、電極２２を通る電流経路に設けられている。電流検出部３２は、電極２１を流れる電流、すなわち、電源３１、電極２１、流路９１０の電解液８、および、電極２２を通る電流経路を流れる電流の大きさを検出可能である。
抵抗算出部３３は、電源３１が印加する電圧の大きさ、および、電流検出部３２が検出する電流の大きさに基づいて電気抵抗を算出可能である。

制御部３０は、電解液供給部１５および吸引ポンプ１９と電気的に接続している。制御部３０は、欠陥検査装置１における検査プロセスにおいて、電解液供給部１５および吸引ポンプ１９の駆動を制御する。

次に、第一実施形態による「欠陥検査方法」としての膜９１の検査プロセスについて、図２、３に基づいて説明する。

最初に、ステップ（以下、単に「Ｓ」という）１０１において、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置１に取り付ける。Ｓ１０１では、内壁に膜９１が形成されているＥＧＲクーラ９０を支持台１１上にセットし、接続部１２と開口部９２、および、接続部１３と開口部９３とを接続する。

次に、「液体流し工程」としてのＳ１０２において、ＥＧＲクーラ９０内に電解液８を供給する。Ｓ１０２では、流速制御部１７によって貯留タンク１６に貯留されている電解液８を流路９１０に供給する。これにより、内壁面９１１に沿って電解液８が流れる。Ｓ１０２では、電解液８を流路９１０に供給しつつ、吸引ポンプ１９によって配管１３１を介して流路９１０に供給された電解液８を吸引する。これにより、電解液８が供給される前の乾燥した状態となっている膜９１に電解液８を流したときに発生する気泡が流路９１０から除去される。

次に、「電圧印加工程」としてのＳ１０３において、電解液８を所定の流速で流しつつ電極２１、２２に電圧を印加する。Ｓ１０３では、電源３１によって電極２１、２２に電圧を印加する。電極２１、２２に電圧が印加されると、電極２１、内壁面９１１を流れる電解液８、および、電極２２を通る電流経路が形成される。このとき、図２に示すように、膜９１に成膜不良などによる欠陥Ｄｆ１があると、電極２１、内壁面９１１を流れる電解液８、欠陥Ｄｆ１内の電解液８、および、電極２２によって比較的電流が流れやすい電流経路Ｒｉ１が形成される。

また、Ｓ１０３では、電極２１、２２に電解液８が電気分解可能な程度の電圧を印加する。これにより、電解液８が電気分解し、図２に示すように、欠陥Ｄｆ１近傍の内壁面９１１に気泡Ｂｂ１が発生する。Ｓ１０３では、内壁面９１１を流れる電解液８は所定の流速で流れている（図２の白抜き矢印Ｆ１）。ここで、「所定の流速」とは、主に気泡Ｂｂ１に衝突する電解液８の慣性力による気泡Ｂｂ１への作用力が気泡Ｂｂ１と膜９１との付着力より大きくなるときの流速である。これにより、内壁面９１１に付着している気泡Ｂｂ１は内壁面９１１から離れ、電解液８の流れに乗ってＥＧＲクーラ９０の外部に排出される。

次に、「電流検出工程」としてのＳ１０４において、電流の大きさを検出する。Ｓ１０４では、電流検出部３２は、電極２１、２２に電解液８が電気分解可能な程度の電圧が印加されているときの電極２１を流れる電流値を検出する。

次に、「抵抗算出工程」としてのＳ１０５において、電気抵抗を算出する。Ｓ１０５では、抵抗算出部３３は、Ｓ１０３において印加した電圧の大きさとＳ１０４において検出した電流の大きさとに基づいて、流路９１０に電解液８が流れているときのＥＧＲクーラ９０の電気抵抗を算出する。このとき、算出された電気抵抗が基準値に比べ大きいと、膜９１には規定値以下の大きさの欠陥があると判定される。また、算出された電気抵抗が基準値に比べ小さいと膜９１には、規定値より大きい欠陥があると判定される。
最後に、Ｓ１０６において、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置１から取り外す。
第一実施形態による膜９１の検査プロセスでは、このようにして、膜９１の欠陥を検出する。

本実施形態による欠陥検査装置１では、電源３１が電極２１、２２に電圧を印加したとき、電極２１を流れる電流の大きさを検出することによって膜９１が形成されているＥＧＲクーラ９０の電気抵抗を算出する。このとき、電源３１は電解液８が電気分解可能な程度の比較的高い電圧を電極２１、２２に印加するため、電解液８の電気分解による気泡が欠陥Ｄｆ１近傍の内壁面９１１に発生する。欠陥検査装置１では、内壁面９１１に付着している気泡を内壁面９１１から離すことが可能なよう電解液８の流速を制御する。これにより、内壁面９１１に付着している気泡が除去されるため、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。
このように、欠陥検査装置１は、電解液８を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって比較的微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。これにより、第一実施形態による欠陥検査装置１は、膜９１の欠陥を高精度に検出することができる。

本実施形態では、電解液８中にエタノールが含まれている。水とエタノールとを混合することによって表面張力が低くなるため、微小な欠陥に電解液８が入り込みやすくなる。これにより、欠陥の検出漏れを確実に防止することができる。

第一実施形態による膜９１の検査プロセスでは、Ｓ１０３において、電極２１、２２に電解液８を電気分解可能な電圧を印加する。このとき、電解液８の電気分解によって欠陥Ｄｆ１近傍の表面に発生し付着する気泡Ｂｂ１は、気泡Ｂｂ１を内壁面９１１から離すことが可能な流速に制御されている電解液８によって除去される。これにより、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。したがって、第一実施形態による膜９１の検査プロセスは、電解液８を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができるため、部材の欠陥を高精度に検出することができる。

（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図４、５に基づいて説明する。第二実施形態は、電解液８の圧力を制御可能な圧力制御部を備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

第二実施形態による欠陥検査装置２は、支持部１０、電解液供給部３５、電極２１、２２、制御部３０などを備える。

電解液供給部３５は、貯留タンク１６、流速制御部１７、圧力制御部３８を有する。
圧力制御部３８は、貯留タンク１６と流速制御部１７との間に設けられている。圧力制御部３８は、流路９１０に供給される電解液８の圧力を制御可能である。

次に、第二実施形態による「欠陥検査方法」としての膜９１の検査プロセスについて、図４、５に基づいて説明する。

最初に、Ｓ２０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置２に取り付けた後、「液体流し工程」としてのＳ２０２において、第一実施形態のＳ１０２と同様に、ＥＧＲクーラ９０内に電解液８を供給する。

次に、「電圧印加工程」としてのＳ２０３において、加圧された電解液８を所定の流速で流しつつ電極２１、２２に電圧を印加する。Ｓ２０３では、電源３１によって電極２１、２２に電圧を印加するとき、圧力制御部３８において電解液８を加圧しつつ流路９１０に供給する。これにより、膜９１の欠陥Ｄｆ１近傍の内壁面９１１に付着している気泡は内壁面９１１から離れ、電解液８の流れに乗ってＥＧＲクーラ９０の外部に排出される。

次に、「電流検出工程」としてのＳ２０４において、第一実施形態のＳ１０４と同様に、電流の大きさを検出し、「抵抗算出工程」としてのＳ２０５において、第一実施形態のＳ１０５と同様に、電気抵抗を算出する。
最後に、Ｓ２０６において、第一実施形態のＳ１０６と同様に、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置２から取り外す。
第二実施形態による膜９１の検査プロセスでは、このようにして、膜９１の欠陥を検出する。

本実施形態による欠陥検査装置２は、加圧された電解液８を流路９１０に供給可能となっている。これにより、電解液８の電気分解によって発生する気泡の大きさが第一実施形態に比べ小さくなるため、算出される電気抵抗における気泡によるノイズが比較的小さくなる。したがって、第二実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、さらに微小な欠陥を検出することができる。

（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態による欠陥検査方法を図６に基づいて説明する。第三実施形態は、圧力制御部が電解液８の圧力を低くする点が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

第三実施形態による欠陥検査装置は、支持部１０、電解液供給部３５、電極２１、２２、制御部３０などを備える。すなわち、第三実施形態による欠陥検査装置は、第二実施形態による欠陥検査装置２と同じ構成である。

第三実施形態による「欠陥検査方法」としての膜９１の検査プロセスについて、図６に基づいて説明する。
最初に、Ｓ３０１において、第二実施形態のＳ２０１と同様に、ＥＧＲクーラ９０を第三実施形態による欠陥検査装置に取り付けた後、「液体流し工程」としてのＳ３０２において、第二実施形態のＳ２０２と同様に、ＥＧＲクーラ９０内に電解液８を供給する。

次に、「電圧印加工程」としてのＳ３０３において、減圧された電解液８を所定の流速で流しつつ電極２１、２２に電圧を印加する。Ｓ３０３では、電源３１によって電極２１、２２に電圧を印加するとき、圧力制御部３８において電解液８を電解液８の蒸気圧近くまで減圧しつつ流路９１０に供給する。これにより、膜９１の欠陥Ｄｆ１近傍の内壁面９１１に付着している気泡は内壁面９１１から離れ、電解液８の流れによってＥＧＲクーラ９０の外部に排出される。

次に、「電流検出工程」としてのＳ３０４において、第二実施形態のＳ２０４と同様に、電流の大きさを検出し、「抵抗算出工程」としてのＳ３０５において、第二実施形態のＳ２０５と同様に、電気抵抗を算出する。
最後に、Ｓ３０６において、第二実施形態のＳ２０６と同様に、ＥＧＲクーラ９０を第三実施形態による欠陥検査装置から取り外す。
第三実施形態による膜９１の検査プロセスでは、このようにして、膜９１の欠陥を検出する。

本実施形態による膜９１の検査プロセスでは、蒸気圧近くまで減圧された電解液８を流路９１０に供給する。これにより、電解液８の電気分解によって発生する気泡の大きさが第一実施形態に比べ大きくなるため、電解液８の慣性力による気泡への作用力が第一実施形態に比べ大きくなる。これにより、内壁面９１１に付着している気泡は内壁面９１１から離れやすくなる。したがって、第三実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、気泡による欠陥の検出間違いを確実に防止することができる。

また、本実施形態による膜９１の検査プロセスでは、電解液８を減圧するとき、電解液８に溶存している気体を脱気することができる。これにより、電解液８中で発生する気泡の体積が小さくなる。したがって、算出される電気抵抗における気泡によるノイズが比較的小さくなるため、さらに微小な欠陥を検出することができる。

（第四実施形態）
次に、本発明の第四実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図７、８に基づいて説明する。第四実施形態は、脱気処理部を備える点が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

第四実施形態による欠陥検査装置４は、支持部１０、電解液供給部４５、電極２１、２２、制御部３０などを備える。

電解液供給部４５は、貯留タンク１６、流速制御部１７、脱気処理部４９を有する。
脱気処理部４９は、貯留タンク１６に設けられている。脱気処理部４９は、貯留タンク１６に貯留されている電解液８を、例えば、加熱によって脱気することが可能である。

次に、第四実施形態による「欠陥検査方法」としての膜９１の検査プロセスについて、図７、８に基づいて説明する。
最初に、Ｓ４０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置４に取り付ける。

次に、「脱気処理工程」としてのＳ４０２において、貯留タンク１６に貯留されている電解液８を脱気する。Ｓ４０２では、電解液８を加熱することによって電解液８に溶存している気体を電解液８から除去する。なお、Ｓ４０２は、Ｓ４０１より前に行ってもよいし、Ｓ４０１と並行して行ってもよい。

次に、「液体流し工程」としてのＳ４０３において、第一実施形態のＳ１０２と同様に、ＥＧＲクーラ９０内に電解液８を供給する。
次に、「電圧印加工程」としてのＳ４０４において、第一実施形態のＳ１０３と同様に、電解液８を所定の流速で流しつつ電極２１、２２に電圧を印加し、「電流検出工程」としてのＳ４０５において、第一実施形態のＳ１０４と同様に、電流の大きさを検出する。
次に、「抵抗算出工程」としてのＳ４０６において、第一実施形態のＳ１０５と同様に、電気抵抗を算出し、Ｓ４０７において、第一実施形態のＳ１０６と同様に、ＥＧＲクーラ９０を欠陥検査装置４から取り外す。
第四実施形態による膜９１の検査プロセスでは、このようにして、膜９１の欠陥を検出する。

本実施形態による欠陥検査装置４は、貯留タンク１６に貯留されている電解液８を脱気することが可能である。これにより、電解液８に溶存している気体が少なくなるため、当該溶存気体による気泡の発生量が少なくなる。したがって、第四実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、気泡による欠陥の検出間違いを確実に防止することができる。

（他の実施形態）
上述の実施形態では、欠陥検査装置は、ＥＧＲクーラの内壁に形成されている「部材」としての中空筒状の膜の欠陥を検出可能であるとした。しかしながら、欠陥検査装置が欠陥を検出可能な「部材」はこれに限定されない。表面を流れる導電性液体に比べ抵抗が大きい絶縁材料から形成されていればよい。したがって、上述の実施形態のように、中空筒状の部材でなくてもよい。

上述の実施形態では、「導電性液体」としての電解液は、水、電解質、および、「界面活性剤」としてのエタノールを混合したものとした。しかしながら、導電性液体は、これに限定されない。部材に比べ電気を通しやすい液体であればよい。また、界面活性剤は含まれていなくてもよい。

上述の二つの電極のうち一つは、電解液供給部とＥＧＲクーラとを接続する配管に設けられるとした。しかしながら、二つの電極は、それぞれ異なる位置において膜と電気的に接続可能に設けられればよい。

第三実施形態では、圧力制御部は、電解液を電解液の蒸気圧近くまで減圧しつつ流路に供給するとした。しかしながら、圧力制御部が制御する電解液の減圧の度合いはこれに限定されない。電解液の蒸気圧より高ければよい。

第四実施形態による欠陥検査装置が第二、三実施形態による欠陥検査装置が備える圧力制御部を備えてもよい。

上述の実施形態では、電圧印加部は、一定の大きさの直流電圧を二つの電極に印加するとした。しかしながら、電圧印加部が二つの電極に印加する電圧の大きさ及び時間変化はこれに限定されない。例えば、徐々に電圧を大きくしていき、変化する電圧に対する電流の変化から欠陥の状態を判定してもよい。また、交流電圧を印加して欠陥の状態を判定してもよい。

上述の実施形態では、電流検出部は、「第一の電極」としての電極２１を流れる電流を検出するとした。しかしながら、電極２２を「第一の電極」として電極２２を流れる電流を検出してもよい。すなわち、電極２１と電極２２とは、膜９１に対して設けられている位置が異なっているだけであって、電極２１を「第一の電極」としてもよいし、「第二の電極」としてもよい。

以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。

１、２、４・・・欠陥検査装置
８・・・電解液（導電性液体）
１７・・・流速制御部
２１・・・電極（第一の電極）
２２・・・電極（第二の電極）
３１・・・電源（電圧印加部）
３２・・・電流検出部
３３・・・抵抗算出部
９１・・・膜（部材）
９１１・・・内壁面（表面）

Claims (10)

1. 絶縁材料から形成されている部材（９１）の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
   前記部材の表面（９１１）を流れる導電性液体（８）を貯留可能な貯留タンク（１６）と、
   前記部材と電気的に接続可能な第一の電極（２１）と、
   前記第一の電極とは異なる位置において前記部材と電気的に接続可能な第二の電極（２２）と、
   前記第一の電極および前記第二の電極と電気的に接続し、前記表面を流れる前記導電性液体を電気分解可能な電圧を前記第一の電極および前記第二の電極に印加可能な電圧印加部（３１）と、
   前記第一の電極を流れる電流の大きさを検出可能な電流検出部（３２）と、
   前記電圧印加部が印加する電圧の大きさと前記電流検出部が検出する電流の大きさとに基づいて前記表面に前記導電性液体が流れているときの前記部材の電気抵抗を算出可能な抵抗算出部（３３）と、
   前記表面を流れる前記導電性液体の流速を前記表面に付着している気泡（Ｂｂ１）を前記表面から離すことが可能な流速に制御可能な流速制御部（１７）と、
   を備える欠陥検査装置。
2. 前記表面を流れる前記導電性液体の圧力を制御可能な圧力制御部（３８）をさらに備える請求項１に記載の欠陥検査装置。
3. 前記圧力制御部は、前記導電性液体の圧力を前記導電性液体の蒸気圧近くまで減圧可能な請求項２に記載の欠陥検査装置。
4. 前記導電性液体は、界面活性剤を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の欠陥検査装置。
5. 前記表面を流れる前の前記導電性液体を脱気可能な脱気処理部（４９）をさらに備える請求項１〜４のいずれか一項に記載の欠陥検査装置。
6. 絶縁材料から形成されている部材（９１）の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
   前記部材の表面（９１１）に導電性液体（８）を流す液体流し工程と、
   前記表面を流れる前記導電性液体の流速を前記表面に付着している気泡（Ｂｂ１）を前記表面から離すことが可能な流速に制御しつつ、前記部材と電気的に接続する第一の電極（２１）および前記第一の電極とは異なる位置において前記部材と電気的に接続する第二の電極（２２）に前記導電性液体を電気分解可能な電圧を印加する電圧印加工程と、
   前記第一の電極を流れる電流の大きさを検出する電流検出工程と、
   前記電圧印加工程において前記第一の電極および前記第二の電極に印加した電圧の大きさと前記電流検出工程において検出した前記第一の電極を流れる電流の大きさとに基づいて、前記表面に前記導電性液体が流れているときの前記部材の電気抵抗を算出する抵抗算出工程と、
   を含む欠陥検査方法。
7. 前記電圧印加工程において、減圧された前記導電性液体を前記表面に流しつつ前記第一の電極および前記第二の電極に電圧を印加する請求項６に記載の欠陥検査方法。
8. 前記電圧印加工程において、前記表面に流れる前記導電性液体の圧力を前記導電性液体の蒸気圧近くまで減圧する請求項７に記載の欠陥検査方法。
9. 前記電圧印加工程において、加圧された前記導電性液体を前記表面に流しつつ前記第一の電極および前記第二の電極に電圧を印加する請求項６に記載の欠陥検査方法。
10. 前記液体流し工程の前に、前記表面を流れる前の前記導電性液体を脱気する脱気処理工程をさらに含む請求項６〜９のいずれか一項に記載の欠陥検査方法。

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