JP6540243B2 - 超仕上げ装置、及び超仕上げ装置を備えた複合研削盤 - Google Patents

Description

本発明は、軸受けの外輪、又は内輪の軌道溝の超仕上げを行なう超仕上げ装置、及び超仕上げ装置を備えた複合研削盤に関する。

従来、玉軸受けの玉が転動する外輪又は内輪の軌道溝の超仕上げを行なう技術がある（特許文献１〜３参照）。特許文献１，及び特許文献３には、一個の砥石で玉軸受けの外輪の軌道溝の超仕上げを行なう技術が開示されている。また特許文献２には、モータによってリンク機構を作動させ、モータとは離れた位置にあるリンク機構の先端に設けられた一個の砥石によって、レールの玉転動溝ＷＧの軌道溝の超仕上げを行なう技術が開示されている。

特開２００４−１８１６０９号公報 特開２０１０−５２０８２号公報 特許第４１４７３８号公報

しかしながら、特許文献１〜３に開示される技術は、一個の砥石のみによって超仕上げ研削を行なうので、汎用性が低い。例えば、玉軸受けの外輪の軌道溝の超仕上げ研削を行なう特許文献１，３の場合、軌道溝の曲率半径が、外輪の軌道溝の曲率半径とは若干異なる玉軸受けの内輪の軌道溝の超仕上げ研削を行なう場合、内輪の軌道溝用の砥石に交換する必要があり、工数の増加につながる。また、特許文献１〜３に開示される技術では、超仕上げ研削を行なうため、砥石の曲率半径の中心と一致する中心位置を揺動中心として砥石を揺動させながら研削を行なっている。このため、揺動中心位置を成立させるためには、砥石の形状（曲率半径）を含め、その他の様々な制約が生じ、その対応にはスペースと設備費等が必要となる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、揺動中心位置の制約を受けない簡素な構造を有する超仕上げ研削用の超仕上げ装置、及び超仕上げ装置を備えた複合研削盤を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の超仕上げ装置は、外周面又は内周面に縦断面で溝部を有する工作物における前記溝部の超仕上げを行なう超仕上げ装置であって、前記工作物の所定の縦断面に平行に延びる軸部と、前記軸部を前記軸部の軸線方向に伸縮可能に支持する伸縮装置と、前記所定の縦断面に直交する所定の揺動中心を中心として前記伸縮装置を揺動させる揺動装置と、前記軸部に固定され、前記所定の縦断面上において、前記溝部の超仕上げを行なう砥石と、前記砥石を前記溝部に予め設定された一定の荷重で押し当てられるよう前記揺動装置を押圧する押圧装置と、を備え、前記押圧装置が前記一定の荷重で前記砥石を前記溝部へ押し当てるよう前記揺動装置を押圧した状態において、前記揺動装置が前記伸縮装置を傾動させるとともに、前記軸部が前記伸縮によって前記所定の揺動中心を前記軸線方向に移動させ、前記砥石が前記溝部に倣った状態とし、前記倣った状態で、前記砥石が前記溝部の超仕上げを行なう。

このように、押圧装置によって、砥石が溝部に押し当てられている状態で、砥石が固定される軸部が揺動装置によって揺動されると、砥石は、溝部に対して倣う方向、即ち、砥石が溝部に対して係合される方向に向かって移動する。このとき、軸部が伸縮することによって、砥石の移動が可能となっている。これにより、従来技術のように、砥石の揺動中心と砥石の曲率の中心とを、常に一致させる構成にしなくてもよい。つまり、砥石が溝部からずれた場合、砥石は、溝部と係合する方向に移動し溝部と係合する。そして、砥石と溝部との係合関係は維持され、溝部は砥石によって超仕上げ研削される。従って、砥石の揺動中心と溝部の曲率中心とを、一致させるための複雑な構成は不要となり、安価な超仕上げ装置が得られる。

上記課題を解決するため、請求項６の複合研削盤は、旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の工作物主軸台と、複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ工作物の保持が可能な複数の保持装置と、前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、上述した超仕上げ装置と、を備える。
このように、内輪及び外輪の研削が連続的に多数行なわれる複合研削盤の超仕上げ工程に、生産効率のよい上記超仕上げ装置を適用することによって、内輪及び外輪の生産性が向上し、生産コストがさらに効果的に低減される。

本実施形態の複合研削盤の全体構成を示す概略図である。 図１の複合研削盤が備える旋回テーブルの平面図である。 図２の旋回テーブルのＥ−Ｅ矢視断面図である。 工作物Ｗの外輪の軌道溝の縦断面図である。 工作物Ｗの内輪の軌道溝の縦断面図である。 超仕上げ装置の側面図である。 超仕上げ装置の上面図である。 超仕上げ装置が備えるリンク装置の右回転作動を説明する図である。 超仕上げ装置が備えるリンク装置の左回転作動を説明する図である。 超仕上げ装置が備える伸縮装置の断面図（図２のＦ−Ｆ矢視断面図）である。 複合研削盤の状態を説明する第一の図である。 複合研削盤の状態を説明する第二の図である。 複合研削盤の状態を説明する第三の図である。 複合研削盤の状態を説明する第四の図である。 複合研削盤の状態を説明する第五の図である。 複合研削盤の状態を説明する第六の図である。 複合研削盤の状態を説明する第七の図である。 揺動装置が中立状態にある場合の砥石と外輪の軌道溝との関係を説明する図である。 揺動装置が作動した状態における砥石と軌道溝との仮想の関係を説明する図である。 揺動装置が作動した状態において砥石が軌道溝に倣う状態を説明する図である。 図９Ａ〜図９Ｃと逆方向に揺動装置が作動した状態における砥石と軌道溝との仮想の関係を説明する図である。 図１０Ａの揺動装置の作動状態において砥石が軌道溝に倣う状態を説明する図である。

（１．複合研削盤の構成）
以下、本発明に係る超仕上げ装置１００を、工作物Ｗであるボールベアリングの外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂに対する複数種の研削を１台で行なう複合研削盤１に適用した場合について説明する。なお、図１においては、水平面で直交する方向をＸ軸線方向及びＹ軸線方向とし、Ｘ軸線方向及びＹ軸線方向に直交する方向をＺ軸線方向とする。図１に示すように、複合研削盤１は、ベッド２を備え、ベッド２上には、旋回テーブル５と、コラム３ａ，３ｂ，３ｃと、本発明に係る超仕上げ装置１００と、を備える。

旋回テーブル５は、図３に示す駆動機構５１によって、Ｚ軸線方向と平行なＣ軸線（旋回軸線）回りに旋回可能に構成される。図１及び図２に示すように、旋回テーブル５には、４つの保持装置６１，６２，６３，６４がＣ軸線を中心とする同一円周上に等角度間隔（９０度間隔）で設けられる。図２，図３に示すように、各保持装置６１〜６４には、主軸台８１〜８４がそれぞれ取り付けられる（ただし、図３では、代表として保持装置６１及び主軸台８１のみ示す）。ここでは、各保持装置６１〜６４は、同一装置であり、主軸台８１〜８４も同一主軸台となっている。主軸台８１は、主軸本体８１１と、工作主軸８１２とを備える。工作主軸８１２は、主軸本体８１１に内蔵される図略の駆動機構でＣ軸線方向と平行なＧ軸線回りに回転可能に、主軸本体８１１の上端から突出するように設けられる。工作主軸８１２の上端には、保持装置（図３では保持装置６１を示す）が固定される。

各保持装置６１〜６４が配置される旋回テーブル５には、貫通穴５２がそれぞれ穿設される。そして、主軸台８１の主軸本体８１１が、各貫通穴５２に対応する旋回テーブル５の裏面に固定され、主軸台８１の工作主軸８１２が、各貫通穴５２に貫装される。各保持装置６１〜６４は、磁気力で外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂ（工作物Ｗ）を吸引して上面に保持し、工作主軸８１２とともにＧ軸線回りに回転する。

外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂは、図２の紙面上において左側に位置する保持装置（図２の状態では保持装置６１であるが、旋回テーブル５の旋回により入れ替わる。以下、同様である。）に搬入され、図２の紙面上において下側に位置する保持装置（図２の状態では保持装置６４であるが、旋回テーブル５の旋回により入れ替わる。以下、同様である。）から搬出される。外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの搬入及び搬出は、図略のロボットにより行われる。ロボットは、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの中心軸線を保持装置６１の回転中心と一致させた状態で、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂを搬入可能に構成される。なお、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの搬入及び搬出は、作業者により行なうようにしてもよく、その場合の上記中心位置合わせは、治具等を用いて行なう。

詳細は後述するが、旋回テーブル５は、図２の時計回りに所定角度で旋回して外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂを搬送する。そして、図２において、左側に位置する保持装置６１では、搬入される工作物Ｗが外輪Ｗａの場合には外周面研削が行われる。また、搬入される工作物Ｗが内輪Ｗｂの場合には内周面研削が行われる。上側に位置する保持装置６２では、外輪Ｗａの内周面に設けられる軌道溝ＷａＧに対する研削である外輪軌道溝面研削が行われる。また、右側に位置する保持装置６３では、内輪Ｗｂの外周面に設けられる軌道溝ＷｂＧに対する研削である内輪軌道溝面研削が行われる。そして、下側に位置する保持装置６４では、本発明にかかる外輪Ｗａの軌道溝ＷａＧに対して行なわれる外輪軌道溝面超仕上げ研削、又は内輪Ｗｂの軌道溝ＷｂＧに対して行なわれる内輪軌道溝面超仕上げ研削が行われて搬出される。なお、以下の説明では、旋回テーブル５において上記左側の位置は、周面研削位置Ｐｐ、上記上側の位置は、外輪研削位置Ｐｏ、上記右側の位置は、内輪研削位置Ｐｉ、上記下側の位置は、超仕上げ研削位置Ｐｂという。

コラム３ａ，３ｂ，３ｃは、駆動機構（図１にコラム３ａの駆動機構３Ａのみ示す）によって、Ｘ軸線方向と平行なＸａ軸線方向、Ｘｂ軸線方向、Ｘｃ軸線方向にそれぞれ往復移動（進退）可能に構成される。図１に示すように、各コラム３ａ，３ｂ，３ｃの側面には、駆動機構４１ａ，４１ｂ，４１ｃによって、Ｚ軸線方向と平行なＺａ軸線方向、Ｚｂ軸線方向、Ｚｃ軸線方向にそれぞれ昇降（進退）可能な砥石台４ａ，４ｂ，４ｃをそれぞれ備える。各砥石台４ａ，４ｂ，４ｃは、駆動機構９１ａ，９１ｂ，９１ｃによって、Ｚａ軸線（砥石軸線）回り、Ｚｂ軸線（砥石軸線）回り、Ｚｃ軸線（砥石軸線）回りにそれぞれ回転駆動可能なロータリー型の砥石車９ａ，９ｂ，９ｃをそれぞれ備える。各砥石車９ａ，９ｂ，９ｃは、下方に延びる保持軸９２ａ，９２ｂ，９２ｃの下端にそれぞれ保持される。

各コラム３ａ，３ｂ，３ｃは、各砥石車９ａ，９ｂ，９ｃが、周面研削位置Ｐｐ、外輪研削位置Ｐｏ、内輪研削位置Ｐｉに対しそれぞれ進退可能となるように、ベッド２上に配置される。砥石車９ａは、外輪Ｗａの外周面研削、又は内輪Ｗｂの内周面研削を行なうため、例えばＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）砥石が用いられる。また、砥石車９ｂ，９ｃは、外輪Ｗａの外輪軌道溝面研削、内輪Ｗｂの内輪軌道溝面研削を行なうため、例えばアルミナ砥石が用いられる。

（２．超仕上げ装置１００の構成）
超仕上げ装置１００は、超仕上げ研削位置Ｐｂにある外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの軸線を通る縦断面に形成される円弧凹状の軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部に相当）の面の超仕上げを行なう（図４Ａ、図４Ｂ参照）。図２，図５Ａ，図５Ｂに示すように、超仕上げ装置１００は、保持装置６１〜６４のうちの何れか１つの保持装置（図２では保持装置６４）、軸部１１０、砥石１２０，１２１、伸縮装置１３０、揺動装置１４０、押圧装置１５０等を備える。

保持装置６１〜６４は、上記で説明した保持装置６１〜６４と兼用である。保持装置６１〜６４は、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）の超仕上げ研削が行なわれる内輪Ｗｂ又は外輪Ｗａ（工作物Ｗ）を、磁気力によって軸線回りに回転可能に保持する。
図２，図５Ａに示すように、軸部１１０は、内輪Ｗｂ又は外輪Ｗａ（工作物Ｗ）を内輪Ｗｂ又は外輪Ｗａの軸線に沿って切断した所定の縦断面（図略）に平行に延びている。このとき、所定の縦断面は、後述する揺動装置１４０のリンク機構Ｌの作動によって軸部１１０が揺動される方向と平行な面であるものとする。

図５Ａ，図７に示すように、軸部１１０の先端には、所定の曲率半径Ｒ１，Ｒ２で形成された円弧凸状の突部によって形成された砥石１２０，１２１が、軸部１１０の軸線に対して両側で背向するよう二個突設される。本実施形態においては、砥石１２０，１２１は、軸部１１０の軸線に対して直交するよう背向して突設される。砥石１２０，１２１の材質は、例えばアルミナ等によって形成される。

砥石１２０は、外輪Ｗａの内周面に形成された軌道溝ＷａＧの超仕上げ研削用砥石である。また、砥石１２１は、内輪Ｗｂの外周面に形成された軌道溝ＷｂＧの超仕上げ研削用砥石である。砥石１２０，１２１は、板状体であり、先端部が前述した所定の曲率半径Ｒ１，Ｒ２で形成される。砥石１２０の凸状の円弧の曲率半径Ｒ１は、軌道溝ＷａＧの凹状の円弧の曲率半径とほぼ等しい大きさに形成される。また、砥石１２１の凸状の円弧の曲率半径Ｒ２は、軌道溝ＷｂＧの凹状の円弧の曲率半径とほぼ等しい大きさに形成される。また、砥石１２０，１２１の各曲率半径Ｒ１，Ｒ２は、研削する軌道溝ＷａＧ、ＷｂＧの各曲率半径に応じて若干、異なる大きさで形成される。なお、砥石１２０，１２１は、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧにそれぞれ押し当てられて、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧを研削する過程において、自らも軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧのＲ形状に倣うよう成形される。このため、研削初期時においては、砥石１２０，１２１の凸状円弧の曲率半径の大きさのほうが、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧの凹状円弧の曲率半径の大きさよりも大きくて良い。そして、砥石１２０，１２１の凸状円弧の各曲率半径中心Ｇ１，Ｇ２は、図７に示す位置にある。

図７に示す伸縮装置１３０は、軸部１１０を、軸部１１０の軸線方向（矢印参照）に伸縮可能に支持する。伸縮装置１３０は、ハウジング１３１と、第一コイルバネ１３２と、第二コイルバネ１３３と、軸部１１０の中央部で拡径し軸部１１０と一体的に設けられ、第一コイルバネ１３２及び第二コイルバネ１３３の一方の端面を支持するバネ受け部１３４と、を備える。

図７に示すように、ハウジング１３１は、例えば、アルミ等によって有底筒状に形成される。そして、ハウジング１３１の円筒内の空間に、軸部１１０の一部と、第一コイルバネ１３２、及び第二コイルバネ１３３が収容される。具体的には、第一コイルバネ１３２は、ハウジング１３１の底面１３１ａと軸部１１０に形成されたバネ受け部１３４の第一端面１３４ａとの間に所定量だけ圧縮されて配設される。また、第二コイルバネ１３３が、バネ受け部１３４の第二端面１３４ｂと、ハウジング１３１の開口側を塞ぐ蓋部１３５の底面１３５ａとの間に所定量だけ圧縮されて配設される。蓋部１３５の中央部には、貫通孔１３５ｂが設けられており、貫通孔１３５ｂを通って軸部１１０の先端側が外方に突出している。このような構成によって、第一コイルバネ１３２は、軸部１１０をハウジング１３１の外方に押し出す力として作用する。また、第二コイルバネ１３３は、軸部１１０をハウジング１３１の内方に押し戻す力として作用する。

図７に示す状態においては、軸部１１０及び砥石１２０，１２１の合計重量ｍ、及び第一コイルバネ１３２のバネ荷重Ｑ１の合計（ｍ＋Ｑ１）と、第二コイルバネ１３３のバネ荷重Ｑ２とが釣りあっている（ｍ＋Ｑ１＝Ｑ２）。このとき、第一コイルバネ１３２、及び第二コイルバネ１３３の各バネ定数はともに小さな値で設定される。このため、図７において、軸部１１０に対し、軸線方向における何れかの方向（図７においては上下方向）に、若干の荷重Ｆが付与されれば、第一コイルバネ１３２、及び第二コイルバネ１３３が、付与された荷重に応じて伸縮しバランスされる。このように、軸部１１０は、小さな荷重によっても上下動可能となっている。

図５Ａ，図５Ｂに示すように、揺動装置１４０は、伸縮装置１３０を保持し、所定の揺動中心Ｙとは異なる位置を回転駆動軸１４１とするリンク機構Ｌと、回転駆動軸１４１を回転駆動するＡＣモータ１４２（動力源に相当）と、を備える。このとき、所定の揺動中心Ｙは、前述した所定の縦断面に直交する揺動の中心軸である。そして、揺動装置１４０は、揺動中心Ｙを中心として伸縮装置１３０を揺動させる (図６Ａ，６Ｂのリンク概要図参照)。なお、動力源はＡＣモータ１４２には限らない。動力源は、空気を駆動源とするエアロータリアクチュエータでも良い。また、油圧を駆動源とするロータリアクチュエータでも良い。

図５Ａ，図５Ｂ，図６Ａ，図６Ｂに示すように、リンク機構Ｌは、駆動ロッド１４３、従動ロッド１４４、従動ロッド支持軸１４４ａ、２個の第１伝達ロッド１４６（一個の第１伝達ロッド１４６は不図示）、２個の第２伝達ロッド１４７（図５Ｂ参照）、及びリンク支持部１６０等からなる。駆動ロッド１４３は、断面矩形の板状体で形成され、その長手方向の一方の端部（図５Ａ，図６Ａ，図６Ｂにおいて下方）が、リンク支持部１６０に対して相対回転可能に連結されている。また、駆動ロッド１４３は、リンク支持部１６０を貫通する回転駆動軸１４１に対して連結されている。駆動ロッド１４３は、図５Ａに示すように、長手方向中央および他方（図５Ａ，図６Ａ，図６Ｂにおいて上方）の端部近傍に、回転駆動軸１４１と平行な軸孔（貫通する孔）１４３ａ，１４３ｂを有する。回転駆動軸１４１は、リンク支持部１６０に固定されたＡＣモータ１４２（動力源）の回転軸に連結される（図６Ａ、図６Ｂの２点鎖線は、軸部１１０の軸線が第１伝達ロッド１４６、第２伝達ロッド１４７に対し垂直のときを示している）。

回転駆動軸１４１の軸心と、駆動ロッド１４３の長手方向中央の軸孔１４３ｂの軸心との距離は、駆動ロッド１４３の長手方向中央の軸孔１４３ａの軸心と、他方の端部近傍の軸孔１４３ｂの軸心との距離より若干長い。しかし、両軸心間の距離は、この態様に限定されるものではなく、後述する砥石１２０，１２１における所望の揺動の程度に応じて任意に設定すればよい。従動ロッド１４４は、駆動ロッド１４３と略同一の形状を有する。従動ロッド１４４は、その長手方向の一方の端部（下方）近傍で、次に説明する従動ロッド支持軸１４４ａによって、リンク支持部１６０に対して回転可能に支持される。従動ロッド１４４は、駆動ロッド１４３と同様に、長手方向中央および他方の端部（上方）近傍に、回転駆動軸１４１と平行な軸孔（貫通する孔）１４４ｂ，１４４ｃを有する。従動ロッド支持軸１４４ａは、回転駆動軸１４１の図５Ａにおける右方に、回転駆動軸１４１から間隔を有して配置され、リンク支持部１６０に回転可能に支持されている。

２個の第１伝達ロッド１４６，１４６は、断面矩形の板状体で形成される。第１伝達ロッド１４６，１４６は、駆動ロッド１４３及び従動ロッド１４４の両側面に同様に配置される。よって、以降は、一方の第１伝達ロッド１４６のみについて説明する。

第１伝達ロッド１４６は、長手方向における一方の端部（図６Ａにおいて左方）近傍、中央より若干一方の端部寄り位置、および他方（図６Ａにおいて右方）の端部近傍に、それぞれ貫通する孔１４６ａ，１４６ｂ，１４６ｃを有する。第１伝達ロッド１４６は、駆動ロッド１４３および従動ロッド１４４に対してリンク支持部１６０側で（図２参照）、孔１４６ａが駆動ロッド１４３の軸孔１４３ａと、孔１４６ｂが従動ロッド１４４の軸孔１４４ｂと、それぞれ揺動軸１４６ｄ，１４６ｅにより、互いに回転自在に連結されている。

第２伝達ロッド１４７，１４７は、第１伝達ロッド１４６と同一の構造を有する。第２伝達ロッド１４７，１４７も、第１伝達ロッド１４６，１４６と同様に、駆動ロッド１４３及び従動ロッド１４４の両側面に同様に配置される。よって、以下では、一方の第２伝達ロッド１４７のみについて説明する。

第２伝達ロッド１４７は、第１伝達ロッド１４６における孔１４６ａ，１４６ｂ，１４６ｃに対応する孔１４７ａ，１４７ｂ，１４７ｃを有する。第２伝達ロッド１４７は、駆動ロッド１４３および従動ロッド１４４に対してリンク支持部１６０側で、孔１４７ａが駆動ロッド１４３の軸孔１４３ｂと、孔１４７ｂが従動ロッド１４４の軸孔１４４ｃと、それぞれ揺動軸１４７ｄ，１４７ｅにより、互いに回転自在に連結されている。超仕上げ装置１００においては、第１伝達ロッド１４６および第２伝達ロッド１４７は、いずれもその長手方向が水平となって、互いに平行に駆動ロッド１４３および従動ロッド１４４に連結されている。

第１伝達ロッド１４６、及び第２伝達ロッド１４７の右端には、伸縮装置１３０のハウジング１３１が、駆動ロッド１４３、及び従動ロッド１４４と同様に、第１伝達ロッド１４６、及び第２伝達ロッド１４７に対して相対回転可能に連結されている。ただし、ハウジング１３１の内部には、伸縮装置１３０の構成物が配置されている。このため、ハウジング１３１については、駆動ロッド１４３及び従動ロッド１４４のように貫通させるのではなく、第１伝達ロッド１４６、及び第２伝達ロッド１４７が接触する各側面のみに、貫通孔を設け、揺動軸１４６ｆ，１４７ｆにより、互いに回転自在に連結されている。

なお、図５Ａにおいて、軸部１１０の軸線が、第１伝達ロッド１４６、又は第２伝達ロッド１４７に対して垂直のときに、先端に設けられた砥石１２０，１２１の円弧の各曲率半径中心Ｇ１、Ｇ２（図５Ａ，図７参照）と、リンク機構Ｌの回転駆動軸１４１と、を繋いだ線分ＨＬが水平となるよう、第１伝達ロッド１４６及び第２伝達ロッド１４７が、伸縮装置１３０のハウジング１３１と連結されている。

これにより、ＡＣモータ１４２により回転駆動軸１４１を回転駆動し発生させた揺動と同様の揺動を、リンク機構Ｌを介して砥石１２０，１２１に発生させることができる。なお、このとき、揺動中心Ｙ（図５Ａにおいて紙面に直交する方向）は、図７に示すように、砥石１２０，１２１の凸状円弧の各曲率半径中心Ｇ１、Ｇ２とは一致しない。

揺動装置１４０のリンク機構Ｌは、図５Ａ，図５Ｂに示すように、リンク支持部１６０が、Ｚ軸線方向に移動可能に構成されたＺ軸ステージ１７０の可動体１７１に固定される。可動体１７１は、図略の制御装置によって駆動が制御される。可動体１７１は、砥石１２０，１２１が、外輪Ｗａの外周部外側に有る場合に、上方への作動によって、リンク機構Ｌの先端に設けられた砥石１２０，１２１を上方（Ｚ軸方向）に持ち上げる。その後、このあと説明する押圧装置１５０によって外輪Ｗａの内周部まで前進した後、可動体１７１を最下方まで作動させることで、砥石１２０，１２１を外輪Ｗａの内周部分に移動させ、砥石１２０によって、外輪Ｗａの内周面の軌道溝ＷａＧの超仕上げ研削を行なう。なお、可動体１７１の上下方向の移動は、例えば、エアシリンダの作動によって制御してもよいし、電動モータ、油圧等によって制御してもよい。

押圧装置１５０は、ベッド２上に固定されるＸＹステージ１５１と、ＸＹステージ１５１上を移動する可動体１５２とによって構成される。可動体１５２は、図５Ａ，５Ｂに示すＬ字形状のブラケット１５４の一方の辺１５４ａの端面に固定される。一方、ブラケット１５４の他方の辺１５４ｂの端面には前述したＺ軸ステージ１７０が固定される。このように固定されることで、可動体１５２がＸＹステージ１５１上を矢印方向に移動すると、リンク機構Ｌ、揺動中心Ｙ、及び砥石１２０，１２１も、Ｘ−Ｙ軸平面において、可動体１５２の移動方向と同じ方向に同じ量だけ移動する。

可動体１５２が移動する方向は、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂが、保持装置６１〜６４のうちの何れか１つの保持装置に保持された状態において、砥石１２０，１２１が、外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの外周側に有る状態から外輪Ｗａ又は内輪Ｗｂの軸線に向かって移動する方向である。これにより、砥石１２０，１２１によって、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧを超仕上げ研削する際、押圧装置１５０の前進又は後進の作動によって砥石１２０，１２１を軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧに対し直角に押し当てでき良好に超仕上げ研削できる。なお、可動体１５２の上下方向の移動は、例えば、エアシリンダの作動によって制御してもよいし、電動モータ、油圧等によって制御してもよい。
押圧装置１５０は、揺動装置１４０の砥石１２０，１２１を工作物Ｗに対し、良好に超仕上げ研削（加工）できるように移動すればよく、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のように、一方向にのみ移動可能なものでもよい。

この複合研削盤１は、制御装置３０を備えており、制御装置３０の機能的構成として、コラム３ａ，３ｂ，３ｃの送りの制御、砥石台４ａ，４ｂ，４ｃの昇降の制御、旋回テーブル５の旋回の制御、主軸台８１〜８４の回転と保持装置６１〜６４の吸引の制御、砥石車９ａ，９ｂ，９ｃの回転の制御、超仕上げ装置１００における可動体１５２、可動体１７１の移動量、及びモータ１４２の回転角度の制御、及びデータやプログラムの記録等を行なう。制御装置３０は、予め設定された制御データに基づき、各装置を制御することで、複数の研削工程を実施できる。

（３．複合研削盤の動作）
複合研削盤１の動作について、説明する。本実施形態では、複合研削盤１が、ボールベアリングの外輪Ｗａの外周面研削、外輪軌道溝面研削、外輪軌道溝面超仕上げ研削、及び内輪Ｗｂの内周面研削、内輪軌道溝面研削、内輪軌道溝面超仕上げ研削を行なう。ここで、本発明に係る研削が、外輪軌道溝面超仕上げ研削、及び内輪軌道溝面超仕上げ研削である。

複合研削盤１においては、保持装置６１が周面研削位置Ｐｐに位置決めされている状態（図２に示す状態）を初期状態とし、この時の旋回テーブル５の旋回位置を基準位置の０度とする。先ず、制御装置３０は、最初の外輪Ｗａａを保持装置６１に取り付ける（図８Ａ参照）。そして、制御装置３０は、外周面研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外周面研削を制御する（図８Ａ参照）。

次に、制御装置３０は、外輪Ｗａａの外周面研削が完了したら、旋回テーブル５を９０度旋回させる（図８Ｂ参照）。これにより、保持装置６１は、外輪研削位置Ｐｏに位置決めされ、保持装置６４は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされることになる。そして、制御装置３０は、最初の内輪Ｗｂａを保持装置６４に取り付ける（図８Ｃ図参照）。そして、制御装置３０は、内周面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内周面研削を制御するとともに、外輪軌道溝面研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外輪軌道溝面研削を制御する（図８Ｃ参照）。これらの制御は、平行して行われる。

次に、制御装置３０は、内輪Ｗｂａの内周面研削及び外輪Ｗａａの外輪軌道溝面研削が完了したら、旋回テーブル５を１８０度旋回させる（図８Ｄ参照）。これにより、保持装置６１は、超仕上げ研削位置Ｐｂに位置決めされる。保持装置６４は、内輪研削位置Ｐｉに位置決めされ、保持装置６２は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされる。そして、保持装置６３は、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂが吸着されていない空の状態で外輪研削位置Ｐｏに位置決めされる。

次に、制御装置３０は、次の外輪Ｗａｂを保持装置６２に取り付ける（図８Ｅ参照）。そして、制御装置３０は、外周面研削プログラムに基づき外輪Ｗａｂの外周面研削を制御する。また、制御装置３０は、内輪軌道溝面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面研削（外周面）を制御する。さらに、制御装置３０は、外輪超仕上げ研削プログラムに基づき外輪Ｗａａの外輪軌道溝面超仕上げ研削（内周面）を制御する（図８Ｅ参照）。これらの制御は、平行して行われる。

（４．超仕上げ装置１００の動作）
次に、超仕上げ装置１００の動作について説明する。まず、外輪Ｗａの軌道溝面超仕上げ研削について説明する。外輪Ｗａの軌道溝面超仕上げ研削を行なうため、図５Ａに示す超仕上げ装置１００の可動体１７１を作動させ、リンク機構Ｌの先端に固定された砥石１２０，１２１を上方（Ｚ軸方向）に持ち上げる。その後、押圧装置１５０によって、リンク機構Ｌを前進させ、砥石１２０，１２１を外輪Ｗａの内周部まで前進移動した後、可動体１７１を最下方まで移動させる。これにより、砥石１２０，１２１を外輪Ｗａの内周部分に移動させる。

この状態で、砥石１２０が軌道溝ＷａＧと対向する。そして、押圧装置１５０を後進させ、砥石１２０を外輪Ｗａの軌道溝ＷａＧに予め設定された所定の荷重で押し当てる（図９Ａ参照）。これにより、軌道溝ＷａＧの超仕上げ研削を行なう。

次に、砥石１２０を揺動させるため、ＡＣモータ１４２の回転軸を図６Ａにおける右回りに回転駆動させる（図６Ａ参照）。これにより、リンク機構Ｌの回転駆動軸１４１が右周りに回転し、駆動ロッド１４３が図６Ａに示すように傾動する。これに伴い第１伝達ロッド１４６、及び第２伝達ロッド１４７が、それぞれ下方及び水平方向右側に移動される。そして、この移動に伴って従動ロッド１４４及び伸縮装置１３０（軸部１１０含む）が、駆動ロッド１４３と同じ角度だけ同じ方向に傾動する。これにより、砥石１２０は、図９Ｂに示す状態になろうとする。つまり、砥石１２０は揺動中心Ｙを中心に揺動（回転）するので、そのまま揺動すれば、軌道溝ＷａＧ内に食い込む方向に、砥石１２０は移動しようとする。

しかし、このとき、本実施形態では、前述したように砥石１２０を固定する軸部１１０が、軸線方向への小さな荷重の付与によって、伸縮自在に作動するよう構成されている。このため、砥石１２０は、図９Ｃに示すように、軌道溝ＷａＧ内のＲ状曲面に倣って軸部１１０が伸びる方向に移動し、軌道溝ＷａＧと良好に係合する。そして、このとき、軸部１１０が伸びる方向に付与される荷重がリンク機構Ｌを介して回転駆動軸１４１に作用して生じさせるトルクよりも、リンク機構Ｌを揺動させるＡＣモータ１４２の作動トルクの方が十分大きいので、砥石１２０は、軸部１１０が伸びた状態で軌道溝ＷａＧを押圧し研削できる。

さらに、砥石１２０を上記と逆方向に揺動させるため、ＡＣモータ１４２の回転軸を左回りに回転させる。これにより、リンク機構Ｌの回転駆動軸１４１が左方向に回転し、駆動ロッド１４３が図６Ｂに示すように傾動する。これに伴い第１伝達ロッド１４６、及び第２伝達ロッド１４７が、それぞれ下方及び水平方向左側に移動され、この移動に伴って従動ロッド１４４及び伸縮装置１３０（軸部１１０含む）が、駆動ロッド１４３と同じ角度だけ同じ方向に傾動する。これにより、砥石１２０は、図１０Ａに示す状態になろうとする。つまり、砥石１２０は揺動中心Ｙを中心に揺動（回転）するので、そのまま揺動すれば、軌道溝ＷａＧ内に食い込む方向に、砥石１２０は移動しようとする。

しかし、このとき、本実施形態では、前述したように砥石１２０を固定する軸部１１０が、軸線方向への小さな荷重の付与によって、伸縮自在に作動するよう構成されている。このため、砥石１２０は、軌道溝ＷａＧ内のＲ状曲面に倣って軸部１１０が縮む方向に移動し良好に係合する。そして、このとき、軸部１１０が縮む方向に付与される荷重がリンク機構Ｌを介して回転駆動軸１４１に作用して生じさせるトルクよりも、リンク機構Ｌを揺動させるＡＣモータ１４２の作動トルクの方が十分大きいので、砥石１２０は、軸部１１０が縮んだ状態で軌道溝ＷａＧを押圧し研削できる。

その後、超仕上げ研削が終了すると、制御装置３０は、一度、押圧装置１５０を作動させリンク機構Ｌを前進させて、砥石１２０を軌道溝ＷａＧから離間させたのち、可動体１７１を上方に移動させる。そして、押圧装置１５０の作動によってリンク機構Ｌを後退させ、砥石１２０，１２１を外輪Ｗａの外周側に移動させたのち、可動体１７１を下方に移動し、次の加工に備える。制御装置３０は、外輪Ｗａａの外輪軌道溝面超仕上げ研削が完了したら、外輪Ｗａａを保持装置６１から取り出す（図８Ｅ参照）。

次に、制御装置３０は、外輪Ｗａａの外周面研削、及び内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面研削が完了したら、旋回テーブル５を９０度旋回させる（図８Ｆ参照）。これにより、保持装置６１は、周面研削位置Ｐｐに位置決めされ、保持装置６２は、外輪研削位置Ｐｏに位置決めされ、保持装置６４は、超仕上げ研削位置Ｐｂに位置決めされる。そして、保持装置６３は、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂが吸着されていない空の状態で内輪研削位置Ｐｉに位置決めされることになる。

制御装置３０は、次の内輪Ｗｂｂを保持装置６１に取り付ける（図８Ｇ参照）。そして、制御装置３０は、内周面研削プログラムに基づき内輪Ｗｂｂの内周面研削を制御し、外輪軌道溝面研削プログラムに基づき外輪Ｗａｂの外輪軌道溝面研削を制御し、内輪軌道溝面超仕上げ研削プログラムに基づき内輪Ｗｂａの内輪軌道溝面超仕上げ研削を制御する（図８Ｇ参照）。これらの制御は、平行して行われる。

内輪Ｗｂの内輪超仕上げ研削は、外輪Ｗａの軌道溝面超仕上げ研削と同様に、超仕上げ装置１００によって行なわれる。ただし、内輪Ｗｂの軌道溝面超仕上げ研削時には、可動体１７１の作動は必要ない。このため、制御装置３０は、押圧装置１５０を前進させ、砥石１２１と軌道溝ＷｂＧとを対向させ、そのまま砥石１２１を、内輪Ｗｂの軌道溝ＷｂＧに所定の荷重で押し当て超仕上げ研削を行なう。

次に、砥石１２１を揺動させるため、ＡＣモータ１４２の回転軸を、右回りに回転させる(図６Ａ参照)。これにより、上記で説明したように伸縮装置１３０（軸部１１０含む）が、駆動ロッド１４３と同じ角度だけ同じ方向に傾動し、砥石１２１は、図１０Ａを左右反転させた状態となる。つまり、砥石１２１は揺動中心Ｙを中心に揺動（回転）するので、そのまま揺動すれば、軌道溝ＷｂＧ内に食い込む方向に、砥石１２１は移動しようとする。

しかし、砥石１２１は軌道溝ＷｂＧ内のＲ状曲面に倣って軌道溝ＷｂＧ内の中心方向に移動しようとする。これにより、砥石１２１は、軌道溝ＷｂＧ内のＲ状曲面に倣って軸部１１０が縮む方向に移動し良好に係合する。そして、このとき、軸部１１０が縮む方向に付与される荷重がリンク機構Ｌを介して回転駆動軸１４１に作用して生じさせるトルクよりも、リンク機構Ｌを揺動させるＡＣモータ１４２の作動トルクの方が十分大きいので、砥石１２１は、軸部１１０が縮んだ状態で軌道溝ＷａＧを押圧し研削できる。

さらに、砥石１２１を上記と逆方向に揺動させるため、ＡＣモータ１４２の回転軸を、左回りに回転させる（図６Ｂ参照）。これにより、上記で説明したように伸縮装置１３０（軸部１１０含む）が、駆動ロッド１４３と同じ角度だけ同じ方向に傾動し、砥石１２１は、図１０Ｂを左右反転させた状態となる。つまり、砥石１２０は揺動中心Ｙを中心に揺動（回転）するので、そのまま揺動すれば、軌道溝ＷｂＧ内に食い込む方向に、砥石１２１は移動しようとする。

しかし、砥石１２１は軌道溝ＷａＧ内のＲ状曲面に倣って軌道溝ＷｂＧ内の中心方向に移動しようとする。これにより、砥石１２１は、軌道溝ＷｂＧ内のＲ状曲面に倣って軸部１１０が伸びる方向に移動し軌道溝ＷｂＧと良好に係合する。そして、このとき、軸部１１０が伸びる方向に付与される荷重がリンク機構Ｌを介して回転駆動軸１４１に作用して生じさせるトルクよりも、リンク機構Ｌを揺動させるＡＣモータ１４２の作動トルクの方が十分大きいので、砥石１２１は、軸部１１０が伸びた状態で軌道溝ＷａＧを押圧し研削できる。そして、制御装置３０は、内輪Ｗｂａの内輪超仕上げ研削が完了したら、内輪Ｗｂａを保持装置６４から取り出す（図８Ｇ参照）。

（５．実施形態による効果）
上述の説明から明らかなように、上記実施形態によれば、超仕上げ装置１００は、外周面又は内周面に縦断面で円弧凹状の軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）を有する外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂ（工作物Ｗ）における軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）の超仕上げを行なう超仕上げ装置である。超仕上げ装置１００は、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂ（工作物Ｗ）を軸線回りに回転可能に保持する保持装置６１〜６４と、外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂ（工作物Ｗ）の所定の縦断面に平行に延びる軸部１１０と、軸部１１０を軸部１１０の軸線方向に伸縮可能に支持する伸縮装置１３０と、所定の縦断面に直交する所定の揺動中心Ｙを中心として伸縮装置１３０を揺動させる揺動装置１４０と、軸部１１０に固定され、所定の縦断面上において所定の揺動中心Ｙとは異なる位置を曲率半径中心Ｇ１，Ｇ２とする円弧凸状に形成され、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）の超仕上げを行なう砥石１２０、１２１と、砥石１２０、１２１を軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）に予め設定された一定の荷重で押し当てられるよう揺動装置１４０を移動させる押圧装置１５０と、を備え、砥石１２０、１２１は、押圧装置１５０による押し当て方向に移動する所定の揺動中心Ｙを中心として揺動しながら、軸部１１０の軸線方向に移動することで、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）に倣いながら軸部１１０の超仕上げを行なう。

このように、押圧装置１５０によって、砥石１２０、１２１が軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）に押し当てられている状態で、砥石１２０、１２１が固定される軸部１１０が揺動装置１４０によって揺動されると、砥石１２０、１２１は、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧに対して倣う方向、即ち、砥石１２０、１２１が軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧに対して係合される方向に向かって移動する。このとき、軸部１１０が伸縮することによって、砥石１２０、１２１の移動が可能となっている。これにより、従来技術のように、砥石の揺動中心と砥石の曲率半径の中心とを、常に一致させる構成にしなくてもよい。つまり、砥石１２０、１２１が軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧからずれた場合、砥石１２０、１２１は、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）と係合する方向に移動し軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧと係合する。そして、砥石１２０、１２１の円弧凸部と軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧとの係合関係は維持され、軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧは砥石１２０、１２１の円弧凸部によって超仕上げ研削される。従って、砥石１２０、１２１の揺動中心Ｙと軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧの円弧中心Ｇ１，Ｇ２とを、一致させるための複雑な構成は不要となり、安価な超仕上げ装置１００が得られる。

また、上記実施形態によれば、所定の駆動中心を中心として揺動装置１４０により伸縮装置１３０を駆動するトルクは、伸縮装置１３０による伸縮荷重による所定の駆動中心を中心とするトルクより大きい。これにより、砥石１２０、１２１を自在に伸縮させながら、砥石１２０、１２１を所定の押圧荷重で軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）に押し当て研削することが両立できる。

また、上記実施形態によれば、揺動装置１４０は、伸縮装置１３０を保持し、所定の揺動中心Ｙとは異なる位置を回転駆動軸とするリンク機構Ｌと、回転駆動軸１４１を回転駆動するモータ（動力源）と、を備える。これにより、工作物Ｗが離れた位置にあっても良好に超仕上げ研削ができる。

また、上記実施形態によれば、砥石１２０，１２１は、軸部１１０の先端に軸線に対して円弧凸状の突部が背向するよう二個突設される。これにより、１台の超仕上げ装置１００で、２種類の軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）の超仕上げ研削加工ができ効率的である。

また、上記実施形態によれば、工作物Ｗは、ボールベアリングの外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂであり、溝部は、前記内輪の外周面又は外輪の内周面に形成されたボールの軌道溝ＷａＧ，ＷｂＧ（溝部）軌道溝である。これにより、ボールベアリングの外輪Ｗａ及び内輪Ｗｂが、低コストに製作できる。

また、上記実施形態によれば、複合研削盤１は、旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブル５と、旋回テーブル５における旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸８１２〜８４２（工作主軸８２２，８３２、８４２は図示しない）を有する複数の主軸台８１〜８４と、工作主軸８１２〜８４２に設けられ、それぞれ工作物Ｗの保持が可能な複数の保持装置６１〜６４と、旋回テーブル５に対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、旋回テーブル５の旋回により工作物Ｗが順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に工作物Ｗが位置決めされる場合に、対応する工作物Ｗを研削する複数の砥石と、超仕上げ装置１００と、を備える。このように、内輪Ｗｂ及び外輪Ｗａの研削が連続的に多数行なわれる複合研削盤１の超仕上げ工程に、生産効率のよい上記超仕上げ装置１００を適用することによって、内輪Ｗｂ及び外輪Ｗａの生産性が向上し、生産コストがさらに効果的に低減される。また、工作物Ｗとして、加工精度が必要な複数の部品（組合わせて製品となる部品）を同時加工する場合には、加工効率も向上する（工作物Ｗとして、ボールベアリング，プレーンベアリングなどのベアリング、その他の組合せ製品等を適用した場合）。

（６．その他）
なお、上記実施形態においては、駆動中心を駆動する駆動源はＡＣモータ１４２であるとした。しかし、駆動源はモータには限らない。駆動源はエア、油圧等によって回転駆動されるアクチュエータでもよい。

また、上記実施形態においては、工作物Ｗはボールベアリングの内輪Ｗｂ又は外輪Ｗａであった。しかしこの態様には限らない。工作物Ｗは、内周面又は外周面に溝部を有するものであればどのようなものでもよい。また、工作物Ｗは円筒状に限らず、円柱状でも良い。つまり、円柱の外周面に溝部を有するものであってもよい。

また、上記実施形態においては、砥石１２０，１２１は、軸部１１０の軸線に対して直交して突設されていたが、この態様には限らない。砥石１２０，１２１は、軸部１１０の軸線に対して所定の角度を有して突設されていてもよい。

また、揺動装置１４０は、リンク機構Ｌには、限らない。揺動装置１４０は、カム、偏心ピン等によって成立させても良い。

１・・・複合研削盤、 ２・・・ベッド、 ５・・・旋回テーブル、 ３０・・・制御装置、 ６１，６２，６３，６４・・・保持装置、 ８１，８２，８３，８４・・・主軸台、 １００・・・超仕上げ装置、 １１０・・・軸部、 １２０，１２１・・・砥石、 １３０・・・伸縮装置、 １４０・・・揺動装置、 １４１・・・回転駆動軸、 １４２・・・モータ（動力源）、 １４３・・・駆動ロッド、 １４４・・・従動ロッド、 １４４ａ・・・従動ロッド支持軸、 １４６・・・第１伝達ロッド、 １４７・・・第２伝達ロッド、 １５０・・・押圧装置、 １６０・・・リンク支持部、 Ｇ１，Ｇ２・・・曲率半径中心、 Ｌ・・・リンク機構、 Ｗａ，Ｗａａ，Ｗａｂ・・・外輪、 ＷａＧ，ＷｂＧ・・・軌道溝、 Ｗｂ，Ｗｂａ，Ｗｂｂ・・・内輪、 Ｙ・・・揺動中心。

Claims (6)

1. 外周面又は内周面に縦断面で溝部を有する工作物における前記溝部の超仕上げを行なう超仕上げ装置であって、
   前記工作物の所定の縦断面に平行に延びる軸部と、
   前記軸部を前記軸部の軸線方向に伸縮可能に支持する伸縮装置と、
   前記所定の縦断面に直交する所定の揺動中心を中心として前記伸縮装置を揺動させる揺動装置と、
   前記軸部に固定され、前記所定の縦断面上において、前記溝部の超仕上げを行なう砥石と、
   前記砥石を前記溝部に予め設定された一定の荷重で押し当てられるよう前記揺動装置を押圧する押圧装置と、
   を備え、
   前記押圧装置が前記一定の荷重で前記砥石を前記溝部へ押し当てるよう前記揺動装置を押圧した状態において、前記揺動装置が前記伸縮装置を傾動させるとともに、前記軸部が前記伸縮によって前記所定の揺動中心を前記軸線方向に移動させ、前記砥石が前記溝部に倣った状態とし、前記倣った状態で、前記砥石が前記溝部の超仕上げを行なう、超仕上げ装置。
2. 所定の駆動中心を中心として前記揺動装置により前記伸縮装置を駆動するトルクは、前記伸縮装置による伸縮荷重による前記所定の駆動中心を中心とするトルクより大きい、請求項１に記載の超仕上げ装置。
3. 前記揺動装置は、
   前記伸縮装置を保持し、前記所定の揺動中心とは異なる位置を回転駆動軸とするリンク機構と、
   前記回転駆動軸を回転駆動する動力源と、
   を備え、
   前記砥石は、前記所定の揺動中心とは異なる位置を曲率半径中心とする円弧凸状に形成される、請求項１又は２に記載の超仕上げ装置。
4. 前記砥石は、前記軸部の先端に、前記円弧凸状の突部が前記軸線に対して両側で背向するよう二個突設される、請求項３に記載の超仕上げ装置。
5. 前記工作物は、ボールベアリングの内輪又は外輪であり、前記溝部は、前記内輪の前記外周面又は前記外輪の前記内周面に形成されたボールの軌道溝である、請求項１〜４の何れか１項に記載の超仕上げ装置。
6. 旋回軸線回りに旋回可能な旋回テーブルと、
   前記旋回テーブルにおける前記旋回軸線を中心とする円周上にそれぞれ設けられ、前記旋回軸線と平行な主軸線回りに回転可能な工作主軸を有する複数の主軸台と、
   複数の前記工作主軸に設けられ、それぞれ工作物の保持が可能な複数の保持装置と、
   前記旋回テーブルに対して相対移動可能にそれぞれ設けられ、前記旋回テーブルの旋回により前記工作物が順次搬送されることで、対応するそれぞれの研削旋回位置に前記工作物が位置決めされる場合に、対応する前記工作物を研削する複数の砥石と、
   請求項１〜５のうち何れか一項に記載の超仕上げ装置と、
   を備える、複合研削盤。

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