JP6536540B2 - 蛍光体含有部材の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、蛍光体含有部材の製造方法に関する。
特許文献1に記載の発光装置において、セラミック製の波長変換部材(本明細書の「蛍光部材」に相当する。)がホルダ(本明細書の「光反射部材」に相当する。)の貫通孔に接着剤を用いて固定されている。
特開2014−67961
このような部材を製造するには、ホルダに貫通孔を形成するとともに、波長変換部材を貫通孔の形状に合わせて加工した上で、加工された波長変換部材をホルダの貫通孔に精度よく固定しなければならない。つまり、煩雑な工程が必要となる上、波長変換部材の形状とホルダにおける貫通孔の形状を合わせる必要があるため再現性よく製造することが難しい。
本発明の一形態に係る蛍光体含有部材の製造方法は、複数の凸部が第1主面の側に設けられた、蛍光体を含む蛍光部材を準備する工程と、粉末状の光反射部材を準備する工程と、前記蛍光部材における複数の凸部の間に前記粉末状の光反射部材を配置する工程と、前記粉末状の光反射部材を焼結して、前記蛍光部材と前記光反射部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、前記第1主面の側の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ前記第2主面の側の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、前記蛍光部材の前記第1主面の側又は前記第2主面の側の少なくとも一方の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備える。
本発明の別の形態に係る蛍光体含有部材の製造方法は、複数の凹部が第1主面の側に設けられた光反射部材を準備する工程と、蛍光体を含む粉末状の蛍光部材を準備する工程と、前記光反射部材における複数の凹部に前記粉末状の蛍光部材を配置する工程と、前記粉末状の蛍光部材を焼結して、前記光反射部材と前記蛍光部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、前記光反射部材の前記第1主面と反対側にある第2主面の側の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ、前記第1主面の側の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、少なくとも前記光反射部材の前記第2主面の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備える。
本発明のさらに別の形態に係る蛍光体含有部材の製造方法は、互いに反対側にある第1主面及び第2主面を貫通する複数の貫通孔が設けられた光反射部材を準備する工程と、蛍光体を含む粉末状の蛍光部材を準備する工程と、前記複数の貫通孔に前記粉末状の蛍光部材を配置する工程と、前記粉末状の蛍光部材を焼結して、前記光反射部材と前記蛍光部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、前記第1主面の側の面又は前記第2主面の側の面の一方の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ、前記第1主面の側の面又は前記第2主面の側の面の他方の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、前記蛍光部材の前記第1主面の側又は前記第2主面の側の少なくとも一方の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備える。
これにより、蛍光部材の周囲に光反射部材が配置された蛍光体含有部材を比較的簡単にかつ再現性良く製造することができる。
図1は、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の上面図である。 図2は、図1のX−X線における断面図である。 図3Aは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Bは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Cは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Dは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Eは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Fは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Gは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Hは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Iは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図3Jは、第1実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図4Aは、蛍光部材を準備する工程の他の方法を説明するための断面図である。 図4Bは、蛍光部材を準備する工程の他の方法を説明するための断面図である。 図4Cは、蛍光部材を準備する工程の他の方法を説明するための断面図である。 図5は、焼結体の一部を除去する工程の他の例を説明するための断面図である。 図6は、第1実施形態に係る個片化後の蛍光体含有部材と発光素子とを組み合わせた発光装置の模式図である。 図7は、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の上面図である。 図8は、図7のY−Y線における断面図である。 図9Aは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Bは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Cは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Dは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Eは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Fは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Gは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図9Hは、第2実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図10は、第2実施形態に係る蛍光体含有部材と発光素子とを組み合わせた発光装置の断面図である。 図11Aは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Bは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Cは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Dは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Eは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Fは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図11Gは、第3実施形態に係る蛍光体含有部材の製造方法を説明するための断面図である。 図12は、第3実施形態における焼結体の一部を除去する工程の他の例を説明するための断面図である。
本発明を実施するための形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するためのものであって、本発明を限定するものではない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするために誇張していることがある。
本明細書では、例えば「粉末状の蛍光部材」や「焼結体からなる蛍光部材」なる用語を用いており、蛍光部材であればその状態にかかわらず「蛍光部材」なる用語を用いている。同様に、本明細書では、例えば「粉末状の光反射部材」や「焼結体からなる光反射部材」なる用語を用いており、光反射部材であればその状態にかかわらず「光反射部材」なる用語を用いている。また、本明細書では、個片化の有無にかかわらず「蛍光体含有部材」なる用語を用いている。
<第1実施形態>
図1に本実施形態に係る製造方法により得られる蛍光体含有部材100を第1主面の側から見た図(上面図)を示す。また、図2は、図1のX−X線における断面図である。図3A〜図3Iは、蛍光体含有部材100の製造方法を説明するためのものである。さらに、図3Jは、蛍光体含有部材100を個片化して、蛍光体含有部材100aを得る工程を示す。
蛍光体含有部材100の製造方法は、複数の凸部が第1主面の側に設けられた、蛍光体を含む蛍光部材10を準備する工程と、粉末状の光反射部材20を準備する工程と、蛍光部材10における複数の凸部の間に粉末状の光反射部材20を配置する工程と、粉末状の光反射部材20を焼結して、蛍光部材10と光反射部材20とが一体に形成された焼結体を得る工程と、第1主面の側の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなり、且つ第2主面の側の面が蛍光部材10のみからなる又は蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる蛍光体含有部材100が得られるように、蛍光部材10の第1主面の側又は第2主面の側の少なくとも一方の側から焼結体の一部を除去する工程と、を備える。
これにより、蛍光部材10と、蛍光部材10を囲む光反射部材20と、を有する蛍光体含有部材100を比較的容易にかつ再現性良く製造することができる
従来の蛍光体含有部材の製造方法では、光反射部材に貫通孔を形成し、焼結された蛍光部材を貫通孔の形状に加工した上で、加工された蛍光部材を接着剤を用いて光反射部材の内壁に固定する。しかし、この方法によると、光反射部材に貫通孔を形成する工程、蛍光部材を焼結する工程、蛍光部材を加工する工程、及び蛍光部材を光反射部材に固定する工程、が必要となるため工程が煩雑になり蛍光体含有部材の製造に時間を要する。また、光反射部材の貫通孔の形状と、蛍光部材の形状と、を精度よく合わせる必要があるため、再現性良く蛍光体含有部材を製造することが難しい。
これに対して、本実施形態の製造方法では、蛍光部材10における複数の凸部の間に粉末状の光反射部材20を配置してから粉末状の光反射部材20を焼結することで、蛍光部材10と光反射部材20とが一体に形成された焼結体を形成し、さらにその焼結体の一部を除去することで蛍光体含有部材100を製造している。つまり、粉末状の光反射部材20を用いることで、光反射部材20を特定の形状に加工することなく蛍光体含有部材100を製造することができるので、工程を簡便化することができる。さらに、粉末状の光反射部材20を用いることにより、蛍光部材10と光反射部材20の位置合わせを必要としないので、再現性良く蛍光体含有部材を製造することができる。特に、本実施形態の製造方法では粉末状の光反射部材20を用いて焼結させているので、それにより得られる蛍光体含有部材100において蛍光部材10と光反射部材20とが直接接合している。つまり、蛍光部材10と光反射部材20との間に蛍光部材10及び光反射部材20以外の部材(例えば、接着剤)を介していない。これにより、蛍光部材10に光が当たった際に生じる熱を光反射部材20に効率よく逃がすこともできる。
(蛍光部材10を準備する前の工程)
本実施形態では、図3Aに示すように、蛍光部材10を準備する工程の前に、容器に緩衝部材30として粉末状の材料(例えば、光反射部材20と同様の材料)を配置する。本実施形態では、焼結ダイ40と下側のパンチ50とを容器として用いている。緩衝部材30は必須ではないが、緩衝部材30を用いることで、焼結体からなる蛍光部材10を用いる場合であっても、後に光反射部材20を焼結する際に蛍光部材10かかる圧力を実質的に均等にすることができるため、焼結体からなる蛍光部材10の割れ等を低減することができる。
次に、後の工程において容器から蛍光部材10及び光反射部材20からなる焼結体を取り出しやすくするために、図3Bに示すように、緩衝部材30の上方に、離形シート60を配置する。離形シート60として、例えば、ポリエチレンシート、又はカーボンシートを用いることができる。
(蛍光部材10を準備する工程)
次に、図3Eに示すように、複数の凸部が第1主面の側に設けられた蛍光部材10を準備する。
本実施形態では、蛍光部材10を準備する工程において、粉末状の蛍光体と、光反射部材と同一の材料を含む粉末状の焼結助剤と、を混合した後で焼結し、複数の凸部が第1主面の側に設けられた焼結体からなる蛍光部材10を得ている。本実施形態では、蛍光部材10としてYAl12:Ce(イットリウム・アルミニウム・ガーネット系(YAG系))の蛍光体及び酸化アルミニウムからなる焼結助剤を用い、光反射部材20として酸化アルミニウムを用いている。
本実施形態では、蛍光部材10を準備する工程において、焼結体からなる蛍光部材10に複数の凸部を形成することにより、複数の凸部が第1主面の側に設けられた蛍光部材10を得ている。つまり、まず図3Cに示すように焼結体からなる板状の蛍光部材10を作製し、その後に図3Dに示すように板状の焼結体に複数の凸部を形成している。これにより、凸部の形状を比較的自由に設計することができる。なお、複数の凸部が形成されるように所定の形状の焼結型(上側のパンチ50、下側のパンチ50、及び焼結ダイ40)を用いて粉末状の蛍光部材を焼結することにより、複数の凸部が設けられた焼結体からなる蛍光部材10を形成してもよい。
蛍光部材10の1つの凸部の側面と隣り合う凸部の側面との最短距離は、0.7mm以上にするのが好ましい。これにより、粉末状の光反射部材20を配置する工程において、隣り合う凸部の間に光反射部材20を充填しやすくすることができる。
凸部の形状は、上方から視て、円、楕円、矩形等にすることができ、本実施形態では、円である。このとき、凸部の頂部における幅が凸部の底部(付け根)における幅よりも小さくなっている。つまり、凸部の幅が底部となる下方から頂部となる上方に向かうにつれて小さくなるように凸部の側面を傾斜させている。例えば、凸部の頂部の幅は、0.1mm以上1.2mm以下の範囲とすることができる。また、凸部の底部の幅は、0.5mm以上10mm以下の範囲とすることができる。凸部は、マシニングセンタを用いて形成するのが好ましい。これにより、凸部の幅が比較的小さいものや、凸部の側面が傾斜しているものを高精度に加工することができる。
本実施形態では、蛍光部材10を準備する工程において、焼結体からなる蛍光部材10を準備しているが、図4A〜図4Cに示すように、粉末状の蛍光部材10を準備することもできる。この場合は、蛍光部材10を準備する工程は、容器に蛍光体を含む粉末状の蛍光部材10を充填する工程(図4A)と、複数の凹部が設けられた押圧部材51で粉末状の蛍光部材10を押圧することにより、複数の凸部が設けられた蛍光部材10を作製する工程(図4B、図4C)と、を含み、焼結体を得る工程において、蛍光部材10及び光反射部材20の両方を焼結している。複数の凹部が設けられた押圧部材51を用いることで、粉末状ではあるが全体として一定の形状(複数の凸部が設けられた形状)を保持した蛍光部材10を形成することができる。これにより、焼結体からなる板状の蛍光部材10を用いる場合と比較して、工程を簡略化することができる。
押圧部材51の凹部の開口形状は、円、楕円、矩形等にすることができる。押圧部材51の凹部の開口は、凹部の底面から離れるにしたがって広くなるように形成されるのが好ましい。つまり、蛍光部材10を押圧する側の面から離れるに従って凹部の幅は大きくなるのが好ましい。これにより、蛍光部材10と押圧部材51とが離形しやすくなる。押圧部材51と粉末状の蛍光部材10との間には、離形シートを介在させてもよい。これにより、蛍光部材10と押圧部材51とを離形する際に凹部に蛍光部材10が残存しにくくなる。
蛍光部材10に含まれる蛍光体は、求められる蛍光色に応じて適宜選択することができる。例えば、Y、Lu、Sc、La、Tb及びGdからなる群から選択された少なくとも1つの元素と、Al、Ga及びInからなる群から選択された少なくとも1つの元素と、を備え、Ce、Cr、Nd、Euからなる群から選択された少なくとも1つの元素で付括されたガーネット系の蛍光体を用いることができる。光反射部材20に酸化アルミニウムを含む場合は、蛍光部材10は、Alを含む酸化物の蛍光体を含むことが好ましい。これにより、蛍光部材10と光反射部材20とに同様の材料が含まれることになるため、両者の接合強度を高くすることができる。Alを含む酸化物の蛍光体としては、例えば、YAG系の蛍光体が挙げられる。
蛍光部材10は、蛍光体のみで構成してもよいし、蛍光体及び他の部材で構成してもよい。他の部材としては、例えば焼結助剤を用いることができる。この場合は、焼結助剤は、光反射部材20に含まれる材料と同じ材料を含むことが好ましい。これにより、蛍光部材10と光反射部材20との接合強度をさらに高くすることができる。
(光反射部材20を準備する工程)
次に、粉末状の光反射部材20を準備する。光反射部材20は、添加材を含むことができる。添加材を含む場合は、光反射部材の主成分となる母材(例えば、酸化アルミニウム)よりも高屈折率の材料を用いるのが好ましい。これにより、光反射部材20の反射率(蛍光部材からの蛍光及び/又は発光素子からの光に対する反射率)を向上させることができ、透過率を抑えることができる。高屈折率の材料としては、例えば、窒化ホウ素、酸化イットリウム、酸化ルテチウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタンを用いることができる。しかしこれらは難焼結性の材料であるため光反射部材20の強度が低減するおそれがある。この場合は、さらに、添加材として母材よりも融点の低い硝子材料(例えば、酸化ホウ素を含む硝子材料)を用いることができる。これにより、硝子材料が液相化して光反射部材20における母材と硝子材料を除く添加材との間に入るため、両者の結合を強くすることができる。なお、添加材として融点の低い硝子材料を用いる場合は光反射部材の2質量%以下で添加するものとし、本明細書では2質量%以下の硝子材料を含有していても「焼結体」という。
(光反射部材20を配置する工程)
次に、蛍光部材10における複数の凸部の間に粉末状の光反射部材20を配置する。粉末状の光反射部材20を用いることで、隣り合う凸部間に蛍光部材10を充填しやすくなり、蛍光部材10と光反射部材20との隙間を実質的になくすことができる。本実施形態では、図3Fに示すように、凸部が上方を向くように蛍光部材10を配置し、上方から粉末状の光反射部材20を配置することで、蛍光部材10の凸部の間に光反射部材20を配置している。
図3Fでは、焼結体からなる蛍光部材10を下方に配置し、粉末状の光反射部材20を上方に配置しているが、配置の順序を逆にすることもできる。つまり、まず容器に粉末状の光反射部材20を配置し、次にその上方において焼結体からなる蛍光部材10をその凸部が下方を向くように配置して、必要に応じて押圧することもできる。このようにしても、蛍光部材10における複数の凸部の間に光反射部材20を配置することができる。
(焼結体を得る工程)
次に、図3Gに示すように、粉末状の光反射部材20を焼結して、蛍光部材10と光反射部材20とが一体に形成された焼結体を得る。一般的に、焼結体とは粉末状の材料を融点よりも低い温度で加熱して固まったものを指す。しかしながら、本実施形態のように、すでに焼結されている蛍光部材10と、まだ焼結されていない粉末状の光反射部材20と、を加熱処理する場合であっても、焼結体からなる蛍光部材10の表面と粉末状の光反射部材20の表面とにおいては、同様の現象が起こっていると考えられる。したがって、本実施形態では、焼結体からなる蛍光部材10と粉末状の光反射部材20とを一体に形成したものも焼結体という。
蛍光部材10及び光反射部材20を加圧しながら焼結するのが好ましい。これにより、蛍光部材10と光反射部材20との接合強度を向上させることができる。焼結法としては、例えば放電プラズマ焼結法(SPS法:spark plasma sintering法)又はホットプレス焼結法(HP法:hot pressing法)を用いることができ、SPS法を用いるのが好ましい。SPS法は上側及び下側のパンチ50を用いて加圧しつつパルス通電により加熱する方法である。SPS法によれば、パルス通電で比較的短時間で急速昇温が可能であるため、光反射部材20の粒成長を制御しやすい。加圧しながら焼結する場合は、例えば、圧力を10MPa以上50MPa以下の範囲に設定することができる。前述の下限値以上とすることで蛍光部材10と光反射部材20との接合強度を向上させることができ、前述の上限値以下とすることで光反射部材20の粒成長を制御しやすくなるので、光反射部材20の粒径が大きくなる(つまり透過率が高くなって光反射性を損なう)のを抑制しやすくなる。
本実施形態では、粉末状の蛍光部材と粉末状の光反射部材を一工程で焼結しているのではなく、あらかじめ焼結体からなる蛍光部材10を準備し、その後で蛍光部材10の凸部間に配置した粉末状の光反射部材を焼結している。そして、焼結助剤と光反射部材の少なくとも一部とを同じ材料(酸化アルミニウム)とし、粉末状の光反射部材20を焼結する際の焼結温度を、蛍光部材10を得る際の焼結温度(粉末状の蛍光体と粉末状の焼結助剤とを混合して焼結する際の焼結温度)よりも低くしている。以下、その理由について説明する。
蛍光部材10は光を取り出しやすくする必要があるため、一定以上の透過率(蛍光部材10からの蛍光及び/又は発光素子からの光に対する透過率)が必要となる。例えば、高温で焼結し、蛍光部材10に含まれる焼結助剤の粒成長を促すことにより、蛍光部材の透過率を上げることができる。一方、光反射部材20は光を反射しやすくする必要があるため、一定以上の反射率が必要となる。例えば、光反射部材20をある程度低温で焼結し、光反射部材20の粒成長を抑制することで、光反射部材20の反射率を上げることができる。これらの理由により、粉末状の蛍光部材10と粉末状の光反射部材20を一工程で焼結する場合、蛍光部材10の透過率を上げるために高温で焼結すると光反射部材20の透過率が下がってしまう。一方で、光反射部材20の反射率を上げるために低温で焼結すると、蛍光部材の透過率が下がってしまう。そこで、本実施形態では、まず、粉末状の蛍光体と粉末状の焼結助剤とを高温で焼結した焼結体からなる蛍光部材10を得て、その後で蛍光部材10の凸部間に配置した粉末状の光反射部材20を低温で焼結している。つまり、蛍光部材10を焼結する際には光反射部材20の反射率の低下を考慮することなく高温で焼結することができ、光反射部材20を焼結する際には蛍光部材10の透過率を維持しつつ低温で焼結することができる。これにより、蛍光部材10の透過率の向上と、光反射部材20の反射率の向上と、を両立させることが可能となる。
粉末状の光反射部材20は、1100℃以上1400℃以下の範囲で焼結することができる。焼結体からなる蛍光部材10を用いる場合は、焼結体を得る工程(粉末状の光反射部材20を焼結する工程)において、1100℃以上1200℃以下の範囲で焼結するのが好ましく、1130℃以上1170℃以下の範囲で焼結するのがより好ましい。前述の下限値以上とすることで光反射部材20の強度を向上させることができ、前述の上限値以下とすることで光反射部材20が過度に粒成長することによる反射率の低下を低減することができる。
本実施形態では、焼結体を得る工程の後に、焼結体を酸化雰囲気(例えば、大気雰囲気)で熱処理している。一般的に、SPS法やHP法に用いる焼結型には炭素が含まれる。光反射部材20に酸化物を含む場合は、焼結型の炭素が光反射部材20に含まれる酸化物に浸炭又は還元反応を生じさせ、光反射部材20の反射率が低下するおそれがある。そこで、焼結体を酸化雰囲気で熱処理することにより、酸化物に含有された炭素を除去しやすくなり欠損した酸素を戻すことができるため、光反射部材20の反射率を向上することができる。
熱処理する工程において、1000℃以上1500℃以下の範囲で熱処理を行うことができる。焼結体からなる蛍光部材10を用いる場合は、1000℃以上1200℃以下の範囲で熱処理を行うのが好ましく、1050℃以上1150℃以下の範囲で熱処理を行うのがより好ましい。前述の下限値以上とすることで光反射部材20に含まれる酸化物に酸素を戻しやすくなり、前述の上限値以下とすることで光反射部材20の反射率の低下を低減することができる。
(焼結体の一部を除去する工程)
次に、第1主面の側の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなり、且つ前記第2主面の側の面が蛍光部材10のみからなる又は蛍光部材及び光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、蛍光部材10の第1主面の側又は第2主面の側の少なくとも一方の側から焼結体の一部を除去する。
本実施形態において、図3Gで得られる焼結体は、第1主面の側の面が光反射部材20のみからなり、第2主面の側の面が蛍光部材10のみからなる。つまり、蛍光部材10の凸部の頂部が光反射部材20に埋没している。この場合は、図3Hに示すように、少なくとも、焼結体の第1主面の側から蛍光部材10の凸部の頂部まで焼結体の一部を除去することで蛍光部材10及び光反射部材20を露出させる。これにより、第1主面の側の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる蛍光体含有部材とすることができる。本実施形態では、さらに、図3Iに示すように、焼結体の第2主面側方から蛍光部材10の凸部の底部まで焼結体の一部を除去している。これにより、第1主面の側の面及び第2主面の側の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる蛍光体含有部材100を得ている。
なお、図5に示すように、蛍光部材10の第2主面の側から蛍光部材10の凸部の底部に達しないように焼結体の一部を除去してもよい。つまり第2主面の側の面が蛍光部材10のみからなるように焼結体の一部を除去してもよい。これにより、第1主面の側から見て蛍光部材10の周囲に光反射部材20が配置され、第2主面の側から見て蛍光部材10のみが存在する蛍光体含有部材とすることができる。このような蛍光体含有部材を、例えば、発光素子70の上面側に、発光素子70の上面と蛍光体含有部材の第2主面とが向かい合うように配置する。これにより、発光素子70からの光を、蛍光部材10の第2主面の側に入射させ、第2主面よりも面積の小さい第1の主面の側から取り出すことができるため、発光装置の輝度を向上させやすくなる。
本実施形態では、図3Gで得られる焼結体は蛍光部材10の凸部の頂部が光反射部材20に埋没されているが、光反射部材を配置する工程において図3Hに示すような凸部の間にのみ光反射部材を配置し、焼結体を得る工程において凸部の間にのみ光反射部材が存在する焼結体を得ることもできる。つまり、第1面の側の面が蛍光部材及び光反射部材の双方からなる焼結体を得ることもできる。このとき、第1主面の側から焼結体の一部を除去する場合は、凸部の底部に達しないように焼結体の一部を除去する。また、第2主面の側から焼結体の一部を除去する場合は、凸部の底部に達するまで焼結体の一部を除去してもよいし、凸部の底部に達しない程度で焼結体の一部を除去してもよい。
蛍光部材10を準備する工程において、焼結体からなる蛍光部材10を用いる場合は、第1主面と第2主面とは実質的に平行とするのがよい。そして、蛍光部材10の第2主面を設置面にして、光反射部材20側(図3Hの上方)から焼結体の一部を除去するのが好ましい。これにより、焼結体の下面と平行に除去していけばすべての蛍光部材10を露出させることができるため、除去を容易に行うことができる。
焼結体の一部を除去する方法としては例えば、研削、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)を用いることができる。上方及び下方から焼結体の一部を除去する場合は、除去した後の面がそれぞれ異なる粗さとなるようにするのが好ましい。例えば、蛍光体含有部材100の上面又は下面の一方が粗面で他方が実質的に鏡面となるようにするのが好ましい。そして、図6に示すように、発光素子70と組み合わせて発光装置とする場合に、鏡面側を発光素子70からの光入射面とし粗面側を発光装置の光取出面とするのがよい。これにより、蛍光部材10から発光素子70に戻る光を低減しつつ、蛍光部材10から外部に向かう光の全反射を低減できるため、発光装置としての光取出し効率低下を抑制することができる。
(個片化する工程)
図3Jに示すように、焼結体の一部を除去する工程の後に、第1主面の側から見て光反射部材20に囲まれる蛍光部材10が少なくとも1つ含まれるように焼結体を個片化することができる。これにより、蛍光部材10の周囲に光反射部材20が配置された所望の大きさの蛍光体含有部材100aを得ることができる。例えば、スクライブ、ダイシング、ブレイクにより焼結体を個片化することができる。蛍光部材10を露出させてから個片化することで作業効率を向上させることができるが、焼結体を個片化してから蛍光部材10を露出させてもよい。
(その他)
蛍光体含有部材100は発光素子70と組み合わせて発光装置とすることができる。図6では、発光素子70としてLD(レーザダイオード)を用いており、LDと個片化した蛍光体含有部材100aとを組み合わせて発光装置400としている。LDを用いる場合は、LDから生じる熱と蛍光部材10から生じる熱との排熱性を考慮して、図6に示すように両者を離間して配置するのが好ましい。例えば光ファイバを介することによりLDと蛍光部材10とを離間させることもできる。なお、蛍光体含有部材100を光反射体の上面に載置して、LDからの蛍光部材10に入射する光を光反射体で反射させるようにすることもできる。
<第2実施形態>
図7に、本実施形態に係る製造方法により得られる蛍光体含有部材200の上面図を示す。また、図8は、図7のY−Y線における断面図である。さらに、図9A〜図9Hは、蛍光体含有部材200の製造方法を説明するための図である。
蛍光体含有部材200の製造方法は、複数の凹部が第1主面の側に設けられた光反射部材20を準備する工程(図9A〜図9D)と、蛍光体を含む粉末状の蛍光部材10を準備する工程と、光反射部材20における複数の凹部に粉末状の蛍光部材10を配置する工程(図9E)と、粉末状の蛍光部材10を焼結して、光反射部材20と蛍光部材10とが一体に形成された焼結体を得る工程(図9F)と、第1主面と反対側にある第2主面の側の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなり、且つ、第1主面の側の面が蛍光部材10のみからなる又は蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる蛍光体含有部材100が得られるように、少なくとも光反射部材20の第2主面の側から焼結体の一部を除去する工程(図9G)と、を備える。
本実施形態においても第1実施形態と同様の効果を得ることができる。蛍光体含有部材200の製造方法は、次に説明する事項以外は、第1実施形態において説明した事項と実質的に同一である。
まず、第1主面に複数の凹部が設けられた光反射部材20を準備する。本実施形態では、光反射部材20を準備する工程は、焼結型となる容器に粉末状の光反射部材20を充填する工程(図9A)と、複数の凸部が設けられた押圧部材52で、粉末状の光反射部材20を押圧することにより、複数の凹部が設けられた光反射部材20を作製する工程(図9B〜図9D)と、を含む。これにより、粉末状ではあるが一定の形状(複数の凹部が設けられた形状)を保持した光反射部材20を比較的簡便な方法で形成することができる。なお、この工程では焼結体からなる光反射部材20を準備してもよい。
本実施形態では、凹部の開口形状は上方から見て四角である。凹部の大きさは組み合わせる発光素子70に合わせて適宜変更することができる。例えば、発光素子70としてLEDチップを用いる場合は、凹部の底部の一辺の長さを0.1mm以上3mm以下の範囲にすることが好ましく、0.5mm以上2mm以下とするのがより好ましい。前述の下限値以上とすることで、凹部に蛍光部材10を充填しやすくすることができ、前述の上限値以下とすることで個片化する前の蛍光体含有部材に含まれる蛍光部材10の数を増やすことができる。
次に、蛍光体を含む粉末状の蛍光部材10を準備する。そして、光反射部材20における複数の凹部に粉末状の蛍光部材10を配置する(図9E)。つまり、本実施形態では、粉末状の光反射部材20の上方に粉末状の蛍光部材10が配置されている。なお、焼結体からなる光反射部材20を準備する場合は、光反射部材20及び蛍光部材10の配置の順序は限定されない。つまり、焼結体からなる光反射部材20を下方に配置し、粉末状の蛍光部材10を上方に配置してもよいし、配置の順序を逆にすることもできる。
本実施形態では、一工程において、粉末状の蛍光部材10及び粉末状の光反射部材20の両方を焼結して、蛍光部材10と光反射部材20とが一体に形成された焼結体を得ている。このとき、蛍光部材10に含まれる焼結助剤の透過率を高くする必要があるため、焼結温度は第1実施形態よりも高くしている。例えば、1100℃以上1400℃以下の範囲で焼結するのが好ましく、1200℃以上1350℃以下の範囲で焼結するのがより好ましい。前述の下限値以上とすることで焼結助剤の透過率を高くすることができ、前述の上限値以下とすることで光反射部材20の反射率の低減をある程度抑えることができる。
また、熱処理する工程において、1200℃以上1500℃以下の範囲で熱処理をすることができる。このとき、焼結助剤の透過率を向上させる場合は、1350℃以上1450℃以下の範囲で熱処理するのが好ましい。なお、光反射部材20の反射率を向上させることを優先させる場合は、実施形態1に記載の範囲で熱処理するのがよい。
本実施形態では、蛍光部材10を配置する工程の後に、離形シート60を介して緩衝部材30を配置してもよい。このとき、光反射部材20の厚みと同じ厚みになるように緩衝部材30を配置するのが好ましい。
本実施形態では、図9Hに示すように、光反射部材20の第1主面の側の面が蛍光部材10と光反射部材20とからなるように焼結体の一部を除去している。これに限らず、光反射部材20の第1主面の側から、光反射部材20が露出しないように、焼結体の一部を除去してもよい。つまり、第1主面の側から除去した後の第1主面の側の面が蛍光部材10のみからなるように焼結体の一部を除去してもよい。第1主面の側の面が蛍光部材10のみからなる蛍光体含有部材を個片化する場合は、第2主面の側から見て光反射部材に囲まれる蛍光部材が少なくとも1つ含まれるように焼結体を個片化する。
(その他)
本実施形態では、発光素子70としてLEDチップを用いており、基体90の上面に配置された複数のLEDチップと蛍光体含有部材200とを組み合わせて発光装置500としている(図10)。このとき、1つのLEDチップからの光が1つの蛍光部材10に入射するように蛍光体含有部材200を設けるのが好ましい。LEDチップの上面に蛍光体含有部材200を設ける方法は、表面活性化接合法又は原子拡散接合法を用いるのが好ましく、表面活性化接合法を用いるのがより好ましい。表面活性化接合法によれば、LEDチップと蛍光部材10との間に他の部材を介することがなくなるため、他の部材での光の吸収をなくすことができるためである。また、隣り合うLEDチップ間は遮光部材80等により遮光されているのが好ましい。これにより、点灯しているLEDチップの上方に位置する蛍光部材10のみを発光させることができる。
<第3実施形態>
図11A〜図11Gに本実施形態に係る蛍光体含有部材300の製造方法を示す。蛍光体含有部材300の製造方法は、次に説明する事項以外は、第2実施形態において記載した事項と実質的に同一である。
本実施形態では、光反射部材20を準備する工程において、互いに反対側にある第1主面及び第2主面を貫通する複数の貫通孔が設けられた光反射部材20を準備する(図11A〜図11D)。そして、複数の貫通孔に粉末状の蛍光部材10を配置し(図11E)、粉末状の蛍光部材10を焼結して、光反射部材20と蛍光部材10とが一体に形成された焼結体を得る(図11F)。さらに、第1主面の側の面又は第2主面の側の面の一方の面が蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなり、且つ、第1主面の側の面又は第2主面の側の面の他方の面が蛍光部材10のみからなる又は蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、蛍光部材10の第1主面の側又は第2主面の側の少なくとも一方の側から焼結体の一部を除去する(図11G)。なお、光反射部材20を準備する工程において焼結体からなる光反射部材20を準備する場合は、容器に粉末状の蛍光部材10を配置し、焼結体からなる光反射部材20を押圧して配置することで、貫通孔に蛍光部材10を配置してもよい。
本実施形態においても第2実施形態と同様の効果を得ることができる。
本実施形態では、焼結体を得る工程において、上面は蛍光部材10のみからなり、下面は蛍光部材10及び光反射部材20の双方からなる焼結体を得ている。この場合において、下面の側から焼結体の一部を除去する場合は、少なくとも光反射部材20の上面に達しないように焼結体の一部を除去する。また、上面の側から焼結体の一部を除去する場合は、図11Gに示すように光反射部材20が露出するまで焼結体の一部を除去してもよいし、光反射部材20が露出しないように焼結体の一部を除去してもよい。
なお、蛍光部材を配置する工程において、光反射部材の上面及び下面を覆うように蛍光部材を配置する場合は、焼結体を得る工程において、図12に示すように、光反射部材の上面及び下面が蛍光部材に覆われる焼結体が得られる。この場合は、上面の側の面又は下面の側の面の一方の面が蛍光部材及び光反射部材からなるように上面の側又は下面の側の一方の側から焼結体の一部を除去する。このとき、上面の側又は下面の側の他方の側からさらに焼結体の一部を除去してもよい。上面の側又は下面の側の他方の側から焼結体の一部を除去する場合は、除去した後の面が蛍光部材及び光反射部材からなるように焼結体の一部を除去してもよいし、除去した後の面が蛍光部材のみからなるように焼結体の一部を除去してもよい。
以下、各実施例の蛍光体含有部材について説明する。
<実施例1>
まず、図3Cに示すように、蛍光部材10としてYAl12:Ceと酸化アルミニウムとを含む焼結体からなる板状の蛍光部材10を準備した。そして、図3Dに示すように、ダイシング装置を用いて焼結体からなる板状の蛍光部材10(以下、「YAG板」という。)の上面に複数の凸部を形成した。なお、図3Dでは、凸部の形状は上方から見て円であるが、本実施例では一辺が1mmの正方形である。1つの凸部と隣り合う凸部との間の距離は1mmとした。
次に、図3A及び図3Bに示すように、焼結型に粉末状の酸化アルミニウムからなる緩衝部材30を充填し、カーボンシートを配置した。そして、図3Eに示すように、凸部が設けられた側が上方を向くようにYAG板10を配置した。
次に、図3Fに示すように、焼結型に酸化アルミニウムからなる粉末状の光反射部材20を充填した。このとき、緩衝部材30と光反射部材20との厚みが同じになるようにした。そして、図3Gに示すように、光反射部材20を30MPaの圧力で1100℃でSPS法により焼結し、蛍光部材10と光反射部材20とが一体である焼結体を得た。
次に、焼結型から焼結体を取り出してカーボンシートを配置した位置で焼結体を離形した。そして、得られた焼結体を大気雰囲気において1100℃で熱処理した。
次に、図3H及び図3Iに示すように、得られた焼結体の上方及び下方から焼結体の一部を除去することで、除去した後の面において蛍光部材10及び光反射部材20を露出させた。
<実施例2>
実施例2は、1200℃で焼結した以外は実施例1と実質的に同様である。
<実施例3>
実施例3は、1150℃で焼結し、1000℃で熱処理した以外は実施例1と実質的に同様である。
<実施例4>
実施例4は、次に説明する事項以外は実施例3と実質的に同様である。まず、図3Cに示すように焼結体からなる板状の蛍光部材10を準備し、図3Dに示すようにマシニングセンタを用いて焼結体からなる板状の蛍光部材10の上面に複数の凸部を形成した。上方から見て凸部の形状は円であり、凸部の内径が下方から上方に向かうにつれて小さくなるように側面は傾斜している。凸部の頂部の内径は0.3mmとし凸部の底部の内径は0.5mmとした。また、凸部の底部と隣り合う凸部の底部との最短距離は、5mmとした。そして熱処理の温度を1100℃とした。
<実施例5>
実施例5は、光反射部材20として、80質量%の酸化アルミニウムと20質量%の窒化ホウ素とを用い、熱処理の温度を1100℃とした以外は実施例3と実質的に同様である
<実施例6>
まず、図3Aに示すように焼結型に粉末状の酸化アルミニウムからなる緩衝部材30を充填し、図3Bに示すようにカーボンシートを配置した。
次に、図4Aに示すように、YAl12:Ceと酸化アルミニウムとを含む粉末状の蛍光部材10を充填した。そして、図4B〜図4Dに示すように、複数の凹部が設けられた押圧部材51で、蛍光部材10を押圧して複数の凸部が設けられた蛍光部材10を作製した。凸部は上方から見て1辺の長さが1mmの正方形とした。また、1つの凸部と隣り合う凸部との間の距離は1mmとした。
次に、図3Fに示すように、焼結型に酸化アルミニウムからなる粉末状の光反射部材20を充填した。なお、図3Fは第1実施形態の説明においては焼結体からなる蛍光部材10としているが、本実施例では粉末状であるが一定の形状(複数の凸部が設けられた形状)の蛍光部材10である。このとき、緩衝部材30と光反射部材20との厚みが同じになるようにした。そして、図3Gに示すように、蛍光部材10及び光反射部材20の両方を50MPaの圧力で1250℃でSPS法により焼結し、蛍光部材10と光反射部材20とが一体である焼結体を得た。
次に、焼結型から焼結体を取り出してカーボンシートを配置した位置で焼結体を離形した。そして、得られた焼結体を大気雰囲気において1400℃で熱処理し、さらに窒素雰囲気において1400℃で熱処理した。
次に、図3Hおよび図3Iに示すように、得られた焼結体の上方及び下方から焼結体の一部を除去することで、除去した後の面において蛍光部材10及び光反射部材20を露出させた。
<実施例7>
実施例7は、まず、図8Aに示すように、焼結型に酸化アルミニウムからなる光反射部材20を充填した。そして、図8B〜図8Dに示すように、複数の凸部が設けられた押圧部材52で光反射部材20を押圧して複数の凹部が設けられた光反射部材20を作製した。凹部は上方から見て1辺の長さが1mmの正方形とした。また、1つの凹部と隣り合う凹部との間の距離は1mmとした。
次に、図8Eに示すように、YAl12:Ceと酸化アルミニウムとを含む粉末状の蛍光部材10を焼結型に充填した。
次に、蛍光部材10の上面にカーボンシートを配置した。そして、光反射部材20の厚みと実質的に同じ厚さになるように、カーボンシートの上面に、酸化アルミニウムからなる緩衝部材30を配置した。そして、図8Fに示すように、蛍光部材10及び光反射部材20を50MPaの圧力で1250℃でSPS法により焼結した。
次に、焼結型から焼結体を取り出してカーボンシートを配置した位置で焼結体を離形した。そして、得られた焼結体を大気雰囲気において1400℃で熱処理し、さらに窒素雰囲気において1400℃で熱処理した。
次に、図8G及び図8Hに示すように、得られた焼結体の上方及び下方から焼結体の一部を除去することで、除去した後の面において蛍光部材10及び光反射部材20を露出させた。
<実施例8>
実施例8は、光反射部材20として、80質量%の酸化アルミニウムと20質量%の窒化ホウ素とを用いている以外は実施例7と実質的に同様である。
<評価>
各実施例において蛍光部材10と光反射部材20とは十分な接合強度が得られていた。また、各実施例と実質的に同じ条件で形成した焼結体からなる光反射部材20を、「強度」、「反射率」、及び「透過率」の3つの観点で評価した結果を表1に示す。なお、表1において、試料の番号と実施例の番号が対応している(例えば、試料1は実施例1に対応している。)。強度の評価は、各試料を手で割ったときの割れにくさを比較して、割れにくいものから割れやすいものまでを5段階(割れにくいものほど値が大きい)で評価した。反射率の評価は、分光測色計による測定結果に基づいて行った。具体的には、まず、厚みを5mmにした試料(光反射部材20)を土台に配置した。次に、試料面に対して370nm〜740nmの測定光を照射して、試料面からの反射光の反射率を測定した。そして、440nmにおける各試料の反射率の結果を比較して、反射率の高いものから低いものまでを5段階(反射率の高いものほど値が大きい)で評価した。また、透過率の評価は、照度計による測定結果に基づいて行った。具体的には、まず、反射率の測定に用いた試料を厚みが1mmになるまで研磨し、土台に試料を配置した。次に、445nmの光を照射して、試料を透過した光を照度計により測定した。そして、各試料の結果を比較して、透過率の低いものから高いものまでを5段階(透過率の低いものほど値が大きい)で評価した。なお、反射率の測定においては土台からの反射率の影響を受けにくくするために試料の厚みを大きくする必要があるが、透過率の測定においては試料の厚みが大きすぎるとその差を比較しにくくなるため、反射率の測定と透過率の測定とで試料の厚みを変えている。
Figure 0006536540
表1に示すとおり、試料1〜試料5は、反射率が高く、試料1、試料3〜5は、透過率も抑制されていた。これは、光反射部材の焼結温度が低かったことに起因すると考えられる。なお、試料2では、反射率において良好な結果が得られているにも関わらず透過率が高かった。これは、試料2においては何らかの理由により光反射部材20における光吸収率が低くなったためであると考えられる。
一方、試料2〜試料4、及び、試料6〜試料8については、強度も高かった。これは、光反射部材20に難焼結性の添加材が含まれていなかったことや、一定以上の温度で焼結することにより、光反射部材20の粒成長が促されたためと考えられる。
各実施形態に記載の蛍光体含有部材は、車載、照明等に使用することができる。
10・・・蛍光部材
20・・・光反射部材
30・・・緩衝部材
40・・・焼結ダイ
50・・・パンチ
51、52・・・押圧部材
60・・・離形シート
70・・・発光素子
80・・・遮光部材
90・・・基体
100、200、300・・・蛍光体含有部材
400、500・・・発光装置

Claims (15)

  1. 複数の凹部が設けられた押圧部材で粉末状の蛍光部材を押圧して複数の凸部が第1主面の側に設けられた、蛍光体を含む蛍光部材を準備する工程と、
    粉末状の光反射部材を準備する工程と、
    前記蛍光部材における複数の凸部の間に前記粉末状の光反射部材を配置する工程と、
    前記粉末状の光反射部材を焼結して、前記蛍光部材と前記光反射部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、
    前記第1主面の側の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ第2主面の側の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、前記蛍光部材の前記第1主面の側又は前記第2主面の側の少なくとも一方の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備えることを特徴とする蛍光体含有部材の製造方法。
  2. 複数の凸部が設けられた押圧部材で粉末状の光反射部材を押圧して複数の凹部が第1主面の側に設けられた光反射部材を準備する工程と、
    蛍光体を含む粉末状の蛍光部材を準備する工程と、
    前記光反射部材における複数の凹部に前記粉末状の蛍光部材を配置する工程と、
    前記粉末状の蛍光部材を焼結して、前記光反射部材と前記蛍光部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、
    前記第1主面と反対側にある第2主面の側の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ、前記第1主面の側の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、少なくとも前記光反射部材の前記第2主面の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備えることを特徴とする蛍光体含有部材の製造方法。
  3. 複数の凸部が設けられた押圧部材で粉末状の光反射部材を押圧して互いに反対側にある第1主面及び第2主面を貫通する複数の貫通孔が設けられた光反射部材を準備する工程と、
    蛍光体を含む粉末状の蛍光部材を準備する工程と、
    前記複数の貫通孔に前記粉末状の蛍光部材を配置する工程と、
    前記粉末状の蛍光部材を焼結して、前記光反射部材と前記蛍光部材とが一体に形成された焼結体を得る工程と、
    前記第1主面の側の面又は前記第2主面の側の面の一方の面が前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなり、且つ、前記第1主面の側の面又は前記第2主面の側の面の他方の面が前記蛍光部材のみからなる又は前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなる蛍光体含有部材が得られるように、前記蛍光部材の前記第1主面の側又は前記第2主面の側の少なくとも一方の側から前記焼結体の一部を除去する工程と、を備えることを特徴とする蛍光体含有部材の製造方法。
  4. 前記焼結体の一部を除去する工程において、前記第1主面の側の面及び前記第2主面の側の面のそれぞれが前記蛍光部材及び前記光反射部材の双方からなるように、第1主面及び第2主面の少なくとも一方の主面の側から前記焼結体の一部を除去することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  5. 前記焼結体を得る工程において、放電プラズマ焼結法又はホットプレス焼結法により焼結することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  6. 前記蛍光部材はAlを含む酸化物の蛍光体を含み、
    前記光反射部材は酸化アルミニウムを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  7. 前記蛍光部材は、焼結助剤として酸化アルミニウムを含むことを特徴とする請求項6に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  8. 前記焼結体を得る工程の後に、前記焼結体を酸化雰囲気で熱処理する工程を備えることを特徴とする請求項6又は7に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  9. 前記蛍光部材を準備する工程は、
    容器に蛍光体を含む粉末状の蛍光部材を充填する工程と、
    複数の凹部が設けられた押圧部材で前記粉末状の蛍光部材を押圧することにより、前記複数の凸部が設けられた蛍光部材を作製する工程と、を含み、
    前記焼結体を得る工程において、前記蛍光部材及び前記光反射部材を焼結することを特徴とする請求項1又は請求項1を引用する請求項4〜8のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  10. 前記押圧部材は、その凹部の開口が底面から離れるにしたがって広くなるように形成されていることを特徴とする請求項9に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  11. 前記蛍光部材を準備する工程は、粉末状の蛍光体と、前記光反射部材と同一の材料を含む粉末状の焼結助剤と、を混合した後で焼結し、前記複数の凸部が第1主面の側に設けられた焼結体からなる蛍光部材を得る工程を有し、
    前記粉末状の光反射部材を焼結する際の焼結温度は、前記粉末状の蛍光体と前記粉末状の焼結助剤とを混合した後で焼結する際の焼結温度よりも低いことを特徴とする請求項1又は請求項1を引用する請求項4〜8のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  12. 前記蛍光部材を準備する工程において、焼結体からなる蛍光部材に複数の凸部を形成することにより、前記複数の凸部が第1主面の側に設けられた蛍光部材を得ることを特徴とする請求項1、請求項1を引用する請求項4〜8のいずれか1項、又は請求項11に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  13. 前記凸部を形成する工程において、マシニングセンタを用いて前記凸部を形成することを特徴とする請求項12に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  14. 前記焼結体の一部を除去する工程の後に、前記焼結体を個片化する工程を備え、
    前記個片化する工程において、個片化した後に、前記第1主面の側の面又は前記第2主面の側の面の少なくとも一方の面において前記蛍光部材の周囲に前記光反射部材が配置された前記蛍光体含有部材を得ることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。
  15. 前記光反射部材を準備する工程は、
    容器に粉末状の光反射部材を充填する工程と、
    複数の凸部が設けられた押圧部材で前記粉末状の光反射部材を押圧することにより、前記複数の凹部が設けられた光反射部材を作製する工程と、を含み、
    前記焼結体を得る工程において、前記蛍光部材及び前記光反射部材を焼結する、ことを特徴とする請求項2又は請求項2を引用する請求項4〜8のいずれか1項に記載の蛍光体含有部材の製造方法。

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