JP6536412B2 - レンズアレイ光学系の製造方法及びレンズアレイ光学系 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス製のレンズアレイ光学系の製造方法及びレンズアレイ光学系に関する。

複数のレンズ部を有するレンズアレイ光学系は、複眼撮像装置用の撮像レンズ、一眼レフカメラのオートフォーカスモジュールでの二次結像レンズ、半導体露光装置での照明系レンズ、液晶プロジェクターパネルでの集光レンズ等に用いられている。レンズアレイ光学系は加工性の良い光学プラスチックにより安価に製造できる。しかしながら、光学プラスチックは熱膨張係数が大きいだけでなく、耐久性及び光透過性が劣り、高温又は高湿の苛酷な条件で安定的に使用するには適さない。従って、様々な環境で安定して利用できるようにするためには、熱膨張係数が小さく、高温又は高湿下での耐久性に優れた光学ガラスをレンズアレイ光学系に使用することが求められる。

球面状又は非球面状の多数のレンズを有する光学ガラス製のレンズアレイ光学系の製造方法として、成形型の凹曲率より大きい曲率としたガラス製のプリフォームを各転写部に１つずつ配置し熱プレス成形する方法が提案されている（特許文献１参照）。プリフォームのうち多数のレンズの各光学面を形成するためのキャビティの体積を超える分は、各キャビティの接合部に流出し、一体的に融着する。しかしながら、特許文献１の方法では、金型上の各光学転写面にプリフォームを配置するのに非常に手間がかかるという問題がある。また、プリフォームのばらつきにより、接合部（融着部又は繋ぎ目）にエアが残存し、プリフォームの接合部の強度が低くなるおそれがある。また、レンズ部の数が多くなるに従って、成形が難しくなり、意図した光学面形状を持つレンズアレイを得ることができなくなるという問題もある。

また、別のレンズアレイ光学系の製造方法として、金型を使用せずに、複数の貫通孔が形成されている基板に液状の材料を供給して基板上に複数のレンズを形成する方法も提案されている（特許文献２参照）。しかしながら、特許文献２の方法では、レンズの光学面を非球面形状にすることが難しく、レンズ部の光学面を適切に設計して種々の収差を光学的に補正することができないという問題がある。

また、別の光学ガラス製のレンズアレイ光学系の製造方法として、溶融したガラスを金型に滴下することでレンズを成形する液滴法が知られている。液滴法はガラスの粘度が比較的低い状態で成形が行われるため、光学面形状に対する制約が小さく、また、材料の流動性に起因する成形不良の発生低減が期待できる。液滴法によるレンズアレイの製造方法として、特許文献３には、２×２個の光学転写面を有する一方の金型の中心にガラス滴を滴下し、他方の金型で押圧することにより、２×２個のレンズ部を有するレンズアレイを製造する方法は記載されている。しかしながら、特許文献３には、４×４個や５×５個などの２×２個を超える数のレンズ部が格子状に配列されたレンズアレイを作製することについては記載がない。特許文献３に記載される製造方法に従って、例えば、４×４個の光学転写面の中心部にガラス滴を滴下して、４×４個のレンズ部を有するレンズアレイを得ようとすると、後述するように、ガラスの充填不足の光学転写面を生じるおそれがある。また、特許文献３では、ガラス滴の流れを変える凸部を設け、凸部寄りの縁側に近い傾斜角度の大きい光学面の転写面に沿ってガラス滴が流れるように調整することで、光学面を高精度に転写しようとしている。しかしながら、事前工程として金型にガラス製の凸部を設ける場合、製造コストが増加するおそれがあるし、金型加工時に凸部を形成する場合、金型加工費用が高価になったり、金型寿命に影響が生じたりするという問題がある。なお、複数のガラス滴を個別に各光学転写面に滴下しようとすると、金型への到達タイミングがガラス滴間でずれることに起因して、成形不良を招いたり、金型への到達時に気体巻き込みを生じたりするなどのおそれがある。また、個々のガラス滴の体積が小さくなる結果、冷えて硬くなりやすいため、押圧によって所望の厚みまで成形することが難しくなるという問題も生じる。

特開２０１０−１１７７号公報 特開２００３−４９０９号公報 国際公開第２０１２／３６２７７号

本発明は、製造工程が簡素であり、高精度なガラス製のレンズアレイ光学系を得ることができるレンズアレイ光学系の製造方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、高い精度を有し、ゴースト低減に有利な構成を持つレンズアレイ光学系を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明に係るレンズアレイ光学系の製造方法は、液滴状の溶融ガラスを複数の液滴状に分割した分割ガラス滴を、正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上のレンズ部成形用の第１光学転写面を１つのユニットとして複数のユニットを同一平面に沿って規則的に配列した第１成形型の第１転写面に対して、各ユニットの正多角形の中心部に向けて同時に滴下し、第１転写面上で分割ガラス滴が流動して隣接するユニット間でそれぞれの分割ガラス滴が互いに接続して融合ガラスに形成された後、融合ガラスが完全に固化する前に、複数の第１光学転写面にそれぞれ対応する複数の第２光学転写面を含む第２成形型を、第１成形型上の融合ガラスに対して相対的に押圧して成形し、第１及び第２成形型から離型して複数のレンズ部を備えるガラスの一体物からなるレンズアレイを得る。ここで、正多角形は、厳密なものに限らず、正多角形よりも辺や内角がわずかに揃っていない場合も含む。

上記レンズアレイ光学系の製造方法では、液滴状の溶融ガラスを第１成形型上のユニットの数に応じて分離させて分割ガラス滴を形成し、成形型上で再度融合ガラスとして一体化した後に、この融合ガラスを成形型によって押圧する。これにより、製造工程が簡素でありながら、精度良く多数のレンズ部の光学面を成形することができ、良好な光学特性を示すレンズアレイを製造することができる。

本発明に係るレンズアレイ光学系は、複数のレンズ部及び２つの主面を備えるガラスの一体物からなり、正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上のレンズ部を１つのユニットとして、複数のユニットを同一平面に沿って規則的に配列しており、複数のユニットの隣接する一対のユニット間のいずれか一方の主面に溝部を有する。ここで、溝部の最大幅は、溝部を挟んで隣接する一対のレンズ部間の距離の０．３倍以上０．７倍以下とする。或いは、溝部の最大深さは、溝部を挟まない隣接する一対のレンズ部間の厚みの１／５０以上１／５以下とする。或いは、レンズアレイ光学系は、複数のユニットの外側に形成された付加的な複数のレンズ部をさらに備える。

上記レンズアレイ光学系では、ユニットの境界に対応して溝部を有することにより、レンズ部の光学面間内で反射するゴーストを低減することができる。

図１Ａは、第１実施形態に係るレンズアレイ光学系のうち第１レンズアレイを説明する平面図であり、図１Ｂは、レンズアレイ光学系等の断面図である。 図２Ａは、第１実施形態に係るレンズアレイ光学系の製造方法に用いる成形装置を説明する図であり、図２Ｂは、図１Ａの第１成形型の転写面を説明する平面図である。 図３Ａは、第１実施形態に係るレンズアレイ光学系の製造方法に用いる成形装置を説明する別の図であり、図３Ｂ〜３Ｄは、成形装置のうち分割部材を説明する断面図である。 図４Ａ〜４Ｆは、成形装置を用いた第１レンズアレイの製造工程について説明する断面図である。 図５Ａ〜５Ｄは、比較例のレンズアレイ光学系を説明する図である。 第２実施形態に係るレンズアレイ光学系を説明する断面図である。 図７Ａ及び７Ｂは、第３実施形態に係るレンズアレイ光学系を説明する断面図である。 図８Ａ〜８Ｃは、第４実施形態に係るレンズアレイ光学系の製造方法に用いる成形装置のうち分割部材の変形例を説明する図である。

〔第１実施形態〕
図１Ａ及び１Ｂ等を参照して、本発明の第１実施形態に係る、レンズアレイ光学系の製造方法及び当該製造方法によって製造されるレンズアレイ光学系と、これを用いた複眼撮像装置について説明する。

まず、レンズアレイ光学系２０を搭載する撮像装置１００について説明する。図１Ｂに示すように、撮像装置１００は、レンズアレイ光学系２０に形成された複数のレンズ部を用いて複数の画像を撮影し、１つの画像を再構成する複眼撮像装置である。撮像装置１００は、ホルダー１０と、レンズアレイ光学系２０と、後絞り３０と、赤外線カットフィルター４０と、撮像素子アレイ５０とを有する。

ホルダー１０は、レンズアレイ光学系２０、後絞り３０、赤外線カットフィルター４０、及び撮像素子アレイ５０を収納し、保持するためのものである。ホルダー１０には、複数の段部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を有する凹部１１ａが形成されている。凹部１１ａ内には、レンズアレイ光学系２０、後絞り３０、赤外線カットフィルター４０、及び撮像素子アレイ５０が順番にセットされる。各部材２０，３０，４０，５０は、凹部１１ａの各段部Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３によって直接的に又は間接的に位置決めされる。ホルダー１０には、レンズアレイ光学系２０の複数の光学面に対応する格子点位置に円形の開口部１２が形成されている。ホルダー１０は、遮光性の樹脂、例えば黒色顔料等の着色剤を含む液晶ポリマー（ＬＣＰ）やポリフタルアミド（ＰＰＡ）等で形成されている。

レンズアレイ光学系２０は、第１レンズアレイ２１と、第２レンズアレイ２２とを有する。第１及び第２レンズアレイ２１，２２は、光軸ＯＡ方向に積層されている。レンズアレイ光学系２０は、被写体像を撮像素子アレイ５０の撮像面Ｉに結像させる機能を有する。なお、本実施形態において、光軸ＯＡは、それぞれのレンズアレイ内の各レンズ部の光軸であり、各レンズの光軸ＯＡは、全て平行である。

図１Ａ及び１Ｂに示すように、レンズアレイ光学系２０のうち第１レンズアレイ２１は、撮像装置１００の最も物体側に配置される。第１レンズアレイ２１は、光軸ＯＡに垂直な方向に２次元的に配列された複数の第１レンズ部２１１を備えている。第１レンズアレイ２１は、正方形又は四角形の外形を有する。レンズアレイ光学系２０は、後述する成形装置２００によって成形されたガラス成形体ＭＰを例えば実線部分Ｌ１で切り出したものとすることができる。第１レンズアレイ２１内の各第１レンズ部２１１は、繋がった状態で一体に形成されている。具体的には、第１レンズアレイ２１は、第１レンズ本体部２１ａと、その周囲に一体化された第１フランジ部２１ｂとを一組とする多数の第１レンズ部２１１を配列したものである。本実施形態において、第１レンズ本体部２１ａは、破線で示す正多角形の一つである正方形ＲＴの各頂部ＴＰに光軸が一致するようにそれぞれ配置されている。この１つの正方形ＲＴに重なる４つの第１レンズ部２１１が１つのユニットＵＴとなっている。図１Ａに示す第１レンズアレイ２１では、４つのユニットＵＴが同一平面に沿って規則的に配列している。隣接する第１レンズ部２１１間の第１フランジ部２１ｂは一体化されている。第１レンズ本体部２１ａは、物体側に凸形状の非球面である第１光学面２１ｃと、像側に凹形状の非球面である第２光学面２１ｄとを有する。第１フランジ部２１ｂは、第１光学面２１ｃの周囲に広がる平坦な第１フランジ面２１ｅと、第２光学面２１ｄの周囲に広がる平坦な第２フランジ面２１ｆとを有する。第１及び第２フランジ面２１ｅ，２１ｆは、光軸ＯＡに垂直なＸＹ平面に対して平行に配置されている。第１光学面２１ｃ及び第１フランジ面２１ｅによって第１レンズアレイ２１の物体側主面Ａ１が構成され、第２光学面２１ｄ及び第２フランジ面２１ｆによって第１レンズアレイ２１の像側主面Ａ２が構成される。

物体側主面Ａ１の、隣接する一対のユニットＵＴ間には、これらの境界に対応して溝部２１ｇが形成されている。つまり、溝部２１ｇは、レンズアレイ光学系２０の物体側に配置される。これにより、物体側から第１レンズアレイ２１内に入射し像側主面Ａ２で反射され、２つの主面Ａ１，Ａ２間で全反射を繰り返しながら第１レンズアレイ２１内を伝播しようとする光が、溝部２１ｇによって第１レンズアレイ２１外へ導かれることにより、ゴーストの発生を効果的に抑制することができる。溝部２１ｇのＸ方向又はＹ方向の最大幅は、溝部２１ｇを挟んで隣接する一対の第１レンズ部２１１間の距離Ｌの０．３倍以上０．７倍以下とすることが好ましい。また、溝部２１ｇのＺ方向の最大深さは、溝部２１ｇを挟まない隣接する一対の第１レンズ部２１１間の第１フランジ部２１ｂの厚みＴの１／５０以上１／５以下とすることが好ましい。溝部２１ｇの最大幅を上記範囲にすることにより、また、溝部２１ｇの最大深さを上記範囲にすることにより、第１レンズアレイ２１を所望の強度に維持しつつ、ゴーストの低減を図ることができる。

レンズアレイ光学系２０のうち第２レンズアレイ２２は、撮像装置１００の最も像側に配置される。なお、第２レンズアレイ２２の基本的な構造は、第１レンズアレイ２１の構造と略同様であり、同様の部分は適宜省略して説明する。第２レンズアレイ２２は、第１レンズアレイ２１と同様に、光軸ＯＡに垂直な方向に２次元的に配列された複数の第２レンズ部２２１を備えている。第２レンズ部２２１の第２レンズ本体部２２ａについても、第１レンズ本体部２１ａと同様に、正方形の各頂部にそれぞれ配置されている。この１つの正方形の領域に重なる４つの第２レンズ部２２１が１つのユニットとなっている。各第２レンズ部２２１は、第２レンズ本体部２２ａと、その周囲に一体化された第２フランジ部２２ｂとで構成される。隣接する第２レンズ部２２１間の第２フランジ部２２ｂは一体化されている。第２レンズ本体部２２ａは、物体側に凹形状の非球面である第３光学面２２ｃと、像側に凸形状の非球面である第４光学面２２ｄとを有する。第２フランジ部２２ｂは、第３光学面２２ｃの周囲に広がる平坦な第３フランジ面２２ｅと、第４光学面２２ｄの周囲に広がる平坦な第４フランジ面２２ｆとを有する。第３及び第４フランジ面２２ｅ，２２ｆは、光軸ＯＡに垂直なＸＹ平面に対して平行に配置されている。第２レンズ部２２１は、第１レンズ部２１１とともに撮像レンズ２０ｕとしての機能を有する。第３光学面２２ｃ及び第３フランジ面２２ｅによって第２レンズアレイ２２の物体側主面が構成され、第４光学面２２ｄ及び第４フランジ面２２ｆによって第２レンズアレイ２２の像側主面が構成される。

第２レンズアレイ２２の第２フランジ面２２ｅ側のうち隣接する一対のユニット間には、溝部２２ｇが形成されている。つまり、溝部２２ｇは、レンズアレイ光学系２０の第１レンズアレイ２１側又は像側に配置される。溝部２２ｇの寸法（最大幅、最大深さ等）は、第１レンズアレイ２１の溝部２１ｇと同様である。

第１及び第２レンズアレイ２１，２２は、詳細は後述するが、ガラスのプレス成形によって形成される。

後絞り３０は、外形が正方形又は四角形の板状部材であり、レンズアレイ光学系２０と赤外線カットフィルター４０との間に設けられている。後絞り３０は、第１及び第２レンズアレイ２１，２２の第１及び第２レンズ本体部２１ａ，２２ａに対応する位置に正方形又は四角形の開口部３０ａが形成されている。後絞り３０は、撮像素子アレイ５０へ入射する迷光を遮断する。後絞り３０を赤外線カットフィルター４０上に印刷等で形成してもよい。

赤外線カットフィルター４０は、正方形又は四角形の板状部材であり、後絞り３０と撮像素子アレイ５０との間に設けられている。赤外線カットフィルター４０は、赤外線を反射させる機能を有する。

撮像素子アレイ５０は、第１及び第２レンズアレイ２１，２２の各第１及び第２レンズ部２１１，２２１によって形成された被写体像を検出するものである。撮像素子アレイ５０は、光軸ＯＡに垂直な方向に２次元的に配列された撮像素子を備える撮像部５０ａを内蔵している。また、撮像素子アレイ５０のレンズアレイ光学系２０側には、透明な平行平板５０ｂが撮像素子アレイ５０等を覆うように配置・固定されている。撮像部５０ａは、固体撮像素子アレイからなるセンサーチップである。撮像部５０ａの光電変換部（不図示）は、ＣＣＤやＣＭＯＳからなり、入射光をＲＧＢ毎に光電変換し、そのアナログ信号を出力する。受光部としての光電変換部の表面は、撮像面（被投影面）Ｉとなっている。撮像素子アレイ５０は、不図示の配線基板によって固定されている。この配線基板は、外部回路から撮像部５０ａを駆動するための電圧や信号の供給を受けたり、検出信号を上記外部回路へ出力したりする。

以下、レンズアレイ光学系２０を構成する第１及び第２レンズアレイ２１，２２を製造するための成形装置２００について説明する。
図２Ａに示すように、成形金型３００を組み込んだ成形装置２００は、原材料であるガラスを溶融して直接プレスする加圧成形のための装置である。成形装置２００は、主要な部材である成形金型３００の他に、第１及び第２レンズアレイ２１，２２の製造にあたって成形金型３００に移動、開閉動作等を行わせるための制御駆動装置２００ａ、ガラス滴形成装置２００ｂ（図３Ａ等参照）等をさらに備える。第２レンズアレイ２２の製造方法は、第１レンズアレイ２１の製造方法と同様であるため、以下、主に第１レンズアレイ２１について説明する。

成形金型３００は、固定側の第１成形型６１と、可動側の第２成形型６２とを備える。成形の際、第１成形型６１は固定状態に維持され、第２成形型６２は第１成形型６１に対向するように移動して、両型６１，６２を互いに突き合わせるような型閉じが行われる。

まず、図２Ａ及び２Ｂを参照しつつ第１成形型６１について説明する。第１成形型６１は、型本体６１ａと、支持部６１ｂと、ヒーター部６１ｃとを備える。第１成形型６１のうち型本体６１ａは円筒状であり、第１転写面６１ｄを有する。第１転写面６１ｄは、第１レンズアレイ２１のうち第１光学面２１ｃを形成するための複数の第１光学転写面６１ｆと、第１フランジ面２１ｅを形成するための第１フランジ転写面６１ｇとを含む。第１光学転写面６１ｆは、第１レンズアレイ２１の第１レンズ本体部２１ａの位置に対応しており、破線で示す正方形ＲＴの各頂部ＴＰに中心が一致するようにそれぞれ配置されている。この１つの正方形ＲＴに重なる４つの第１光学転写面６１ｆを１つのユニットとして、その周囲の第１フランジ転写面６１ｇととともに１つの第１ユニット転写面ＵＴｖ１を構成している。第１ユニット転写面ＵＴｖ１は、格子状又はマトリックス状に配列される。詳細は後述するが、第１転写面６１ｄに滴下される分割ガラス滴Ｋ（図３Ａ参照）は、液滴状の溶融ガラスが複数の液滴状に分割されたものであり、分割ガラス滴Ｋの滴下位置６１ｍは、第１ユニット転写面ＵＴｖ１の中心部であり、分割ガラス滴Ｋの滴下位置６１ｍも格子状又はマトリックス状に配列することになる。第１フランジ転写面６１ｇは、第１転写面６１ｄ上に２次元的に配列された複数の第１光学転写面６１ｆを除いた型面として、各第１光学転写面６１ｆの外縁から他の第１光学転写面６１ｆ又は第１転写面６１ｄの周辺に向けて延びている。ユニット転写面ＵＴｖ１を格子状に配列すること（具体的には、平面格子の各点に配置すること）により、複数の第１光学転写面６１ｆが格子状に配列され、分割ガラス滴Ｋの滴下位置も格子状に配列することになるので、第１光学転写面６１ｆに対する分割ガラス滴Ｋの広がりを均一にしやすくなる。また、第１光学転写面６１ｆを格子状に配列することで、分割ガラス滴Ｋを１つのユニット転写面ＵＴｖ１の中心に滴下すると、それぞれの第１光学転写面６１ｆまでの距離が等しくなり、溶融ガラスの挙動が各第１光学転写面６１ｆで類似したものになる。従って、レンズ部２１１間の品質ばらつきが少ない安定した成形を行うことができる。特に、第１光学転写面６１ｆを四角形格子状に配列することにより、マトリクス状にレンズ部２１１が配置されたレンズアレイ光学系２０を精度良く作製することができる。

第１成形型６１の支持部６１ｂの根元に設けたヒーター部６１ｃには、型本体６１ａを適度に加熱するための電気ヒーター６１ｈが内蔵されている。

次に、第２成形型６２について説明する。図２Ａに示すように、第２成形型６２は、型本体６２ａと、支持部６２ｂと、ヒーター部６２ｃとを備える。

第２成形型６２のうち型本体６２ａは円筒状であり、第２転写面６２ｄを有する。第２転写面６２ｄは、第１レンズアレイ２１のうち第２光学面２２ｃを形成するための複数の第２光学転写面６２ｆと、第２フランジ面２２ｅを形成するための第２フランジ転写面６２ｇとを含む。第２光学転写面６２ｆは、第１レンズアレイ２１の第１レンズ本体部２１ａの位置に対応しており、第１光学転写面６１ｆと同様に、正方形の各頂部に中心が一致するようにそれぞれ配置されている。この１つの正方形に重なる４つの第２光学転写面６２ｆを１つのユニットとして、その周囲の第２フランジ転写面６２ｇととともに１つの第２ユニット転写面ＵＴｖ２を構成している。第２光学転写面６２ｆは、図２Ｂの第１光学転写面６１ｆと同様に格子状に配列される。

第２成形型６２の支持部６２ｂの根元に設けたヒーター部６２ｃには、型本体６２ａを適度に加熱するための電気ヒーター６２ｈが内蔵されている。

第２成形型６２と第１成形型６１とは、加圧成形時において、第２成形型６２の第２転写面６２ｄと、第１成形型６１の第１転写面６１ｄとがそれぞれ同軸に配置され、プレス時及び冷却時に互いに所定間隔だけ離間する等、適切な位置関係を保つものとなっている。

制御駆動装置２００ａは、成形金型３００による第１レンズアレイ２１の成形のために、電気ヒーター６１ｈ，６２ｈへの給電の制御や、第１成形型６１及び第２成形型６２の開閉動作等の成形金型３００を組み込んだ成形装置２００全体の制御を行う。なお、制御駆動装置２００ａに駆動された第２成形型６２は、図２Ａに示すように、水平なＡＢ方向に移動可能であるとともに、鉛直のＣＤ方向に移動可能になっている。例えば両型６１，６２を合わせて型閉じを行う際には、まず第１成形型６１の上方位置に第２成形型６２を移動させて両型６１，６２の軸ＣＸ１，ＣＸ２を一致させ、延いては上側の第２光学転写面６２ｆと下側の第１光学転写面６１ｆとをそれぞれ一致させ、第２成形型６２を降下させて第１成形型６１側に所定の力で押し付ける。

図３Ａに示すように、ガラス滴形成装置２００ｂは、原材料供給部７１と、分割部材７２とを有する。原材料供給部７１及び分割部材７２は不図示のヒーターにより加熱され、原材料供給部７１内のガラスを溶融状態にしており、分割部材７２を通過するガラスの溶融状態を維持している。原材料供給部７１は、制御駆動装置２００ａにより移動や溶融ガラスＧの滴下タイミングが制御される。

原材料供給部７１は、不図示の坩堝等で溶融させた溶融ガラスＧを溜めており、所定のタイミングで溶融ガラスＧをノズル７１ａから吐出することにより、液滴状の溶融ガラスＧである溶融ガラス滴ＧＤを滴下させて、分割部材７２に供給する部分である。

分割部材７２は、原材料供給部７１から供給された単一の溶融ガラス滴ＧＤから複数の分割ガラス滴Ｋを形成するためのものである。この分割部材７２は、原材料供給部７１の下部に設けられたノズル７１ａの直下に配置されている。図３Ｂ〜３Ｄに示すように、分割部材７２は、本体部７２ａと、仕切りプレート７２ｂとを有する。

分割部材７２の本体部７２ａは、原材料供給部７１のノズル７１ａに対向する位置に貫通孔７２ｃを有する。貫通孔７２ｃの内径は、原材料供給部７１のノズル７１ａから滴下される溶融ガラス滴ＧＤの外径と略同一又はやや小さい。本体部７２ａは、原材料供給部７１から供給された溶融ガラス滴ＧＤを貫通孔７２ｃに導くとともに、溶融ガラス滴ＧＤの飛散を防止する。

仕切りプレート７２ｂは、溶融ガラス滴ＧＤを複数の分割ガラス滴Ｋに分裂させる部材である。仕切りプレート７２ｂは、本体部７２ａの内部すなわち貫通孔７２ｃ内に配置された断面が十字形状を有する部材であり、４つの板部分を組み合わせたものとみることができる。仕切りプレート７２ｂ及び本体部７２ａは一体物であってもよい。仕切りプレート７２ｂによって貫通孔７２ｃ内に複数の開口７２ｄが形成されており、これらの開口７２ｄは、第１成形型６１に設けられたユニット転写面ＵＴｖ１の数に対応している。本実施形態においては、ユニットＵＴが４つ設けられているため、４つの開口７２ｄが設けられている。また、各開口７２ｄは、形成される分割ガラス滴Ｋがユニット転写面ＵＴｖ１の中心部に滴下されるように配置される。ここでは、４つの開口７２ｄの中心部を結んだ形状と、４つのユニット転写面ＵＴｖ１の中心部を結んだ形状とは相似形としている。このようにすることで、分割ガラス滴Ｋがユニット転写面ＵＴｖ１の中心部に重なるように滴下されやすくなる。仕切りプレート７２ｂの材料としては、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の耐熱性のある金属や合金を用いることができる。仕切りプレート７２ｂの表面には、ＣｒコートやＰｔ−Ｉｒコート等の処理を施すことが好ましい。コート層を設けることにより、仕切りプレート７２ｂへのガラスの付着を防止することができる。仕切りプレート７２ｂの板部分の厚さは、例えば１ｍｍ程度にすることができる。

以上のように、溶融ガラスＧは、原材料供給部７１のノズル７１ａから溶融ガラス滴ＧＤとして分割部材７２の本体部７２ａに供給され、仕切りプレート７２ｂを通過する際に分割され、分割部材７２の出口から個別に滴下されることにより複数の分割ガラス滴Ｋとなる。分割部材７２を用いることにより、分割部材７２の開口に応じて分割ガラス滴Ｋの大きさや数を制御することができる。なお、仕切りプレート７２ｂの厚みにより、分割ガラス滴Ｋの落下位置を調整することができる。

以下、図４Ａ〜４Ｆ等を参照して、図２Ａ等に示す成形金型３００を用いた複数の第１レンズアレイ２１を含むガラス成形体ＭＰの製造方法について説明する。

まず、図３Ａ及び図４Ａに示すように、ガラス滴形成装置２００ｂの分割部材７２を第１成形型６１の第１転写面６１ｄの中心部（具体的には、図２Ｂに示す複数のユニット転写面ＵＴｖ１全体の中心部）に、仕切りプレート７２ｂの中心が一致するように第１成形型６１の上方に配置する。分割部材７２において、原材料供給部７１のノズル７１ａから滴下した溶融ガラス滴ＧＤを受け、溶融ガラス滴ＧＤから複数の液滴状に分割された分割ガラス滴Ｋを分割部材７２の各開口７２ｄから第１転写面６１ｄ上に自然滴下させる。複数の分割ガラス滴Ｋは、対応するユニット転写面ＵＴｖ１の正方形の中心部（図２Ｂに示す滴下位置６１ｍ）に向けて同時に滴下される（滴下工程）。この際、溶融ガラスＧの滴下に先立って、第１転写面６１ｄを電気ヒーター６１ｈにて、第１レンズアレイ２１の原材料である光学素子用の溶融ガラス滴ＧＤのガラス転移点温度程度の温度に加熱しておく。各分割ガラス滴Ｋは、互いに略等しい体積を有しており、全体としてガラス成形体ＭＰの体積に略等しい所望の重量となっている。ここで、溶融ガラスＧに用いる原材料のガラスとしては、例えば、リン酸塩系ガラス等が用いられる。なお、分割ガラス滴Ｋの滴下後はガラス滴形成装置２００ｂを第２成形型６２の昇降に邪魔にならない位置へ退避させておく。また、分割部材７２を退避させるタイミングは早い方がよい。

図４Ｂ及び４Ｃに示すように、分割ガラス滴Ｋは、滴下後において、各ユニットＵＴの第１転写面６１ｄ上で流動して広がり、第１光学転写面６１ｆや第１フランジ転写面６１ｇを満たす。その後、図４Ｄに示すように、隣接するユニット転写面ＵＴｖ１間でそれぞれのユニット転写面ＵＴｖ１に滴下された分割ガラス滴Ｋは、互いに接続し、融合ガラスＦＧとなる。この際、第１成形型６１の第１転写面６１ｄ側の融合ガラスＦＧの中心部分には、十字状の空間が生じる。この空間は最終的に上述した溝部２１ｇとなる。図４Ｅに示すように、融合ガラスＦＧが完全に固化する前であり加圧変形可能な温度の間に、第１成形型６１上の融合ガラスＦＧに第２成形型６２を相対的に押圧して成形する（成形工程）。この際、第１成形型６１の上方位置に第２成形型６２を移動させて両型６１，６２の軸ＣＸ１，ＣＸ２を一致させ、延いては上側の第２光学転写面６２ｆと下側の第１光学転写面６１ｆとをそれぞれ一致させた状態で押圧する。なお、第２成形型６２は、第１成形型６１と同程度の温度に加熱されている。

次に、融合ガラスＦＧの温度が漸次低下していくことにより、第１レンズアレイ２１の第１及び第２光学面２１ｃ，２１ｄと、第１及び第２フランジ面２１ｅ，２１ｆとを含むガラス成形体ＭＰが成形される。ガラス成形体ＭＰを十分に冷却した後、第１成形型６１及び第２成形型６２の加圧を解除して、図４Ｆに示すように、第２成形型６２を上昇させることにより、ガラス成形体ＭＰを離型し、型外へ取り出す（取出工程）。

取出工程後、ガラス成形体ＭＰは、外側の第１フランジ部２１ｂをダイサー等を利用して切断線ＤＬ（図４Ｆ参照）に沿って切り出すことで正方形又は四角形に整形して図１Ｂ等に示すような第１レンズアレイ２１を得る（切出工程）。

第２レンズアレイ２２についても第１レンズアレイ２１と同様に製造する。その後、第１及び第２レンズアレイ２１，２２を第２光学面２１ｄと第３光学面２２ｃとが互いに対向するように積層した状態で接着剤によって接合する。これにより、図１Ｂ等に示すレンズアレイ光学系２０が形成される。その後、レンズアレイ光学系２０やその他の部材３０，４０，５０をホルダー１０に組み込むことにより、撮像装置１００が完成する。

上記レンズアレイ光学系の製造方法によれば、溶融ガラス滴ＧＤを第１成形型６１上の第１転写面６１ｄのユニット転写面ＵＴｖ１の数に応じて分離させて分割ガラス滴Ｋを形成し、第１成形型６１上に滴下する。つまり、溶融ガラス滴ＧＤを直接第１成形型６１に供給するのではなく、分割を経た上で第１成形型６１に到達させる。従って、個々の分割ガラス滴Ｋは溶融ガラス滴ＧＤよりも体積が減少し、第１成形型６１へ到達する際の衝撃が小さくなり、第１成形型６１上で広がる速度が抑えられることで、気泡巻き込みを生じることなく、第１及び第２転写面６１ｄ，６２ｄの通りにガラスが充填し転写される。また、得ようとする第１レンズ部２１１のサグ量が大きく、第１光学転写面６１ｆが深い場合であっても、充填不足や転写不良が生じにくい。また、１つの溶融ガラス滴ＧＤを落下させて分割部材７２で複数の分割ガラス滴Ｋを生成するので、各分割ガラス滴Ｋをほぼ同時に第１成形型６１に到達させることができる。従って、第１成形型６１への到達タイミングが分割ガラス滴Ｋ間でずれることに起因する成形不良が防止され、また、時系列に各光学転写面６１ｆに分割ガラス滴Ｋを配置する必要がないため、押圧までに分割ガラス滴Ｋが冷えて硬くなり所望の厚みまで成形できなくなることが回避される。さらに、第１成形型６１上で再度融合ガラスＦＧとして一体化させてから第１及び第２成形型６１，６２によって押圧するので、第１及び第２レンズ部２１１，２２１の第１〜第４光学面２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，２２ｄの転写性を均一に安定させることができる。また、融合ガラスＦＧにおいて各ユニット転写面ＵＴｖ１に対応する領域内外において界面が生じにくくなり、第１及び第２レンズアレイ２１，２２の内部欠陥やクラックの発生を防ぐことができ、強度の低下を抑えることができる。また、ガラス滴が分割された状態では、供給されるガラスの大きさにある程度のばらつきが生じたとしても、各ユニット転写面ＵＴｖ１の中心部に各分割ガラス滴Ｋを同時に滴下させ、滴下後に融合ガラスＦＧとして１つにまとまるので、各分割ガラス滴Ｋが対応する第１光学転写面６１ｆを満たすのに必要な量以上の体積を有しておりさえすれば、ばらつきの影響は解消される。これにより、滴下量の厳密な管理が不要となる。また、第１成形型６１上で１つになりガラスの全体の体積が大きくなることで、ガラスの蓄熱がされ、ガラスの内部まで冷える時間が長くなる。これにより、レンズ部２１１，２２１が薄くなり過ぎたり厳しい成形条件で成形せざるを得なくなったりすることを避けて安定した精度での成形を実現でき、延いては、金型寿命を長くすることができる。また、分割ガラス滴Ｋを第１光学面２１ｃに対応する第１光学転写面６１ｆ以外の位置に滴下することにより、第１光学転写面６１ｆ等に滴下痕（微小な空気溜まり）が形成されることを防ぐことができる。このようにして、本実施形態のレンズアレイ光学系の製造方法においては、製造工程が簡素でありながら、精度良くレンズ部２１１，２２１の光学面２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，２２ｄを成形することができ、良好な光学特性を示すレンズアレイ２１，２２を製造することができる。なお、ガラスの供給側の面（第１成形型６１側の面、すなわち第１及び第２レンズアレイ２１，２２の第１及び第４フランジ面２１ｅ，２２ｆ）には、個々のガラスが繋がった部分に十字状に極浅い溝が形成され、これらが図１で説明した溝部２１ｇ，２２ｇとなる。これらの溝部２１ｇ、２２ｇにおいても、第１及び第２レンズアレイ２１，２２の内部には境界がなく、強度、脈理等の部品性能に問題はない。

なお、上述したように、ガラス滴を分割を経て第１成形型６１に到達させることで、第１成形型６１上で広がる速度が抑えられるので、特許文献３に記載されるようなガラス滴の流れを変えるための凸部を成形型上に設けなくても（すなわち、ユニット転写面ＵＴｖ１の中心部が平坦なままでも）、第１及び第２転写面６１ｄ，６２ｄへ良好にガラスを充填することができる。しかしながら、充填性をさらに良好にしたいのであれば、ユニット転写面ＵＴｖ１の中心部に凸部を形成してもよい。

図５Ｄに示すように、同一面に多数の光学面２４ｃが配置された構成のレンズ部２４１を１つの溶融ガラスを滴下することにより製造しようとすると、滴下中心２５から光学面２４ｃに対応する転写面までの位置により滴下時に金型と供給ガラスとの間に空気が残ることによる転写不良が発生しやすくなる。例えば、図５Ａに示すように、４×４個の光学転写面の中心に１つのガラス滴を滴下する場合、滴下中心２５から最も近い領域ＡＲ１（図５Ｄ参照）において、レンズ部２４１には転写不良は生じないが、図５Ｂ及び５Ｃに示すように、滴下中心２５から遠い領域ＡＲ２，ＡＲ３（図５Ｄ参照）において、レンズ部２４１には滴下中心２５から放射線上に延びる方向であって、転写面の内側に転写されていない部分２６が残る場合がある。この場合、領域ＡＲ３のレンズ部２４１は、領域ＡＲ２のレンズ部２４１よりも滴下中心２５から離れているため、概して、転写しない部分２６が大きくなる。

〔第２実施形態〕
以下、本発明に係る第２実施形態のレンズアレイ光学系について説明する。第２実施形態のレンズアレイ光学系は、第１実施形態のレンズアレイ光学系を変形したものであり、特に説明しない事項は、第１実施形態と同様である。

図６に示すように、レンズアレイ光学系２０は、第１、第２及び第３レンズアレイ２１，２２，２３を有する。

レンズアレイ光学系２０のうち第１レンズアレイ２１は、撮像装置１００の最も物体側に配置される。第１レンズアレイ２１の物体側主面の第１フランジ面２１ｅのうち隣接する一対のユニットＵＴ間には、溝部２１ｇが形成されている。つまり、溝部２１ｇは、レンズアレイ光学系２０の物体側に配置される。

第２レンズアレイ２２は、第１レンズアレイ２１と第３レンズアレイ２３との間に配置される。第２レンズアレイ２２の像側主面の第４フランジ面２２ｆ側のうち隣接する一対のユニット間には、溝部２２ｇが形成されている。つまり、溝部２２ｇは、もう一方のレンズアレイ（本実施形態では第３レンズアレイ２３）に向かい合う主面に配置される。溝部２２ｇは、第２レンズアレイ２２と第３レンズアレイ２３との接合面の空気抜きとして機能する。

第３レンズアレイ２３は、撮像装置１００の最も像側に配置される。第３レンズアレイ２３は、第１レンズアレイ２１等と同様に、光軸ＯＡに垂直な方向に２次元的に配列された複数の第３レンズ部２３１で構成されている。図示を省略するが、第３レンズ本体部２３ａについても、第１レンズ本体部２１ａと同様に、正方形の各頂部にそれぞれ配置されている。この１つの正方形の領域内に含まれる４つの第３レンズ部２３１が１つのユニットとなっている。各第３レンズ部２３１は、第３レンズ本体部２３ａと、その周囲に一体化された第３フランジ部２３ｂとで構成される。隣接する各第３レンズ部２３１の第３フランジ部２３ｂは一体化されている。第３レンズ本体部２３ａは、物体側に凹形状の非球面である第５光学面２３ｃと、像側に凸形状の非球面である第６光学面２３ｄとを有する。第３フランジ部２３ｂは、第５光学面２３ｃの周囲に広がる平坦な第５フランジ面２３ｅと、第６光学面２３ｄの周囲に広がる平坦な第６フランジ面２３ｆとを有する。第５及び第６フランジ面２３ｅ，２３ｆは、光軸ＯＡに垂直なＸＹ平面に対して平行に配置されている。第３レンズ部２３１は、第１及び第２レンズ部２１１，２２１とともに撮像レンズ２０ｕとしての機能を有する。

第３レンズアレイ２３の物体側主面の第６フランジ面２３ｆ側のうち隣接する一対のユニット間には、溝部２３ｇが形成されている。つまり、溝部２３ｇは、レンズアレイ光学系２０の像側に配置される。

〔第３実施形態〕
以下、本発明に係る第３実施形態のレンズアレイ光学系の製造方法及びレンズアレイ光学系について説明する。第３実施形態は、第１実施形態を変形したものであり、特に説明しない事項は、第１実施形態と同様である。

図７Ａ及び７Ｂに示すように、第１レンズアレイ２１を含むガラス成形体ＭＰを形成する際に、複数のユニットＵＴの外側に付加的な複数のレンズ部ＬＰを設けてもよい。図７Ａは、マトリクス配列された５×５個の第１レンズ部２１１を持つ第１レンズアレイ２１を得るために、マトリクス配列された６×６個の光学転写面を持つ成形型で成形を行う例を示し、図７Ｂは、千鳥配列された１８個の第１レンズ部２１１を持つ第１レンズアレイ２１を得るために、千鳥配列された２７個の光学転写面を持つ成形型で成形を行う例を示している。このように、第１レンズアレイ２１の最外周に、必要な個数よりも多い少なくとも１つのレンズ部ＬＰを設けることにより、成形が安定し、精度良く第１レンズアレイ２１を成形することができる。必要な個数よりも多いレンズ部を形成した後、必要に応じてレンズ部ＬＰを後工程で除去してもよい。図７Ａの例のように、列方向及び行方向のうち少なくとも一方において奇数個の第１レンズ部２１１を有する第１レンズアレイ２１を得たい場合、６×６個の第１レンズ部２１１を形成した後、二点鎖線Ｌ２の位置で切断し、外側のレンズ部ＬＰすなわち最外周に位置する少なくとも１つのレンズ部を捨てレンズ部として除去することで、５×５個の第１レンズ部２１１を配置する第１レンズアレイ２１を作製することができる。列方向のみ又は行方向のみ切断すれば、５×６個又は６×５個の第１レンズ部２１１を有する第１レンズアレイ２１を作製することもできる。また、図７Ｂに示すように、正三角形の頂点に配置される３つの第１レンズ部２１１を１つのユニットとして複数のユニットを配列し、全体として２７個の第１レンズ部２１１を千鳥配置した場合も、外側のレンズ部ＬＰを切断して除去することにより、１８個の第１レンズ部２１１を有する第１レンズアレイ２１を作製することができる。つまり、成形後に外側の不要なレンズ部ＬＰを切断して除去することにより、列及び／又は行方向における第１レンズ部２１１の数を偶数から奇数へあるいはその逆へと調整することができ、また、成形のみでは得ることが難しい配列で配置された第１レンズ部２１１を有する第１レンズアレイ２１を得ることができる。なお、図７Ｂに示す例において、切断ラインを直線的にした場合、レンズ部ＬＰが切断ラインに重なる場合は、これを迂回するように切断してもよい。

〔第４実施形態〕
以下、本発明に係る第４実施形態のレンズアレイ光学系の製造方法について説明する。第４実施形態のレンズアレイ光学系の製造方法は、第１実施形態のレンズアレイ光学系の製造方法を変形したものであり、特に説明しない事項は、第１実施形態と同様である。

図８Ａ及び８Ｂに示すように、分割部材１７２は、図３Ｂ〜３Ｄに示す分割部材７２の本体部７２ａの下端を延長し、仕切りプレート７２ｂや開口７２ｄの下端よりも鉛直方向下方に延びる外枠又は外枠部７２ｆを有する。この場合、外枠部７２ｆにおいて、複数の分割ガラス滴Ｋを独立して１つに留めやすくなり、分割ガラス滴Ｋの大きさや滴下位置のばらつきをより抑えることができる。

貫通孔を形成する本体の外観形状は、図８Ａ及び８Ｂに示すような四角柱形状でもよいし、図８Ｃに示すような円柱形状でもよい。

また、本体部７２ａと仕切りプレート７２ｂの長さをともに長くして、分割ガラス滴Ｋの大きさや滴下位置のばらつきを抑えるようにしてもよい。

以上、本実施形態に係るレンズアレイ光学系の製造方法等について説明したが、本発明に係るレンズアレイ光学系の製造方法等は上記のものには限られない。例えば、上記実施形態において、第１レンズアレイ２１の第１レンズ部２１１等の形状、配置、数等は、適宜変更することができる。例えば、第１レンズ部２１１等を正三角形の格子状に配列してもよい。

ユニットＵＴを構成する第１レンズ部２１１を正方形や正三形のような正多角形の頂点に配置する場合における、正多角形は厳密なものではなく若干の誤差があってもよい。つまり、本願明細書においては、レンズアレイ光学系に求められる光学性能の許容誤差範囲内であれば、ユニットを構成するレンズ配置に関する多角形の各辺の長さにばらつきがあったとしても正多角形であるものとみなす。

また、上記実施形態において、レンズアレイを２枚や３枚積層したが、１枚のみでレンズアレイ光学系２０として用いてもよい。この場合、溝部２１ｇが形成される第１フランジ面２１ｅ側を物体側に配置することが好ましい。

第１レンズアレイ２１、第２レンズアレイ２２等は、同様の方法によって作製され同様の構造を有するものに限らない。例えば第２レンズアレイ２２については、第１レンズアレイ２１のような溝部２１ｇ，２２ｇ，２３ｇを設けない構造又は形状とすることもできる。

また、上記実施形態において、分割部材７２の溶融ガラス滴ＧＤを分割する部材として、仕切りプレート７２ｂを用いたが、ワイヤーを用いて十字状にしてもよい。また、仕切りプレート７２ｂの形状は、ユニットＵＴを構成する第１レンズ部２１１等の配置によって適宜変更することができる。

また、上記実施形態において、第１成形型６１の第１光学転写面６１ｆの形状は凹形状が好ましいが、第２成形型６２の第２光学転写面６２ｆの形状は凹形状でも凸形状でもよい。また、第１光学面〜第４光学面２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，２２ｄの形状は非球面としたが、これに限るものではなく、求められる性能や用途に合わせて、適宜最適な形状を採用すればよい。

また、上記実施形態において、撮像部５０ａを２次元的に配列させた撮像素子アレイ５０を用いたが、アレイ状のものに限らず、全面が撮像素子であるものを設けてもよい。

Claims (14)

1. 液滴状の溶融ガラスを複数の液滴状に分割した分割ガラス滴を、正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上のレンズ部成形用の第１光学転写面を１つのユニットとして複数の前記ユニットを同一平面に沿って規則的に配列した第１成形型の第１転写面に対して、前記各ユニットの前記正多角形の中心部に向けて同時に滴下し、
   前記第１転写面上で前記分割ガラス滴が流動して隣接するユニット間でそれぞれの前記分割ガラス滴が互いに接続して融合ガラスに形成された後、前記融合ガラスが完全に固化する前に、複数の前記第１光学転写面にそれぞれ対応する複数の第２光学転写面を含む第２成形型を、前記第１成形型上の前記融合ガラスに対して相対的に押圧して成形し、
   前記第１及び第２成形型から離型して複数のレンズ部を備えるガラスの一体物からなるレンズアレイを得る、レンズアレイ光学系の製造方法。
2. 複数の前記ユニットは、格子状に配列される、請求項１に記載のレンズアレイ光学系の製造方法。
3. 複数の前記第１光学転写面は、矩形格子状に配列し、
   前記正多角形は、正方形である、請求項１及び２のいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系の製造方法。
4. 複数の開口を有する分割部材に対して、前記液滴状の溶融ガラスを滴下することにより、前記液滴状の溶融ガラスが複数の液滴状に分割された前記分割ガラス滴を得る、請求項１から３までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系の製造方法。
5. 前記分割部材は前記開口の下部に外枠を有する、請求項４に記載のレンズアレイ光学系の製造方法。
6. 前記レンズアレイの最外周に位置する少なくとも１つのレンズ部を切断によって除去する、請求項１から５までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系の製造方法。
7. 複数のレンズ部及び２つの主面を備えるガラスの一体物からなり、
   正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上の前記レンズ部を１つのユニットとして、複数の前記ユニットを同一平面に沿って規則的に配列しており、
   複数の前記ユニットの隣接する一対のユニット間のいずれか一方の主面に溝部を有し、
   前記溝部の最大幅は、前記溝部を挟んで隣接する一対のレンズ部間の距離の０．３倍以上０．７倍以下である、レンズアレイ光学系。
8. 複数のレンズ部及び２つの主面を備えるガラスの一体物からなり、
   正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上の前記レンズ部を１つのユニットとして、複数の前記ユニットを同一平面に沿って規則的に配列しており、
   複数の前記ユニットの隣接する一対のユニット間のいずれか一方の主面に溝部を有し、
   前記溝部の最大深さは、前記溝部を挟まない隣接する一対のレンズ部間の厚みの１／５０以上１／５以下である、レンズアレイ光学系。
9. 複数のレンズ部及び２つの主面を備えるガラスの一体物からなり、
   正多角形の各頂部に重なるようにそれぞれ配置された３つ以上の前記レンズ部を１つのユニットとして、複数の前記ユニットを同一平面に沿って規則的に配列しており、
   複数の前記ユニットの隣接する一対のユニット間のいずれか一方の主面に溝部を有し、
   複数の前記ユニットの外側に形成された付加的な複数のレンズ部をさらに備える、レンズアレイ光学系。
10. 複数の前記ユニットは、格子状に配列される、請求項７から９までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系。
11. 複数の前記レンズ部は、矩形格子状に配列し、
    前記正多角形は、正方形である、請求項７から１０までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系。
12. 前記溝部は物体側の主面に配置される、請求項７から１１までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系。
13. 光軸方向に積層された複数のレンズアレイを備え、該複数のレンズアレイのうち少なくとも１つが、請求項７から１２までのいずれか一項に記載のレンズアレイ光学系である、レンズアレイ光学系。
14. 前記少なくとも１つのレンズアレイは、他のレンズアレイに対向する側の主面に前記溝部が設けられている、請求項１３に記載のレンズアレイ光学系。

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