JP6533666B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1によるプローブユニット1の一構成例を示した図であり、図中の(a)には、プローブユニット1を鉛直方向から見た場合が示され、(b)には、プローブユニット1を水平方向から見た場合が示されている。図2は、図1のプローブユニット1を示した断面図であり、プローブユニット1をA−A切断線により切断した場合の切断面の一部が示されている。
プローブユニット1は、後述する配線基板に取り付けられるモジュールであり、3以上のプローブ2と、プローブ連結部材3、ハンドリングプレート4及びプレート連結部材5とにより構成される。プローブユニット1を配線基板に取り付けることにより、3以上のプローブ2が配線基板に同時に取り付けられる。
図3は、図1のプローブユニット1の製造工程の一例を模式的に示した説明図であり、図中の(a)〜(f)には、基材S0上にプローブユニット1を形成するための作業工程が示されている。
図4及び図5は、プローブカードの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。図4の(a)〜(c)には、図1のプローブユニット1をパレット12から取り出して配線基板13に取り付ける工程が示されている。図5の(a)及び(b)には、配線基板13に取り付けられたプローブユニット1からプローブ連結部材3、ハンドリングプレート4及びプレート連結部材5を取り除く工程が示されている。
実施の形態1では、プローブ連結部材3が1つの環状部材からなる場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、プローブ連結部材3が共通リング、接地リング及び電源リングの3つの環状部材からなる場合について説明する。
実施の形態2では、プローブ2のベース部23と接地リング32又は電源リング33とを連結する接続部材24が設けられる場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、プローブユニット1を配線基板13に取り付けた後に、接続部材を切断し、除去することにより、信号用プローブ2a、接地用プローブ2b又は電源用プローブ2cの割り付けが行われる場合について説明する。
2 プローブ
21 コンタクト部
22 ビーム部
23 ベース部
24,24a及び24b 接続部材
3 プローブ連結部材
31 共通リング
32 接地リング
33 電源リング
4 ハンドリングプレート
5 プレート連結部材
6 仮想平面
10 マウンタ装置
11 バキュームノズル
12 パレット
13 配線基板
14 配線用電極
15 はんだ膜
16 レーザー加工装置
17 レーザー光
Claims (7)
- 水平方向に延びるビーム部の自由端にコンタクト部が設けられ、上記ビーム部の固定端の下方にベース部が設けられた3以上のプローブと、
上記プローブの上記ベース部を互いに連結するプローブ連結部材と、
上記プローブ連結部材又は上記プローブに連結されたハンドリングプレートとを備え、
上記プローブ連結部材は、上記ハンドリングプレートを取り囲む環状形状を有し、
上記ビーム部は、上記プローブ連結部材から内側に向かって延びる形状を有し、
上記ハンドリングプレートは、上記ビーム部よりも下方に配置され、上記コンタクト部よりも更に内側に吸着領域を有することを特徴とするプローブユニット。 - 上記ハンドリングプレートは、細長い形状からなるプレート連結部を介して上記プローブ連結部材又は上記プローブに連結されることを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
- 上記プローブ連結部材は、共通リング、接地リング及び電源リングにより構成され、
上記共通リングには、全ての上記プローブが連結され、
上記接地リングには、接地用の上記プローブが連結され、
上記電源リングには、電源用の上記プローブが連結されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブユニット。 - 全ての上記プローブが上記共通リング、上記接地リング及び上記電源リングの全てと連結された状態から、上記プローブと上記接地リングとの連結又は上記プローブと上記電源リングとの連結が選択的に除去された状態に遷移可能であることを特徴とする請求項3に記載のプローブユニット。
- 上記共通リングは、上記接地リング及び上記電源リングよりも内側に配置されることを特徴とする請求項3に記載のプローブユニット。
- 上記接地リング及び上記電源リングは、上記ビーム部の延伸方向に間隔を空けて配置されることを特徴とする請求項5に記載のプローブユニット。
- 上記プローブ、上記プローブ連結部材及び上記ハンドリングプレートは、上記ハンドリングプレートに対する上記コンタクト部の高さ方向に金属材料を積層することによって形成されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプローブユニット。
Priority Applications (1)
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JP2015023980A JP6533666B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015023980A JP6533666B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | プローブユニット |
Publications (2)
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JP2016148523A JP2016148523A (ja) | 2016-08-18 |
JP6533666B2 true JP6533666B2 (ja) | 2019-06-19 |
Family
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Family Applications (1)
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- 2015-02-10 JP JP2015023980A patent/JP6533666B2/ja active Active
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