JP6530600B2 - 放射線検出装置及び放射線検出システム - Google Patents
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Description
図1から9を参照して、第1の実施形態による放射線検出装置の構造を説明する。図1は、第1の実施形態における放射線検出装置101を模式的に示す全体図である。放射線検出装置101の放射線を検出する撮影領域107に、複数の画素が2次元行列的にアレイ状に配されている。撮影領域107に配された複数の画素は2種類の画素を含む。1つは放射線を検出した画像を取得するための第1の画素である撮像画素110であり、もう1つは放射線の照射情報を取得するための第2の画素である検出画素111である。本実施形態では撮影領域107に2種類の画素のみが配されるが、他の種類の画素が配されてもよい。図1には説明を簡単にするために検出画素111を1つのみ示しているが、撮影領域107には複数の検出画素111が点在していてもよい。また、検出画素111は、行又は列方向に複数接続して配置されていてもよいし、特定の領域に偏るように配置されていてもよい。
図10から12を参照して、第2の実施形態による放射線検出装置の構造を説明する。図10(a)及び図10(b)に、撮像画素110及び検出画素111の等価回路を示す。検出画素111において、第4の電極1261が検出線161に接続されること、及びスイッチ素子131のソース電極1361が信号線160に接続されることが、第1の実施形態と異なる。放射線検出装置101の全体の模式図及び図10(a)に示す撮像画素110の等価回路は、第1の実施形態の図1及び図2(a)と同じであってよい。また第1の実施形態と同様に、検出線通過画素112の等価回路は、撮像画素110と同じであってよい。
Claims (17)
- 放射線を検出した画像を取得するための第1の画素と、放射線の照射情報を取得するための第2の画素と、を有する撮影領域を基板上に有する放射線検出装置であって、
前記第1の画素は、前記基板の上に配された第1の電極と、前記第1の電極の上に配された第2の電極と、を含む第1の変換素子を有し、
前記第2の画素は、前記第2の画素に照射された放射線に基づく信号を生成する、前記基板の上に配された第2の変換素子を含む変換回路を有し、
前記放射線検出装置は、
前記第1の変換素子を駆動するためのバイアス電源に前記第2の電極を接続するためのバイアス線と、
前記第2の変換素子が生成した前記信号を前記撮影領域の外部の検出回路へ伝達するための検出線と、
前記第1の変換素子及び前記変換回路を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を貫通し、前記変換回路と前記検出線とを接続するコンタクトプラグと、を更に有し、
前記検出線が、前記第2の電極に対して前記第1の電極とは反対側に配され、
前記第2の変換素子は、前記基板の上に配された第3の電極と、前記第3の電極の上に配された第4の電極と、を含み、
前記第1の電極は、第1のスイッチ素子と信号線とを介して、前記画像の転送される前記撮影領域の外部の読出し回路に接続され、
前記第3の電極は、前記検出線及び前記コンタクトプラグを介して前記検出回路に接続され、
前記第4の電極は、前記バイアス線を介して前記バイアス電源に接続され、
前記バイアス電源の電位と、前記検出回路の基準電位と、の差に相当する電圧が前記第2の変換素子に印加されることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記第1のスイッチ素子が、前記基板の上のうち、前記第1の電極の下に配されていることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。
- 前記検出回路の基準電位と、前記読出し回路の基準電位と、が互いに等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置。
- 前記検出回路の基準電位と、前記読出し回路の基準電位と、が接地電位であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記検出回路と、前記読出し回路と、が一体の回路であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記第3の電極が、第2のスイッチ素子と前記検出線とを介して前記検出回路に接続されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 放射線を検出した画像を取得するための第1の画素と、放射線の照射情報を取得するための第2の画素と、を有する撮影領域を基板上に有する放射線検出装置であって、
前記第1の画素は、前記基板の上に配された第1の電極と、前記第1の電極の上に配された第2の電極と、を含む第1の変換素子を有し、
前記第2の画素は、前記第2の画素に照射された放射線に基づく信号を生成する、前記基板の上に配された第2の変換素子を含む変換回路を有し、
前記放射線検出装置は、
前記第1の変換素子を駆動するためのバイアス電源に前記第2の電極を接続するためのバイアス線と、
前記第2の変換素子が生成した前記信号を前記撮影領域の外部の検出回路へ伝達するための検出線と、
前記第1の変換素子及び前記変換回路を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を貫通し、前記変換回路と前記検出線とを接続するコンタクトプラグと、を更に有し、
前記検出線が、前記第2の電極に対して前記第1の電極とは反対側に配され、
前記第2の変換素子は、前記基板の上に配された第3の電極と、前記第3の電極の上に配された第4の電極と、を含み、
前記第1の電極は、第1のスイッチ素子と第1の信号線とを介して、前記画像の転送される前記撮影領域の外部の読出し回路に接続され、
前記第3の電極は、第2の信号線を介して前記読出し回路に接続され、
前記第4の電極は、前記検出線及び前記コンタクトプラグを介して前記検出回路に接続され、
前記読出し回路の基準電位と、前記検出回路の基準電位と、の差に相当する電圧が前記第2の変換素子に印加されることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記第1のスイッチ素子が、前記基板の上のうち、前記第1の電極の下に配されていることを特徴とする請求項7に記載の放射線検出装置。
- 前記第3の電極が、第2のスイッチ素子と前記第2の信号線とを介して前記読出し回路に接続されることを特徴とする請求項7又は8に記載の放射線検出装置。
- 前記検出線が、前記基板の表面に対する平面視において、前記第1の画素の前記第2の電極と重なる部分を含むことを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記放射線検出装置は、前記第1の画素を複数備え、
前記検出線が、前記基板の表面に対する平面視において、互いに隣接する前記第1の画素の前記第2の電極の間に位置する部分を含むことを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記バイアス線が、前記絶縁層の上に配されることを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記絶縁層は、第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層の上の第2の絶縁層とを含み、
前記バイアス線が、前記第1の絶縁層と前記第2の絶縁層との間に配されることを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記検出線が、前記基板の表面に対する平面視において、前記バイアス線と重なる部分を含むことを特徴とする請求項13に記載の放射線検出装置。
- 前記絶縁層が、前記第1の変換素子及び前記変換回路を覆う平坦化膜であることを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 前記基板が、絶縁基板であることを特徴とする請求項1乃至15の何れか1項に記載の放射線検出装置。
- 請求項1乃至16の何れか1項に記載の放射線検出装置と、
前記放射線検出装置からの信号を処理する信号処理部と、を備えることを特徴とする放射線検出システム。
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