JP6525819B2 - Thermal head and thermal printer - Google Patents

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Description

本発明は、サーマルヘッドおよびサーマルプリンタに関する。   The present invention relates to a thermal head and a thermal printer.

従来、ファクシミリあるいはビデオプリンタ等の印画デバイスとして、種々のサーマルヘッドが提案されている。例えば、基板と、基板上に設けられた発熱部と、基板上に設けられ、発熱部と電気的に接続された電極と、基板上に設けられ、電極と電気的に接続されたパッドとを有するサーマルヘッドが知られている(例えば、特許文献1参照)。このサーマルヘッドは、パッドが、外部端子と接続されたワイヤボンディング用の第1パッドと、第1パッドと異なる位置に配置された検査用の第2パッドとを有している。   Conventionally, various thermal heads have been proposed as printing devices such as facsimiles and video printers. For example, a substrate, a heat generating portion provided on the substrate, an electrode provided on the substrate and electrically connected to the heat generating portion, and a pad provided on the substrate and electrically connected to the electrode The thermal head which it has is known (for example, refer patent document 1). In this thermal head, the pad has a first pad for wire bonding connected to an external terminal, and a second pad for inspection disposed at a position different from the first pad.

また、ワイヤボンディングの電気的な接続を安定するために、第1パッドおよび第2パッドの下方に平滑層が設けられている。それゆえ、検査用のプロ―バー針を当てると、第2パッド上でプロ―バー針が滑ることとなり、プロ―バー痕が第1パッドにまで到達するおそれがある。そのため、絶縁性のレジストを、第1パッドおよび第2パッドを分割するようにパッド上に形成し、プロ―バー痕が第1パッドにまで到達することを抑制している。   Also, in order to stabilize the electrical connection of the wire bonding, a smooth layer is provided below the first pad and the second pad. Therefore, when the probe needle for inspection is applied, the probe needle slips on the second pad, and the probe mark may reach the first pad. Therefore, an insulating resist is formed on the pads so as to divide the first pad and the second pad, thereby preventing the probe mark from reaching the first pad.

特開2003−200605号公報Japanese Patent Application Publication No. 2003-200605

しかしながら、上記のサーマルヘッドでは、パッド上に形成された絶縁性のレジストのような新たな部材を設けることにより、第1パッドのワイヤボンディングの電気的な接続の安定性を向上しているため、工程数が増加する問題がある。   However, in the above-described thermal head, the stability of the electrical connection of the first pad wire bonding is improved by providing a new member such as an insulating resist formed on the pad. There is a problem that the number of processes increases.

本発明の一実施形態に係るサーマルヘッドは、基板と、前記基板上に設けられた発熱部と、前記基板上に設けられ、前記発熱部と電気的に接続された電極と、前記基板上に設けられ、前記電極と電気的に接続されたパッドとを備えている。また、前記パッドは、ワイヤボンディング用の第1パッドと、前記第1パッドと異なる位置に配置された検査用の第2パッドとを有している。また、前記第1パッドと前記基板との間に平滑層が設けられている。また、前記平滑層が前記第2パッドと前記基板との間に設けられていない。   A thermal head according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a heat generating portion provided on the substrate, an electrode provided on the substrate and electrically connected to the heat generating portion, and the substrate. And a pad electrically connected to the electrode. Further, the pad has a first pad for wire bonding and a second pad for inspection disposed at a position different from the first pad. Also, a smooth layer is provided between the first pad and the substrate. Further, the smooth layer is not provided between the second pad and the substrate.

本発明の一実施形態に係るサーマルプリンタは、上記に記載のサーマルヘッドと、前記発熱部上に記録媒体を搬送する搬送機構と、前記発熱部上に前記記録媒体を押圧するプラテンローラとを備える。   A thermal printer according to an embodiment of the present invention includes the above-described thermal head, a transport mechanism for transporting a recording medium onto the heat generating portion, and a platen roller for pressing the recording medium onto the heat generating portion. .

絶縁性のレジストのような新たな部材を設けることなく、第1パッドのワイヤボンディングの電気的な接続の安定性を向上することができる。   It is possible to improve the electrical connection stability of the wire bonding of the first pad without providing a new member such as an insulating resist.

第1の実施形態に係るサーマルヘッドの概略を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing an outline of a thermal head concerning a 1st embodiment. 図1に示すサーマルヘッドを示す平面図である。It is a top view which shows the thermal head shown in FIG. 図2に示すI−I線断面図である。It is the II sectional view taken on the line shown in FIG. 図1に示すサーマルヘッドを示し、(a)は一部を拡大して示す平面図、(b)は図4(a)に示すII−II線断面図である。The thermal head shown in FIG. 1 is shown, (a) is a top view which expands and shows one part, (b) is the II-II sectional view taken on the line of FIG. 4 (a). 第1の実施形態に係るサーマルプリンタを示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing a thermal printer according to a first embodiment. 第2の実施形態に係るサーマルヘッドの概略を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing an outline of a thermal head concerning a 2nd embodiment. 図6に示すサーマルヘッドを示し、(a)は一部を拡大して示す平面図、(b)は図7(a)に示すIII−III線断面図である。FIG. 7 shows the thermal head shown in FIG. 6, where (a) is a plan view showing a part of the thermal head in an enlarged manner, and (b) is a sectional view taken along line III-III shown in FIG. 第3の実施形態に係るサーマルヘッドを示し、(a)は一部を拡大して示す平面図、(b)はパッドの拡大平面図である。The thermal head which concerns on 3rd Embodiment is shown, (a) is a top view which expands and shows a part, (b) is an enlarged plan view of a pad.

<第1の実施形態>
以下、サーマルヘッドX1について図1〜4を参照して説明する。図1は、サーマルヘッドX1の構成を概略的に示している。図2は、保護層25、被覆層27、および封止部材12を省略して示している。また、図4では被覆層27を省略して示している。
First Embodiment
Hereinafter, the thermal head X1 will be described with reference to FIGS. FIG. 1 schematically shows the configuration of the thermal head X1. In FIG. 2, the protective layer 25, the cover layer 27, and the sealing member 12 are omitted. Further, in FIG. 4, the covering layer 27 is omitted.

サーマルヘッドX1は、ヘッド基体3と、コネクタ31と、封止部材12と、放熱板1と、接着部材14とを備えている。サーマルヘッドX1は、放熱板1上に接着部材14を介してヘッド基体3が載置されている。ヘッド基体3は、外部からの電圧が印加することにより発熱部9を発熱させ記録媒体(不図示)に印画を行っている。コネクタ31は、外部とヘッド基体3とを電気的に接続している。封止部材12は、コネクタ31とヘッド基体3とを接合している。放熱板1は、ヘッド基体3の熱を放熱するために設けられている。接着部材14は、ヘッド基体3と放熱板1とを接着している。   The thermal head X 1 includes a head base 3, a connector 31, a sealing member 12, a heat sink 1, and an adhesive member 14. In the thermal head X <b> 1, the head base 3 is mounted on the heat dissipation plate 1 via the bonding member 14. The head base 3 generates heat on the heat generating portion 9 by applying an external voltage to print on a recording medium (not shown). The connector 31 electrically connects the outside and the head base 3. The sealing member 12 joins the connector 31 and the head base 3. The heat sink 1 is provided to dissipate the heat of the head base 3. The bonding member 14 bonds the head base 3 and the heat sink 1 to each other.

放熱板1は、直方体形状をなしており、基板7が載置されている。放熱板1は、例えば、銅、鉄またはアルミニウム等の金属材料で形成されており、ヘッド基体3の発熱部9で発生した熱のうち、印画に寄与しない熱を放熱する機能を有している。   The heat sink 1 has a rectangular parallelepiped shape, and the substrate 7 is mounted. The heat sink 1 is formed of, for example, a metal material such as copper, iron, or aluminum, and has a function of radiating the heat that does not contribute to the printing among the heat generated by the heat generating portion 9 of the head base 3. .

ヘッド基体3は、平面視して、長方形状に形成されており、ヘッド基体3の基板7上にサーマルヘッドX1を構成する各部材が設けられている。ヘッド基体3は、外部より供給された電気信号に従い、記録媒体(不図示)に印字を行う機能を有する。   The head substrate 3 is formed in a rectangular shape in plan view, and the respective members constituting the thermal head X 1 are provided on the substrate 7 of the head substrate 3. The head substrate 3 has a function of printing on a recording medium (not shown) in accordance with an electric signal supplied from the outside.

コネクタ31は、ヘッド基体3に電気的に接続されており、ヘッド基体3と外部電源とを電気的に接続している。コネクタ31は、複数のコネクタピン8と、複数のコネクタピン8を収納するハウジング10とを有している。複数のコネクタピン8は、基板7を狭持するように基板7の上下に配置されており、上側に配置されたコネクタピン8が、ヘッド基体3のパッド2(図2参照)に電気的に接続されている。   The connector 31 is electrically connected to the head base 3 and electrically connects the head base 3 and an external power supply. The connector 31 has a plurality of connector pins 8 and a housing 10 for housing the plurality of connector pins 8. The plurality of connector pins 8 are disposed on the upper and lower sides of the substrate 7 so as to sandwich the substrate 7, and the connector pins 8 disposed on the upper side electrically connect the pads 2 (see FIG. 2) of the head substrate 3. It is connected.

封止部材12は、パッド2、およびコネクタピン8が外部に露出しないように設けられており、例えば、エポキシ系の熱硬化性の樹脂、紫外線硬化性の樹脂、あるいは可視光硬化性の樹脂により形成することができる。また、コネクタ31とヘッド基体3との接合強度を向上させている。   The sealing member 12 is provided so that the pad 2 and the connector pin 8 are not exposed to the outside, and is made of, for example, an epoxy thermosetting resin, an ultraviolet curable resin, or a visible light curable resin. It can be formed. Further, the bonding strength between the connector 31 and the head base 3 is improved.

接着部材14は、放熱板1の上面に配置されており、ヘッド基体3と放熱板1とを接合している。接着部材14としては、両面テープ、あるいは樹脂性の接着剤を例示することができる。   The bonding member 14 is disposed on the top surface of the heat dissipation plate 1 and joins the head base 3 and the heat dissipation plate 1. The adhesive member 14 can be exemplified by a double-sided tape or a resinous adhesive.

以下、ヘッド基体3を構成する各部材について、図2〜4を用いて説明する。   Hereinafter, each member which comprises the head base | substrate 3 is demonstrated using FIGS.

基板7は、放熱板1上に配置されており、平面視して、矩形状をなしている。そのため
、基板7は、一方の長辺7aと、他方の長辺7bと、一方の短辺7cと、他方の短辺7dとを有している。基板7は、例えば、アルミナセラミックス等の電気絶縁性材料あるいは単結晶シリコン等の半導体材料等によって形成されている。
The substrate 7 is disposed on the heat sink 1 and has a rectangular shape in plan view. Therefore, the substrate 7 has one long side 7 a, the other long side 7 b, one short side 7 c, and the other short side 7 d. The substrate 7 is made of, for example, an electrically insulating material such as alumina ceramic or a semiconductor material such as single crystal silicon.

基板7上には蓄熱層13が設けられている。蓄熱層13は、基板7の上方へ向けて突出している。蓄熱層13は、基板7の一方の長辺7aに隣り合うように配置されており、主走査方向に沿って帯状に延び、断面が略半楕円形状をなしている。また、蓄熱層13は、印画する記録媒体P(図5参照)を、発熱部9上に形成された保護層25に良好に押し当てるように機能している。蓄熱層13は、基板7からの高さが15〜90μmで設けられていることが好ましい。   A heat storage layer 13 is provided on the substrate 7. The heat storage layer 13 protrudes upward of the substrate 7. The heat storage layer 13 is disposed adjacent to one long side 7 a of the substrate 7, extends in a strip along the main scanning direction, and has a substantially semi-elliptical cross section. In addition, the heat storage layer 13 functions to well press the recording medium P (see FIG. 5) to be printed against the protective layer 25 formed on the heat generating portion 9. The heat storage layer 13 is preferably provided at a height of 15 to 90 μm from the substrate 7.

蓄熱層13は、熱伝導性の低いガラスで形成されており、発熱部9で発生する熱の一部を一時的に蓄積する。そのため、発熱部9の温度を上昇させるのに要する時間を短くすることができ、サーマルヘッドX1の熱応答特性を高めるように機能する。蓄熱層13は、例えば、ガラス粉末に適当な有機溶剤を混合して得た所定のガラスペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって基板7の上面に塗布し、これを焼成することで形成される。   The heat storage layer 13 is formed of glass with low thermal conductivity, and temporarily accumulates part of the heat generated by the heat generating portion 9. Therefore, the time required to raise the temperature of the heat generating portion 9 can be shortened, and the heat response characteristic of the thermal head X1 can be enhanced. The heat storage layer 13 is formed, for example, by applying a predetermined glass paste obtained by mixing a suitable organic solvent with a glass powder on the upper surface of the substrate 7 by screen printing or the like known in the related art and baking it.

電気抵抗層15は、基板7の上面および蓄熱層13の上面に設けられており、電気抵抗層15上には、ヘッド基体3を構成する各種電極が設けられている。電気抵抗層15は、ヘッド基体3を構成する各種電極と同形状にパターニングされており、共通電極17と個別電極19との間に電気抵抗層15が露出した露出領域を有する。各露出領域は発熱部9を構成しており、隆起部13a上に列状に配置されている。   The electric resistance layer 15 is provided on the upper surface of the substrate 7 and the upper surface of the heat storage layer 13, and various electrodes constituting the head substrate 3 are provided on the electric resistance layer 15. The electric resistance layer 15 is patterned in the same shape as the various electrodes constituting the head substrate 3 and has an exposed region between the common electrode 17 and the individual electrode 19 in which the electric resistance layer 15 is exposed. Each exposed area constitutes a heat generating portion 9 and is arranged in a row on the raised portion 13a.

複数の発熱部9は、説明の便宜上、図2では簡略化して記載しているが、例えば、100dpi〜2400dpi(dot per inch)等の密度で配置される。電気抵抗層15は、例えば、TaN系、TaSiO系、TaSiNO系、TiSiO系、TiSiCO系またはNbSiO系等の電気抵抗の比較的高い材料によって形成されている。そのため、発熱部9に電圧が印加されたときに、ジュール発熱によって発熱部9が発熱する。   The plurality of heat generating portions 9 are described in a simplified manner in FIG. 2 for convenience of explanation, but are arranged at a density of, for example, 100 dpi to 2400 dpi (dot per inch). The electric resistance layer 15 is formed of, for example, a material having a relatively high electric resistance, such as a TaN system, a TaSiO system, a TaSiNO system, a TiSiO system, a TiSiCO system, or a NbSiO system. Therefore, when a voltage is applied to the heat generating portion 9, the heat generating portion 9 generates heat by Joule heat generation.

共通電極17は、主配線部17a,17dと、副配線部17bと、リード部17cとを備えている。共通電極17は、複数の発熱部9と、コネクタ31とを電気的に接続している。主配線部17aは、基板7の一方の長辺7aに沿って延びている。副配線部17bは、基板7の一方の短辺7cおよび他方の短辺7dのそれぞれに沿って延びている。リード部17cは、主配線部17aから各発熱部9に向かって個別に延びている。主配線部17dは、基板7の他方の長辺7bに沿って延びている。   The common electrode 17 includes main wiring portions 17a and 17d, a sub wiring portion 17b, and a lead portion 17c. The common electrode 17 electrically connects the plurality of heat generating portions 9 and the connector 31. The main wiring portion 17 a extends along one long side 7 a of the substrate 7. The sub wiring portion 17 b extends along each of the short side 7 c and the other short side 7 d of the substrate 7. The lead portions 17 c individually extend from the main wiring portion 17 a toward the heat generating portions 9. The main wiring portion 17 d extends along the other long side 7 b of the substrate 7.

複数の個別電極19は、発熱部9と駆動IC11との間を電気的に接続している。また、個別電極19は、複数の発熱部9を複数の群に分けており、各群の発熱部9と各群に対応して設けられた駆動IC11とを電気的に接続している。個別電極19の端部には、パッド4が設けられている。パッド4は、上方に配置された駆動IC11と、ワイヤ18を介して電気的に接続されている。   The plurality of individual electrodes 19 electrically connect between the heat generating portion 9 and the drive IC 11. The individual electrodes 19 divide the plurality of heat generating portions 9 into a plurality of groups, and electrically connect the heat generating portions 9 of each group to the drive ICs 11 provided corresponding to the respective groups. A pad 4 is provided at the end of the individual electrode 19. The pad 4 is electrically connected to the drive IC 11 disposed above via the wire 18.

複数のIC−コネクタ接続電極21は、信号電極21aと、グランド電極21bとを備えている。複数のIC−コネクタ接続電極21は、駆動IC11とコネクタ31との間を電気的に接続している。各駆動IC11に接続された複数のIC−コネクタ接続電極21は、異なる機能を有する複数の配線で構成されている。信号電極21aは、駆動IC11に種々の信号を送っている。   The plurality of IC-connector connection electrodes 21 include signal electrodes 21 a and ground electrodes 21 b. The plurality of IC-connector connection electrodes 21 electrically connect between the drive IC 11 and the connector 31. The plurality of IC-connector connection electrodes 21 connected to each drive IC 11 are configured by a plurality of wires having different functions. The signal electrode 21 a sends various signals to the drive IC 11.

グランド電極21bは、個別電極19と、信号電極21aと、共通電極17の主配線部17dとにより取り囲まれるように配置されており、広い面積を有している。グランド電
極4は、0〜1Vのグランド電位に保持されている。
The ground electrode 21b is disposed so as to be surrounded by the individual electrode 19, the signal electrode 21a, and the main wiring portion 17d of the common electrode 17, and has a large area. The ground electrode 4 is held at a ground potential of 0 to 1V.

パッド2は、共通電極17、個別電極19、IC−コネクタ接続電極21およびグランド電極21bをコネクタ31に接続するために、基板7の他方の長辺7b側に設けられている。パッド2はコネクタピン8に対応して設けられており、コネクタ31に接続する際は、それぞれ電気的に独立するように、コネクタピン8とパッド2とが接続されている。   The pad 2 is provided on the other long side 7 b side of the substrate 7 in order to connect the common electrode 17, the individual electrode 19, the IC-connector connection electrode 21 and the ground electrode 21 b to the connector 31. The pad 2 is provided corresponding to the connector pin 8, and when connecting to the connector 31, the connector pin 8 and the pad 2 are connected so as to be electrically independent of each other.

複数のIC−IC接続電極26は、隣り合う駆動IC11を電気的に接続している。複数のIC−IC接続電極26は、それぞれIC−コネクタ接続電極21に対応するように設けられており、各種信号を隣り合う駆動IC11に伝えている。   The plurality of IC-IC connection electrodes 26 electrically connect adjacent drive ICs 11. The plurality of IC-IC connection electrodes 26 are provided to correspond to the IC-connector connection electrodes 21, respectively, and transmit various signals to the adjacent drive ICs 11.

上記のヘッド基体3を構成する各種電極は、例えば、各々を構成する材料層を蓄熱層13上に、例えばスパッタリング法等の従来周知の薄膜成形技術によって順次積層した後、積層体を従来周知のフォトエッチング等を用いて所定のパターンに加工することにより形成される。なお、ヘッド基体3を構成する各種電極は、同じ工程によって同時に形成することができる。   The various electrodes constituting the head substrate 3 are, for example, sequentially laminating the material layers constituting each on the heat storage layer 13 by the conventional thin film forming technology such as sputtering, for example, and then the laminated body is known conventionally. It is formed by processing into a predetermined pattern using photo etching or the like. The various electrodes constituting the head substrate 3 can be formed simultaneously by the same process.

駆動IC11は、図2に示すように、複数の発熱部9の各群に対応して配置されているとともに、個別電極19の他端部とIC−コネクタ接続電極21の一端部とに、ワイヤ18を介して接続されている。駆動IC11は、各発熱部9の通電状態を制御する機能を有している。駆動IC11としては、内部に複数のスイッチング素子を有する切替部材を用いればよい。   As shown in FIG. 2, the drive IC 11 is disposed corresponding to each group of the plurality of heat generating portions 9, and a wire is connected to the other end of the individual electrode 19 and one end of the IC-connector connection electrode 21. Connected via 18 The drive IC 11 has a function of controlling the energization state of each heat generating portion 9. As the drive IC 11, a switching member having a plurality of switching elements inside may be used.

駆動IC11は、個別電極19、IC−IC接続電極26およびIC−コネクタ接続電極21に接続された状態で、エポキシ樹脂、あるいはシリコーン樹脂等の樹脂からなる被覆部材29によって封止されている。   The driving IC 11 is sealed by a covering member 29 made of a resin such as an epoxy resin or a silicone resin in a state of being connected to the individual electrode 19, the IC-IC connecting electrode 26 and the IC-connector connecting electrode 21.

図3に示すように、基板7上に設けられた蓄熱層13上には、発熱部9、共通電極17の一部および個別電極19の一部を被覆する保護層25が形成されている。   As shown in FIG. 3, on the heat storage layer 13 provided on the substrate 7, a protective layer 25 that covers the heating portion 9, a part of the common electrode 17 and a part of the individual electrode 19 is formed.

保護層25は、発熱部9、共通電極17および個別電極19の被覆した領域を、大気中に含まれている水分等の付着による腐食、あるいは印画する記録媒体との接触による摩耗から保護するためのものである。保護層25は、SiN、SiO、SiON、SiC、あるいはダイヤモンドライクカーボン等を用いて形成することができ、保護層25を単層で構成してもよいし、これらの層を積層して構成してもよい。このような保護層25はスパッタリング法等の薄膜形成技術あるいはスクリーン印刷等の厚膜形成技術を用いて作製することができる。 The protective layer 25 protects the area covered with the heat generating portion 9, the common electrode 17 and the individual electrode 19 from corrosion due to adhesion of moisture contained in the atmosphere or abrasion due to contact with a recording medium to be printed. belongs to. The protective layer 25 can be formed using SiN, SiO 2 , SiON, SiC, diamond like carbon or the like, and the protective layer 25 may be formed as a single layer, or these layers are laminated. You may Such a protective layer 25 can be manufactured using a thin film forming technique such as a sputtering method or a thick film forming technique such as screen printing.

また、図3に示すように、基板7上には、共通電極17、個別電極19およびIC−コネクタ接続電極21を部分的に被覆する被覆層27が設けられている。被覆層27は、共通電極17、個別電極19、IC−IC接続電極26およびIC−コネクタ接続電極21の被覆した領域を、大気との接触による酸化、あるいは大気中に含まれている水分等の付着による腐食から保護する機能を有する。   Further, as shown in FIG. 3, a covering layer 27 partially covering the common electrode 17, the individual electrode 19 and the IC-connector connection electrode 21 is provided on the substrate 7. The covering layer 27 is formed by oxidation of the covered area of the common electrode 17, the individual electrode 19, the IC-IC connection electrode 26 and the IC-connector connection electrode 21 by contact with the air, water contained in the air, etc. It has a function to protect from corrosion due to adhesion.

コネクタ31とヘッド基体3とは、コネクタピン8、接合部材23、および封止部材12により固定されている。接合部材23は、パッド2とコネクタピン8との間に配置されており、例えば、半田、あるいは電気絶縁性の樹脂中に導電性粒子が混入された異方性導電接着剤等を例示することができる。サーマルヘッドX1においては、接合部材23として半田を用いて説明する。   The connector 31 and the head base 3 are fixed by the connector pin 8, the bonding member 23, and the sealing member 12. The bonding member 23 is disposed between the pad 2 and the connector pin 8, and for example, it is possible to exemplify an anisotropic conductive adhesive or the like in which conductive particles are mixed in a solder or an electrically insulating resin. Can. The thermal head X1 will be described using solder as the bonding member 23.

なお、接合部材23とパッド2,4との間にNi、Au、あるいはPdによるめっき層(不図示)を設けてもよい。なお、パッド2とコネクタピン8との間においては、接合部材23は必ずしも設けなくてもよい。この場合、クリップ式のコネクタピン8を用いて、コネクタピン8で基板7を挟持することにより、パッド2とコネクタピン8とを直接電気的に接続すればよい。   A plated layer (not shown) of Ni, Au or Pd may be provided between the bonding member 23 and the pads 2 and 4. The joint member 23 may not necessarily be provided between the pad 2 and the connector pin 8. In this case, the pad 2 and the connector pin 8 may be directly electrically connected by holding the substrate 7 with the connector pin 8 using the clip type connector pin 8.

封止部材12は、第1封止部材12aと第2封止部材12bとを有している。第1封止部材12aは基板7の上面に位置しており、第2封止部材12bは基板7の側面および下面に位置している。第1封止部材12aは、コネクタピン8と各種電極とを封止するように設けられており、第2封止部材12bは、コネクタピン8を補強するように設けられている。なお、第1封止部材12aと第2封止部材12bとが同じ材料により形成されていてもよく、別の材料により形成されていてもよい。   The sealing member 12 has a first sealing member 12 a and a second sealing member 12 b. The first sealing member 12 a is located on the upper surface of the substrate 7, and the second sealing member 12 b is located on the side and lower surfaces of the substrate 7. The first sealing member 12 a is provided to seal the connector pin 8 and various electrodes, and the second sealing member 12 b is provided to reinforce the connector pin 8. In addition, the 1st sealing member 12a and the 2nd sealing member 12b may be formed of the same material, and may be formed of another material.

図4を用いてパッド4および平滑層16について詳細に説明する。パッド4は、個別電極19に電気的に接続されており、第1パッド4aと第2パッド4bとを有している。第1パッド4aは、ワイヤボンディング用に形成されている。第2パッド4bは、第1パッド4aと副走査方向に並んで設けられており、第1パッド4aと連続して形成されている。第2パッド4bは、電気的な検査用に設けられている。   The pad 4 and the smooth layer 16 will be described in detail with reference to FIG. The pad 4 is electrically connected to the individual electrode 19 and has a first pad 4 a and a second pad 4 b. The first pad 4a is formed for wire bonding. The second pad 4b is provided side by side with the first pad 4a in the sub scanning direction, and is formed continuously with the first pad 4a. The second pad 4 b is provided for electrical inspection.

パッド4は、主走査方向に複数設けられており、パッド列を形成している。パッド列は、副走査方向に複数設けられており、図4では、3列設けた例を示している。   A plurality of pads 4 are provided in the main scanning direction to form a pad row. A plurality of pad rows are provided in the sub-scanning direction, and FIG. 4 shows an example in which three rows are provided.

平滑層16は、第1パッド4aと基板7との間に設けられており、第2パッド4bと基板7との間には設けられていない。平滑層16は、主走査方向に延びるように設けられており、基板7の一方の短辺7c(図2参照)から基板7の他方の短辺7d(図2参照)まで設けられている。   The smoothing layer 16 is provided between the first pad 4 a and the substrate 7 and is not provided between the second pad 4 b and the substrate 7. The smooth layer 16 is provided to extend in the main scanning direction, and is provided from one short side 7c (see FIG. 2) of the substrate 7 to the other short side 7d (see FIG. 2) of the substrate 7.

平滑層16は、基板7上に設けられており、平滑層16の表面粗さは、基板7の表面粗さよりも小さくなっている。そのため、第1パッド4aは、表面の平らな平滑層16上に設けられているため、ワイヤ18(図2参照)を形成した際に、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続を安定させることができる。   The smooth layer 16 is provided on the substrate 7, and the surface roughness of the smooth layer 16 is smaller than the surface roughness of the substrate 7. Therefore, since the first pad 4a is provided on the flat smooth layer 16 on the surface, when the wire 18 (see FIG. 2) is formed, the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a is It can be stabilized.

平滑層16は、例えば、蓄熱層13(図2参照)と同じガラスにより形成することができ、その厚みは0.1〜50μmとすることができる。また、平滑層16は、例えば、SiN、あるいはSiONのような無機材料により形成してもよい。   The smooth layer 16 can be formed of, for example, the same glass as the heat storage layer 13 (see FIG. 2), and its thickness can be 0.1 to 50 μm. The smooth layer 16 may be formed of, for example, an inorganic material such as SiN or SiON.

ここで、サーマルヘッドX1は、発熱部9の抵抗値測定、オープン/ショート検査、その他の電気的検査を行う際に、プロ―バー針を第2パッド4bに押し当てて行なっている。その際に、いわゆるプロ―バー痕が第2パッド4b上に発生している。そして、プロ―バー針が、第2パッド4b上を滑ることにより第1パッド4aにまで到達し、第1パッド4a上にプロ―バー痕が形成される場合がある。その結果、第1パッド4aの表面が、プロ―バー痕により荒らされてしまうことにより、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続が安定しない場合がある。   Here, when the thermal head X1 performs resistance measurement, open / short inspection, and other electrical inspections of the heat generating portion 9, the probe needle is pressed against the second pad 4b. At that time, a so-called probe mark is generated on the second pad 4b. Then, the probe needle may reach the first pad 4a by sliding on the second pad 4b, and a probe mark may be formed on the first pad 4a. As a result, the surface of the first pad 4a may be roughened by a probe mark, and the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a may not be stable.

これに対して、サーマルヘッドX1は、第1パッド4aと基板7との間に平滑層16が設けられており、第2パッド4bと基板7との間に平滑層16が設けられていない構成を有している。それにより、パッド4上に絶縁性のレジストのような新たな部材を形成することなく、プロ―バー針が、第2パッド4b上を滑りにくい構成となり、プロ―バー針が第1パッド4a上に到達する可能性を低減することができる。その結果、新たな部材を設けることなく、第1パッド4a上にプロ―バー痕が形成される可能性を低減することがで
き、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。
On the other hand, in the thermal head X 1, the smooth layer 16 is provided between the first pad 4 a and the substrate 7, and the smooth layer 16 is not provided between the second pad 4 b and the substrate 7. have. As a result, the probe needle does not slip on the second pad 4b without forming a new member such as an insulating resist on the pad 4, and the probe needle on the first pad 4a. The possibility of reaching can be reduced. As a result, the possibility of the formation of a probe mark on the first pad 4a can be reduced without providing a new member, and the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a can be reduced. Can be secured.

また、第1パッド4aと基板7との間に平滑層16が設けられており、第2パッド4bと基板7との間に平滑層16が設けられていない構成を有するため、第1パッド4aと第2パッド4bとの境界部分には、平滑層16の段差16aによる段差部4cが形成されている。   In addition, since the smooth layer 16 is provided between the first pad 4 a and the substrate 7 and the smooth layer 16 is not provided between the second pad 4 b and the substrate 7, the first pad 4 a At the boundary between the second pad 4b and the second pad 4b, a step 4c is formed by the step 16a of the smooth layer 16.

そのため、第2パッド4bにプロ―バー針を押し当てて、電気的検査を行った場合に、プロ―バー針は、段差部4cにより第1パッド4a上に到達しにくい構成となる。その結果、第1パッド4a上にプロ―バー針が到達する可能性を低減することができ、第1パッド4a上にプロ―バー痕が形成される可能性を低減することができる。それゆえ、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。   Therefore, when the probe needle is pressed against the second pad 4b and the electrical inspection is performed, the probe needle is hard to reach the first pad 4a due to the step 4c. As a result, the possibility of the probe needle reaching the first pad 4a can be reduced, and the possibility of the formation of a probe mark on the first pad 4a can be reduced. Therefore, the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a can be ensured.

なお、第1パッド4aと第2パッド4bとの境界部分は、厚み方向に断面を切った際に、上下方向に延びる領域を示している。   The boundary between the first pad 4a and the second pad 4b indicates a region extending in the vertical direction when the cross section is cut in the thickness direction.

また、第2パッド4bの表面粗さが、第1パッド4aの表面粗さよりも粗くなっている。それにより、第2パッド4b上に押圧されたプロ―バー針は、第2パッド4b上を滑りにくい構成となる。その結果、プロ―バー針が第1パッド4a上に到達する可能性を低減することができ、第1パッド4a上にプロ―バー痕が形成される可能性を低減することができる。   In addition, the surface roughness of the second pad 4b is greater than the surface roughness of the first pad 4a. As a result, the prober needle pressed onto the second pad 4b does not slip on the second pad 4b. As a result, the possibility of the probe needle reaching the first pad 4a can be reduced, and the possibility of the formation of a probe mark on the first pad 4a can be reduced.

第1パッド4aの表面粗さは、算術平均高さ(Sa)で0.01〜0.05、第2パッド4bの表面粗さは、算術平均高さ(Sa)で0.1〜0.5であることが好ましい。それにより、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。   The surface roughness of the first pad 4 a is 0.01 to 0.05 in arithmetic mean height (Sa), and the surface roughness of the second pad 4 b is 0.1 to 0. 5 in arithmetic mean height (Sa). 5 is preferable. Thereby, the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a can be ensured.

なお、第1パッド4aの表面粗さは、サーマルヘッドX1を厚み方向に断面を切って、カメラにて断面写真を撮影し、断面写真における第1パッド4aの表面粗さを測定することにより求めることができる。第2パッド4bにおいても同様である。また、非接触型のレーザ顕微鏡で表面の高さを測定し、第1パッド4aおよび第2パッド4bの表面粗さを求めてもよい。   The surface roughness of the first pad 4a is determined by cutting the thermal head X1 in the thickness direction, taking a cross-sectional picture with a camera, and measuring the surface roughness of the first pad 4a in the cross-sectional picture. be able to. The same applies to the second pad 4b. Alternatively, the height of the surface may be measured with a noncontact laser microscope to determine the surface roughness of the first pad 4a and the second pad 4b.

また、平滑層16が、主走査方向に延びるように設けられており、複数の第1パッド4aと基板7との間に設けられており、ガラスにより形成されている。そのため、複数の第1パッド4aに共通した平滑層16が設けられていることとなり、各第1パッド4aの熱容量は、平滑層16により均一化されることとなる。   The smoothing layer 16 is provided to extend in the main scanning direction, is provided between the plurality of first pads 4 a and the substrate 7, and is formed of glass. Therefore, the smooth layer 16 common to the plurality of first pads 4 a is provided, and the heat capacity of each first pad 4 a is equalized by the smooth layer 16.

ワイヤボンディング時には、基板7の下方から熱を与えて第1パッド4aを活性化させてワイヤボンディングを行っている。そのため、ワイヤボンディングの際に与えられた熱は、平滑層16に蓄熱され、複数の各第1パッド4aを温めることとなる。その結果、各第1パッド4aの温度が均一化されて、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。   At the time of wire bonding, heat is applied from the lower side of the substrate 7 to activate the first pad 4 a and perform wire bonding. Therefore, the heat given at the time of wire bonding is stored in the smooth layer 16 and warms the plurality of first pads 4a. As a result, the temperature of each first pad 4a is equalized, and the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a can be ensured.

平滑層16をガラスにより形成する場合、蓄熱層13を形成する際に、同時に平滑層16のパターニングを行い、ガラスを印刷、焼成することにより形成することができる。また、平滑層16をSiN、あるいはSiONのような無機材料により形成する場合、保護層25を形成する際に、同時に平滑層16のパターニングを行い、SiN、あるいはSiONのような無機材料をスパッタリングにより成膜することにより形成することができる。   When forming the smooth layer 16 with glass, when forming the thermal storage layer 13, patterning of the smooth layer 16 is simultaneously performed and it can form by printing and baking glass. When the smooth layer 16 is formed of an inorganic material such as SiN or SiON, patterning of the smooth layer 16 is performed simultaneously with the formation of the protective layer 25 and the inorganic material such as SiN or SiON is sputtered. It can be formed by film formation.

なお、サーマルヘッドX1では、複数の第1パッド4aに共通した平滑層16を設けた例を示したがこれに限定するものではない。例えば、第1パッド4aごとに独立した平滑層16を設けてもよい。この場合においても、第1パッド4aの表面を平滑にすることができ、ワイヤ18と第1パッド4aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。   In the thermal head X1, the smooth layer 16 common to the plurality of first pads 4a is provided. However, the present invention is not limited to this. For example, an independent smoothing layer 16 may be provided for each first pad 4a. Also in this case, the surface of the first pad 4a can be smoothed, and the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 4a can be ensured.

次に、サーマルプリンタZ1について、図5を参照しつつ説明する。   Next, the thermal printer Z1 will be described with reference to FIG.

図5に示すように、本実施形態のサーマルプリンタZ1は、上述のサーマルヘッドX1と、搬送機構40と、プラテンローラ50と、電源装置60と、制御装置70とを備えている。サーマルヘッドX1は、サーマルプリンタZ1の筐体(不図示)に設けられた取付部材80の取付面80aに取り付けられている。なお、サーマルヘッドX1は、後述する記録媒体Pの搬送方向Sに直交する方向である主走査方向に沿うようにして、取付部材80に取り付けられている。   As shown in FIG. 5, the thermal printer Z1 of the present embodiment includes the above-described thermal head X1, a transport mechanism 40, a platen roller 50, a power supply device 60, and a control device 70. The thermal head X1 is mounted on a mounting surface 80a of a mounting member 80 provided on a housing (not shown) of the thermal printer Z1. The thermal head X1 is attached to the mounting member 80 along the main scanning direction which is a direction perpendicular to the conveyance direction S of the recording medium P described later.

搬送機構40は、駆動部(不図示)と、搬送ローラ43,45,47,49とを有している。搬送機構40は、感熱紙、インクが転写される受像紙等の記録媒体Pを図5の矢印S方向に搬送して、サーマルヘッドX1の複数の発熱部9上に位置する保護層25上に搬送するためのものである。駆動部は、搬送ローラ43,45,47,49を駆動させる機能を有しており、例えば、モータを用いることができる。搬送ローラ43,45,47,49は、例えば、ステンレス等の金属からなる円柱状の軸体43a,45a,47a,49aを、ブタジエンゴム等からなる弾性部材43b,45b,47b,49bにより被覆して構成することができる。なお、図示しないが、記録媒体Pがインクが転写される受像紙等の場合は、記録媒体PとサーマルヘッドX1の発熱部9との間に、記録媒体Pとともにインクフィルムを搬送する。   The transport mechanism 40 has a drive unit (not shown) and transport rollers 43, 45, 47 and 49. Conveying mechanism 40 conveys recording medium P such as thermal paper, image receiving paper to which ink is transferred in the direction of arrow S in FIG. 5, and places protective layer 25 located on heat generating portions 9 of thermal head X1. It is for carrying. The drive unit has a function of driving the transport rollers 43, 45, 47, and 49, and for example, a motor can be used. The conveying rollers 43, 45, 47 and 49 cover cylindrical shaft bodies 43a, 45a, 47a and 49a made of metal such as stainless steel with elastic members 43b, 45b, 47b and 49b made of butadiene rubber etc. Can be configured. Although not shown, when the recording medium P is an image receiving paper or the like to which the ink is transferred, the ink film is conveyed together with the recording medium P between the recording medium P and the heat generating portion 9 of the thermal head X1.

プラテンローラ50は、記録媒体PをサーマルヘッドX1の発熱部9上に位置する保護膜25上に押圧する機能を有する。プラテンローラ50は、記録媒体Pの搬送方向Sに直交する方向に沿って延びるように配置され、記録媒体Pを発熱部9上に押圧した状態で回転可能となるように両端部が支持固定されている。プラテンローラ50は、例えば、ステンレス等の金属からなる円柱状の軸体50aを、ブタジエンゴム等からなる弾性部材50bにより被覆して構成することができる。   The platen roller 50 has a function of pressing the recording medium P onto the protective film 25 located on the heat generating portion 9 of the thermal head X1. The platen roller 50 is disposed to extend along a direction orthogonal to the conveyance direction S of the recording medium P, and both ends are supported and fixed so that the recording medium P can be rotated in a state of being pressed onto the heat generating portion 9 ing. The platen roller 50 can be configured, for example, by covering a cylindrical shaft 50a made of metal such as stainless steel with an elastic member 50b made of butadiene rubber or the like.

電源装置60は、上記のようにサーマルヘッドX1の発熱部9を発熱させるための電流および駆動IC11を動作させるための電流を供給する機能を有している。制御装置70は、上記のようにサーマルヘッドX1の発熱部9を選択的に発熱させるために、駆動IC11の動作を制御する制御信号を駆動IC11に供給する機能を有している。   As described above, the power supply device 60 has a function of supplying a current for heating the heating portion 9 of the thermal head X1 and a current for operating the drive IC 11. The control device 70 has a function of supplying a control signal for controlling the operation of the drive IC 11 to the drive IC 11 in order to cause the heat generating portion 9 of the thermal head X 1 to selectively generate heat as described above.

サーマルプリンタZ1は、プラテンローラ50によって記録媒体PをサーマルヘッドX1の発熱部9上に押圧しつつ、搬送機構40によって記録媒体Pを発熱部9上に搬送しながら、電源装置60および制御装置70によって発熱部9を選択的に発熱させることにより、記録媒体Pに所定の印画を行う。なお、記録媒体Pが受像紙等の場合は、記録媒体Pとともに搬送されるインクフィルム(不図示)のインクを記録媒体Pに熱転写することによって、記録媒体Pへの印画を行う。   While the thermal printer Z1 presses the recording medium P onto the heat generating portion 9 of the thermal head X1 by the platen roller 50, the power source device 60 and the control device 70 transport the recording medium P onto the heat generating portion 9 by the transport mechanism 40. Thus, predetermined heating is performed on the recording medium P by selectively heating the heat generating portion 9. When the recording medium P is an image receiving paper or the like, printing on the recording medium P is performed by thermally transferring the ink of an ink film (not shown) conveyed together with the recording medium P onto the recording medium P.

<第2の実施形態>
図6,7を用いてサーマルヘッドX2について説明する。なお、サーマルヘッドX1と同一の部材については同じ符号を付しており、以下同様とする。
Second Embodiment
The thermal head X2 will be described with reference to FIGS. The same members as those of the thermal head X1 are denoted by the same reference numerals, and the same applies hereinafter.

サーマルヘッドX2は、放熱板1と、ヘッド基体103と、配線基板6と、接着部材1
4と、フレキシブル配線基板5(以下、FPC5と称する)と、コネクタ131とを備えている。サーマルヘッドX2は、ヘッド基体103と配線基板6とが隣り合うように配置されており、放熱板1上に接着部材14を介して、ヘッド基体103と、配線基板6とが載置されている。
The thermal head X 2 includes the heat dissipation plate 1, the head base 103, the wiring substrate 6, and the bonding member 1.
4, a flexible wiring board 5 (hereinafter referred to as an FPC 5), and a connector 131. The thermal head X 2 is disposed such that the head substrate 103 and the wiring substrate 6 are adjacent to each other, and the head substrate 103 and the wiring substrate 6 are mounted on the heat dissipation plate 1 via the bonding member 14. .

配線基板6は、主走査方向に長い平板形状をなしており、上面に駆動IC11が裁置されている。駆動IC11からは、ワイヤ18が引き出されており、引き出されたワイヤ18が、ヘッド基体103に電気的に接続されている。なお、図示していないが、駆動IC11からは配線基板6に向けて接合部材16が引き出されており、配線基板6に設けられた配線パターン(不図示)と電気的に接続されている。   The wiring board 6 has a flat plate shape long in the main scanning direction, and the drive IC 11 is disposed on the upper surface. Wires 18 are drawn out from the drive IC 11, and the drawn wires 18 are electrically connected to the head base 103. Although not shown, the bonding member 16 is drawn out from the drive IC 11 toward the wiring board 6 and is electrically connected to a wiring pattern (not shown) provided on the wiring board 6.

配線基板6は、内部に配線パターンが設けられており、配線パターンを介してFPC5とヘッド基体103とを電気的に接続している。配線基板6としては、硬質なリジッド基板、あるいはPCB等を例示することができる。   The wiring substrate 6 is provided with a wiring pattern inside, and electrically connects the FPC 5 and the head base 103 via the wiring pattern. As the wiring board 6, a hard rigid board or a PCB can be exemplified.

FPC5は、配線基板6と電気的に接続されており、コネクタ131を介して外部と電気的に接続されている、FPC5は可撓性のフレキシブルプリント配線板により形成されている。   The FPC 5 is electrically connected to the wiring board 6 and electrically connected to the outside through the connector 131. The FPC 5 is formed of a flexible printed wiring board.

被覆部材129は、主走査方向に延びるように形成されており、複数の駆動IC11にわたって形成されている。また、被覆部材129は、配線基板6上からヘッド基体3上にわたって形成されており、ヘッド基体3と配線基板6とを接合している。   The covering member 129 is formed to extend in the main scanning direction, and is formed across the plurality of drive ICs 11. The covering member 129 is formed over the wiring substrate 6 and the head substrate 3 to bond the head substrate 3 and the wiring substrate 6.

図7に示すように、平滑層116は、複数の第1パッド104aと基板7との間に設けられており、主走査方向に延びるように設けられている。平滑層116は、基板7が露出した露出部116bを有している。露出部116bは、平面視して、矩形状の開口により形成されている。露出部116a上には、第2パッド104bが配置されている。   As shown in FIG. 7, the smoothing layer 116 is provided between the plurality of first pads 104 a and the substrate 7 and is provided to extend in the main scanning direction. The smooth layer 116 has an exposed portion 116 b where the substrate 7 is exposed. The exposed portion 116 b is formed by a rectangular opening in plan view. The second pad 104b is disposed on the exposed portion 116a.

第2パッド104bは、平滑層116の露出部116b上に設けられており、平面視して、第2パッド104bの周囲に平滑層116が設けられている。そのため、第2パッド104bは、周囲に比べて低い構成となり、第2パッド104bに押し当てられたプローブ針が、第2パッド104b上以外に到達する可能性を低減することができる。その結果、プロ―バー痕が第2パッド104b以外の領域に形成される可能性を低減することができる。   The second pad 104 b is provided on the exposed portion 116 b of the smooth layer 116, and the smooth layer 116 is provided around the second pad 104 b in plan view. Therefore, the second pad 104b is configured to be lower than the surroundings, and the possibility that the probe needle pressed against the second pad 104b reaches other than on the second pad 104b can be reduced. As a result, it is possible to reduce the possibility that a probe mark is formed in an area other than the second pad 104b.

また、第2パッド104bの周囲に平滑層16が設けられている構成を有するため、第1パッド104aと第2パッド104bとの境界部分には、平滑層116の段差116aによる段差部104cが形成されている。   In addition, since the smooth layer 16 is provided around the second pad 104b, the step portion 104c is formed by the step 116a of the smooth layer 116 at the boundary between the first pad 104a and the second pad 104b. It is done.

そのため、第2パッド104bにプロ―バー針を押し当てて、電気的検査を行った場合に、プロ―バー針は、段差部104cにより第1パッド104a上に到達しにくい構成となる。その結果、第1パッド104a上にプロ―バー針が到達する可能性を低減することができ、第1パッド104a上にプロ―バー痕が形成される可能性を低減することができる。それゆえ、ワイヤ18と第1パッド104aとの電気的な接続の安定性を確保することができる。   Therefore, when the probe needle is pressed against the second pad 104b and the electrical inspection is performed, the probe needle does not easily reach the first pad 104a due to the step portion 104c. As a result, the possibility of the probe needle reaching on the first pad 104a can be reduced, and the possibility of the formation of a probe mark on the first pad 104a can be reduced. Therefore, the stability of the electrical connection between the wire 18 and the first pad 104a can be ensured.

第2パッド104bの周囲に平滑層16が設けられている構成を有するため、個別電極19と第2パッド104bとの境界部分には、平滑層116の段差116aによる段差部104dが形成されている。   Since the smooth layer 16 is provided around the second pad 104b, the step portion 104d by the step 116a of the smooth layer 116 is formed at the boundary between the individual electrode 19 and the second pad 104b. .

そのため、第2パッド104bにプロ―バー針を押し当てて、電気的検査を行った場合に、プロ―バー針は、段差部104dにより個別電極19上に到達しにくい構成となる。その結果、個別電極19上にプロ―バー針が到達する可能性を低減することができ、個別電極19上にプロ―バー痕が形成される可能性を低減することができる。それゆえ、個別電極19が破損して断線する可能性を低減することができる。   Therefore, when the probe needle is pressed against the second pad 104b and the electrical inspection is performed, the probe needle is hard to reach the individual electrode 19 by the step portion 104d. As a result, the possibility of the probe needle reaching on the individual electrode 19 can be reduced, and the possibility of the formation of a probe mark on the individual electrode 19 can be reduced. Therefore, the possibility of breakage of the individual electrodes 19 can be reduced.

<第3の実施形態>
図8を用いて、サーマルヘッドX3について説明する。サーマルヘッドX3は、パッド204の形状がサーマルヘッドX1と異なっており、その他の構成は同一であるため、説明を省略する。
Third Embodiment
The thermal head X3 will be described with reference to FIG. The thermal head X3 is different from the thermal head X1 in the shape of the pad 204, and the other configuration is the same, so the description will be omitted.

パッド204は、第1パッド204aと、第2パッド204bと、くびれ部204eとを有している。第1パッド204aは、ワイヤボンディング用に形成されており、第2パッド204bは、電気的な検査用に設けられている。くびれ部204eは、第1パッド204aと第2パッド204bとの境界部分に設けられており、第1パッド204aの一部、および第2パッド204bの一部に設けられている。   The pad 204 has a first pad 204a, a second pad 204b, and a neck portion 204e. The first pad 204 a is formed for wire bonding, and the second pad 204 b is provided for electrical inspection. The narrow portion 204e is provided at the boundary between the first pad 204a and the second pad 204b, and is provided at a part of the first pad 204a and a part of the second pad 204b.

平面視して、第1パッド204aと第2パッド204bとの境界部分にくびれ部204eを有している。そのため、ワイヤボンディングを行う際に、パッド204のくびれ部204eを目印にして、第1パッド204aの位置を認識することができ、ワイヤ18(図2参照)の位置ずれを抑制することができる。すなわち、くびれ部204eをワイヤボンディング時のマーカとして使用することができる。   In plan view, a constricted portion 204e is provided at the boundary between the first pad 204a and the second pad 204b. Therefore, when wire bonding is performed, the position of the first pad 204a can be recognized by using the constricted portion 204e of the pad 204 as a mark, and positional deviation of the wire 18 (see FIG. 2) can be suppressed. That is, the constricted portion 204e can be used as a marker at the time of wire bonding.

また、くびれ部204eは、平滑層16の段差16a上に形成されている。それにより、段差16aとパッド4との接触面積を小さくすることができる。その結果、段差16aとパッド4との間に生じる応力を小さくすることができ、パッド4が平滑層16から剥離する可能性を低減することができる。   In addition, the constricted portion 204 e is formed on the step 16 a of the smooth layer 16. Thereby, the contact area between the step 16 a and the pad 4 can be reduced. As a result, the stress generated between the step 16 a and the pad 4 can be reduced, and the possibility of the pad 4 peeling off the smooth layer 16 can be reduced.

くびれ部204eは、パッド204の長辺の一方側にのみ設けられている。それにより、第1パッド204aおよび第2パッド204bが、くびれ部204eにより小さくなりすぎることを抑制することができる。その結果、ワイヤ18と第1パッド204aとの電気的な接続を安定することができる。   The narrow portion 204 e is provided only on one side of the long side of the pad 204. Thus, the first pad 204a and the second pad 204b can be prevented from becoming too small due to the constriction 204e. As a result, the electrical connection between the wire 18 and the first pad 204a can be stabilized.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第1の実施形態であるサーマルヘッドX1を用いたサーマルプリンタZ1を示したが、これに限定されるものではなく、サーマルヘッドX2,3をサーマルプリンタZ1に用いてもよい。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible unless it deviates from the meaning. For example, although the thermal printer Z1 using the thermal head X1 according to the first embodiment is shown, the present invention is not limited to this, and the thermal heads X2, 3 may be used for the thermal printer Z1.

例えば、電気抵抗層15を薄膜形成することにより、発熱部9の薄い薄膜ヘッドを例示して示したが、これに限定されるものではない。各種電極をパターニングした後に、電気抵抗層15を厚膜形成することにより、発熱部9の厚い厚膜ヘッドに本発明を用いてもよい。また、電気抵抗層15を共通電極17と個別電極19との間にのみ設けて発熱部9を形成してもよい。   For example, although the thin thin film head of the heat generating portion 9 is illustrated by forming the electric resistance layer 15 as a thin film, it is not limited thereto. The present invention may be applied to a thick thick film head of the heat generating portion 9 by forming the electric resistance layer 15 as a thick film after patterning various electrodes. Alternatively, the heating portion 9 may be formed by providing the electrical resistance layer 15 only between the common electrode 17 and the individual electrode 19.

また、発熱部9が基板7上に形成された平面ヘッドを例示して説明したが、発熱部9が基板7の端面に設けられた端面ヘッドに本発明を用いてもよい。   Further, although the planar head in which the heat generating portion 9 is formed on the substrate 7 is described as an example, the present invention may be applied to an end face head in which the heat generating portion 9 is provided on the end surface of the substrate 7.

また、第2パッド4bと基板7との間に形成しない限り、蓄熱層13を発熱部9の下方以外の領域に形成してもよい。   In addition, the heat storage layer 13 may be formed in a region other than below the heat generating portion 9 unless it is formed between the second pad 4 b and the substrate 7.

なお、封止部材12を、駆動IC11を被覆する被覆部材29とを同じ材料により形成してもよい。その場合、被覆部材29を印刷する際に、封止部材12が形成される領域にも印刷して、被覆部材29と封止部材12とを同時に形成してもよい。   The sealing member 12 may be made of the same material as the covering member 29 that covers the drive IC 11. In that case, when the covering member 29 is printed, the covering member 29 and the sealing member 12 may be simultaneously formed by printing also on the area where the sealing member 12 is formed.

X1〜X3 サーマルヘッド
Z1 サーマルプリンタ
1 放熱板
2 パッド
3 ヘッド基体
4 パッド
4a 第1パッド
4b 第2パッド
4c 段差部
6 配線基板
7 基板
9 発熱部
11 駆動IC
12 封止部材
14 接着部材
16 平滑層
18 ワイヤ
23 接合部材
25 保護層
27 被覆層
31 コネクタ
X1 to X3 Thermal head Z1 Thermal printer 1 Heat sink 2 Pad 3 Head base 4 Pad 4a 1st pad 4b 2nd pad 4c Stepped portion 6 Wiring board 7 Board 9 Heating portion 11 Drive IC
12 Sealing member 14 Bonding member 16 Smooth layer 18 Wire 23 Bonding member 25 Protective layer 27 Covering layer 31 Connector

Claims (7)

基板と、
前記基板上に設けられた発熱部と、
前記基板上に設けられ、前記発熱部と電気的に接続された電極と、
前記基板上に設けられ、前記電極と電気的に接続されたパッドと、を備え、
前記パッドは、ワイヤボンディング用の第1パッドと、前記第1パッドと異なる位置に配置された検査用の第2パッドとを有しており、
前記第1パッドと前記基板との間に平滑層が設けられており、
前記平滑層が、前記基板が露出した露出部を有しており、
前記第2パッドが、前記露出部上に配置されており、
平面視して、前記第2パッドの周囲に前記平滑層が設けられている、サーマルヘッド。
A substrate,
A heat generating portion provided on the substrate;
An electrode provided on the substrate and electrically connected to the heat generating portion;
A pad provided on the substrate and electrically connected to the electrode;
The pad has a first pad for wire bonding and a second pad for inspection disposed at a position different from the first pad,
A smoothing layer is provided between the first pad and the substrate;
The smooth layer has an exposed portion where the substrate is exposed,
The second pad is disposed on the exposed portion,
The thermal head , wherein the smooth layer is provided around the second pad in plan view .
前記第1パッドと前記第2パッドとの境界部分には段差部が設けられている、請求項1に記載のサーマルヘッド。   The thermal head according to claim 1, wherein a stepped portion is provided at a boundary portion between the first pad and the second pad. 前記パッドが、主走査方向に複数配列されており、
前記平滑層が、主走査方向に延びるように設けられており、複数の前記第1パッドと前記基板との間に設けられており、ガラスにより形成されている、請求項1または2に記載のサーマルヘッド。
A plurality of the pads are arranged in the main scanning direction,
The smooth layer is provided so as to extend in the main scanning direction, provided between a plurality of the first pads and the substrate, and formed of glass. Thermal head.
前記電極と前記第2パッドとの境界部分には段差部が設けられている、請求項に記載のサーマルヘッド。 The thermal head according to claim 3 , wherein a stepped portion is provided at a boundary between the electrode and the second pad. 前記第2パッドの表面粗さが、前記第1パッドの表面粗さよりも粗い、請求項1〜のいずれか一項に記載のサーマルヘッド。 The thermal head according to any one of claims 1 to 4 , wherein a surface roughness of the second pad is rougher than a surface roughness of the first pad. 基板と、
前記基板上に設けられた発熱部と、
前記基板上に設けられ、前記発熱部と電気的に接続された電極と、
前記基板上に設けられ、前記電極と電気的に接続されたパッドと、を備え、
前記パッドは、ワイヤボンディング用の第1パッドと、前記第1パッドと異なる位置に配置された検査用の第2パッドとを有しており、
前記第1パッドと前記基板との間に平滑層が設けられており、前記平滑層が前記第2パ
ッドと前記基板との間に設けられておらず、
平面視して、前記パッドは、前記第1パッドと前記第2パッドとの境界部分にくびれ部を有する、サーマルヘッド。
A substrate,
A heat generating portion provided on the substrate;
An electrode provided on the substrate and electrically connected to the heat generating portion;
A pad provided on the substrate and electrically connected to the electrode;
The pad has a first pad for wire bonding and a second pad for inspection disposed at a position different from the first pad,
A smooth layer is provided between the first pad and the substrate, and the smooth layer is the second layer.
Not provided between the gate and the substrate,
In plan view, the pad has a constricted portion at the boundary portion between the second pad and the first pad, Sa Maruheddo.
請求項1〜のうちいずれか一項に記載のサーマルヘッドと、
前記発熱部上に記録媒体を搬送する搬送機構と、
前記発熱部上に前記記録媒体を押圧するプラテンローラと、を備えることを特徴とするサーマルプリンタ。
A thermal head according to any one of claims 1 to 6 ;
A transport mechanism for transporting a recording medium onto the heat generating portion;
And a platen roller for pressing the recording medium on the heat generating portion.
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