JP6524683B2 - 赤外線検出器、赤外線撮像装置及び赤外線検出器の製造方法 - Google Patents
赤外線検出器、赤外線撮像装置及び赤外線検出器の製造方法 Download PDFInfo
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Description
最初に、図2に基づき従来のQWIPについて説明する。図2に示される構造のQWIPは、GaAs基板10の上に、GaAsバッファ層11、InGaPストッパ層12、下部電極層20、多重量子井戸構造30、上部電極層40が積層されて形成されている。上部電極層40の上には、AlGaAsストッパ層51、光結合構造部52、反射膜53が形成されている。下部電極層20及び上部電極層40の一部は露出しており、露出している下部電極層20の上には、下部電極61が形成されており、上部電極層40の上には、上部電極62が形成されている。下部電極61及び上部電極62は、金属材料により形成されている。
次に、第1の実施の形態における赤外線検出器について説明する。本実施の形態における赤外線検出器100は、QWIPであり、図4に示されるように、GaAs基板110の上に、GaAsバッファ層111、InGaPストッパ層112、下部電極層120、多重量子井戸構造130、上部電極層140が形成されている。また、上部電極層140の上には、AlGaAsストッパ層151、光結合構造部152、反射膜153が形成されている。下部電極層120及び上部電極層140の一部は露出しており、露出している下部電極層120の上には、下部電極161が形成されており、上部電極層140の上には、上部電極162が形成されている。
次に、本実施の形態における赤外線検出器の製造方法について、図6から図8に基づき説明する。本実施の形態における赤外線検出器は、GaAs基板110の上に、MBEにより半導体層を成膜することにより形成される。具体的には、GaAs基板110をMBE装置のチャンバー内に設置した後、MBEにより半導体層の成膜を行う。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における赤外線検出器100が複数設けられている赤外線撮像素子を有する赤外線撮像装置である。
(付記1)
基板と、
前記基板の上に半導体材料により形成された下部電極層と、
前記下部電極層の上に半導体材料により形成された量子井戸構造と、
前記量子井戸構造の上に半導体材料により形成された上部電極層と、
前記上部電極層の上に半導体材料により形成された光結合構造部と、
を有し、
前記量子井戸構造は、障壁層と量子井戸層とが交互に積層されているものであって、
前記量子井戸構造において形成される電子と正孔の基底準位間のエネルギー差よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広いことを特徴とする赤外線検出器。
(付記2)
前記量子井戸構造における前記障壁層を形成している材料のバンドギャップと前記量子井戸層を形成している材料のバンドギャップの平均よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広いことを特徴とする付記1に記載の赤外線検出器。
(付記3)
前記上部電極層と前記光結合構造部との間には、エッチングストッパ層が形成されており、
前記光結合構造部は、前記光結合構造部を形成するための光結合構造形成層を成膜した後、前記光結合構造形成層の一部を前記エッチングストッパ層の表面が露出するまでエッチングにより除去することにより、凹凸状の形状に形成されるものであって、
前記光結合構造部の上には、赤外線を反射する反射膜が形成されていることを特徴とする付記1または2に記載の赤外線検出器。
(付記4)
前記障壁層はAlGaAsにより形成されており、
前記量子井戸層はGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部はAlGaAsにより形成されていることを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の赤外線検出器。
(付記5)
前記障壁層はAlGaAsにより形成されており、
前記量子井戸層はGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部はAlGaAsにより形成されており、
前記エッチングストッパ層はAlGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部を形成しているAlGaAsは、前記エッチングストッパ層を形成しているAlGaAsよりも、Alの組成比が小さいことを特徴とする付記3に記載の赤外線検出器。
(付記6)
前記基板と前記下部電極層との間には、InGaPを含む材料により形成された半導体層が形成されていることを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の赤外線検出器。
(付記7)
付記1から6のいずれかに記載された赤外線検出器を複数有し、
複数の前記赤外線検出器は、1次元または2次元に配列されていることを特徴とする赤外線撮像装置。
(付記8)
基板の上に、下部電極層、量子井戸構造、上部電極層、エッチングストッパ層、光結合構造形成層を形成する工程と、
前記基板の上に、前記下部電極層、前記量子井戸構造、前記上部電極層、前記エッチングストッパ層、前記光結合構造形成層が形成されたものについて、フォトルミネッセンスによる検査を行う工程と、
前記エッチングストッパ層をドライエッチングのエッチングストッパ層として、前記光結合構造形成層の一部をドライエッチングにより除去することにより、凹凸状の形状を有する光結合構造部を形成する工程と、
前記光結合構造部の上に、赤外線を反射する反射膜を形成する工程と、
有し、
前記量子井戸構造において形成される電子と正孔の基底準位間のエネルギー差よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広いことを特徴とする赤外線検出器の製造方法。
(付記9)
前記フォトルミネッセンスによる検査を行う工程において、前記フォトルミネッセンスによる検査とともに、X線回折による検査を行うことを特徴とする付記8に記載の赤外線検出器の製造方法。
(付記10)
前記障壁層はAlGaAsにより形成されており、
前記量子井戸層はGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部はAlGaAsにより形成されていることを特徴とする付記8または9に記載の赤外線検出器の製造方法。
110 GaAs基板
111 GaAsバッファ層
112 InGaPストッパ層
120 下部電極層
130 多重量子井戸構造
131 障壁層
132 量子井戸層
140 上部電極層
151 AlGaAsストッパ層
152 光結合構造部
153 反射膜
161 下部電極
162 上部電極
Claims (6)
- 基板と、
前記基板の上に半導体材料により形成された下部電極層と、
前記下部電極層の上に半導体材料により形成された量子井戸構造と、
前記量子井戸構造の上に半導体材料により形成された上部電極層と、
前記上部電極層の上に半導体材料により形成された光結合構造部と、
を有し、
前記量子井戸構造は、障壁層と量子井戸層とが交互に積層されているものであって、
前記量子井戸構造において形成される電子と正孔の基底準位間のエネルギー差よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広く、
前記上部電極層と前記光結合構造部との間には、エッチングストッパ層が形成されており、
前記障壁層はAlGaAsにより形成されており、
前記量子井戸層はGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部はAlGaAsにより形成されており、
前記エッチングストッパ層はAlGaAsにより形成されており、
前記光結合構造部を形成しているAlGaAsは、前記エッチングストッパ層を形成しているAlGaAsよりも、Alの組成比が小さいことを特徴とする赤外線検出器。 - 前記量子井戸構造における前記障壁層を形成している材料のバンドギャップと前記量子井戸層を形成している材料のバンドギャップの平均よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広いことを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。
- 前記基板と前記下部電極層との間には、InGaPを含む材料により形成された半導体層が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の赤外線検出器。
- 光結合構造部におけるAlの組成比は0.07以上であって、0.15以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の赤外線検出器。
- 請求項1から4のいずれかに記載された赤外線検出器を複数有し、
複数の前記赤外線検出器は、1次元または2次元に配列されていることを特徴とする赤外線撮像装置。 - 基板の上に、下部電極層、量子井戸構造、上部電極層、エッチングストッパ層、光結合構造形成層を形成する工程と、
前記基板の上に、前記下部電極層、前記量子井戸構造、前記上部電極層、前記エッチングストッパ層、前記光結合構造形成層が形成されたものについて、フォトルミネッセンスによる検査を行う工程と、
前記エッチングストッパ層をドライエッチングのエッチングストッパ層として、前記光結合構造形成層の一部をドライエッチングにより除去することにより、凹凸状の形状を有する光結合構造部を形成する工程と、
前記光結合構造部の上に、赤外線を反射する反射膜を形成する工程と、
有し、
前記量子井戸構造において形成される電子と正孔の基底準位間のエネルギー差よりも、前記光結合構造部を形成している材料のバンドギャップが広いことを特徴とする赤外線検出器の製造方法。
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JP2015022137A JP6524683B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | 赤外線検出器、赤外線撮像装置及び赤外線検出器の製造方法 |
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JP2015022137A Active JP6524683B2 (ja) | 2015-02-06 | 2015-02-06 | 赤外線検出器、赤外線撮像装置及び赤外線検出器の製造方法 |
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