JP6512792B2 - 磁気浮上型ポンプ - Google Patents
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Description
本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、移送液の脈動がなく、摺動部の接触により生ずるパーティクルの発生を抑えることができる磁気浮上型ポンプを提供することを目的とする。
本発明によれば、ポンプ運転中に、ポンプケーシング内と吸込口との圧力差によって軸スラストが作用して羽根車は吸込口側に押されるが、吸込口とは反対側に配置されているモータにより、羽根車を吸込口側とは反対側に引き戻す吸引力を作用させることができるため、ポンプの差圧により生ずる軸スラストを相殺することができる。従って、ポンプ運転中に羽根車のスラスト方向における電磁石による制御は、ゼロパワー(無電力)制御が可能となる。
本発明によれば、ラジアル剛性が受動安定化力だけでは剛性不足になる場合に、永久磁石ラジアル反発軸受によってラジアル剛性を補うことができる。したがって、羽根車の軸 端部を磁気反発力で非接触で安定して支持することができる。
本発明によれば、羽根車側の永久磁石とポンプケーシング側の永久磁石とを軸方向にずらして配置することにより、モータが羽根車を吸引する吸引力の方向とは逆の力、すなわち、羽根車を吸込口側に押す力を発生させることができる。この羽根車を吸込口側に押す力により、モータが羽根車を吸引する吸引力を減らすことができるため、ポンプ始動時に、モータ側に引き寄せられている羽根車を電磁石の電磁力によりモータから引き離す制御を行う際に、電磁石の電磁力を低減できる。したがって、ポンプ始動時の電磁石の電力を低減できる。
本発明によれば、モータは羽根車側に永久磁石を備えた永久磁石型モータであるため、常にモータから羽根車に吸引力が働いており、軸スラストによって吸込口側に押される羽根車を反対側に引き戻す力を作用させることができる。
本発明によれば、ラジアル剛性が受動安定化力だけでは剛性不足になる場合に、すべり軸受によってラジアル剛性を補うことができる。したがって、羽根車の軸端部を安定して支持することができる。
本発明によれば、回転体としての羽根車の位置を検出するセンサを設置する必要がなく、電磁石の制御をセンサレスで行うことができる。
本発明によれば、ポンプケーシングの内面や羽根車等の移送液と接触する接液部は、PTFEやPFA等の樹脂材をコーティングするか、又は接液部の構成部品全体を樹脂材で構成している。したがって、接液部から金属イオンが発生することがない。
本発明の磁気浮上型ポンプの別の態様は、ポンプケーシング内に収容された羽根車を磁気によって浮上させる磁気浮上型ポンプであって、前記羽根車を挟んで、羽根車を回転させるモータと、羽根車を磁気により支持する電磁石とを対向して配置し、前記モータを前記ポンプケーシングの吸込口とは反対側に配置し、前記羽根車の軸方向の端部は羽根車の吸込口を構成し、羽根車の吸込口とは反対側の羽根車の軸方向の端部は羽根車の背面から突出した部分からなり、前記羽根車の背面から突出した部分にリング状の永久磁石を設け、前記ポンプケーシングに、前記羽根車の背面から突出した部分と半径方向で対向する位置にリング状の永久磁石を設け、羽根車側の永久磁石とポンプケーシング側の永久磁石とを半径方向に対向させて永久磁石ラジアル反発軸受を構成し、前記羽根車側の永久磁石と前記ポンプケーシング側の永久磁石は、アキシャル方向着磁とラジアル方向着磁の永久磁石の組み合わせからなることを特徴とする。
(1)羽根車を非接触で回転させることにより回転部や摺動部の接触により生ずるパーティクルの発生を抑えることができる。従って、パーティクルが純水や薬液等の移送液中に混入し、移送液を汚染させてしまうという問題を解消することができる。
(2)磁気浮上型ポンプを遠心式ポンプで構成することにより、純水や薬液等の移送液を連続的に滑らかに移送することができ、移送液の脈動がない。
(3)ポンプ運転中に、ポンプケーシング内と吸込口との圧力差によって軸スラストが作用して羽根車は吸込口側に押されるが、吸込口とは反対側に配置されているモータにより、羽根車を吸込口側とは反対側に引き戻す吸引力を作用させることができるため、ポンプの差圧により生ずる軸スラストを相殺することができる。従って、ポンプ運転中に羽根車のスラスト方向における電磁石による制御は、ゼロパワー(無電力)制御が可能となる。
(4)ポンプケーシング内において移送液と接触する接液部は、PTFEやPFA等の樹脂材で構成されているため、接液部から金属イオンが発生することがない。
図1は、本発明に係る磁気浮上型ポンプの一実施形態である磁気浮上型遠心ポンプを示す縦断面図である。図1に示すように、磁気浮上型遠心ポンプ1は、吸込口1sと吐出口1dとを有し略円筒容器状のケーシング2と、ケーシング2の前面開口部を覆うケーシングカバー3と、ケーシング2とケーシングカバー3によって構成されるポンプケーシング内に収容された羽根車4とを備えている。ケーシング2とケーシングカバー3とから構成されるポンプケーシングの内面等の接液部はPTFEやPFA等の樹脂キャン構造からなっている。ポンプケーシングの内面は、フラット(平坦)な両端面と円筒状の内周面から構成され、ポンプケーシング内には凹み部がなく、エア溜りがないように工夫されている。
図3に示すように、基本的に制御磁極は8極有り、隣あった2極を1対として使用し、(1)(2)(3)(4)の全てを動作させればZ方向に制御力を発生し、(1)(2)と(3)(4)を作動的に動かせばθy、(1)(4)と(2)(3)を作動的に動かせばθxの制御力を発生することが出来る。
図4に示すように、理想的には制御磁極を6極にすることにより、さらにコンパクトな構造とすることが出来る。すなわち、電磁石コイルの数や電流ドライバの数が減らせるなどのメリットがある。この場合も、隣り合った2極を1対として使用する。(1)(2)(3)の全てを動作させればZ方向に制御力を発生し、(1)と(2)(3)を作動的に動かせばθx、(2)と(3)を作動的に動かせばθyの制御力を発生することが出来る。
理想的にはセンサも3個に減らしてそれぞれの出力を演算してZ,θx,θyを求めることも可能である。
この様にして求められたそれぞれのZ,θx,θyの3つのモードに対して、それぞれの固有振動数から最適な制御則を適用し、それぞれのモードの制御出力をそれぞれ計算する。計算した制御出力を演算ユニットで演算して、3対または4対の電磁石コイルにそれぞれの電流を配分してやることによって回転体である羽根車4のZ,θx,θyの動きを制御し、モータにより安定に回転させることが出来る(θz)。
つまり、基本的にZ方向でいえばモータ吸引力≧ポンプ差圧力となるように構成し、モータ吸引力=ポンプ差圧力+電磁石力となるように電磁石の力を制御する。理想的には電磁石の力を0にすることが出来る(ゼロパワー制御)。
また更に理想的には、制御コイルのインピーダンスに基づいてギャップの位置を推定するセンサレス磁気軸受(セルフセンシング磁気軸受)の技術を適用することによって、変位センサを無くし、ポンプ本体を更に小型化・低コストにすることが出来る。
6自由度のうちの残る2つの自由度は、モータの永久磁石と固定子側ヨークの間に働く吸引力、および制御電磁石の固定側ヨークと回転体側磁極の間に働く吸引力によって受動的に安定化している。
この様な軸受は、図5に示すように、アキシャル方向に着磁した永久磁石を着磁方向が逆になるように積み重ねることによって構成される。理想的には、図6に示すように、アキシャル方向着磁とラジアル方向着磁の永久磁石を組み合わせることにより、より大きなラジアル剛性を得ることが出来る。
このラジアル軸受はアキシャル方向には不安定な剛性を持っており、どちらか1方向に抜けてしまおうという力が働く。このため、予め回転体(羽根車4)に吸込口側に力が作用するように固定側と回転体側の永久磁石をずらしておくことによって、モータの永久磁石による吸引力を軽減することが出来る。
図7(a),(b)に示すように、磁気浮上型遠心ポンプ1は、両端面と円周面とを有した短い円柱形状をなし、一端面に吸込口1sが形成され、円周面に吐出口1dが形成されている。図7(a),(b)に示すように、磁気浮上型遠心ポンプ1は極めてシンプルな構造になっている。
1d 吐出口
1s 吸込口
2 ケーシング
3 ケーシングカバー
4 羽根車
4e 端部
4s 羽根車の吸込口
5 ロータ磁極
6 電磁石
6a 電磁石コア
6b コイル
8,10,11 永久磁石
9 モータ
9a モータコア
9b コイル
12 すべり軸受
Claims (6)
- ポンプケーシング内に収容された羽根車を磁気によって浮上させる磁気浮上型ポンプであって、
前記羽根車を挟んで、羽根車を回転させるモータと、羽根車を磁気により支持する電磁石とを対向して配置し、
前記モータを前記ポンプケーシングの吸込口とは反対側に配置し、
前記羽根車の軸方向の端部は羽根車の吸込口を構成し、羽根車の吸込口とは反対側の羽根車の軸方向の端部は羽根車の背面から突出した部分からなり、
前記羽根車の背面から突出した部分にリング状の永久磁石を設け、前記ポンプケーシングに、前記羽根車の背面から突出した部分と半径方向で対向する位置にリング状の永久磁石を設け、羽根車側の永久磁石とポンプケーシング側の永久磁石とを半径方向に対向させて永久磁石ラジアル反発軸受を構成し、
前記羽根車側の永久磁石と前記ポンプケーシング側の永久磁石は、軸方向には互いにずれて配置されていることを特徴とする磁気浮上型ポンプ。 - ポンプケーシング内に収容された羽根車を磁気によって浮上させる磁気浮上型ポンプであって、
前記羽根車を挟んで、羽根車を回転させるモータと、羽根車を磁気により支持する電磁石とを対向して配置し、
前記モータを前記ポンプケーシングの吸込口とは反対側に配置し、
前記羽根車の軸方向の端部は羽根車の吸込口を構成し、羽根車の吸込口とは反対側の羽根車の軸方向の端部は羽根車の背面から突出した部分からなり、
前記羽根車の背面から突出した部分にリング状の永久磁石を設け、前記ポンプケーシングに、前記羽根車の背面から突出した部分と半径方向で対向する位置にリング状の永久磁石を設け、羽根車側の永久磁石とポンプケーシング側の永久磁石とを半径方向に対向させて永久磁石ラジアル反発軸受を構成し、
前記羽根車側の永久磁石と前記ポンプケーシング側の永久磁石は、アキシャル方向着磁とラジアル方向着磁の永久磁石の組み合わせからなることを特徴とする磁気浮上型ポンプ。 - 前記モータは、羽根車側に永久磁石を備えた永久磁石型モータであることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気浮上型ポンプ。
- 前記羽根車の吸込口側の軸方向の端部と、前記ポンプケーシングにおいて前記羽根車の吸込口側の軸方向の端部と半径方向で対向する部分との間に、すべり軸受を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気浮上型ポンプ。
- 前記電磁石のインピーダンスに基づいて前記羽根車の変位を検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の磁気浮上型ポンプ。
- 前記ポンプケーシング内において移送液と接触する接液部は、樹脂材で構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の磁気浮上型ポンプ。
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