JP2008190328A - 遠心式圧縮機 - Google Patents

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裕豊 宮川
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    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

【課題】より高速回転可能な遠心式圧縮機を提供する。
【解決手段】遠心式圧縮機は、前側羽根車11が設けられる前側圧縮部1と、前側圧縮部1の外部に設けられるモータ32と、前側羽根車11にモータ32の駆動力を伝達する回転軸31と、回転軸31を支承する軸受装置4とが設けられる駆動部3と、駆動部3の前側圧縮部1と反対側に設けられ、回転軸31の前側羽根車11と反対側の端部に連結される後側羽根車21が設けられる後側圧縮部2とを備える。軸受装置4は、前側羽根車11の駆動部3側端面に設けられる前側ターゲット61と、前側ターゲット61に対向する位置に設けられる前側電磁石62と、後側羽根車21の駆動部3側端面に設けられる後側ターゲット71と、後側ターゲット71に対向する位置に設けられる後側電磁石72とを備えるアキシャル磁気軸受60,70を含む。
【選択図】図1

Description

この発明は、遠心式圧縮機に関する。
遠心式圧縮機では、モータを駆動源とする駆動装置により圧縮部のケーシング内に設けられた羽根車を回転駆動することにより気体(空気)を圧縮している。このような駆動装置には、羽根車に駆動力を伝達する回転軸を支承するための軸受装置が設けられている(特許文献1参照。)。特に軸受装置としては、非接触軸受である磁気軸受やフォイル軸受が用いられている。
このような圧縮機は、例えば、図3に示されるように、圧縮部101及び駆動装置としての駆動部102とを備えている。これら圧縮部101及び駆動部102は、ケーシング110を構成する圧縮部ケーシング110aと駆動部ケーシング110bとをそれぞれ備えてなる。圧縮部101は、駆動部102の前方(同図左側)に位置している。圧縮部101の圧縮部ケーシング110aには、気体が吸入される気体吸入路112と、気体が吐出される気体吐出路113と、圧縮部ケーシング110a内で回転することにより気体吸入路112を通じて吸入した気体を圧縮し、気体吐出路113を通じて吐出する羽根車111とが設けられている。駆動部102には、ビルトイン型のモータ132と、同モータ132によって回転駆動され、同羽根車111に回転運動を伝達する回転軸131と、同回転軸131を支承する軸受装置104とが設けられている。回転軸131は圧縮部ケーシング110a及び駆動部ケーシング110bを嵌通し、その先端には圧縮部101に設けられた羽根車111が接続されている。軸受装置104は、回転軸131の軸方向においてモータ132を挟むように前後(同図左右)に位置し回転軸131をラジアル方向において支承する前後一対の前側フォイル軸受140及び後側フォイル軸受150と、回転軸131をアキシャル方向において支承する前側アキシャル磁気軸受160及び後側アキシャル磁気軸受170とからなる。
モータ132の駆動を通じて回転軸131が回転すると、回転軸131には、圧縮部101における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、同図の白抜き矢印で示すアキシャル方向の前方への力(スラスト荷重F)が発生する。そのため、回転軸131のアキシャル方向を支承する両アキシャル磁気軸受160,170は、同スラスト荷重Fによる回転軸131のアキシャル方向の偏移を抑制することができる程度の負荷容量のものを設けなければならない。
特表2004−527693号公報
しかしながら、圧縮機をより高出力、すなわち高速回転可能にする場合には、負荷容量を大きくするためにアキシャル磁気軸受160,170を大型化させる必要がある。一方で、軸受装置を大型化すると、回転軸の軸長が長くなるために、回転軸の固有振動数が減少し、高速回転が妨げられるおそれがある。そのため、圧縮機の高出力化には、改善の余地を残すものとなっていた。
この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、より高速回転可能な遠心式圧縮機を提供することにある。
以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について説明する。
請求項1に記載の発明は、第一のケーシングと同第一のケーシング内部に回転可能に収容される第一の羽根車とが設けられる第一の圧縮部と、同第一の圧縮部の外部に設けられるモータと、同第一の羽根車に同モータの駆動力を伝達する回転軸と、同回転軸をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する非接触軸受とが設けられる駆動装置と、同駆動装置の同第一の圧縮部と反対側に設けられる第二のケーシングと、同第二のケーシング内部に回転可能に収容されるとともに、前記回転軸の前記第一の羽根車と反対側の端部に連結される第二の羽根車とが設けられる第二の圧縮部とを備え、前記非接触軸受は、前記第一の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第一のターゲットと、前記第一のケーシング内部に露出するとともに、同第一のターゲットに対向する位置に設けられ、同第一のターゲットを吸引する第一の電磁石と、前記第二の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第二のターゲットと、前記第二のケーシング内部に露出するとともに、同第二のターゲットに対向する位置に設けられ、同第二のターゲットを吸引する第二の電磁石とを備えるアキシャル磁気軸受を含み、前記モータの駆動により前記第一の羽根車及び前記第二の羽根車が回転運動することによって前記第一のケーシング内部及び前記第二のケーシング内部の双方において気体を圧縮する遠心式圧縮機であることをその要旨としている。
第一の圧縮部に設けられた第一の羽根車が第一のケーシング内で回転すると、第一の圧縮部における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸にアキシャル方向へ作用する力、すなわちスラスト荷重が発生する。なお、この力(スラスト荷重)を第一のスラスト荷重という。また、第二の圧縮部に設けられた第二の羽根車が第二のケーシング内で回転すると、第二の圧縮部における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸のアキシャル方向へ作用する力、すなわちスラスト荷重が第一のスラスト荷重とは反対方向へ発生する。なお、この力(スラスト荷重)を第二のスラスト荷重という。
ここで、上記構成によれば、第一の羽根車が回転することにより回転軸に発生する第一のスラスト荷重を第二の羽根車が回転することにより回転軸に発生する第二のスラスト荷重によって、回転軸のアキシャル方向に作用する力を全体として減少させることができる。そのため、非接触軸受のアキシャル方向における負荷容量を軽減することができ、回転軸をアキシャル方向において支承する磁気軸受を小型化することができるため、回転軸の軸長を短くできる。また、アキシャル方向の位置制御を行う磁気軸受のターゲットを羽根車のモータ側端面に設けたことにより、ターゲットが離間して設けられた場合に比べ、回転軸の軸長をターゲット分短くすることができる。その結果、回転軸の固有振動数が増大し、高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。さらに、二つの圧縮部で圧縮気体の生成を行うため、各一つの圧縮部での生成負担を減らして、一つ当たりの吸気量を減らすことができる。このため、羽根車を小さくすることができる。また、回転軸のアキシャル方向へ作用する力が全体として減少し、アキシャル磁気軸受を小さくできる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の遠心式圧縮機において、前記第二の圧縮部は、前記第一の羽根車と同様である前記第二の羽根車と、前記第一のケーシングと同様である前記第二のケーシングとを備えてなることをその要旨としている。
同構成によれば、第二の羽根車を第一の羽根車と同様にし、第二のケーシングを第一のケーシングと同様にしたことにより、第二の羽根車によって回転軸に発生する第一のスラスト荷重は、第一の羽根車によって回転軸に発生する第二のスラスト荷重と同じ大きさとなるため、第一のスラスト荷重と第二のスラスト荷重とは相殺される。その結果、回転軸に掛かるアキシャル方向の力を全体としての極力抑制することができる。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の遠心式圧縮機において、前記第一の羽根車に設けられた前記第一のターゲットの前記第一の電磁石に対向する面及び前記第二の羽根車に設けられた前記第二のターゲットの前記第二の電磁石に対向する面には、前記回転軸がラジアル方向へ偏移しようとしたときに、前記両ターゲットに対して前記偏移方向と反対のラジアル方向の吸引力を作用させるべく環状溝が前記両ターゲットの軸心回りに形成され、ラジアル磁気軸受も兼ねることを特徴としている。
同構成によれば、ターゲットに環状溝が形成されることによって、アキシャル磁気軸受がラジアル方向軸受としても作用するため、別途ラジアル軸受を設けた場合には、ラジアル軸受を小型化することができる。
本発明によれば、より高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。
以下、本発明の一実施形態について図1を参照して説明する。図1は、遠心式圧縮機の構成を示す縦断面図である。
この圧縮機は、駆動装置に設けられる回転軸の軸線が水平方向となる横置きで用いられる。同図1に示されるように、遠心式圧縮機には、駆動装置としての駆動部3と、同駆動部3を挟むように前方(同図左側)に第一の圧縮部としての前側圧縮部1及び後方(同図右側)に第二の圧縮部としての後側圧縮部2とを備えてなる。これら前側圧縮部1、後側圧縮部2、及び駆動部3は、第一の圧縮部ケーシングとしての前側圧縮部ケーシング10、第二の圧縮部ケーシングとしての後側圧縮部ケーシング20、及び駆動部ケーシング30とをそれぞれ備えている。これら前側圧縮部ケーシング10、後側圧縮部ケーシング20、及び駆動部ケーシング30は、一体に形成されている。前側圧縮部1には、気体(空気)を吸入する前側気体吸入路12と、圧縮した気体を吐出する前側気体吐出路13と、前側圧縮部ケーシング10内で回転することにより前側気体吸入路12を通じて吸入した気体を圧縮するとともに前側気体吐出路13を通じて吐出する第一の羽根車としての前側羽根車11とが設けられている。後側圧縮部2には、前側圧縮部1と同様に、後側気体吸入路22と、後側気体吐出路23と、第二の羽根車としての後側羽根車21とが設けられている。ここで、前側圧縮部ケーシング10と後側圧縮部ケーシング20とは同様であり、前側羽根車11と後側羽根車21とは同様である。なお、前側羽根車11及び後側羽根車21は回転軸31の両端にそれぞれ設けられるため、それぞれの吸入方向に対して回転方向が異なるが、異なる回転方向であっても圧縮が行えるように後側羽根車21は構成されている。すなわち、後側羽根車21は、前側羽根車11と鏡像関係に構成される。前側気体吐出路13と後側気体吐出路23は、送風路5に合流している。駆動部3には、モータ32と、同モータ32によって回転駆動される回転軸31と、同回転軸31をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する軸受装置4とが設けられている。モータ32は、駆動部ケーシング30の内壁に設けられたステータ34と、回転軸31の外周に設けられたロータ33とを備えている。回転軸31の前側先端には前側圧縮部1に設けられた前側羽根車11が接続されており、回転軸31の後側先端には後側圧縮部2に設けられた後側羽根車21が接続されている。軸受装置4には、回転軸31の軸方向においてモータ32を挟むように前後(同図左右)に位置し回転軸31をラジアル方向において支承する前後一対の前側フォイル軸受40及び後側フォイル軸受50と、回転軸31をアキシャル方向において支承する前側アキシャル磁気軸受60及び後側アキシャル磁気軸受70とが設けられている。
前側フォイル軸受40は、回転軸31においてモータ32より前方(同図左側)、すなわちロータ33と前側羽根車11との間に配設されている。前側フォイル軸受40は、駆動部ケーシング30に固定される円筒状の前側軸受ハウジング41を備え、同前側軸受ハウジング41の内周面には、波形状のバンプフォイル42及びスリーブ状のトップフォイル43が配設されている。回転軸31は、トップフォイル43内に位置している。前側軸受ハウジング41の前側圧縮部1側の端面は、前側圧縮部ケーシング10の内面に露出している。後側フォイル軸受50は、回転軸31においてモータ32より後方(同図右側)、すなわちロータ33と後側羽根車21との間に配設されている。後側フォイル軸受50は、前側フォイル軸受40と同様に構成されており、駆動部ケーシング30に固定される後側軸受ハウジング51と、バンプフォイル52と、トップフォイル53とを備えている。後側軸受ハウジング51の後側圧縮部2側の端面は、後側圧縮部ケーシング20の内面に露出している。
前側アキシャル磁気軸受60は、前側羽根車11の駆動部3側端面に一体回転可能に設けられる第一のターゲットとしての前側ターゲット61と、前側軸受ハウジング41の前側圧縮部ケーシング10の内面に露出した面に前側ターゲット61と対向して設けられる第一の電磁石としての前側電磁石62とを備えている。前側ターゲット61の前側軸受ハウジング41に対向する面には、前側ターゲット61の軸心を中心とする大径の環状溝である大径環状溝63と、同大径環状溝63よりも小径の環状溝である小径環状溝64とが形成されている。大径環状溝63は、前側電磁石62に対向する位置に形成される。前側ターゲット61の大径環状溝63より外側の面(以下、外側吸引面)65、及び大径環状溝63と小径環状溝64との間の面(以下、内側吸引面)66は、電磁石62によって発生する磁力によって前側軸受ハウジング41に吸引される。これにより、前側アキシャル磁気軸受60は、外側吸引面65及び内側吸引面66が前側電磁石62の電磁石ヨーク62bの対向面と一致しようとする。すなわち、回転軸31が所定位置から偏心しようとすると、前側電磁石62と両吸引面65,66との間には、ラジアル方向の力が発生し、回転軸31を所定位置に維持する。前側軸受ハウジング41の前側ターゲット61に対向する面には、環状の凹部41aが形成されており、同凹部41aには電磁石コイル62aが収容されている。前側軸受ハウジング41は、磁性体により形成されており、電磁石ヨーク62bを兼ねている。すなわち、電磁石コイル62a及び電磁石ヨーク62bより電磁石62が構成されている。前側アキシャル磁気軸受60の前側ターゲット61が前側羽根車11の駆動部3側端面に設けられるため、回転軸31の軸長を短くすることができる。前側ターゲット61は、電磁石コイル62aに電流が流されると、発生する磁力によって前側電磁石62に吸引される。後側アキシャル磁気軸受70は、前側アキシャル磁気軸受60と同様に構成されており、後側羽根車21の駆動部3側端面に一体回転可能に設けられる第二のターゲットとしての後側ターゲット71と、後側軸受ハウジング51の後側圧縮部ケーシング20の内面に露出した面に後側ターゲット71と対向して設けられる第二の電磁石としての後側電磁石72とを備えている。後側ターゲット71の後側軸受ハウジング51に対向する面には、後側ターゲット71の軸心を中心とする大径の環状溝である大径環状溝73と、同大径環状溝73よりも小径の環状溝である小径環状溝74とが形成されている。大径環状溝73は、後側電磁石72に対向する位置に形成される。後側ターゲット71の大径環状溝73より外側の面(以下、外側吸引面)75、及び大径環状溝73と小径環状溝74との間の面(以下、内側吸引面)76は、後側電磁石72によって発生する磁力によって後側軸受ハウジング51に吸引される。これにより、後側アキシャル磁気軸受70は、外側吸引面75及び内側吸引面76が後側電磁石72の電磁石ヨーク72bの対向面と一致しようとする。すなわち、回転軸31が所定位置から偏心しようとすると、後側電磁石72と両吸引面75,76との間には、ラジアル方向の力が発生し、回転軸31を所定位置に維持する。後側軸受ハウジング51の後側ターゲット71に対向する面には、環状の凹部51aが形成されており、同凹部51aには電磁石コイル72aが収容されている。後側軸受ハウジング51は、磁性体により形成されており、電磁石ヨーク72bを兼ねている。すなわち、電磁石コイル72a及び電磁石ヨーク72bより後側電磁石72が構成されている。後側アキシャル磁気軸受70の後側ターゲット71が後側羽根車21の駆動部3側端面に設けられるため、回転軸31の軸長を短くすることができる。後側ターゲット71は、電磁石コイル72aに電流が流されると、発生する磁力によって後側電磁石72に吸引される。駆動部ケーシング30には、回転軸31のアキシャル方向の位置を検出する図示しない位置センサが設けられている。同位置センサによって検出された回転軸31の位置に基づいて、回転軸31が所定位置に支承できるように前側アキシャル磁気軸受60に設けられる電磁石コイル62a及び後側アキシャル磁気軸受70に設けられる電磁石コイル72aの電流がそれぞれ制御される。
次に、前述のように構成された圧縮機の動作態様について説明する。
圧縮機は、駆動部3に設けられるモータ32が回転すると回転軸31が回転し、回転軸31の両端にそれぞれ接続された前側羽根車11及び後側羽根車21が回転される。これにより、前側圧縮部1においては、前側気体吸入路12を通じて、吸入した気体が圧縮され、圧縮された気体が前側気体吐出路13から吐出される。同様に、後側圧縮部2においては、後側気体吸入路22を通じて、吸入した気体が圧縮され、圧縮された気体が後側気体吐出路23から吐出される。回転軸31が回転されると、回転軸31の外周面とトップフォイル43,53の内周面との間に動圧が発生し、同動圧による気体潤滑作用によって、回転軸31が両フォイル軸受40,50と非接触状態で支承される。
前側圧縮部1における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸31には同図左側の白抜き矢印に示されるように、アキシャル方向の前方へ作用する力(前側スラスト荷重Ff)が発生する。後側圧縮部2における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸31には同図右側の白抜き矢印に示されるように、アキシャル方向の後方へ作用する力(後側スラスト荷重Fr)が発生する。なお、これら前側スラスト荷重Ffと後側スラスト荷重Frとは、前側圧縮部1と後側圧縮部2とが同様の構成であるため、同じ大きさ(|Ff|=|Fr|)でありかつ反対方向であるため、これら前側スラスト荷重Ff,後側スラスト荷重Frは相殺される。
両アキシャル磁気軸受60,70は、位置センサによって検出された回転軸31のアキシャル方向の位置に基づいて、前側アキシャル磁気軸受60に設けられる電磁石コイル62a及び後側アキシャル磁気軸受70に設けられる電磁石コイル72aの電流がそれぞれ制御されることにより、回転軸31が所定位置に支承される。
以上、説明した実施形態によれば、以下の作用効果を奏することができる。
(1)前側羽根車11が回転することにより回転軸31に発生する前側スラスト荷重Ffを後側羽根車21が回転することにより回転軸31に発生する後側スラスト荷重Frによって、回転軸31のアキシャル方向に作用する力を全体として減少させることができる。そのため、軸受装置4のアキシャル方向における負荷容量を軽減することができ、回転軸31をアキシャル方向において支承する両アキシャル磁気軸受60,70を小型化することができるため、回転軸31の軸長を短くできる。また、両アキシャル磁気軸受60,70の両ターゲット61,71を両羽根車11,21の駆動部3側端面に設けたことにより、ターゲットが離間して設けられた場合に比べ、回転軸の軸長をターゲット分短くすることができる。その結果、回転軸31の固有振動数が増大し、高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。さらに、二つの圧縮部1,2で圧縮気体の生成を行うため、各一つの圧縮部1,2での生成負担を減らして、一つ当たりの吸気量を減らすことができる。このため、それぞれの羽根車11,21を小さくすることができる。また、回転軸31のアキシャル方向へ作用する力が全体として減少し、両アキシャル磁気軸受60,70を小さくできる。
(2)後側羽根車21を前側羽根車11と同様にし、後側圧縮部ケーシング20を前側圧縮部ケーシング10と同様にしたことにより、後側羽根車21によって回転軸31に発生する後側スラスト荷重Frは、前側羽根車11によって発生する前側スラスト荷重Ffと同じ大きさ(|Ff|=|Fr|)でありかつ反対方向であるため、前側スラスト荷重Ffと後側スラスト荷重Frとは相殺される。その結果、回転軸31に掛かるアキシャル方向の力を全体としての極力抑制することができる。
(3)両ターゲット61,71にそれぞれ大径環状溝63,73及び小径環状溝64,74が形成されることによって、両アキシャル磁気軸受60,70がラジアル方向軸受としても作用するため、別途ラジアル軸受を設けた場合には、ラジアル軸受を小型化することができる。
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
・上記実施形態では、前側羽根車11と後側羽根車21とを同様にするとともに、前側圧縮部ケーシング10と後側圧縮部ケーシング20とを同様にするようにした。しかしながら、回転軸31に掛かる前側羽根車11により発生する前側スラスト荷重Ffによる影響を減少させればよいのであれば、異なってもよい。同構成によれば、前側スラスト荷重Ffと後側スラスト荷重Frとによって相殺させることはできないが、回転軸31に掛かるアキシャル方向の力を全体としては減少させることができる。
・上記実施形態では、両ターゲット61,71にそれぞれ大径環状溝63,73及び小径環状溝64,74を形成するようにしたが、ラジアル方向の軸受が十分であるならば、図2に示されるように、両ターゲット81,91の駆動部3側端面を平面にして、前側ターゲット81と前側電磁石62とからなるアキシャル磁気軸受80、及び後側ターゲット91と後側電磁石72とからなるアキシャル磁気軸受90をアキシャル方向のみ支承する軸受として用いるようにしてもよい。同構成によれば、両ターゲット81,91の厚みを環状溝63,64,73,74が形成されたターゲット61,71と比較して薄くすることができる。また、環状溝63,64,73,74が形成されたターゲット61,71より構造を簡易にすることができる。
・上記実施形態では、両電磁石62,72が吸引するターゲット61,71を両羽根車11,21にそれぞれ設けたが、両羽根車11,21を強磁性体(鉄系材料)で製作してもよい。同構成によれば、両羽根車11,21自体が電磁石となるので、別途ターゲットとなるものを羽根車に設けなくともよいため、構成が簡易である。
遠心式圧縮機の縦断面図。 遠心式圧縮機の縦断面図。 遠心式圧縮機の縦断面図。
符号の説明
1…前側圧縮部、2…後側圧縮部、3…駆動部、4…軸受装置、10…前側圧縮部ケーシング、11…前側羽根車、12…前側気体吸入路、13…前側気体吐出路、20…後側圧縮部ケーシング、21…後側羽根車、22…後側気体吸入路、23…後側気体吐出路、30…駆動部ケーシング、31…回転軸、32…モータ、33…ロータ、34…ステータ、40…前側フォイル軸受、41…前側軸受ハウジング、50…後側フォイル軸受、51…後側軸受ハウジング、41a,51a…凹部、42,52…バンプフォイル、43,53…トップフォイル、60…前側アキシャル磁気軸受、61…前側ターゲット、62…前側電磁石、70…後側アキシャル磁気軸受、71…後側ターゲット、72…後側電磁石、62a,72a…電磁石コイル、62b,72b…電磁石ヨーク、63,73…大径環状溝、64,74…小径環状溝、65,75…外側吸引面、66,76…内側吸引面、81…前側ターゲット、91…後側ターゲット、F…スラスト荷重、Ff…前側スラスト荷重、Fr…後側スラスト荷重。

Claims (3)

  1. 第一のケーシングと同第一のケーシング内部に回転可能に収容される第一の羽根車とが設けられる第一の圧縮部と、
    同第一の圧縮部の外部に設けられるモータと、同第一の羽根車に同モータの駆動力を伝達する回転軸と、同回転軸をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する非接触軸受とが設けられる駆動装置と、
    同駆動装置の同第一の圧縮部と反対側に設けられる第二のケーシングと、同第二のケーシング内部に回転可能に収容されるとともに、前記回転軸の前記第一の羽根車と反対側の端部に連結される第二の羽根車とが設けられる第二の圧縮部とを備え、
    前記非接触軸受は、前記第一の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第一のターゲットと、前記第一のケーシング内部に露出するとともに、同第一のターゲットに対向する位置に設けられ、同第一のターゲットを吸引する第一の電磁石と、前記第二の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第二のターゲットと、前記第二のケーシング内部に露出するとともに、同第二のターゲットに対向する位置に設けられ、同第二のターゲットを吸引する第二の電磁石とを備えるアキシャル磁気軸受を含み、
    前記モータの駆動により前記第一の羽根車及び前記第二の羽根車が回転運動することによって前記第一のケーシング内部及び前記第二のケーシング内部の双方において気体を圧縮する
    ことを特徴とする遠心式圧縮機。
  2. 請求項1に記載の遠心式圧縮機において、
    前記第二の圧縮部は、前記第一の羽根車と同様である前記第二の羽根車と、前記第一のケーシングと同様である前記第二のケーシングとを備えてなる
    ことを特徴とする遠心式圧縮機。
  3. 請求項1又は2に記載の遠心式圧縮機において、
    前記第一の羽根車に設けられた前記第一のターゲットの前記第一の電磁石に対向する面及び前記第二の羽根車に設けられた前記第二のターゲットの前記第二の電磁石に対向する面には、前記回転軸がラジアル方向へ偏移しようとしたときに、前記両ターゲットに対して前記偏移方向と反対のラジアル方向の吸引力を作用させるべく環状溝が前記両ターゲットの軸心回りに形成され、ラジアル磁気軸受も兼ねる
    ことを特徴とする遠心式圧縮機。
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