JP6501388B2 - 移動・傾斜機構 - Google Patents
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Description
(1)圧電素子31の断面積を大きくすることができ、より大きな荷重に耐えられる(図2の装置の単位面積当たりの変位量×荷重が大きくなる)。
・(y1−Y1)≒0
・(z1−Z1)
S14は、各圧電素子を駆動する。これは、S13で算出した差分に相当する距離だけ移動させるように各圧電素子に電圧を増加あるいは減少させる。
2:柔軟部
3:圧電素子
4、40:支柱
5:歪ゲージ
6:上蓋
7:台座
11:支点
12:力点
13、48:作用点
21:内筒
22、23:外筒
31:突起
32:ベアリング
41:アンプ
42、59:PC(パソコン)
43:フォトマスク
44:マスクパレット
45:Z軸可動装置
46:サンプル
47:サンプルホルダー
51:電子ビームコラム
52:天板
53:対物レンズ
54:静電吸着器
55:力検出器
56:XYステージ
57:底板
58:ドライバー
60:サンプル高さ制御テーブル
Claims (10)
- 圧電素子に電圧を印加して測定対象を移動あるいは傾斜あるいは両者をさせる移動・傾斜機構において、
支柱と、
前記支柱の周辺に対称に配置した、電圧を印加すると伸縮する、2つ以上の圧電素子と、
前記圧電素子の一端を固定する台座と、
前記台座に一端を固定した圧電素子の他端を力点に接続し、かつ前記台座に一端を固定した支柱の他端を支点に接続したレバーと、
前記レバーの作用点に接続した上蓋とを備え、
前記圧電素子に電圧を印加したことによる当該圧電素子の伸縮に伴う前記力点の移動に伴い、前記レバーの支点を中心に、前記レバーの作用点に接続した上蓋をZ軸方向に移動およびZ軸方向に対して傾斜のいずれか1つ以上を行うことを特徴とする移動・傾斜機構。 - 前記圧電素子の他端を前記レバーの力点に突起で接触するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の移動・傾斜機構。
- 前記レバーの支点と力点との距離をa,支点と作用点との距離をbとしたとき、前記圧電素子の他端の伸縮をb/a倍に増幅したことを特徴とする請求項1ないし請求項2のいずれかに記載の移動・傾斜機構。
- 前記作用点に柔軟性の前記上蓋を接続したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の移動・傾斜機構。
- 前記レバーは、各作用点を前記上蓋に接続し、各力点を前記圧電素子の他端に接続し、支点を前記支柱の他端に接続したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の移動・傾斜機構。
- 前記レバーの作用点を可及的に支点に近づけて傾斜しやすくしたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の移動・傾斜機構。
- X方向およびY方向に移動可能なXYステージの上に、3組の前記移動・傾斜機構を搭載してこの上にサンプルホルダを3点固定したことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の移動・傾斜機構。
- 前記3組の移動・傾斜機構の圧電素子に所定の電圧を印加し、サンプルホルダ3に固定したサンプルのZ方向の高さおよび傾きの1つ以上を調整することを特徴とする請求項7に記載の移動・傾斜機構。
- サンプルを固定した前記サンプルホルダを、対物レンズに連結した天板あるいは鏡筒に、撮影時にアドホック固定して画像振動を軽減したことを特徴とする請求項7あるいは請求項8に記載の移動・傾斜機構。
- 前記アドホック固定は、静電吸着としたことを特徴とする請求項9記載の移動・傾斜機構。
Priority Applications (1)
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JP2014235621A JP6501388B2 (ja) | 2014-11-20 | 2014-11-20 | 移動・傾斜機構 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2014235621A JP6501388B2 (ja) | 2014-11-20 | 2014-11-20 | 移動・傾斜機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016100154A JP2016100154A (ja) | 2016-05-30 |
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Family
ID=56077247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014235621A Active JP6501388B2 (ja) | 2014-11-20 | 2014-11-20 | 移動・傾斜機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6501388B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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JP7280237B2 (ja) * | 2020-12-28 | 2023-05-23 | 株式会社ホロン | サンプル傾斜自動補正装置およびサンプル傾斜自動補正方法 |
Family Cites Families (3)
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GB2411288B (en) * | 2004-02-20 | 2006-01-04 | Melles Griot Ltd | Positioner device |
WO2006078018A1 (ja) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Neuberg Company Limited | 液体吐出装置 |
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2014
- 2014-11-20 JP JP2014235621A patent/JP6501388B2/ja active Active
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