JP6500683B2 - チタン基材の表面改質方法 - Google Patents

チタン基材の表面改質方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6500683B2
JP6500683B2 JP2015152214A JP2015152214A JP6500683B2 JP 6500683 B2 JP6500683 B2 JP 6500683B2 JP 2015152214 A JP2015152214 A JP 2015152214A JP 2015152214 A JP2015152214 A JP 2015152214A JP 6500683 B2 JP6500683 B2 JP 6500683B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
titanium
titanium base
molten salt
oxide layer
titanium oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2015152214A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017031466A (ja
Inventor
修次 岡崎
修次 岡崎
永田 達也
達也 永田
昭博 田中
昭博 田中
正己 榊原
正己 榊原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Boshoku Corp
Original Assignee
Toyota Boshoku Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Boshoku Corp filed Critical Toyota Boshoku Corp
Priority to JP2015152214A priority Critical patent/JP6500683B2/ja
Publication of JP2017031466A publication Critical patent/JP2017031466A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6500683B2 publication Critical patent/JP6500683B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

本発明は、純チタンからなるチタン基材の表面に、耐食性及び導電性の層を形成してチタン基材の表面を改質する方法に関する。
一般に、燃料電池スタックに用いられるセパレータとしては、純チタンなどの金属材料からなる基材と、基材の表面に形成された炭素材料などの膜とを有するものがある(例えば特許文献1参照)。こうしたセパレータによれば、炭素材料などの膜によって基材の表面が被覆されることから、セパレータの耐食性を向上させることができるとともに、セパレータの導電性を高い状態に維持することができる。
また従来、基材の表面に炭素材料などの膜を形成する方法としては、PVD(Physical Vapor Deposition)法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法などがある。
特開平10−255823号公報
ところで、PVD法やCVD法のように基材の表面に炭素材料などの膜を形成する場合には、基材から膜が剥離するおそれがある。そのため、膜が剥離した部位を起点として基材の腐食が進行する。
またこの場合、真空チャンバーやプラズマ電源、あるいはガス流量を制御する装置などの高価且つ大型の装置が必要となる。更にこの場合、こうした装置の取り扱いやメンテナンスが煩雑となる。
本発明の目的は、チタン基材の表面に耐食性及び導電性の層を容易に形成することのできるチタン基材の表面改質方法を提供することにある。
上記目的を達成するためのチタン基材の表面改質方法は、純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬することにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する。
同方法によれば、酸化剤を含む溶融塩中にチタン基材を浸漬させると、チタン基材の表面が酸化剤によって酸化されることとなる。このとき、溶融塩は、組成や温度により低次酸化膜が成長しやすい環境と考えられる。その結果、チタン基材の表面には二酸化チタンよりも低次の酸化チタン(TiOx、0<x<2)の層である低次酸化チタン層が形成される。このため、酸化剤を含む溶融塩中にチタン基材を浸漬させるという簡易な方法によって、チタン基材の表面に低次酸化チタン層を形成することができる。
周知のように低次酸化チタン層は耐食性及び導電性を有する。このため、チタン基材の表面に低次酸化チタン層が形成されることによって、チタン基材の耐食性を向上させることができるとともに、チタン基材の導電性を維持することができる。
また、低次酸化チタン層はチタン基材の表面自体が酸化されて形成されたものであることから、同層が剥がれるおそれはない。
また、低次酸化チタン層を形成するための設備としては、溶融塩及びチタン基材を収容可能な耐熱性の容器、及び溶融塩を溶融状態に保持するために容器を加熱する加熱装置を具備していればよい。
本発明によれば、チタン基材の表面に耐食性及び導電性の層を容易に形成することができる。
チタン基材の表面改質方法の一実施形態について、同表面改質方法を用いてチタン基材の表面に低次酸化チタン層を形成する装置の断面図。
以下、図1を参照して、一実施形態について説明する。
まず、純チタンからなるチタン基材20の表面に低次酸化チタン層を形成する装置10の概要について説明する。なお、本実施形態においては、例えばJIS規格(JIS H 4600)によって定められた1種の純チタンを用いている。また、低次酸化チタン層とは、二酸化チタンよりも低次の酸化チタン(TiOx、0<x<2)の層である。
図1に示すように、装置10は、溶融塩14を収容可能な耐熱性の容器12と、溶融塩14を溶融状態に保持するために容器12を加熱する加熱装置16とを備えている。
溶融塩14には、例えば酸化カルシウムなどの酸化剤が添加されている。
この溶融塩14中には、板状のチタン基材20と、アルミニウム板からなり、低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材30とが浸漬される。チタン基材20及び促進材30は、それぞれニッケル線40によって吊り下げられるとともに、チタン基材20における低次酸化チタン層を形成する対象の面21と促進材30とが互いに対向するように平行にして溶融塩14中に浸漬される。
なお、容器12としては、例えばアルミナなどのセラミックからなる、るつぼが好ましい。また、加熱装置16としては、容器12全体を収容する電気炉が好ましい。
次に、実験条件をそれぞれ異ならせた3つの実施例について説明する。
(実施例1)
実施例1の溶融塩14は、塩化カルシウム(CaCl2)、塩化カリウム(KCl)、及び塩化リチウム(LiCl)の3種類の塩化物塩をそれぞれ31:14:55のモル比で調合し、550℃で溶融させたものである。この溶融塩14には、酸化剤として酸化カルシウム(CaO)が添加されている。また、溶融塩14と酸化カルシウムとの質量比は100:1.5とされている。そして、大気中において、加熱装置16により容器12を介して加熱された溶融塩14中に、30分間にわたってチタン基材20を促進材30と共に浸漬した。
(実施例2)
実施例2の溶融塩14は、塩化カルシウム(CaCl2)及び塩化ナトリウム(NaCl)をそれぞれ50:50のモル比で調合し、600℃で溶融させたものである。この溶融塩14には、酸化剤として酸化カルシウム(CaO)が添加されている。また、溶融塩14と酸化カルシウムとの質量比は100:1.5とされている。そして、大気中において、加熱装置16により容器12を介して加熱された溶融塩14中に、30分間にわたってチタン基材20を促進材30と共に浸漬した。
(実施例3)
実施例3の溶融塩14及び酸化剤の種類及び量は、実施例1と同一である。また、浸漬時間も実施例1と同一である。ただし、実施例3では、チタン基材20に電源装置の陽極を接続し、促進材30に電源装置の陰極を接続し、溶融塩14中にチタン基材20及び促進材30を浸漬している間に、これらチタン基材20と促進材30との間に−1Vの電位(銀−塩化銀電極を基準として測定)を15分間にわたって印加した。
(チタン基材20の洗浄)
実施例1〜3においてそれぞれ30分間にわたってチタン基材20を溶融塩14中に浸漬した後、チタン基材20を容器12から取り出し、チタン基材20の洗浄を行なった。
次に、溶融塩14中に浸漬されたチタン基材20を洗浄する方法について説明する。
(洗浄方法1)
チタン基材20を水洗する。
(洗浄方法2)
チタン基材20を水洗した後に、2規定の塩酸で酸洗する。
(洗浄方法3)
チタン基材20を水洗した後に、2規定の塩酸と2wt%の過酸化水素水との混合液で洗浄する。
(アノード分極試験)
洗浄方法1〜3によってそれぞれチタン基材20を洗浄した後、チタン基材20の耐食性を調べるためにアノード分極試験を行なった。
次に、腐食させる前のチタン基材20とカーボンペーパーとの接触抵抗(以下、単に接触抵抗と略称する場合がある。)を測定する。
続いて、塩化ナトリウム100mg/L及びフッ化ナトリウム50mg/Lを溶かしたpH2の硫酸溶液を準備し、80℃に設定された硫酸溶液中にチタン基材20を浸漬させるとともに同チタン基材20に+1Vの電位(標準水素電極を基準として測定)を100時間にわたって印加する処理を行なった。
次に、上記処理後のチタン基材20とカーボンペーパーとの接触抵抗を測定する。
また比較例として、表面の改質が行なわれる前のチタン基材20に対しても、上記と同様にアノード分極試験を行なった。
表1に、アノード分極試験の結果を示す。
表1に示すように、比較例のチタン基材20においては、上記処理前の接触抵抗が5mΩ・cmであるのに対して、上記処理後の接触抵抗が2500mΩ・cmとなり、上記処理によって接触抵抗が増大した。これは、上記処理によってチタン基材20の表面が腐食して導電性が低下したためであると考えられる。
実施例1のチタン基材20においては、上記処理前の接触抵抗が5〜8mΩ・cmであるのに対して、上記処理後の接触抵抗が10〜15mΩ・cmとなり、上記処理によって接触抵抗は増大したものの、その増大幅は比較例と比較すると無視できるほど小さい。
実施例2のチタン基材20においては、上記処理前の接触抵抗が3mΩ・cmであるのに対して、上記処理後の接触抵抗が15mΩ・cmとなり、上記接触抵抗は増大したものの、その増大幅は比較例と比較すると無視できるほど小さい。
実施例3のチタン基材20においては、上記処理前の接触抵抗が6〜7mΩ・cmであるのに対して、上記処理後の接触抵抗が10〜12mΩ・cmとなり、上記接触抵抗は増大したものの、その増大幅は比較例と比較すると無視できるほど小さい。
これらの実験結果から、上記実施例1〜3の実験によって得られたチタン基材20では、比較例のチタン基材20に比べて、耐食性が向上するとともに、チタン基材20の導電性が高い状態に維持されるといえる。
このことから、チタン基材20の表面には、導電性に優れるものの耐食性においては劣る純チタンでもなく、耐食性に優れるものの導電性においては劣る二酸化チタンでもない別の層が形成されたと考えられる。
ここで、溶融塩14中に酸化剤が含まれていたことを考慮すると、チタン基材20の表面には、耐食性及び導電性の双方において優れた低次酸化チタン層が形成されたと考えられる。そこで、X線光電子分光分析法(XPS)により、チタン基材20の表面の組成を調べたところ、低次酸化チタン層が形成されたことが確認された。
また、チタン基材20の表面のうち促進材30に対向する面21とは反対側の面22には、同対向する面21に比べて低次酸化チタン層が形成されにくいことが確認された。そして、促進材30を省略した場合には、チタン基材20の表面に低次酸化チタン層が形成されるまでに数時間から数十時間を要することが実験により確認されている。このことから、促進材30が低次酸化チタン層の形成を促進させる作用を奏するものと考えられる。
次に、本実施形態の作用について説明する。
発明者は、低次酸化チタン層が形成されるメカニズムを以下のように推測した。すなわち、酸化剤を含む溶融塩14中にチタン基材20を浸漬させると、チタン基材20の表面が酸化剤によって酸化されることとなる。このとき、溶融塩14中は還元雰囲気であることから、酸化剤によるチタン基材20の表面の酸化が緩和されると考えられる。その結果、チタン基材20の表面には二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層が形成される。
以上説明した本実施形態に係るチタン基材の表面改質方法によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
(1)酸化剤を含む溶融塩14中にチタン基材20を浸漬することによりチタン基材20の表面に低次酸化チタン層を形成するようにした。
こうした方法によれば、酸化剤を含む溶融塩14中にチタン基材20を浸漬させるという簡易な方法によって、チタン基材20の表面に低次酸化チタン層を形成することができる。これにより、チタン基材20の耐食性を向上させることができるとともに、チタン基材20の導電性を維持することができる。
また、低次酸化チタン層はチタン基材20の表面自体が酸化されて形成されたものであることから、同層が剥がれることはない。
また、低次酸化チタン層を形成するための設備としては、溶融塩14及びチタン基材20を収容可能な耐熱性の容器12、及び溶融塩14を溶融状態に保持するために容器12を加熱する加熱装置16を具備していればよい。
したがって、チタン基材20の表面に耐食性及び導電性の層を容易に形成することができる。
(2)溶融塩14として塩化物塩を用いるようにした。
容器12から取り出された後のチタン基材20の表面には塩が析出することとなるが、同塩が塩化物塩であることから、水洗のみであっても同塩を容易に除去することができる。したがって、上記方法によれば、反応後の洗浄工程が簡易なものとなる。
(3)溶融塩14中に、アルミニウムからなり、低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材30を浸漬するとともに、チタン基材20における低次酸化チタン層を形成する対象の面21を促進材30に対向させるようにした。こうした方法によれば、上記対象の面21に低次酸化チタン層を短い時間で形成することができる。
(4)低次酸化チタン層を形成するための設備としては、溶融塩14、チタン基材20、及び促進材30を収容可能な耐熱性の容器12、及び溶融塩を溶融状態に保持するために容器12を加熱する加熱装置16を具備していればよい。このため、体格の大きなチタン基材20に対して低次酸化チタン層を形成する場合であっても、装置の大型化を容易に図ることができる。
<変形例>
なお、上記実施形態は、例えば以下のように変更することもできる。
・チタン基材20は、1種の純チタンからなるものに限定されない。例えばJIS規格の純チタンであれば、2種や3種や4種の純チタンであってもよい。また、本発明における純チタンは、JIS規格によって定められたものに限定されるものではない。
・上記実施形態では、促進材30とチタン基材20とを互いに対向するように平行にしたが、チタン基材20における低次酸化チタン層を形成する対象の面21と促進材30とが対向していればよく、必ずしも促進材30とチタン基材20とを平行にする必要はない。また、チタン基材20の形状に合わせて促進材30の形状を適宜変更することもできる。また、促進材そのものを容器として用いることもできる。
・発明者は、溶融塩14中に、アルミニウムからなる促進材30に代えて、炭素材料からなる促進材を浸漬させる実験を行なった。この場合においても、促進材を浸漬させない場合に比べて低次酸化チタン層の形成に要する時間を短くすることができる。
・溶融塩14を構成する塩化物塩の種類と混合比を適宜変更することもできる。この場合、溶融塩を溶融状態に保持するための温度を、溶融塩を形成する塩の種類や塩の混合比に合わせて適宜変更すればよい。
・例えばフッ化ナトリウムやフッ化アルミニウムなどのフッ化物塩によって溶融塩を形成することもできる。また、硝酸ナトリウムや硝酸カリウムなどの硝酸塩によって溶融塩を形成することもできる。また、この場合においても、溶融塩を溶融状態に保持するための温度を、溶融塩を形成する塩の種類や塩の混合比に合わせて適宜変更すればよい。
・例えば酸化カリウム、酸化リチウム、酸化ナトリウムなどの酸化カルシウム以外の酸化剤を溶融塩中に添加するようにしてもよい。
10…装置、12…容器、14…溶融塩、16…加熱装置、20…チタン基材、21…対象の面、22…反対側の面、30…促進材、40…ニッケル線。

Claims (5)

  1. 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
    酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬するとともに、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材を、前記溶融塩に触れて位置させることにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
    チタン基材の表面改質方法。
  2. 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
    酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬するとともに、前記溶融塩中に、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材を配置することにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
    チタン基材の表面改質方法。
  3. 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
    溶融塩中にチタン基材を浸漬するための容器が、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材によって形成されており、前記容器内で、酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬することにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
    チタン基材の表面改質方法。
  4. 前記溶融塩は塩化物塩である、
    請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のチタン基材の表面改質方法。
  5. 前記チタン基材における前記低次酸化チタン層を形成する対象の面と前記促進材とを対向させる、
    請求項に記載のチタン基材の表面改質方法。
JP2015152214A 2015-07-31 2015-07-31 チタン基材の表面改質方法 Expired - Fee Related JP6500683B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015152214A JP6500683B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 チタン基材の表面改質方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015152214A JP6500683B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 チタン基材の表面改質方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017031466A JP2017031466A (ja) 2017-02-09
JP6500683B2 true JP6500683B2 (ja) 2019-04-17

Family

ID=57985579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015152214A Expired - Fee Related JP6500683B2 (ja) 2015-07-31 2015-07-31 チタン基材の表面改質方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6500683B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11705418B2 (en) 2019-12-27 2023-07-18 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package with conductive bump on conductive post including an intermetallic compound layer

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6878239B2 (ja) * 2017-10-06 2021-05-26 トヨタ自動車株式会社 燃料電池用のセパレータの製造方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS64279A (en) * 1987-06-23 1989-01-05 Nippon Stainless Steel Co Ltd Method for coloring titanium and titanium alloy material

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11705418B2 (en) 2019-12-27 2023-07-18 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor package with conductive bump on conductive post including an intermetallic compound layer

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017031466A (ja) 2017-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS636636B2 (ja)
JP5932028B2 (ja) 酸素発生用陽極
JP2007039720A (ja) 導電性ダイヤモンド電極及びその製造方法
US8951401B2 (en) Method for electrochemically depositing carbon film on a substrate
KR20040098575A (ko) 전해용 전극 및 이의 제조방법
JP6500683B2 (ja) チタン基材の表面改質方法
JP2009120860A (ja) 炭素膜の製造方法
JP2020504241A (ja) 半導体反応器及び半導体反応器用金属母材のコーティング層形成方法
JP5170681B2 (ja) 電気アルミニウムめっき液およびアルミニウムめっき膜
JP5035731B2 (ja) 電解用電極の再活性化方法
USRE25630E (en) Corrosion resistant coating
JP2016503464A (ja) 工業上の電気化学プロセスにおける酸素発生用の電極
WO2019171744A1 (ja) チタンめっき部材の製造方法及びチタンめっき部材
JP5254331B2 (ja) ルテニウム酸カルシウム電極材料
JP2014509347A (ja) 電解用電極の被覆層の剥離方法
JP5229563B2 (ja) 耐食導電性皮膜、耐食導電材、固体高分子型燃料電池とそのセパレータおよび耐食導電材の製造方法
TWI525225B (zh) 鍍鉬電解質及形成含鉬鍍層方法
JP2018085255A (ja) 燃料電池用セパレータの製造方法
JP6990130B2 (ja) 電解アルミニウム箔の製造方法及び製造装置
US3024177A (en) Corrosion resistant coating
JP6091150B2 (ja) フッ化処理による表面改質方法
JP6870389B2 (ja) 金属材表面の酸化皮膜を除去する方法
JP2004360067A (ja) 電解用電極及びその製造方法
JP7052130B1 (ja) 塩素発生用電極およびその製造方法
WO2021176769A1 (ja) チタンめっき用電解質及びチタンめっき用電解質を用いたチタンめっき部材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180926

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181128

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190219

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190304

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6500683

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees