JP6493021B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、搬送装置に関する。

製造装置等において、複数の加工工程を経る加工対象物（以下、ワークという）は、ある加工機械による加工の後、次の加工機械の位置に搬送される。ワークを搬送するために、ワークが載るテーブルおよびテーブルを移動させる駆動装置を備えた搬送装置が従来から用いられている。搬送装置において、加工機械からワークを受け取る位置、およびワークを次の加工装置へ渡す位置は一定であることが好ましい。一方、１つのテーブルの往復によってワークが搬送される場合、搬送効率の向上には限界がある。これに対して、特許文献１には、２つのテーブルを備え、２つのテーブルの相互の干渉を回避するようにテーブルの軌跡を変更させる搬送装置が記載されている。これにより、給材位置および除材位置が２つのテーブルで共通でありながら、１つのテーブルによりワークを搬送する場合に比較して搬送効率が向上する。

特開２００８−３０８６７号公報

特許文献１に記載される搬送装置は、一対のプーリと、一対のプーリ間に掛け渡されたタイミングベルトと、で構成されるベルト電動機構によって、２つのテーブルを移動させている。しかしながら、プーリとタイミングベルトとの間には摩擦が生じるので、テーブルを高速で移動させる場合には振動が生じる可能性がある。また、ローラーがカム面を転がることによってテーブルが上下方向に移動させられる場合、テーブルが高速で移動するときに、カム面の勾配変化部分においてローラーがカム面から離れる（ジャンプ現象が生じる）可能性がある。このため、振動が生じる可能性がある。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明に係る搬送装置は、２つのテーブルと、前記２つのテーブルをそれぞれ支持する２つのリンク機構と、前記テーブルと前記リンク機構との間に設けられる軸受と、前記２つのリンク機構を支持する筐体と、一方の前記リンク機構を介して一方の前記テーブルを移動させ、且つ他方の前記リンク機構を介して他方の前記テーブルを移動させる駆動装置と、を備え、前記２つのテーブルは、水平方向から見て、環状である同じ軌跡に沿って移動する。

これにより、２つのテーブルが立体交差するので、２つのテーブルが交互にワークを搬送することができる。これに加えて、搬送装置は、リンク機構を介してテーブルを移動させる。リンク機構において、複数のリンクの間に生じる摩擦は抑制されている。さらに、テーブルとリンク機構との間の軸受によって、テーブルとリンク機構との間の摩擦が低減される。このため、搬送装置は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。

本発明の望ましい態様として、前記筐体において水平方向に沿って設けられるレールと、水平方向にスライドできるように前記レールに取り付けられる案内機構と、を備え、前記案内機構は、前記テーブルに連結され、前記テーブルの前記軸受を中心とした回転を規制することが好ましい。

これにより、テーブルの水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブルは、ワークを搬送している途中において水平を保ち続けることができる。したがって、搬送装置１は、テーブルの上でのワークの移動を抑制することができる。

本発明の望ましい態様として、前記案内機構は、前記レールに接する水平案内部材と、鉛直方向にスライドできるように前記水平案内部材に取り付けられる鉛直案内部材と、を備え、前記鉛直案内部材は、前記テーブルに固定されることが好ましい。

テーブルが鉛直案内部材に固定されるので、テーブルは鉛直案内部材と一体に移動する。このため、鉛直案内部材の動きが規制されることで、テーブルの動きも規制される。したがって、テーブルの水平面に対する傾斜の抑制が容易になる。

本発明の望ましい態様として、前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する２つのスリットを備え、前記鉛直案内部材は、前記２つのスリットのそれぞれに挿入される２つの脚部を備え、前記脚部は、前記スリットの内壁に接することが好ましい。

これにより、２つの脚部がスリットによって鉛直方向に案内されるので、鉛直案内部材の水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブルの水平面に対する傾斜が抑制される。

本発明の望ましい態様として、前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する孔を備え、前記鉛直案内部材は、前記孔に挿入され、前記孔の内壁に接することが好ましい。

これにより、鉛直案内部材が孔によって鉛直方向に案内されるので、鉛直案内部材の水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブルの水平面に対する傾斜が抑制される。

本発明の望ましい態様として、前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する孔と、前記孔の内側に配置されたリニアボール軸受と、を備え、前記鉛直案内部材は、前記リニアボール軸受に挿入され、前記リニアボール軸受の内壁に接することが好ましい。

これにより、鉛直案内部材がリニアボール軸受によって鉛直方向に案内されるので、鉛直案内部材の水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブルの水平面に対する傾斜が抑制される。また、リニアボール軸受によって、水平案内部材と鉛直案内部材との間の摩擦が低減されるので、振動の発生がより抑制される。

本発明の望ましい態様として、前記案内機構は、前記レールに接する基部と、前記基部から鉛直方向に突出し且つ隙間を空けて対向する２つの脚部と、を備え、前記テーブルは、水平方向に突出する凸部を備え、前記凸部は、前記隙間に嵌まっており、前記２つの脚部に接することが好ましい。

これにより、凸部が２つの脚部に挟まれ且つ２つの脚部に接するので、凸部の水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブルの水平面に対する傾斜が抑制される。

本発明の望ましい態様として、前記案内機構は、前記レールに接する転動体を備えることが好ましい。

これにより、案内機構はレールに沿って円滑に移動することができる。このため、振動の発生がより抑制される。

本発明の望ましい態様として、前記リンク機構は、チェビシェフリンク機構であることが好ましい。

これにより、水平方向から見た軌跡の形状は、直線を描く直線部および曲線を描く曲線部を有する。また、リンク機構を構成する各リンクが長くなるほど、テーブルが描く軌跡の直線部が長くなる。すなわち、各リンクが長くなるほどテーブルの移動距離が大きくなる。このため、搬送装置は、搬送距離を容易に長くすることができる。

本発明の望ましい態様として、前記駆動装置は、互いに反対方向に突出する２つのシャフトを備えるモータであり、一方の前記シャフトが一方の前記リンク機構に連結され、他方の前記シャフトが他方の前記リンク機構に連結されることが好ましい。

これにより、１つのモータによって２つのリンク機構が動作することができる。このため、搬送装置の部品点数が低減するので、搬送装置の小型化が容易である。

本発明の望ましい態様として、前記駆動装置は、２つのモータを備え、一方の前記モータのシャフトが一方の前記リンク機構に連結され、他方の前記モータのシャフトが他方の前記リンク機構に連結されることが好ましい。

これにより、搬送装置は、２つのテーブルを別々に動作させることができる。このため、搬送装置は、２つのテーブルの停止タイミングおよび停止位置の調節を容易にすることができる。また、搬送装置は、一方のテーブルを停止させながら、他方のテーブルだけを移動させることもできる。したがって、搬送装置は、様々な製造装置へ適用することができる。すなわち、搬送装置の汎用性が向上する。

本発明の望ましい態様として、一方の前記モータのシャフトおよび他方の前記モータのシャフトは、互いに反対方向に突出しており、前記２つのモータは前記筐体の内側で、水平方向のうち前記シャフトに対して直交する方向に並べられていることが好ましい。

これにより、搬送装置は、２つのモータがシャフトに平行な方向に並べられた場合に比較して、筐体を薄くすることができる。

本発明によれば、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる搬送装置を提供することができる。

図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。 図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。 図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す背面図である。 図４は、本実施形態に係る搬送装置を示す左側面図である。 図５は、本実施形態に係るレールおよび案内機構を拡大して示す斜視図である。 図６は、本実施形態に係るレールおよび案内機構のスライダを拡大して示す斜視図である。 図７は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。 図８は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。 図９は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す背面図である。 図１０は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す左側面図である。 図１１は、テーブルがワークを搬送し終わった後における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。 図１２は、変形例１に係る案内機構を拡大して示す正面図である。 図１３は、変形例１に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。 図１４は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す正面図である。 図１５は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。 図１６は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す平面図である。 図１７は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す斜視図である。 図１８は、変形例３に係る案内機構を拡大して示す正面図である。 図１９は、変形例３に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。 図２０は、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。 図２１は、変形例４に係る搬送装置を示す背面図である。 図２２は、変形例４に係る搬送装置を示す左側面図である。 図２３は、一方のテーブルが移動しておらず且つ他方のテーブルが移動している状態における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。 図２４は、一方のテーブルがワークを搬送している途中における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。 図２５は、一方のテーブルがワークを搬送し終わった後における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

（実施形態）
図１は、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。図３は、本実施形態に係る搬送装置を示す背面図である。図４は、本実施形態に係る搬送装置を示す左側面図である。本実施形態に係る搬送装置１は、例えば半導体等の製造装置に用いられる。搬送装置１は、ある加工機械からワークを受け取った後、次の加工機械の位置までワークを搬送する。搬送装置１によって搬送されたワークは、加工機械に引き取られる。

図１に示すように、搬送装置１は、筐体２と、駆動装置９と、リンク機構４ａと、案内機構６ａと、軸受５０ａと、テーブル５ａと、リンク機構４ｂと、案内機構６ｂと、軸受５０ｂと、テーブル５ｂと、を備える。搬送装置１において、ワークは、テーブル５ａおよびテーブル５ｂに載せられた状態で搬送される。このため、テーブル５ａおよびテーブル５ｂは、ある加工機械からワークを受け取る位置（以下、第１位置という）と、次の加工機械がワークを引き取る位置（以下、第２位置という）と、の間を移動する。図１においては、テーブル５ａが第２位置にあり、テーブル５ｂが第１位置にある。この状態で、ワークがテーブル５ｂに載せられる。

以下の説明において、水平方向のうち第１位置と第２位置とを結ぶ直線に平行な方向はＸ方向と記載され、水平方向のうちＸ方向に対する直交方向はＹ方向と記載され、Ｘ方向およびＹ方向の両方に対する直交方向はＺ方向と記載される。すなわち、Ｚ方向は鉛直方向である。また、Ｘ方向のうち第１位置から第２位置に向かう方向は−Ｘ方向と記載され、−Ｘ方向とは反対方向は＋Ｘ方向と記載される。Ｙ方向のうちリンク機構４ｂからリンク機構４ａに向かう方向は＋Ｙ方向と記載され、＋Ｙ方向とは反対方向は−Ｙ方向と記載される。Ｚ方向のうち下から上へ向かう方向は＋Ｚ方向と記載され、＋Ｚ方向とは反対方向は−Ｚ方向と記載される。すなわち、＋Ｚ方向は鉛直方向の上方であり、−Ｚ方向は鉛直方向の下方である。

筐体２は、リンク機構４ａ、リンク機構４ｂ、案内機構６ａおよび案内機構６ｂを支持する部材である。筐体２は、底壁２１と、側壁２２と、側壁２３と、レール３ａと、レール３ｂと、を備える。底壁２１は、例えば水平面に平行な板状部材である。側壁２２および側壁２３は、底壁２１から＋Ｚ方向に突出する板状部材である。側壁２２および側壁２３は、互いに平行に配置されている。レール３ａは、側壁２２の上端部においてＸ方向に沿って設けられる長尺部材である。図２に示すように、レール３ａは、ボルト等の締結部材３９によって側壁２２に固定されている。レール３ｂは、側壁２３の上端部においてＸ方向に沿って設けられる長尺部材である。図３に示すように、レール３ｂは、ボルト等の締結部材３９によって側壁２３に固定されている。

駆動装置９は、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂを介してテーブル５ａおよびテーブル５ｂを移動させるための装置である。駆動装置９は、例えばモータであって、側壁２２と側壁２３との間に配置されている。駆動装置９は、図１に示すように、例えばボルト等の締結部材９９によって側壁２２に固定されている。駆動装置９は、図２および図３に示すように、互いに反対方向に突出するシャフト９１ａおよびシャフト９１ｂを備える。シャフト９１ａは、側壁２２を貫通しており、側壁２２から＋Ｙ方向に突出している。シャフト９１ｂは、側壁２３を貫通しており、側壁２３から−Ｙ方向に突出している。例えば、シャフト９１ａおよびシャフト９１ｂは、同じ方向に同じ速度で回転する。駆動装置９は、いわゆる両軸モータである。

リンク機構４ａは、軸受５０ａを介してテーブル５ａを支持する部材である。すなわち、軸受５０ａは、リンク機構４ａとテーブル５ａとの間に設けられている。リンク機構４ａは、駆動装置９で生じた動力をテーブル５ａに伝えることで、テーブル５ａをＸ方向およびＺ方向へ移動させることができる。図１に示すように、リンク機構４ａは、第１リンク４１ａと、第２リンク４２ａと、第３リンク４３ａと、第１軸受４５ａと、第２軸受４６ａと、第３軸受４７ａと、を備える。第１リンク４１ａ、第２リンク４２ａおよび第３リンク４３ａは、互いに長さの異なる棒状部材である。軸受５０ａ、第１軸受４５ａ、第２軸受４６ａおよび第３軸受４７ａは、例えば深溝玉軸受である。

図１に示すように、第１リンク４１ａは、シャフト９１ａに連結され、シャフト９１ａと共に回転する。例えば、シャフト９１ａが第１リンク４１ａの一端に設けられた孔に嵌合している。第２リンク４２ａは、第１軸受４５ａを介して第１リンク４１ａに連結されると共に、軸受５０ａを介してテーブル５ａに連結されている。例えば、第１リンク４１ａの他端に設けられた突起４１１ａが、第２リンク４２ａの一端に設けられた第１軸受４５ａに嵌合している。例えば、テーブル５ａに設けられた突起５１ａが、第２リンク４２ａの他端に設けられた軸受５０ａに嵌合している。第３リンク４３ａは、第２軸受４６ａを介して側壁２２に連結されると共に、第３軸受４７ａを介して第２リンク４２ａに連結されている。例えば、側壁２２に設けられた突起２２１が、第３リンク４３ａの一端に設けられた第２軸受４６ａに嵌合している。例えば、第３リンク４３ａの他端に設けられた突起４３１ａが、第２リンク４２ａの中間に設けられた第３軸受４７ａに嵌合している。このように、第１リンク４１ａ、第２リンク４２ａおよび第３リンク４３ａが第１軸受４５ａ、第２軸受４６ａおよび第３軸受４７ａを介して連結されていることで、リンク機構４ａが動作するときの摩擦が抑制される。このため、リンク機構４ａが動作するときの振動が抑制され、その結果、騒音が生じにくくなっている。

リンク機構４ａは、例えばチェビシェフリンク機構である。図２に示すように、シャフト９１ａから第２軸受４６ａまでの距離Ｌ２は、シャフト９１ａから第１軸受４５ａまでの距離Ｌ１の２倍である。第２軸受４６ａから第３軸受４７ａまでの距離Ｌ３は、距離Ｌ１の２．５倍である。第１軸受４５ａから第３軸受４７ａまでの距離Ｌ４は、距離Ｌ１の２．５倍である。第３軸受４７ａから軸受５０ａまでの距離Ｌ５は、距離Ｌ１の２．５倍である。すなわち、距離Ｌ１を１とすると、距離Ｌ２は２であり、距離Ｌ３、距離Ｌ４および距離Ｌ５は２．５である。これにより、シャフト９１ａおよび第１リンク４１ａが１回転すると、軸受５０ａは、Ｙ方向から見て環状の軌跡Ｔを描く。軌跡Ｔは、直線状の直線部Ｔ１と、曲線状の曲線部Ｔ２、曲線部Ｔ３および曲線部Ｔ４と、を含む。

以下の説明において、第１軸受４５ａがシャフト９１ａに対して−Ｚ方向に位置する状態（図２に示す状態）は、６時状態と記載される。第１軸受４５ａがシャフト９１ａに対して−Ｘ方向に位置する状態（図２に示す状態から、第１リンク４１ａが右回りに９０°回転した状態）は、９時状態と記載される。第１軸受４５ａがシャフト９１ａに対して＋Ｚ方向に位置する状態（図２に示す状態から、第１リンク４１ａが右回りに１８０°回転した状態）は、１２時状態と記載される。第１軸受４５ａがシャフト９１ａに対して＋Ｘ方向に位置する状態（図２に示す状態から、第１リンク４１ａが右回りに２７０°回転した状態）は、３時状態と記載される。

図２に示すように、リンク機構４ａが６時状態のときに、テーブル５ａは、直線部Ｔ１の曲線部Ｔ２側の端部（第２位置）に位置する。リンク機構４ａが９時状態のときに、テーブル５ａは曲線部Ｔ３の中間に位置する。リンク機構４ａが１２時状態のときに、テーブル５ａは直線部Ｔ１の曲線部Ｔ４側の端部（第１位置）に位置する。リンク機構４ａが３時状態のときに、テーブル５ａは直線部Ｔ１の中間に位置する。

図５は、本実施形態に係るレールおよび案内機構を拡大して示す斜視図である。図６は、本実施形態に係るレールおよび案内機構のスライダを拡大して示す斜視図である。図５および図６に示すように、レール３ａは、＋Ｙ方向を向く表面３１と、表面３１の両側に配置される側面３３と、側面３３のそれぞれに設けられた凹部３２と、を備える。案内機構６ａは、テーブル５ａの移動を補助するための部材である。より具体的には、案内機構６ａは、軌跡Ｔに沿ったテーブル５ａの移動を妨げずに、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａの回転を規制する。図５に示すように、案内機構６ａは、水平案内部材６１ａと、鉛直案内部材６２ａと、を備える。

水平案内部材６１ａは、Ｘ方向にスライドできるようにレール３ａに取り付けられる部材である。すなわち、レール３ａは、水平案内部材６１ａをＸ方向に案内する。図５に示すように、水平案内部材６１ａは、基部６１１と、基部６１１の−Ｙ方向側に設けられるスライダ６１３と、を備える。基部６１１は、例えば略直方体状であって、Ｚ方向に貫通する２つのスリット６１２をＸ方向の両端部に備える。例えば、スリット６１２の内壁にはグリース等の潤滑剤が塗布されている。図６に示すように、スライダ６１３は、例えばレール３ａの表面３１に対向可能な第１対向面６１３１と、レール３ａの側面３３に対向可能な第２対向面６１３３と、第２対向面６１３３から突出する２つの爪部６１３２と、少なくとも一部がレール３ａの凹部３２に接する転動体６１３４と、を備える。２つの爪部６１３２は、それぞれ凹部３２に嵌まっている。すなわち、スライダ６１３は、レール３ａをＺ方向の両側から挟んでいる。これにより、水平案内部材６１ａは、レール３ａに沿ってＸ方向に移動できると共に、Ｙ方向およびＺ方向の移動を規制されている。転動体６１３４は、例えば玉である。転動体６１３４は、凹部３２の内壁に接触しながら転がる。すなわち、レール３ａおよびスライダ６１３が直動型玉軸受（Linear Ball Bearing）を構成している。凹部３２に沿って転動体６１３４が転がることによって、スライダ６１３はレール３ａを円滑に移動することができる。より具体的には、複数の転動体６１３４は、環状に配置されており、且つＸ方向に沿う２列を形成している。２列のうち一方の列に位置する転動体６１３４が凹部３２の内壁に接触する。２列のうち他方の列に位置する転動体６１３４は、例えば第２対向面６１３３に設けられた案内溝によって案内される。また、転動体６１３４は、それぞれ転がりながら移動する。すなわち、転動体６１３４は、２列のうち一方の列と他方の列との間を循環している。なお、転動体６１３４はころであってもよい。

鉛直案内部材６２ａは、Ｚ方向にスライドできるように水平案内部材６１ａに取り付けられる部材である。すなわち、水平案内部材６１ａは、鉛直案内部材６２ａをＺ方向に案内する。図２に示すように、鉛直案内部材６２ａは、テーブル５ａにボルト等の締結部材５９によって固定されている。図５に示すように、鉛直案内部材６２ａは、板状である２つの脚部６２１と、２つの脚部６２１を連結する連結部６２２と、を備える。脚部６２１は、例えばＺ方向に長い板状部材である。連結部６２２は、２つの脚部６２１の＋Ｚ方向の端部同士を連結している。このため、Ｙ方向から見ると、鉛直案内部材６２ａは略Ｕ字状である。２つの脚部６２１は、Ｘ方向に隙間を空けて並んでおり、それぞれスリット６１２に嵌まっている。より具体的には、２つの脚部６２１間の隙間は、２つのスリット６１２間の距離に略等しい。脚部６２１は、スリット６１２の底面（Ｘ方向に対して直交する内壁）に接している。これにより、鉛直案内部材６２ａは、スリット６１２に沿ってＺ方向に移動できると共に、Ｘ方向およびＹ方向の移動を規制されている。また、図５に示す脚部６２１のＺ方向の長さＤ２は、図２に示す直線部Ｔ１から曲線部Ｔ３までのＺ方向における最大距離Ｄ１よりも大きい。

案内機構６ａは、水平案内部材６１ａおよび鉛直案内部材６２ａを備えることで、テーブル５ａの移動に追従して移動することができる。また、水平案内部材６１ａおよび鉛直案内部材６２ａの水平面に対する傾斜が規制されているので、案内機構６ａは、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａの回転を規制することができる。これにより、テーブル５ａは、水平に保たれた状態で、軌跡Ｔに沿って移動することができる。

リンク機構４ｂは、軸受５０ｂを介してテーブル５ｂを支持する部材である。すなわち、軸受５０ｂは、リンク機構４ｂとテーブル５ｂとの間に設けられている。リンク機構４ｂは、駆動装置９で生じた動力をテーブル５ｂに伝えることで、テーブル５ｂをＸ方向およびＺ方向へ移動させることができる。図３に示すように、リンク機構４ｂは、第１リンク４１ｂと、第２リンク４２ｂと、第３リンク４３ｂと、第１軸受４５ｂと、第２軸受４６ｂと、第３軸受４７ｂと、を備える。第１リンク４１ｂ、第２リンク４２ｂおよび第３リンク４３ｂは、互いに長さの異なる棒状部材である。軸受５０ｂ、第１軸受４５ｂ、第２軸受４６ｂおよび第３軸受４７ｂは、例えば深溝玉軸受である。

図３に示すように、第１リンク４１ｂは、シャフト９１ｂに連結され、シャフト９１ｂと共に回転する。例えば、シャフト９１ｂが第１リンク４１ｂの一端に設けられた孔に嵌合している。第２リンク４２ｂは、第１軸受４５ｂを介して第１リンク４１ｂに連結されると共に、軸受５０ｂを介してテーブル５ｂに連結されている。例えば、第１リンク４１ｂの他端に設けられた突起４１１ｂが、第２リンク４２ｂの一端に設けられた第１軸受４５ｂに嵌合している。例えば、テーブル５ｂに設けられた突起５１ｂが、第２リンク４２ｂの他端に設けられた軸受５０ｂに嵌合している。第３リンク４３ｂは、第２軸受４６ｂを介して側壁２３に連結されると共に、第３軸受４７ｂを介して第２リンク４２ｂに連結されている。例えば、側壁２３に設けられた突起２３１が、第３リンク４３ｂの一端に設けられた第２軸受４６ｂに嵌合している。例えば、第３リンク４３ｂの他端に設けられた突起４３１ｂが、第２リンク４２ｂの中間に設けられた第３軸受４７ｂに嵌合している。このように、第１リンク４１ｂ、第２リンク４２ｂおよび第３リンク４３ｂが第１軸受４５ｂ、第２軸受４６ｂおよび第３軸受４７ｂを介して連結されていることで、リンク機構４ｂが動作するときの摩擦が抑制される。このため、リンク機構４ｂが動作するときの振動が抑制され、その結果、騒音が生じにくくなっている。

リンク機構４ｂは、例えばチェビシェフリンク機構である。図３に示すように、シャフト９１ｂから第２軸受４６ｂまでの距離Ｌ２は、シャフト９１ｂから第１軸受４５ｂまでの距離Ｌ１の２倍である。第２軸受４６ｂから第３軸受４７ｂまでの距離Ｌ３は、距離Ｌ１の２．５倍である。第１軸受４５ｂから第３軸受４７ｂまでの距離Ｌ４は、距離Ｌ１の２．５倍である。第３軸受４７ｂから軸受５０ｂまでの距離Ｌ５は、距離Ｌ１の２．５倍である。すなわち、距離Ｌ１を１とすると、距離Ｌ２は２であり、距離Ｌ３、距離Ｌ４および距離Ｌ５は２．５である。これにより、シャフト９１ｂおよび第１リンク４１ｂが１回転すると、軸受５０ｂは、Ｙ方向から見て環状の軌跡Ｔを描く。

以下の説明において、第１軸受４５ｂがシャフト９１ｂに対して＋Ｚ方向に位置する状態（図３に示す状態）は、１２時状態と記載される。第１軸受４５ｂがシャフト９１ｂに対して＋Ｘ方向に位置する状態（図３に示す状態から、第１リンク４１ｂが左回りに９０°回転した状態）は、３時状態と記載される。第１軸受４５ｂがシャフト９１ｂに対して−Ｚ方向に位置する状態（図３に示す状態から、第１リンク４１ｂが左回りに１８０°回転した状態）は、６時状態と記載される。第１軸受４５ｂがシャフト９１ｂに対して−Ｘ方向に位置する状態（図３に示す状態から、第１リンク４１ｂが左回りに２７０°回転した状態）は、９時状態と記載される。

図３に示すように、リンク機構４ｂが１２時状態のときに、テーブル５ｂは直線部Ｔ１の曲線部Ｔ４側の端部（第１位置）に位置する。リンク機構４ｂが９時状態のときに、テーブル５ｂは直線部Ｔ１の中間に位置する。リンク機構４ｂが６時状態のときに、テーブル５ｂは、直線部Ｔ１の曲線部Ｔ２側の端部（第２位置）に位置する。リンク機構４ｂが３時状態のときに、テーブル５ｂは曲線部Ｔ３の中間に位置する。

案内機構６ｂは、テーブル５ｂの移動を補助するための部材である。より具体的には、案内機構６ｂは、軌跡Ｔに沿ったテーブル５ｂの移動を妨げずに、軸受５０ｂを中心としたテーブル５ｂの回転を規制する。図３に示すように、案内機構６ｂは、水平案内部材６１ｂと、鉛直案内部材６２ｂと、を備える。

水平案内部材６１ｂは、Ｘ方向にスライドできるようにレール３ｂに取り付けられる部材である。すなわち、レール３ｂは、水平案内部材６１ｂをＸ方向に案内する。水平案内部材６１ｂは、図５に示した水平案内部材６１ａと同様の構成を備える。これにより、水平案内部材６１ｂは、レール３ｂに沿ってＸ方向に移動できると共に、Ｙ方向およびＺ方向の移動を規制されている。

鉛直案内部材６２ｂは、Ｚ方向にスライドできるように水平案内部材６１ｂに取り付けられる部材である。すなわち、水平案内部材６１ｂは、鉛直案内部材６２ｂをＺ方向に案内する。鉛直案内部材６２ｂは、図５に示した鉛直案内部材６２ａと同様の構成を備える。これにより、鉛直案内部材６２ｂは、Ｚ方向に移動できると共に、Ｘ方向およびＹ方向の移動を規制されている。

案内機構６ｂは、水平案内部材６１ｂおよび鉛直案内部材６２ｂを備えることで、テーブル５ｂの移動に追従して移動することができる。また、水平案内部材６１ｂおよび鉛直案内部材６２ｂの水平面に対する傾斜が規制されているので、案内機構６ｂは、軸受５０ｂを中心としたテーブル５ｂの回転を規制することができる。これにより、テーブル５ｂは、水平に保たれた状態で、軌跡Ｔに沿って移動することができる。

図７は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図８は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す正面図である。図９は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す背面図である。図１０は、テーブルがワークを搬送している途中における、本実施形態に係る搬送装置を示す左側面図である。

図７〜図１０においては、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂが共に９時状態である。このため、テーブル５ａが曲線部Ｔ３の中間に位置しており、テーブル５ｂが直線部Ｔ１の中間に位置している。このように、搬送装置１においては、テーブル５ａおよびテーブル５ｂは、Ｘ方向で同じ位置にあるとき、Ｚ方向では異なる位置にある。すなわち、テーブル５ａおよびテーブル５ｂが立体交差する。

上述したように長さＤ２が最大距離Ｄ１よりも大きいので、テーブル５ａがＺ方向の最上部（曲線部Ｔ３の中間）に位置するときにおいて、図８に示すように鉛直案内部材６２ａが水平案内部材６１ａから抜けない。このため、案内機構６ａは、テーブル５ａが移動している間、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａの回転を規制し続けることができる。また、案内機構６ｂも、テーブル５ｂが移動している間、軸受５０ｂを中心としたテーブル５ｂの回転を規制し続けることができる。

図１１は、テーブルがワークを搬送し終わった後における、本実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。図１１においては、リンク機構４ａが１２時状態であって、リンク機構４ｂが６時状態である。このため、テーブル５ａが直線部Ｔ１の曲線部Ｔ４側の端部（第１位置）に位置しており、テーブル５ｂが直線部Ｔ１の曲線部Ｔ２側の端部（第２位置）に位置している。この状態で、テーブル５ｂに載せられていたワークが加工機械によって引き取られると共に、新たなワークがテーブル５ａに載せられる。その後、テーブル５ａによってワークが第１位置から第２位置まで搬送される。このように、搬送装置１においては、テーブル５ａおよびテーブル５ｂが交互にワークを搬送することができる。

なお、シャフト９１ａは、必ずしも第１リンク４１ａに直接連結されていなくてもよい。例えば、シャフト９１ａとは別の伝達軸が側壁２２に軸受を介して取り付けられており、且つシャフト９１ａおよび伝達軸がカップリングで連結されていてもよい。シャフト９１ｂにも同様のことがいえる。これにより、側壁２２から側壁２３までの距離を大きくすることが可能になるので、リンク機構４ａからリンク機構４ｂまでの距離が大きくなる。このため、テーブル５ａおよびテーブル５ｂが大きくなった場合においても、テーブル５ａがリンク機構４ｂに干渉することまたはテーブル５ｂがリンク機構４ａに干渉することが抑制される。したがって、搬送装置１においては、テーブル５ａおよびテーブル５ｂの大型化が容易である。

なお、スライダ６１３は、必ずしも転動体６１３４を備えていなくてもよい。このような場合、スライダ６１３がレール３ａに沿って円滑に移動するように、凹部３２等にグリース等の潤滑剤が塗布されることが好ましい。

以上述べたように、搬送装置１は、テーブル５ａおよびテーブル５ｂと、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂと、軸受５０ａおよび軸受５０ｂと、筐体２と、駆動装置９と、を備える。リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂは、テーブル５ａおよびテーブル５ｂをそれぞれ支持する。軸受５０ａは、テーブル５ａとリンク機構４ａとの間に設けられる。軸受５０ｂは、テーブル５ｂとリンク機構４ｂとの間に設けられる。筐体２は、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂを支持する。駆動装置９は、リンク機構４ａを介してテーブル５ａを移動させ、且つリンク機構４ｂを介してテーブル５ｂを移動させる。テーブル５ａおよびテーブル５ｂは、水平方向（Ｙ方向）から見て、環状である同じ軌跡Ｔに沿って移動する。

これにより、２つのテーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）が立体交差するので、２つのテーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）が交互にワークを搬送することができる。これに加えて、搬送装置１は、リンク機構４ａを介してテーブル５ａを移動させ、且つリンク機構４ｂを介してテーブル５ｂを移動させる。リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂにおいては、複数のリンクの間に生じる摩擦は抑制されている。さらに、テーブル５ａとリンク機構４ａとの間の軸受５０ａによって、テーブル５ａとリンク機構４ａとの間の摩擦が低減される。また、テーブル５ｂとリンク機構４ｂとの間の軸受５０ｂによって、テーブル５ｂとリンク機構４ｂとの間の摩擦が低減される。このため、搬送装置１は、搬送効率を向上させることができ且つ振動の発生を抑制することができる。さらに、振動が抑制されることにより、騒音の発生が抑制される。

また、上述した特許文献１に記載される技術においては、ローラーがカム面を転がることによってテーブルが上下方向に移動させられる。これにより、テーブルが高速で移動するときに、カム面の勾配変化部分においてローラーがカム面から離れる（ジャンプ現象が生じる）可能性がある。カム面から離れたローラーがカム面に戻るときに、ローラーがカム面に衝突する。このため、テーブルに衝撃が伝わる可能性がある。これに対して、本実施形態に係る搬送装置１においては、テーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）の上下方向の移動がリンク機構（リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂ）によって行われる。このため、搬送装置１は、テーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）に伝わる衝撃を従来技術に比較して軽減することができる。

また、上述した特許文献１に記載される技術においては、タイミングベルトを正逆駆動させるためにロッドレスシリンダ等が必要となる。これに対して、本実施形態に係る搬送装置１においては、ロッドレスシリンダ等が不要となる。また、搬送装置１においては、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂが同じ方向に回転し続けるので、ラチェット等の逆転防止機構の取り付けが可能である。

また、搬送装置１は、筐体２において水平方向（Ｘ方向）に沿って設けられるレール３ａと、水平方向（Ｘ方向）にスライドできるようにレール３ａに取り付けられる案内機構６ａと、を備える。案内機構６ａは、テーブル５ａに連結され、テーブル５ａの軸受５０ａを中心とした回転を規制する。また、搬送装置１は、筐体２において水平方向（Ｘ方向）に沿って設けられるレール３ｂと、水平方向（Ｘ方向）にスライドできるようにレール３ｂに取り付けられる案内機構６ｂと、を備える。案内機構６ｂは、テーブル５ｂに連結され、テーブル５ｂの軸受５０ｂを中心とした回転を規制する。

これにより、テーブル５ａおよびテーブル５ｂの水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブル５ａおよびテーブル５ｂは、ワークを搬送している途中において水平を保ち続けることができる。したがって、搬送装置１は、テーブル５ａおよびテーブル５ｂの上でのワークの移動を抑制することができる。

また、搬送装置１において、案内機構６ａは、レール３ａに接する水平案内部材６１ａと、鉛直方向（Ｚ方向）にスライドできるように水平案内部材６１ａに取り付けられる鉛直案内部材６２ａと、を備える。鉛直案内部材６２ａは、テーブル５ａに固定される。また、案内機構６ｂは、レール３ｂに接する水平案内部材６１ｂと、鉛直方向（Ｚ方向）にスライドできるように水平案内部材６１ｂに取り付けられる鉛直案内部材６２ｂと、を備える。鉛直案内部材６２ｂは、テーブル５ｂに固定される。

テーブル５ａが鉛直案内部材６２ａに固定されるので、テーブル５ａは鉛直案内部材６２ａと一体に移動する。また、テーブル５ｂが鉛直案内部材６２ｂに固定されるので、テーブル５ｂは鉛直案内部材６２ｂと一体に移動する。このため、鉛直案内部材６２ａおよび鉛直案内部材６２ｂの動きが規制されることで、テーブル５ａおよびテーブル５ｂの動きも規制される。したがって、テーブル５ａおよびテーブル５ｂの水平面に対する傾斜の抑制が容易になる。

また、搬送装置１において、水平案内部材６１ａは、鉛直方向に貫通する２つのスリット６１２を備える。鉛直案内部材６２ａは、２つのスリット６１２のそれぞれに挿入される２つの脚部６２１を備える。脚部６２１は、スリット６１２の内壁に接する。

これにより、２つの脚部６２１がスリット６１２によって鉛直方向（Ｚ方向）に案内されるので、鉛直案内部材６２ａの水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブル５ａの水平面に対する傾斜が抑制される。

また、搬送装置１において、案内機構６ａのスライダ６１３は、レール３ａに接する転動体６１３４を備えることが好ましい。

これにより、案内機構６ａはレール３ａに沿って円滑に移動することができる。このため、振動の発生がより抑制される。

また、搬送装置１において、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂはチェビシェフリンク機構である。

これにより、水平方向から見た軌跡Ｔの形状は、直線を描く直線部Ｔ１および曲線を描く曲線部Ｔ３を有する。また、リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂを構成する各リンクが長くなるほど、軌跡Ｔの直線部Ｔ１が長くなる。すなわち、各リンクが長くなるほどテーブル５ａおよびテーブル５ｂの移動距離が大きくなる。このため、搬送装置１は、搬送距離を容易に長くすることができる。

また、搬送装置１において、駆動装置９は、互いに反対方向に突出する２つのシャフト９１ａおよびシャフト９１ｂを備えるモータである。一方のシャフト９１ａが一方のリンク機構４ａに連結され、他方のシャフト９１ｂが他方のリンク機構４ｂに連結される。

これにより、１つのモータによって２つのリンク機構（リンク機構４ａおよびリンク機構４ｂ）が動作することができる。このため、搬送装置１の部品点数が低減するので、搬送装置１の小型化が容易である。

（変形例１）
図１２は、変形例１に係る案内機構を拡大して示す正面図である。図１３は、変形例１に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。図１２および図１３に示すように、変形例１に係る案内機構６ａＡは、水平案内部材６１ａＡと、鉛直案内部材６２ａＡと、を備える。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、リンク機構４ｂ側の説明は省略する。

水平案内部材６１ａＡは、Ｘ方向にスライドできるようにレール３ａに取り付けられる部材である。すなわち、レール３ａは、水平案内部材６１ａＡをＸ方向に案内する。図１３に示すように、水平案内部材６１ａＡは、基部６１１Ａと、スライダ６１３と、を備える。基部６１１Ａは、例えば略直方体状であって、Ｚ方向に貫通する孔６１６を備える。例えば、孔６１６をＺ方向から見た形状は円形である。例えば、孔６１６の内壁にはグリース等の潤滑剤が塗布されている。

鉛直案内部材６２ａＡは、Ｚ方向にスライドできるように水平案内部材６１ａＡに取り付けられる部材である。すなわち、水平案内部材６１ａＡは、鉛直案内部材６２ａＡをＺ方向に案内する。鉛直案内部材６２ａＡの＋Ｚ方向の端部は、例えば溶接等によってテーブル５ａに固定されている。図１３に示すように、鉛直案内部材６２ａＡは、例えばＺ方向に長い棒状部材であって、孔６１６に挿入されている。具体的には、鉛直案内部材６２ａＡをＺ方向から見た形状は円形であって、鉛直案内部材６２ａＡの直径は孔６１６の直径に略等しい。これにより、鉛直案内部材６２ａＡは、孔６１６の内壁に接している。これにより、鉛直案内部材６２ａＡは、孔６１６に沿ってＺ方向に移動できると共に、Ｘ方向およびＹ方向の移動を規制されている。

案内機構６ａＡは、水平案内部材６１ａＡおよび鉛直案内部材６２ａＡを備えることで、テーブル５ａの移動に追従して移動することができる。また、水平案内部材６１ａＡおよび鉛直案内部材６２ａＡの水平面に対する傾斜が規制されているので、案内機構６ａＡは、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａの回転を規制することができる。これにより、テーブル５ａは、水平に保たれた状態で、軌跡Ｔに沿って移動することができる。

以上説明したように、変形例１に係る水平案内部材６１ａＡは、鉛直方向（Ｚ方向）に貫通する孔６１６を備える。鉛直案内部材６２ａＡは、孔６１６に挿入され、孔６１６の内壁に接する。

これにより、鉛直案内部材６２ａＡが孔６１６によって鉛直方向（Ｚ方向）に案内されるので、鉛直案内部材６２ａＡの水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブル５ａの水平面に対する傾斜が抑制される。

（変形例２）
図１４は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す正面図である。図１５は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。図１６は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す平面図である。図１７は、変形例２に係る案内機構を拡大して示す斜視図である。図１４および図１５に示すように、変形例２に係る案内機構６ａＢは、水平案内部材６１ａＢを備える。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、リンク機構４ｂ側の説明は省略する。

水平案内部材６１ａＢは、Ｘ方向にスライドできるようにレール３ａに取り付けられる部材である。すなわち、レール３ａは、水平案内部材６１ａＢをＸ方向に案内する。図１４および図１５に示すように、水平案内部材６１ａＢは、基部６１１Ｂと、スライダ６１３と、２つの脚部６１７と、を備える。脚部６１７は、基部６１１Ｂから＋Ｚ方向に突出する板状部材である。２つの脚部６１７は、Ｘ方向に隙間を空けて並んでいる。このため、Ｙ方向から見ると、水平案内部材６１ａＢは略Ｕ字状である。例えば、脚部６１７の表面のうち、２つの脚部６１７の間の隙間に面する表面にはグリース等の潤滑剤が塗布されている。

図１６および図１７に示すように、変形例２に係るテーブル５ａＢは、凸部５３と、突起５１ａＢと、を備える。凸部５３は、テーブル５ａＢの＋Ｙ方向の側面から突出している。例えば、Ｙ方向から見た凸部５３の形状は、図１７に示すように矩形である。凸部５３のＸ方向の長さは、２つの脚部６１７間のＸ方向の距離に略等しい。凸部５３は２つの脚部６１７の間に配置されており、２つの脚部６１７に接している。すなわち、凸部５３は、２つの脚部６１７間の隙間に嵌まっている。これにより、テーブル５ａＢは、脚部６１７に沿ってＺ方向に移動できると共に、Ｘ方向およびＹ方向の移動を規制されている。突起５１ａＢは、凸部５３から＋Ｙ方向に突出し、軸受５０ａに嵌合している。

案内機構６ａＢは、水平案内部材６１ａＢを備えることで、テーブル５ａＢの移動に追従して移動することができる。また、凸部５３が２つの脚部６１７間の隙間に嵌まっていることで、凸部５３の水平面に対する傾斜が規制されている。これにより、案内機構６ａＢは、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａＢの回転を規制することができる。これにより、テーブル５ａＢは、水平に保たれた状態で、軌跡Ｔに沿って移動することができる。

なお、Ｙ方向から見た凸部５３の形状は、必ずしも矩形でなくてもよい。例えば、Ｙ方向から見た凸部５３の形状は、正六角形等の平行な２面を有する多角形であってもよい。ただし、Ｙ方向から見た凸部５３の形状が円形である場合、凸部５３を含めたテーブル５ａＢが軸受５０ａを中心に回転しやすくなる。このため、Ｙ方向から見た凸部５３の形状は円形でないことが好ましい。

以上説明したように、変形例２に係る案内機構６ａＢは、レール３ａに接する基部６１１Ｂと、基部６１１Ｂから鉛直方向（Ｚ方向）に突出し且つ隙間を空けて対向する２つの脚部６１７と、を備える。テーブル５ａＢは、水平方向（Ｙ方向）に突出する凸部５３を備える。凸部５３は、２つの脚部６１７間の隙間に嵌まっており、２つの脚部６１７に接する。

これにより、凸部５３が２つの脚部６１７に挟まれ且つ２つの脚部６１７に接するので、凸部５３の水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブル５ａＢの水平面に対する傾斜が抑制される。また、上述した実施形態に比較して鉛直案内部材６２ａが不要となるので、案内機構６ａＢの部品点数が低減する。

（変形例３）
図１８は、変形例３に係る案内機構を拡大して示す正面図である。図１９は、変形例３に係る案内機構を拡大して示す左側面図である。図１８および図１９に示すように、変形例３に係る案内機構６ａＣは、水平案内部材６１ａＣと、鉛直案内部材６２ａＣと、を備える。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、リンク機構４ｂ側の説明は省略する。

水平案内部材６１ａＣは、Ｘ方向にスライドできるようにレール３ａＣに取り付けられる部材である。すなわち、レール３ａＣは、水平案内部材６１ａＣをＸ方向に案内する。図１９に示すように、水平案内部材６１ａＣは、基部６１１Ｃと、リニアボール軸受６１８と、スライダ６１３Ｃと、を備える。基部６１１Ｃは、例えば略直方体状であって、Ｚ方向に貫通する孔６１６Ｃを備える。例えば、孔６１６ＣをＺ方向から見た形状は円形である。リニアボール軸受６１８は、孔６１６Ｃの内側に配置されている。リニアボール軸受６１８は、例えば孔６１６Ｃに嵌合することで基部６１１Ｃに取り付けられている。

図１９に示すように、変形例３に係るレール３ａＣは、側壁２２の＋Ｚ方向の端面に設けられている。図５に示したスライダ６１３およびレール３ａとの関係と同様に、スライダ６１３Ｃは、レール３ａＣを挟んでいる。図５に示した実施形態においてはスライダ６１３がレール３ａをＺ方向の両側から挟んでいるのに対して、スライダ６１３Ｃは、レール３ａＣをＹ方向の両側から挟んでいる。

鉛直案内部材６２ａＣは、Ｚ方向にスライドできるように水平案内部材６１ａＣに取り付けられる部材である。すなわち、水平案内部材６１ａＣは、鉛直案内部材６２ａＣをＺ方向に案内する。鉛直案内部材６２ａＣの＋Ｚ方向の端部は、例えば溶接等によってテーブル５ａに固定されている。図１９に示すように、鉛直案内部材６２ａＣは、例えばＺ方向に長い棒状部材であって、リニアボール軸受６１８に挿入されている。具体的には、鉛直案内部材６２ａＣをＺ方向から見た形状は円形であって、鉛直案内部材６２ａＣの直径はリニアボール軸受６１８の内径に略等しい。これにより、鉛直案内部材６２ａＣは、リニアボール軸受６１８の内壁に接している。これにより、鉛直案内部材６２ａＣは、リニアボール軸受６１８に沿ってＺ方向に移動できると共に、Ｘ方向およびＹ方向の移動を規制されている。

案内機構６ａＣは、水平案内部材６１ａＣおよび鉛直案内部材６２ａＣを備えることで、テーブル５ａの移動に追従して移動することができる。また、水平案内部材６１ａＣおよび鉛直案内部材６２ａＣの水平面に対する傾斜が規制されているので、案内機構６ａＣは、軸受５０ａを中心としたテーブル５ａの回転を規制することができる。これにより、テーブル５ａは、水平に保たれた状態で、軌跡Ｔに沿って移動することができる。

以上説明したように、変形例３に係る水平案内部材６１ａＣは、鉛直方向（Ｚ方向）に貫通する孔６１６Ｃと、孔６１６Ｃの内側に配置されたリニアボール軸受６１８と、を備える。鉛直案内部材６２ａＣは、リニアボール軸受６１８に挿入され、リニアボール軸受６１８の内壁に接する。

これにより、鉛直案内部材６２ａＣがリニアボール軸受６１８によって鉛直方向（Ｚ方向）に案内されるので、鉛直案内部材６２ａＣの水平面に対する傾斜が抑制される。このため、テーブル５ａの水平面に対する傾斜が抑制される。また、リニアボール軸受６１８によって、水平案内部材６１ａＣと鉛直案内部材６２ａＣとの間の摩擦が低減されるので、振動の発生がより抑制される。さらに、振動が抑制されることにより、騒音の発生が抑制される。

（変形例４）
図２０は、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。図２１は、変形例４に係る搬送装置を示す背面図である。図２２は、変形例４に係る搬送装置を示す左側面図である。図２３は、一方のテーブルが移動しておらず且つ他方のテーブルが移動している状態における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。図２４は、一方のテーブルがワークを搬送している途中における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。図２５は、一方のテーブルがワークを搬送し終わった後における、変形例４に係る搬送装置を示す正面図である。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図２０〜図２２に示すように、変形例４に係る搬送装置１Ｄは、筐体２Ｄと、駆動装置９Ｄと、リンク機構４ａと、案内機構６ａと、テーブル５ａと、リンク機構４ｂと、案内機構６ｂと、テーブル５ｂと、を備える。搬送装置１Ｄにおいて、ワークは、テーブル５ａおよびテーブル５ｂに載せられた状態で搬送される。図２０〜図２２においては、テーブル５ａが第２位置にあり、テーブル５ｂが第１位置にある。この状態で、ワークがテーブル５ｂに載せられる。

筐体２Ｄは、リンク機構４ａ、リンク機構４ｂ、案内機構６ａおよび案内機構６ｂを支持する部材である。筐体２Ｄは、底壁２１と、側壁２２Ｄと、側壁２３Ｄと、レール３ａと、レール３ｂと、を備える。側壁２２Ｄおよび側壁２３Ｄは、底壁２１から＋Ｚ方向に突出する板状部材である。側壁２２Ｄおよび側壁２３Ｄは、互いに平行に配置されている。

駆動装置９Ｄは、モータ９ａと、モータ９ｂと、を備える。モータ９ａは、リンク機構４ａを介してテーブル５ａを移動させるための装置である。モータ９ａは、例えば側壁２２Ｄと側壁２３Ｄとの間に配置されている。モータ９ａは、図２０に示すように、例えばボルト等の締結部材９９によって側壁２２Ｄに固定されている。モータ９ａは、シャフト９２ａを備える。シャフト９２ａは、側壁２２Ｄを貫通しており、側壁２２Ｄから＋Ｙ方向に突出している。例えば、シャフト９２ａは、−Ｙ方向で見て（図２０において）左回りに回転する。すなわち、上述した実施形態に係るシャフト９１ａと比較して、シャフト９２ａは逆向きに回転する。シャフト９２ａは、第１リンク４１ａに連結されている。例えば、シャフト９２ａは、第１リンク４１ａの一端に設けられた孔に嵌合している。

図２０に示すように、リンク機構４ａが６時状態のときに、テーブル５ａは、直線部Ｔ１の曲線部Ｔ２側の端部（第２位置）に位置する。リンク機構４ａが９時状態のときに、テーブル５ａは曲線部Ｔ３の中間に位置する。リンク機構４ａが１２時状態のときに、テーブル５ａは直線部Ｔ１の曲線部Ｔ４側の端部（第１位置）に位置する。リンク機構４ａが３時状態のときに、テーブル５ａは直線部Ｔ１の中間に位置する。

モータ９ｂは、リンク機構４ｂを介してテーブル５ｂを移動させるための装置である。モータ９ｂは、例えば側壁２２Ｄと側壁２３Ｄとの間で配置されている。モータ９ｂは、図２１に示すように、例えばボルト等の締結部材９９によって側壁２３Ｄに固定されている。モータ９ｂは、モータ９ａから−Ｘ方向に図２で示した距離Ｌ２の２倍の距離だけ離れている。また、モータ９ｂのＺ方向の位置は、モータ９ａのＺ方向の位置と同じである。モータ９ｂは、シャフト９２ｂを備える。シャフト９２ｂは、側壁２３Ｄを貫通しており、側壁２３Ｄから−Ｙ方向に突出している。例えば、シャフト９２ｂは、＋Ｙ方向で見て（図２１において）右回りに回転する。すなわち、上述した実施形態に係るシャフト９１ｂと比較して、シャフト９２ｂは逆向きに回転する。シャフト９２ｂは、第１リンク４１ｂに連結されている。例えば、シャフト９２ｂは、第１リンク４１ｂの一端に設けられた孔に嵌合している。

図２１に示すように、リンク機構４ｂが６時状態のときに、テーブル５ｂは、直線部Ｔ１の曲線部Ｔ４側の端部（第１位置）に位置する。リンク機構４ｂが９時状態のときに、テーブル５ｂは曲線部Ｔ３の中間に位置する。リンク機構４ｂが１２時状態のときに、テーブル５ｂは直線部Ｔ１の曲線部Ｔ２側の端部（第２位置）に位置する。リンク機構４ｂが３時状態のときに、テーブル５ｂは直線部Ｔ１の中間に位置する。

搬送装置１Ｄにおいては、モータ９ａおよびモータ９ｂが制御装置によって別々に制御される。このため、図２３に示すように、テーブル５ｂの位置が保持された状態において、モータ９ａによってテーブル５ａが移動することができる。そして、モータ９ｂによってテーブル５ｂが移動し始めると、図２４に示すようにテーブル５ｂのＺ方向の位置が変化するので、テーブル５ａおよびテーブル５ｂが立体交差することができる。このため、テーブル５ａは、テーブル５ｂと干渉せずに第１位置に達することができる。この状態で、新たなワークがテーブル５ａに載せられる。その後、図２５に示すようにテーブル５ｂが第２位置に達する。この状態で、テーブル５ｂに載せられていたワークが加工機械によって引き取られる。さらにその後、テーブル５ａによってワークが第２位置まで搬送される。このように、搬送装置１Ｄにおいては、テーブル５ａおよびテーブル５ｂが交互にワークを搬送することができる。

以上説明したように、変形例４に係る駆動装置９Ｄは、２つのモータ（モータ９ａおよびモータ９ｂ）を備える。一方のモータ９ａのシャフト９２ａが一方のリンク機構４ａに連結され、他方のモータ９ｂのシャフト９２ｂが他方のリンク機構４ｂに連結される。

これにより、搬送装置１Ｄは、２つのテーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）を別々に動作させることができる。このため、搬送装置１Ｄは、２つのテーブル（テーブル５ａおよびテーブル５ｂ）の停止タイミングおよび停止位置の調節を容易にすることができる。また、搬送装置１Ｄは、一方のテーブル（例えばテーブル５ｂ）を停止させながら、他方のテーブル（テーブル５ａ）だけを移動させることもできる。したがって、搬送装置１Ｄは、様々な製造装置へ適用することができる。すなわち、搬送装置１Ｄの汎用性が向上する。

また、搬送装置１Ｄにおいては、一方のモータ９ａのシャフト９２ａおよび他方のモータ９ｂのシャフト９２ｂは、互いに反対方向に突出している。２つのモータ（モータ９ａおよびモータ９ｂ）は、筐体２Ｄの内側で、水平方向のうちシャフト９２ａおよびシャフト９２ｂに対して直交する方向（Ｘ方向）に並べられている。

これにより、搬送装置１Ｄは、２つのモータ（モータ９ａおよびモータ９ｂ）がシャフト９２ａおよびシャフト９２ｂに平行な方向に並べられた場合に比較して、筐体２Ｄを薄くすることができる。

１、１Ｄ 搬送装置
２、２Ｄ 筐体
２１ 底壁
２２、２２Ｄ、２３、２３Ｄ 側壁
３ａ、３ｂ、３ａＣ レール
３２ 凹部
３９ 締結部材
４ａ、４ｂ リンク機構
４１ａ、４１ｂ 第１リンク
４１１ａ 突起
４２ａ、４２ｂ 第２リンク
４３ａ、４３ｂ 第３リンク
４５ａ、４５ｂ 第１軸受
４６ａ、４６ｂ 第２軸受
４７ａ、４７ｂ 第３軸受
５ａ、５ｂ、５ａＢ テーブル
５０ａ、５０ｂ 軸受
５１ａ、５１ａＢ 突起
５３ 凸部
６ａ、６ｂ、６ａＡ、６ａＢ、６ａＣ 案内機構
６１ａ、６１ｂ、６１ａＡ、６１ａＢ、６１ａＣ 水平案内部材
６１１、６１１Ａ、６１１Ｂ、６１１Ｃ 基部
６１２ スリット
６１３、６１３Ｃ スライダ
６１３２ 爪部
６１３４ 転動体
６１６、６１６Ｃ 孔
６１７ 脚部
６１８ リニアボール軸受
６２ａ、６２ｂ、６２ａＡ、６２ａＣ 鉛直案内部材
６２１ 脚部
６２２ 連結部
９、９Ｄ 駆動装置
９１ａ、９１ｂ シャフト
９２ａ、９２ｂ シャフト
９ａ、９ｂ モータ
Ｔ 軌跡
Ｔ１ 直線部
Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４ 曲線部

Claims (9)

1. ２つのテーブルと、
   前記２つのテーブルをそれぞれ支持する２つのリンク機構と、
   前記テーブルと前記リンク機構との間に設けられる軸受と、
   前記２つのリンク機構を支持する筐体と、
   一方の前記リンク機構を介して一方の前記テーブルを移動させ、且つ他方の前記リンク機構を介して他方の前記テーブルを移動させる駆動装置と、
   を備え、
   前記２つのテーブルは、水平方向から見て、環状である同じ軌跡に沿って移動し、
   前記リンク機構は、チェビシェフリンク機構であり、第１リンクと、第１軸受を介して前記第１リンクに連結され且つ前記テーブルに連結される第２リンクと、前記筐体及び前記第２リンクに連結される第３リンクと、を備え、
   前記駆動装置は、互いに反対方向に突出する２つのシャフトを備えるモータであり、
   一方の前記シャフトが一方の前記リンク機構の前記第１リンクに連結され、他方の前記シャフトが他方の前記リンク機構の前記第１リンクに連結され、
   一方の前記シャフトから一方の前記リンク機構の前記第１軸受に向かう方向は、他方の前記シャフトから他方の前記リンク機構の前記第１軸受に向かう方向とは異なる
   搬送装置。
2. 前記筐体において水平方向に沿って設けられるレールと、
   水平方向にスライドできるように前記レールに取り付けられる案内機構と、
   を備え、
   前記案内機構は、前記テーブルに連結され、前記テーブルの前記軸受を中心とした回転を規制する請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記案内機構は、前記レールに接する水平案内部材と、鉛直方向にスライドできるように前記水平案内部材に取り付けられる鉛直案内部材と、を備え、
   前記鉛直案内部材は、前記テーブルに固定される請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する２つのスリットを備え、
   前記鉛直案内部材は、前記２つのスリットのそれぞれに挿入される２つの脚部を備え、
   前記脚部は、前記スリットの内壁に接する請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する孔を備え、
   前記鉛直案内部材は、前記孔に挿入され、前記孔の内壁に接する請求項３に記載の搬送装置。
6. 前記水平案内部材は、鉛直方向に貫通する孔と、前記孔の内側に配置されたリニアボール軸受と、を備え、
   前記鉛直案内部材は、前記リニアボール軸受に挿入され、前記リニアボール軸受の内壁に接する請求項３に記載の搬送装置。
7. 前記案内機構は、前記レールに接する基部と、前記基部から鉛直方向に突出し且つ隙間を空けて対向する２つの脚部と、を備え、
   前記テーブルは、水平方向に突出する凸部を備え、
   前記凸部は、前記隙間に嵌まっており、前記２つの脚部に接する請求項２に記載の搬送装置。
8. 前記案内機構は、前記レールに接する転動体を備える請求項２〜７のいずれか１項に記載の搬送装置。
9. 一方の前記シャフトから一方の前記リンク機構の前記第１軸受に向かう方向は、他方の前記シャフトから他方の前記リンク機構の前記第１軸受に向かう方向とは反対である
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の搬送装置。

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