JP6487232B2 - 赤外線発光ダイオード - Google Patents
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Description
上記の様な問題を解決する為には、光源として特定波長の赤外線を発する半導体の発光素子(LED:Light Emitting Diode)を使用することが有効である。
特許文献1に開示された技術により、室温において熱励起された正孔による拡散電流、及び暗電流を抑制した赤外線発光素子が実現されている。
そこで、この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、発光効率がより優れた赤外線発光ダイオードを提供することを課題とする。
<赤外線発光ダイオード>
(1)全体構成
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードは、基板と、基板上に形成され、In及びSbを含む材料からなるメサ部を有し、互いに分離された複数の化合物半導体積層部と、複数の化合物半導体積層部上に形成され、メサ部の上部であるメサ上部を露出する第1開口部及びメサ部の下部であるメサ下部を露出する第2開口部を有する絶縁層と、複数の化合物半導体積層部のうちの一方の化合物半導体積層部の第1開口部と、複数の化合物半導体積層部のうちの他方の化合物半導体積層部の第2開口部とを介して、一方の化合物半導体積層部と他方の化合物半導体積層部とを電気的に接続する配線部と、を備える。化合物半導体積層部を平面視したときに、第1開口部の面積はメサ上部の面積の20%以上であり、かつ、第1開口部と第2開口部との最短距離をなす第1の方向におけるメサ上部の長さW1は、第1の方向と平面視で直交する第2の方向におけるメサ上部の長さL1よりも短い。これにより、本実施形態に係る赤外線発光ダイオードは発光効率(単位面積当たりの発光強度)が増大する。
より発光効率を向上させる観点から、上記メサ上部の長さW1は、100μm以下であることが好ましく、75μm以下であることがより好ましい。
より発光効率を向上させる観点から、上記メサ上部の長さW1と、上記メサ上部の長さL1は、0.05≦W1/L1≦0.4を満たすことが好ましく、0.05≦W1/L1≦0.3を満たすことがより好ましく、0.05≦W1/L1≦0.2を満たすことがより更に好ましい。
より発光効率を向上させる観点から、複数の化合物半導体積層部の各々は、平面視したときに、第2の方向における第1開口部の長さL2は、第2の方向における第2開口部の長さL4よりも短いことが好ましい。
(2)基板
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードにおいて、基板は、In及びSbを含む材料からなる化合物半導体積層部を形成可能なものであれば特に制限されない。具体的には、基板として、Si基板、GaAs基板、InAs基板、InP基板上にバッファ層が形成された異種基板などが挙げられる。結晶性の高い化合物半導体積層部を形成する観点から、基板表面の格子定数が、基板と直接接する化合物半導体積層部の材料の格子定数と近いことが好ましい。この観点から、基板として、基板表面にバッファ層を設けた基板を用いることが好ましい場合もある。また、例えば分離溝により複数の化合物半導体積層部を各々分離する観点から、基板材料は、絶縁性又は半絶縁性の材料であることが好ましい。
基板の大きさは特に制限されないが、小型化の観点から1mm2以下であることが好ましい。本実施形態に係る赤外線発光ダイオードは発光効率が優れているため、基板の大きさが1mm2以下であっても十分な発光強度を実現することができる。
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードにおいて、化合物半導体積層部は、基板上に複数存在する。複数の化合物半導体積層部の各々は、In及びSbを含む材料からなり、例えば分離溝により各々分離されている。複数の化合物半導体積層部の各々はメサ部を有する。メサ部とは、断面視したときに凸形状となる部であり、立体形状としては四角柱形状又は台形錐形状の領域である。メサ部の上部(すなわち、上面領域)がメサ上部、メサ部の下部(すなわち、下面領域)がメサ下部である。
また、化合物半導体積層部は、目的に応じてバンドギャップが相対的に大きいワイドバンドギャップ層や、高濃度にドーピングされたコンタクト層や保護層等を更に有していてもよい。
また、化合物半導体積層部の各々を分離する分離溝も公知の方法により形成することが可能であり、一例としては、フォトリソグラフィー法で形成されたマスク部材を用いたドライエッチングやウェットエッチングにより形成することができる。
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードにおける絶縁層は、複数の化合物半導体積層部上に形成されている。この絶縁層は、メサ上部を露出する第1開口部と、メサ下部を露出する第2開口部とを有する。すなわち、絶縁層において、化合物半導体積層部のメサ上部を覆う部分には第1開口部が形成され、メサ下部を覆う部分には第2開口部が形成されている。絶縁層の材料としては、化合物半導体積層部と配線部とを電気的に絶縁可能なものであれば特に限定されず、酸化ケイ素、窒化珪素等を用いることができる。
化合物半導体積層部に効率的に電力を供給し、発光効率を向上させる観点から、化合物半導体積層部を平面視したときの第1開口部の面積は、化合物半導体積層部のメサ上部の面積の20%以上であり、40%以上であることが好ましく、50%以上であることがより好ましく、80%以上であることがより更に好ましい。
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードにおける配線部は、絶縁層に形成された第1開口部と、絶縁層に形成された第2開口部とを介して、分離溝により分離された一方の化合物半導体積層部と他方の化合物半導体積層部とを電気的に接続する。
配線部の材料としては、上述の通り、一方の化合物半導体積層部と他方の化合物半導体積層部とを電気的に接続することが可能な導電性の材料であれば特に制限されない。また、配線部は単一の材料からなってもよいし、複数の材料の混合又は積層であってもよい。配線部は公知の方法で形成することが可能であり、一例としては、フォトリソグラフィー法で形成されたマスク部材、及び、化合物半導体積層部の全面に、蒸着法やスパッタリング法により導電性材料を形成し、さらに剥離液を用いてマスク部材を剥離すること(すなわち、リフトオフ法)により形成することができる。
本実施形態に係る赤外線発光ダイオードは、外部から電力を供給するための外部接続配線をさらに備えていてもよい。外部接続配線は、外部端子と、接続部により直列接続された複数の化合物半導体積層部の各両端とを電気的に接続する部材であり、例えば金属細線(ボンディングワイヤー)や、金属バンプ等を用いることができる。
発光効率を上げる目的で、基板を研磨して薄く、且つ、裏面を粗く加工しても良い。基板の研磨は公知の方法で行うことができる。GaAs基板の場合、300μm以下の厚みにすることが好ましい。
発光効率を上げる目的で、裏面に基板よりも屈折率の低い材料の薄膜が形成されていても良い。薄膜の材料としては、TiO2、SiO2、SiNなどが挙げられるがこの限りではない。赤外線の発光強度増加の観点から、薄膜の厚みは0.1μm以上1μm以下であることが好ましい。
以下、本実施形態をより詳細に説明するために、図面を用いて具体例を示す。なお、以下に説明する各図において、同一の構成を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
(1)構成の一例
図1は、本実施形態に係る赤外線発光ダイオード100の構成例を示す模式図であり、図1(a)は平面図であり、図1(b)は図1(a)におけるX1−X´1間の断面図である。
なお、図1(a)と後述の図6(a)では、絶縁層30の図示を省略している。また、符号20に続く下付きの符号i、i+1、i+2、…は、化合物半導体積層部20を個々に識別するための符号である。
図3〜図6は、本実施形態に係る赤外線発光ダイオード100の製造方法を工程順に示す断面模式図である。
まず、基板10上にMOCVD装置やMBE装置等の公知の方法で、化合物半導体積層膜を製膜する。次に、この化合物半導体積層膜上にフォトリソグラフィー法等によりマスク部材70を形成する。マスク部材70は、化合物半導体積層膜上に所望の箇所に所望の形状で形成してよい。
次に、フォトリソグラフィー法等により、複数の化合物半導体積層部20の各々を分離するためのマスク部材71を形成する。そして、このマスク部材71をマスクに、ドライエッチングやウェットエッチング等の公知の方法で、メサ下部23の一部とその下方の基板10とをエッチングする。これにより、複数の化合物半導体積層部20の各々を分離する分離溝50を形成する(図4参照)。
その後、基板10を研磨して薄く、且つ、基板10の裏面を粗く加工した後、光の取り出し効率を上げる目的で、基板10の裏面に、基板10よりも屈折率の低い材料の薄膜を(例えば、TiO2、SiO2、SiNなど)を形成してもよい。以上の工程により、本実施形態に係る赤外線発光ダイオード100を得ることができる。
本発明の実施形態によれば、化合物半導体積層部20を平面視したときに、第1開口部31の面積はメサ上部22の面積の20%以上であり、かつ、第1開口部31と第2開口部32との最短距離Dをなす第1の方向(例えば、X軸方向)におけるメサ上部22の長さW1は、第1の方向と平面視で直交する第2の方向(例えば、Y軸方向)におけるメサ上部22の長さL1よりも短い。これにより、赤外線発光ダイオードの発光効率(単位面積当たりの発光強度)を増大させることができる。
[赤外線発光ダイオードの形成]
分子線エピタキシャル成長装置を用いて、図7に示すように、GaAs基板110上に、第1導電型の化合物半導体層121と、バリア層122と、活性層123と、バリア層124と、第2導電型の化合物半導体層125と、をこの順に積層することで、化合物半導体積層膜120を形成した。
図8に示すように、実施例1では、10個の化合物半導体積層部20(20i、20i+1、…、20i+9)を1列に並ぶように配線部40で直列接続すると共に、この直列接続の両端に第1端部電極42、第2端部電極43をそれぞれ配置した。
実施例1では、10個の化合物半導体積層部20をそれぞれ、以下の寸法となるように作製した。すなわち、メサ上部22のX軸方向の長さW1が37μmとなり、メサ上部22のY軸方向の長さL1が292μmとなり、メサ下部23のY軸方向の長さL3が300μmとなるように作製した。また、第1開口部31のX軸方向の長さW2は25μm、第1開口部31のY軸方向の長さL2は280μmとなるように作製した。第2開口部32のX軸方向の長さW3は6μm、第2開口部32のY軸方向の長さL4は300μmとなるように作製した(W1〜W3、L1〜L4について、それぞれ図2(a)を参照)。
作製した赤外線発光ダイオード200の第1端部電極42を+側、第2端部電極43を−側としてプローブ針を当て、ヒューレットパッカード社製パルスジェネレータ「HP8110A」を用いてパルス電流を注入し、直列接続された10個の化合物半導体積層部20を発光させ、基板10を介して赤外線を取り出した。パルス条件は、電流50mA〜200mA、パルス幅duty20%とした。この時、半導体ウェハ(基板)上に作製した赤外線発光ダイオード200に直接プローブ針を当てているため、基板サイズは4インチであるが、実際に発光している面積は、おおよそ、直列接続された10個の化合物半導体積層部20のメサ下部の合計面積に相当する。
次に、実施例2について説明する。実施例2では、メサ上部のX軸方向の長さW1が52μmとなり、メサ上部のY軸方向の長さL1が292μmとなり、メサ下部のY軸方向の長さL3が300μmとなり、第1開口部のX軸方向の長さW2が40μmとなり、第1開口部のY軸方向の長さL2が280μmとなるように、赤外線発光ダイオードを作製した。これ以外は、実施例1と同様の方法で、赤外線発光ダイオードの作製と、発光強度の測定とを行った。
次に、実施例3について説明する。実施例3では、メサ上部のX軸方向の長さW1が82μmとなり、メサ上部のY軸方向の長さL1が292μmとなり、メサ下部のY軸方向の長さL3が300μmとなり、第1開口部のX軸方向の長さがW2が70μmとなり、第1開口部のY軸方向の長さL2が280μmとなるように、赤外線発光ダイオードを作製した。これ以外は、実施例1と同様の方法で、赤外線発光ダイオードの作製と、発光強度の測定とを行った。
次に、実施例4について説明する。実施例4では、メサ上部のX軸方向の長さW1が52μmとなり、メサ上部のY軸方向の長さL1が127μmとなり、メサ下部のY軸方向の長さL3が135μmとなり、第1開口部のX軸方向の長さW2が40μmとなり、第1開口部のY軸方向の長さL2が115μmとなるように、赤外線発光ダイオードを作製した。これ以外は、実施例1と同様の方法で、赤外線発光ダイオードの作製と、発光強度の測定とを行った。
次に、比較例1について説明する。比較例1では、メサ上部のX軸方向の長さW1が127μmとなり、メサ上部のY軸方向の長さL1が127μmとなり、メサ下部のY軸方向の長さL3が135μmとなり、第1開口部のX軸方向の長さW2が115μmとなり、第1開口部のY軸方向の長さL2が115μmとなるように、赤外線発光ダイオードを作製した。これ以外は、実施例1と同様の方法で、赤外線発光ダイオードの作製と、発光強度の測定とを行った。
次に、比較例2について説明する。比較例2では、メサ上部のX軸方向の長さW1が127μmとなり、メサ上部のY軸方向の長さL1が60μmとなり、メサ下部のY軸方向の長さL3が60μmとなり、第1開口部のX軸方向の長さW2が115μmとなり、第1開口部のY軸方向の長さL2が40μmとなるように、赤外線発光ダイオードを作製した。これ以外は、実施例1と同様の方法で、赤外線発光ダイオードの作製と、発光強度の測定とを行った。
また、実施例4と比較例2も同様にメサ上部の面積が近くなるように設計されている。比較例2は、実施例4のW1の長さとL1の長さとを入れ替えたものである。この2つを比較しても、実施例4のほうが明らかに発光効率が高いことが分かり、本発明の効果があることが分かる。
20 化合物半導体積層部
21 メサ部
22 メサ上部
23 メサ下部
30 絶縁層
31 第1開口部
32 第2開口部
40 配線部
42 第1端部電極
43 第2端部電極
50 分離溝
60 外部接続配線
70、71 マスク部材
100、200 赤外線発光ダイオード
110 GaAs基板
120 化合物半導体積層膜
121 第1導電型の化合物半導体層
122、124 バリア層
123 活性層
125 第2導電型の化合物半導体層
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に形成され、In及びSbを含む材料からなるメサ部を有し、互いに分離された複数の化合物半導体積層部と、
前記複数の化合物半導体積層部上に形成され、前記メサ部の上部であるメサ上部を露出する第1開口部及び前記メサ部の下部であるメサ下部を露出する第2開口部を有する絶縁層と、
前記複数の化合物半導体積層部のうちの一方の化合物半導体積層部の前記第1開口部と、前記複数の化合物半導体積層部のうちの他方の化合物半導体積層部の前記第2開口部とを介して、前記一方の化合物半導体積層部と前記他方の化合物半導体積層部とを電気的に接続する配線部と、を備え、
前記化合物半導体積層部を平面視したときに、前記第1開口部の面積は前記メサ上部の面積の20%以上であり、かつ、前記第1開口部と前記第2開口部との最短距離をなす第1の方向における前記メサ上部の長さW1は、前記第1の方向と平面視で直交する第2の方向における前記メサ上部の長さL1よりも短く、
前記メサ上部の長さW1は52μm以下であり、
前記メサ上部の長さW1と、前記メサ上部の長さL1は、0.05≦W1/L1≦0.18を満たす
赤外線発光ダイオード。 - 前記第1開口部の前記第1の方向の長さW2は40μm以下である
請求項1に記載の赤外線発光ダイオード。 - 前記化合物半導体積層部は、
InSb、AlInSb、InAsSb、InSbNのいずれかを含む発光層と、
AlInSb、GaInSb、もしくはAlAs、GaAs、AlSb、GaSb、又はそれらの混晶を含むワイドバンドギャップ層と、を有する
請求項1または2に記載の赤外線発光ダイオード。 - 前記複数の化合物半導体積層部の個数は2個以上40個以下であり、該2個以上40個以下の化合物半導体積層部が前記配線部により直列接続されている請求項1から3の何れか一項に記載の赤外線発光ダイオード。
- 前記化合物半導体積層部を平面視したときに、
前記第1の方向における前記第1開口部の長さW2は、前記第2の方向における前記第1開口部の長さL2よりも短く、
前記第1の方向における前記第2開口部の長さW3は、前記第2の方向における前記第2開口部の長さL4よりも短く、かつ、
前記第1開口部の長さL2は、前記第2開口部の長さL4よりも短い、請求項1から4の何れか一項に記載の赤外線発光ダイオード。 - 前記複数の化合物半導体積層部の各々の形状と大きさ及び組成は、互いに同一である請求項1から5の何れか一項に記載の赤外線発光ダイオード。
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