JP6483479B2 - プローブの製造方法 - Google Patents
プローブの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6483479B2 JP6483479B2 JP2015046313A JP2015046313A JP6483479B2 JP 6483479 B2 JP6483479 B2 JP 6483479B2 JP 2015046313 A JP2015046313 A JP 2015046313A JP 2015046313 A JP2015046313 A JP 2015046313A JP 6483479 B2 JP6483479 B2 JP 6483479B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- spring member
- core material
- core
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
<プローブ1>
図1は、本発明の実施の形態1によるプローブ1の一構成例を示した斜視図であり、外ばね方式のスプリングプローブが示されている。図2は、図1のプローブ1の構成例を示した断面図であり、図中の(a)には、プローブ1をA2−A2切断線により切断した場合の切断面が示され、(b)には、A1−A1切断線により切断した場合の切断面が示されている。
図3〜図5は、プローブ1の製造方法の一例を模式的に示した説明図である。ここでは、共通の芯材40を用いて2以上のプローブ1が同時に作製される場合の例について説明する。各プローブ1は、軸方向の位置を異ならせて配置される。
実施の形態1では、ばね部材2が芯材3と一体的に形成される外ばね方式のスプリングプローブについて説明した。本実施の形態では、プローブ1を位置決め用のガイド部材に配置した際に、ガイド部材から抜け落ちないようにするための係止部材がプローブ1に設けられる場合について説明する。
2 ばね部材
21 針先部
22 弾性変形部
23 針元部
24 コーティング層
25 外層
3,40 芯材
31 コンタクト部
32 内層
33 コーティング層
41,43 レジスト層
42 犠牲層
44 金属層
5 ストッパ
51 筒状部
52 鍔部
6 プローブユニット
60 配線基板
61 ガイド板
62 スペーサ
63 配線用の電極パッド
64 ガイド孔
Claims (3)
- ばね部材及び芯材が同軸に配置され、前記ばね部材の一端には、前記芯材に固定される固定部が設けられたプローブの製造方法であって、
前記固定部と対向する前記芯材の外周面を露出させ、前記固定部以外の前記ばね部材と対向する前記芯材の外周面にめっき処理により犠牲層を形成する犠牲層形成ステップと、
前記犠牲層の形成後のめっき処理により、前記ばね部材を形成するばね部材形成ステップと、
前記ばね部材の形成後に前記犠牲層を除去する犠牲層除去ステップとを備えたことを特徴とするプローブの製造方法。 - 前記犠牲層の除去後に前記ばね部材を縮ませることにより、前記固定部とは反対側において前記ばね部材から突出させた芯材を除去する芯材除去ステップを備えたことを特徴とする請求項1に記載のプローブの製造方法。
- 前記ばね部材の形成後に前記芯材を切断し、前記芯材上において軸方向の位置を異ならせて形成された2以上のばね部材を分離するばね部材分離ステップを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015046313A JP6483479B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | プローブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015046313A JP6483479B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | プローブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016166783A JP2016166783A (ja) | 2016-09-15 |
JP6483479B2 true JP6483479B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=56898404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015046313A Active JP6483479B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | プローブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6483479B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019039753A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP2019074483A (ja) * | 2017-10-19 | 2019-05-16 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP7005451B2 (ja) * | 2018-07-30 | 2022-01-21 | 東芝情報システム株式会社 | 基板検査装置 |
CN113228422B (zh) * | 2018-11-30 | 2024-06-21 | 康宁光电通信Rf有限责任公司 | 具有分叉切割部段的可压缩电接触件 |
CN111044763A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-21 | 深圳市新富城电子有限公司 | 一种线路板测试探针及其制造方法 |
JP2023162643A (ja) * | 2022-04-27 | 2023-11-09 | 株式会社ヨコオ | 軸材及び電鋳管の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7928751B2 (en) * | 2009-02-18 | 2011-04-19 | Winmems Technologies Holdings Co., Ltd. | MEMS interconnection pins fabrication on a reusable substrate for probe card application |
JP2013061186A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Nidec-Read Corp | 接続端子及び接続治具 |
KR101330999B1 (ko) * | 2011-12-05 | 2013-11-20 | (주)아이윈 | 탐침부 연결형 포고핀 및 그 제조방법 |
JP2014025737A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Nidec-Read Corp | 検査用治具及び接触子 |
JP2014032112A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Nidec-Read Corp | 接触子の製造方法 |
JP2014130058A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Nidec-Read Corp | X線検査装置及び品質判定方法 |
-
2015
- 2015-03-09 JP JP2015046313A patent/JP6483479B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016166783A (ja) | 2016-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6483479B2 (ja) | プローブの製造方法 | |
JP3773396B2 (ja) | コンタクトプローブおよびその製造方法 | |
TWI440112B (zh) | 彈性接觸元件 | |
JP6457814B2 (ja) | 電気的接触子 | |
KR100443999B1 (ko) | 인쇄회로기판용 상호 접속체, 이의 제조방법 및 이를구비한 상호 접속 조립체 | |
US20150355235A1 (en) | Probe and method for manufacturing the probe | |
JP2018508753A (ja) | テストヘッド用の複数のコンタクトプローブを含む半製品および関連する製造方法 | |
JP2018506030A (ja) | テストヘッドのための接触プローブの製造方法 | |
JP5255459B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2009276346A (ja) | 導電膜構造体とその製造方法、及び、導電膜型集積回路プローブ装置 | |
TWI457571B (zh) | 檢測用接觸件及檢測用夾具 | |
JP2017003551A (ja) | 垂直コイルバネプローブ | |
JP4421550B2 (ja) | プローブ及びプローブカード | |
JP6682681B2 (ja) | プローブ | |
JP2011058880A (ja) | スプリングピン及びそれを用いたプローブカード | |
JP6527762B2 (ja) | プローブ | |
US7637009B2 (en) | Approach for fabricating probe elements for probe card assemblies using a reusable substrate | |
JP6193719B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP4624372B2 (ja) | 多層電気プローブ | |
JP5185686B2 (ja) | プローブ、及びプローブの製造方法 | |
JP2007147518A (ja) | 電極子装置 | |
KR100977166B1 (ko) | 니들형 탐침 제조 방법 | |
JP2006010588A (ja) | コンタクトプローブおよびその製造方法 | |
JP2007225288A (ja) | コンタクトプローブピン用プランジャー及びその製造方法 | |
JP2010243411A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6483479 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |