JP6478220B2 - テラヘルツ波デバイス、およびテラヘルツ波集積回路 - Google Patents
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Description
(テラヘルツ波集積回路)
テラヘルツ波デバイスとしてテラヘルツ波送信器18T、テラヘルツ波受信器18Rを搭載した実施の形態に係るテラヘルツ波集積回路2の模式的鳥瞰構成は、図1に示すように表される。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uの模式的鳥瞰構成は、図2に示すように表される。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスに適用可能なテーパースロットアンテナを集積化したRTDデバイス4の模式的鳥瞰構成は、図3に示すように表される。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスに適用可能なRTDデバイスのRTDの模式的断面構造は、図4に示すように表される。
n+型のGaInAs層91aおよび91bの厚さは、それぞれ例えば、約400nmおよび30nm程度である。n型のGaInAs層91aおよび91bの厚さは、略等しく、例えば、約50nm程度である。アンドープGaInAs層93aおよび93bの厚さは、略等しく、例えば、約5nm程度である。AlAs層94aおよび94bの厚さは、等しく、例えば、約1.5nm程度である。GaInAs層95の厚さは、例えば、約4.5nm程度である。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、2次元フォトニック結晶スラブ12とRTDを搭載するInP基板100との間のテラヘルツ波の伝播モードを説明する模式的断面構造は、図5に示すように表される。図5において、x軸方向にテラヘルツ波が伝播する。
2次元フォトニック結晶スラブ12上にRTDデバイス4を配置した第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uの模式的断面構造は、図6に示すように表される。
2次元フォトニック結晶スラブ12上にRTDデバイス4を配置した第1の実施の形態の変形例1に係るテラヘルツ波デバイス140Dの模式的鳥瞰構成は、図7に示すように表される。
第1の実施の形態の変形例1に係るテラヘルツ波デバイスの融合方法を説明する模式的断面構造は、図8に示すように表される。
InP基板100Tを薄層化した第1の実施の形態の変形例2に係るテラヘルツ波デバイス140Dの模式的断面構造は、図11に示すように表される。
第1の実施の形態の変形例3に係るテラヘルツ波デバイス140Dの模式的断面構造は、図13に示すように表される。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uとコプレーナー実装基板130との実装構造例の模式的平面構成は、図14に示すように表される。また、図14に対応する表面写真例は、図15に示すように表される。図14および図15に示された構成は、テーパースロットアンテナを集積したRTDデバイスとの配置方法1(図6)に対応している。すなわち、2次元フォトニック結晶導波路14上部にダイオード(電極構造を含む)の中心が2次元フォトニック結晶導波路14の中心に来るように配置する。また、InP基板100はできるだけ研磨して薄くする。今回の試作では200μmまでInP基板100を研磨した。一方、第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uとして、受信器を構成する場合には、RTD90の代わりにGaAs基板を薄層化したSBDを搭載可能である。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、フォトニック結晶の有無によるRTD検波強度の周波数特性の実験結果は、図16に示すように表される。図16において、曲線WPは、図14・図15に示すように、2次元フォトニック結晶スラブ12を適用し、2次元フォトニック結晶導波路14を伝播したテラヘルツ波をテーパースロットアンテナにより受信した第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスの場合の検波強度(dBm)を表す。一方、曲線WOPは、2次元フォトニック結晶スラブ12を適用せず、テラヘルツ波をテーパースロットアンテナにより直接受信した比較例の検波強度(dBm)を表す。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、ギガビット通信の実験結果であって、3Gbpsにおけるエラーフリー通信時のアイパターンは、図17に示すように表される。第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、3Gbpsリアルタイム通信によるエラーフリー伝送が実現された。すなわち、作製した第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスモジュールの検出動作において3Gbpsのエラーフリー通信にも成功した。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uにおいて、2次元フォトニック結晶導波路14上に搭載するRTDデバイス4の位置ずれ(l1とl2との差)が小さい例は、図18(a)に示すように表わされ、位置ずれが大きい例は、図18(b)に示すように表される。図18(a)では、2次元フォトニック結晶導波路14上に搭載するRTDデバイス4の位置ずれ(l1とl2との差)が周期a/8(30μm)と小さい場合に対応し、図18(b)では、2次元フォトニック結晶導波路14上に搭載するRTDデバイス4の位置ずれ(l1とl2との差)が周期a(240μm)と大きい場合に対応している。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、RTDデバイス4のInP基板100厚さをパラメータとする結合効率の周波数特性のシミュレーション結果は、図20に示すように表される。
(テラヘルツ波デバイス)
第2の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Eの模式的鳥瞰構成は、図21に示すように表される。
(埋め込み型)
第3の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスに適用可能なRTDデバイス4Sの模式的鳥瞰構成は、図23に示すように表される。図23において、RTDデバイス4Sの幅はWD、長さはLD、厚さはInP基板100の厚さT1に略等しい。
第3の実施の形態の変形例に係るテラヘルツ波デバイス140Cの模式的鳥瞰構成は、図25に示すように表される。
導波路中央が最も電界が強いので、電極の高さを合わせると、突合せ型の方が埋め込んだ場合に比べ、導波モードの電界分布との結合効率が良好となり、その結果、約4dB程度結合効率が高くなる。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uにおいて、RTDデバイス4のInP基板100内の多重反射を説明する模式的平面構成は、図27に示すように表される。図27においては、RTDデバイス4が2次元フォトニック結晶スラブ12上に配置されている。2次元フォトニック結晶スラブ12の格子点12Aの線欠陥により形成される2次元フォトニック結晶導波路14上にRTDデバイス4のスロットアンテナ部分の導波若しくは受波方向が一致するように配置されている。この状態において、2次元フォトニック結晶導波路14上を伝播するテラヘルツ波(矢印PW1)を受信すると、RTDデバイス4のInP基板100内において、2次元フォトニック結晶導波路14の延伸する方向の多重反射波(矢印PWL)および2次元フォトニック結晶導波路14の延伸する方向に垂直な方向の多重反射波(矢印PWV)が発生する。
RTDデバイス4のInP基板100内の多重反射による透過率の周波数特性のばらつきを改善する第4の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Eの模式的鳥瞰構成は、図29(a)に示すように表され、図29(a)のRTDデバイス4と2次元フォトニック結晶スラブ12との結合部分Aの拡大図は、図29(b)に示すように表される。
RTDデバイス4のInP基板100内の多重反射による透過率の周波数特性のばらつきを改善する第5の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Uの模式的鳥瞰構成は、図31に示すように表される。
第6の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140Tの模式的平面パターン構成は、図33に示すように表される。
第7の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STの模式的平面パターン構成は、図36に示すように表される。
第7の実施の形態の変形例に係るテラヘルツ波デバイス140Sは、図37に示すように、2次元フォトニック結晶導波路14の上に配置された金属パターンとして金属スロット線路152・154の代わりに金属ストリップ線路156を備える。その他の構成は、第7の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STと同様である。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STの模式的平面パターン構成は、図39(a)に示すように表され、図39(a)において、2次元フォトニック結晶導波路14の延伸するx方向に沿う模式的断面構造は、図39(b)に示すように表される。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、デバイス表面へのテラヘルツ波の取出し応用(相互作用)の説明であって、ダイオード、自由キャリア、センシング検体等の検出部158を金属スロット線路152・154間に配置した模式的平面パターン構成は、図40(a)に示すように表され、図40(a)において、2次元フォトニック結晶導波路14の延伸するx方向に沿う模式的断面構造は、図40(b)に示すように表される。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、表面電界強度のシミュレーション結果は、図41に示すように表される。図41の表面電界強度のシミュレーション結果は、2次元フォトニック結晶導波路14の表面にギャップ間隔MGAP=10μmの金属スロット線路152・154を形成した場合に相当している。このシミュレーションでは、金属スロット線路152・154の伝搬方向の長さは半無限に設定している。図41に示すように、金属スロット線路152・154の微小ギャップ中の電界強度が強くなっている。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、断面電界強度のシミュレーション結果は、図42に示すように表される。2次元フォトニック結晶導波路14中をテラヘルツ波が伝搬してきて、金属スロット線路152・154の金属線路装荷領域MGRに入ると、図42に示すように、結合長LCで方向性結合現象が起きる。すなわち、図42に示すように、2次元フォトニック結晶導波路14の表面の電界が強い位置は、破線の長円形EA1・EA2・EA3で示すように表される。逆に、2次元フォトニック結晶導波路14の表面の電界が弱い位置では、2次元フォトニック結晶導波路14の伝送路内部の電界が強い。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、伝搬方向の表面電界強度プロファイルは、図43に示すように表される。横軸は、2次元フォトニック結晶導波路14上に配置される金属スロット線路152・154の金属線路装荷領域MGRの端面を伝搬方向xのゼロ点とし、金属線路装荷領域MGRが延伸する方向を正方向の距離x(μm)で表したものである。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、結合長LCの2倍の長さの金属スロット線路152・154の金属線路装荷領域MGRを有する2次元フォトニック結晶導波路14の表面電界強度プロファイルは、図44(a)に示すように表され、図44(a)において、伝搬方向の断面電界強度プロファイルは、図44(b)に示すように表される。金属スロット線路152・154間には、ギャップ間隔MGAPが形成されている。また、図44(b)において、金属スロット線路152・154の金属線路装荷領域MGRで示される部分が、2次元フォトニック結晶導波路14上に金属スロット線路152・154が配置される部分に対応している。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、2次元フォトニック結晶導波路14から金属スロット線路152・154への結合効率とギャップ間隔MGAPとの関係のシミュレーション結果は、図46(a)に示すように表される。また、2次元フォトニック結晶導波路14と金属スロット線路152・154との結合部分近傍の模式的平面パターン構成は、図46(b)に示すように表される。
第8の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイス140STにおいて、金属スロット線路152・154上にダイオードチップをフリップチップに結合した状態の模式的平面パターン構成は、図47(a)に示すように表され、図47(a)において、2次元フォトニック結晶導波路の延伸する方向に沿う模式的断面構造は、図47(b)に示すように表され、図47(b)において、FC部分の拡大図は、図47(c)に示すように表される。
第9の実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスにおいて、広い帯域を有する導波管26との接続構造の模式的平面パターン構成は、図48(a)に示すように表され、図48(a)において、接続部分における電磁界シミュレーション結果は、図48(b)に示すように表される。
上述ように、実施の形態に係るテラヘルツ波デバイスは、テラヘルツ波の導波に適した低損失な誘電体導波路(フォトニック結晶を用いた線欠陥導波路)と高効率に結合可能である。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
4、4S…RTDデバイス
10…断熱的モード変換機構部
12…2次元フォトニック結晶スラブ
12A…格子点(空孔)
14、141、142、14R、14T…2次元フォトニック結晶導波路
16…入出力機構(グレーティングカプラ)
18T…光源(送信器)
18R…検出器(受信器)
20…方向性結合器
26…導波管
40…導波管フランジ
50…MIMリフレクタ
60…共振器
70…導波路
80…ホーン開口部(テーパースロットアンテナ)
86…ギャップ
88…裏面電極層
90…能動素子(RTD)
100、100T…半導体基板(InP基板)
115…直流電源
122…第1の電極
123…絶縁層
124…第2の電極
130…コプレーナー実装基板
132…ボンディングワイヤ
134、142、144…電極
136…コネクタ
140、140U、140D、140E、140B、140C、140T、140ST、140S…テラヘルツ波デバイス
145…信号線
146…樹脂層
150…テラヘルツ波吸収体
152、154…金属スロット線路
156…金属ストリップ線路
158…ダイオード、自由キャリア、センシング検体等
160…接着層
a…周期(格子定数)
LC…結合長
ΔF(PC)…フォトニック結晶の導波帯域
LT…テーパー長
MGAP…ギャップ間隔
MGR…金属線路装荷領域
WG…ギャップ距離
Claims (17)
- 2次元フォトニック結晶スラブと、
前記2次元フォトニック結晶スラブ内に周期的に配置され、前記2次元フォトニック結晶スラブのフォトニックバンド構造のフォトニックバンドギャップ帯におけるテラヘルツ波を、前記2次元フォトニック結晶スラブの面内での存在を禁止するために回折させる格子点と、
2次元フォトニック結晶スラブ内に配置され、前記格子点の線欠陥により形成された2次元フォトニック結晶導波路と、
前記2次元フォトニック結晶導波路に形成された溝部において、前記2次元フォトニック結晶導波路の上面と表面が面一に配置されたダイオードデバイスと
を備えることを特徴とするテラヘルツ波デバイス。 - 2次元フォトニック結晶スラブと、
前記2次元フォトニック結晶スラブ内に周期的に配置され、前記2次元フォトニック結晶スラブのフォトニックバンド構造のフォトニックバンドギャップ帯におけるテラヘルツ波を、前記2次元フォトニック結晶スラブの面内での存在を禁止するために回折させる格子点と、
2次元フォトニック結晶スラブ内に配置され、前記格子点の線欠陥により形成された2次元フォトニック結晶導波路と、
前記2次元フォトニック結晶導波路に形成された溝部において、前記2次元フォトニック結晶導波路の前記2次元フォトニック結晶スラブ表面に垂直方向の断面の中央部と表面が一致して配置されたダイオードデバイスと
を備えることを特徴とするテラヘルツ波デバイス。 - 前記ダイオードデバイスは、共鳴トンネルダイオードデバイスを備えることを特徴とする請求項1または2に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記共鳴トンネルダイオードデバイスは、
半導体基板と、
前記半導体基板上に配置された第1の電極および第2の電極と、
前記半導体基板上に配置され、前記第1の電極および前記第2の電極に主電極が接続された共鳴トンネルダイオードと
を備えることを特徴とする請求項3に記載のテラヘルツ波デバイス。 - 前記共鳴トンネルダイオードデバイスは、
前記共鳴トンネルダイオードに集積化されたダイポールアンテナ、パッチアンテナ、スロットアンテナのいずれかを備えることを特徴とする請求項4に記載のテラヘルツ波デバイス。 - 前記2次元フォトニック結晶導波路の中央部分の高さと前記第1の電極若しくは前記第2の電極の高さを合わせたことを特徴とする請求項2に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記ダイオードデバイスは、ショットキーダイオードであることを特徴とする請求項1または2に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記共鳴トンネルダイオードデバイスは、
半導体基板と、
前記半導体基板上に配置された第1の電極と、
前記第1の電極上に配置された絶縁層と、
前記第1の電極に対して前記絶縁層を介して配置され、かつ前記半導体基板上に前記第1の電極に対向して配置された第2の電極と、
前記絶縁層を挟み前記第1の電極と前記第2の電極間に形成されたMIMリフレクタと、
前記MIMリフレクタに隣接して、前記半導体基板上に対向する前記第1の電極と前記第2の電極間に配置された共振器と、
前記共振器の略中央部に配置された能動素子と、
前記共振器に隣接して、前記半導体基板上に対向する前記第1の電極と前記第2の電極間に配置された導波路と、
前記導波路に隣接して、前記半導体基板上に対向する前記第1の電極と前記第2の電極間に配置されたホーン開口部と
を備えることを特徴とする請求項2に記載のテラヘルツ波デバイス。 - 前記能動素子は共鳴トンネルダイオードを備えることを特徴とする請求項8に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記ホーン開口部は、テーパースロットアンテナを備えることを特徴とする請求項8または9に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記半導体基板は、薄層化されていることを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記格子点は、正方格子、長方格子、面心長方格子、若しくは三角格子のいずれかに配置されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記格子点は、多角形、円形、楕円形若しくは長円形のいずれかの形状を備えることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記2次元フォトニック結晶スラブは、半導体材料で形成されたことを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 前記半導体材料は、シリコン(Si)、GaAs、InP、GaN、さらに、GaInAsP/InP系、InGaAs/GaAs系、GaAlAs/GaAs系若しくはGaInNAs/GaAs系、GaAlInAs/InP系、AlGaInP/GaAs系、GaInN/GaN系の内、いずれかを適用可能であることを特徴とする請求項14に記載のテラヘルツ波デバイス。
- 請求項1〜15のいずれか1項に記載のテラヘルツ波デバイスを備えることを特徴とするテラヘルツ波集積回路。
- 前記テラヘルツ波デバイスは、テラヘルツ波受信器、テラヘルツ波送信器、若しくはテラヘルツ波送受信器のいずれかを備えることを特徴とする請求項16に記載のテラヘルツ波集積回路。
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