JP6471811B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
互いに隣接する導電体の間に形成されるコンデンサを直列接続したコンデンサ群が構成され、外縁方向に延伸するコンデンサ群によって第2の主電極と終端電極とが容量結合され、終端電極が第2主面側のコーナー部に配置され、コーナー部を除いた外縁には終端電極が配置されておらず、複数の導電体のうちの終端電極に最近接である導電体が、コーナー部において終端電極に接続されている半導体装置が提供される。
図1では、外縁方向の長さ(以下において、単に「長さ」という。)が同等である導電体140が、外縁方向に沿って等間隔に配列されている例を示した。このため、隣接する導電体140間の平面視での間隔は均等である。したがって、導電体140間に形成されるコンデンサ150は等間隔に配置され、コンデンサ150の配置されるピッチは均一である。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
Claims (7)
- 半導体素子が形成された素子領域及び前記素子領域の周囲に配置された外周領域を有する半導体装置であって、
前記素子領域と前記外周領域にわたって延在する第1導電型の第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域との間にpn接合をそれぞれ形成するように前記第1の半導体領域の内部に互いに離間して配列され、前記pn接合が周期的に配置されたスーパージャンクション構造を構成するように、前記素子領域と前記外周領域にわたって前記第1の半導体領域の主面と平行してストライプ状に延伸する第2導電型の第2の半導体領域と、
前記第1の半導体領域の第1主面側に配置された、膜厚方向に沿って前記半導体素子に流れる主電流の電流経路の一方の端部である第1の主電極と、
前記第1の半導体領域の第2主面側で前記素子領域に配置された、前記電流経路の他方の端部である第2の主電極と、
前記第2主面側の前記外周領域の外縁に配置され、前記第1の主電極と電気的に接続された終端電極と、
前記第2の主電極と前記終端電極との間で前記第2主面側に配置された絶縁層と、
前記素子領域から前記外周領域の前記外縁に向かう外縁方向に沿って、前記絶縁層の内部に互いに離間して配列された複数の導電体と
を備え、
互いに隣接する前記導電体の間に形成されるコンデンサを直列接続したコンデンサ群が構成され、前記外縁方向に延伸する前記コンデンサ群によって前記第2の主電極と前記終端電極とが容量結合され、
前記終端電極が前記第2主面側のコーナー部に配置され、前記コーナー部を除いた前記外縁には前記終端電極が配置されておらず、
複数の前記導電体のうちの前記終端電極に最近接である導電体が、前記コーナー部において前記終端電極に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記導電体が前記素子領域の周囲を囲んで配置されたリング形状であり、複数の前記導電体によって前記素子領域が多重に囲まれていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 最外周の前記導電体の外側の外縁部が、前記第2の半導体領域の端部よりも前記外周領域の前記外縁の近くに位置していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記コーナー部側における前記第2の半導体領域の端部が、前記コーナー部側以外の前記第2の半導体領域の端部よりも、前記外縁から離間していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記外周領域の前記素子領域に隣接する領域において前記第1の半導体領域の上部に形成された第2導電型のリサーフ領域を更に備え、
平面視で、前記リサーフ領域の外側まで前記第2の半導体領域が延伸していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 平面視で前記導電体の配置されるピッチが一定ではないことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記外周領域において表面電位が前記第1の半導体領域の電位分布と一致するように、前記コンデンサ群に含まれる前記コンデンサの数や配置されるピッチを調整して前記表面電位が前記第2の主電極と前記終端電極との間で分圧されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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