JP6471142B2 - 極端紫外光を生成する方法 - Google Patents
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Description
Claims (14)
- ターゲット位置に向けて初期ターゲット材料を放出することであって、前記ターゲット材料はプラズマに変換される際に極端紫外(EUV)光を放出する材料を含むことと、
第1増幅光ビームを前記初期ターゲット材料に向けて誘導することであって、前記第1増幅光ビームは前記初期ターゲット材料からターゲット材料片の集合体を形成するのに十分なエネルギーを有し、前記片の各々は、前記初期ターゲット材料より小さく、かつ半球状体積全体に空間的に分散し、前記半球状体積は円周をもつ丸い部分及び前記円周により規定される領域を通して延びる平坦な部分を有することと、
第2増幅光ビームを前記平坦な部分及び前記片の集合体に向けて誘導して前記ターゲット材料片を、EUV光を放出するプラズマに変換することと、を含み、
前記片の集合体の最低密度分布が、前記平坦な部分に位置付けられる、
方法。 - EUV光は、前記半球状体積から全方向に放出される、請求項1に記載の方法。
- EUV光は、前記半球状体積から等方的に放出される、請求項1に記載の方法。
- 前記初期ターゲット材料は、金属を含み、
前記片の集合体は、前記金属の片を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記金属は、スズを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記半球状体積は、前記第2増幅光ビームの伝播方向に平行な方向に沿った縦軸と、前記第2増幅光ビームの前記伝播方向に直交する方向に沿った横軸と、を画定し、
前記第2増幅光ビームを前記片の集合体に向けて誘導することは、前記縦軸に沿って前記半球状体積内に進入することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記片の集合体の片の大部分は、プラズマに変換される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1増幅光ビームは、150psの持続時間および1μmの波長を有する光パルスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1増幅光ビームは、150ps未満の持続時間および1μmの波長を有する光パルスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1増幅光ビームは、互いに時間的に別々の2つの光パルスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記2つのパルスは、第1光パルスおよび第2光パルスを含み、
前記第1光パルスは、1ns〜10nsの持続時間を有し、前記第2光パルスは、1ns未満の持続時間を有する、請求項10に記載の方法。 - 前記第1増幅光ビームは、前記ターゲット材料をプラズマに変換するのに不十分なエネルギーを有し、
前記第2増幅光ビームは、前記ターゲット材料をプラズマに変換するのに十分なエネルギーを有する、請求項1に記載の方法。 - ターゲット位置に向けて初期ターゲット材料を放出することであって、前記ターゲット材料はプラズマに変換される際に極端紫外(EUV)光を放出する材料を含むことと、
第1増幅光ビームを前記初期ターゲット材料に向けて誘導することであって、前記第1増幅光ビームは前記初期ターゲット材料からターゲット材料片の集合体を形成するのに十分なエネルギーを有し、前記片の各々は、前記初期ターゲット材料より小さく、かつ半球状体積全体に空間的に分散し、前記半球状体積は円周をもつ丸い部分及び前記円周により規定される領域を通して延びる平坦な部分を有することと、
第2増幅光ビームを前記片の集合体に向けて誘導して前記ターゲット材料片を、EUV光を放出するプラズマに変換することと、を含み、
前記第1増幅光ビームは、互いに時間的に別々の2つの光パルスを含む、
方法。 - 前記2つのパルスは、第1光パルスおよび第2光パルスを含み、
前記第1光パルスは、1ns〜10nsの持続時間を有し、前記第2光パルスは、1ns未満の持続時間を有する、請求項13に記載の方法。
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