JP6456114B2 - 基板搬送方法および基板搬送装置、リソグラフィー装置、ならびに物品の製造方法 - Google Patents
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Description
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。該製造方法は、物体(例えば、感光剤を表面に有する基板)上に上記のリソグラフィー装置を用いてパターン(例えば潜像パターン)を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程(例えば、現像工程)とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
105 チャック
106 制御部
107 移動規制部材
301 ウエハ回収ハンド
302 保持部
303 移動規制部材
501 速度計測器
Claims (12)
- 保持面上に基板を保持して移動する移動手段から、前記基板を保持する保持部を有し前記基板を回収する回収手段まで、前記基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記保持面上に基板を保持した前記移動手段を移動させている状態で前記基板の保持を解除する第1工程と、
前記移動手段を減速または停止させることによって前記移動手段による保持が解除された前記基板を前記保持面上で移動させる第2工程と、
前記保持面上を移動する前記基板の移動方向に沿って前記保持部を移動させる第3工程と、
前記基板の一部が前記保持面から飛び出した状態で前記保持部によって前記基板を保持させる第4工程と、
を有することを特徴とする基板搬送方法。 - 前記第2工程において前記移動手段を減速または停止させることによって、前記基板を前記保持面上で滑らせて移動させることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送方法。
- 前記第3工程において前記移動方向に沿って前記移動手段と前記保持部とを移動させることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送方法。
- 前記第3工程において前記保持面上で移動している前記基板の速度を計測し、
前記第4工程において前記保持部と前記基板との速度が実質的に等しくなったときに、前記保持部によって前記基板を保持させることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の基板搬送方法。 - 前記第3工程において前記保持部を第1の速度で移動させ、
前記第4工程において前記保持部によって前記基板を保持させた後は前記保持部を前記第1の速度よりも大きい第2の速度で移動させることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の基板搬送方法。 - 前記第1工程において前記基板の保持を解除する際に、前記基板を浮上させることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の基板搬送方法。
- 保持面上に基板を保持して移動する移動手段と、前記基板を保持する保持部を有し前記基板を回収する回収手段と、前記移動手段および前記回収手段を制御する制御手段とを備え、前記移動手段から前記回収手段に前記基板を搬送する基板搬送装置であって、
前記保持面上に基板を保持した前記移動手段を移動させている状態で前記基板の保持を解除し、前記移動手段を減速または停止させることによって前記移動手段による保持が解除された前記基板を前記保持面上で移動させ、前記保持面上を移動する前記基板の移動方向に沿って前記保持部を移動させ、前記基板の一部が前記保持面から飛び出した状態で前記保持部によって前記基板を保持させることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記保持面上を移動する前記基板の速度を計測する計測手段を備え、
前記制御手段は、前記計測手段の計測結果に応じたタイミングで前記保持部による前記基板の保持を開始させる、
ことを特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。 - 前記移動手段は、前記移動方向を規制する移動規制部材を有することを特徴とする請求項7または8に記載の基板搬送装置。
- 前記回収手段は、前記移動方向を規制する移動規制部材を有することを特徴とする請求項7または8に記載の基板搬送装置。
- 基板にパターンを形成するリソグラフィー装置であって、
請求項7ないし10のいずれか1項に記載の基板搬送装置を用いることを特徴とするリソグラフィー装置。 - 請求項11に記載のリソグラフィー装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含み、処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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JP2014234233A JP6456114B2 (ja) | 2014-11-19 | 2014-11-19 | 基板搬送方法および基板搬送装置、リソグラフィー装置、ならびに物品の製造方法 |
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JPH09237818A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Toshiba Corp | ワーク搬送装置 |
JP2010129856A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
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2014
- 2014-11-19 JP JP2014234233A patent/JP6456114B2/ja active Active
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