JP6456082B2 - 形状測定方法 - Google Patents
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Description
前記回転ステージに載置された被測定物を、前記回転ステージを回転させるとともに前記プローブで測定し前記被測定物の周方向の形状データを得る工程と、
前記周方向の形状データに基づき前記被測定物におけるピークの位置を算出する工程と、
前記ピークの位置を通る径方向と前記一方向とをあわせるように前記回転ステージを回転させた後、プローブ保持部に保持されたプローブを被測定物に対して走査することで被測定物の形状を測定して第一の方向の形状データを得る工程と、
前記第一の方向とは別の径方向にてプローブ保持部に保持されたプローブを被測定物に対して走査することで被測定物の形状を測定して第二の方向の形状データを得る工程と、
少なくとも前記第一の方向及び前記第二の方向の形状データを含む複数の形状データから、被測定物における表面の形状を算出する工程を備えた形状測定方法である。
本実施例は一方向に走査可能なプローブ保持部に保持されたプローブ、被測定物が載置される回転ステージ、制御部、を備えた形状測定装置を用いて被測定物の表面形状データを得る形状測定方法である。制御部は前記プローブおよび前記回転ステージを制御するとともにデータを入出力する機能を担っている。
前述の工程の次に複数の測定データ(上述の測定データ群)により算出されたワークの表面の形状の表面データS’とワークの表面設計形状Sにフィッティングさせ、各測定点での形状誤差を算出する。
次に、別の実施例の測定方法の実施例について説明する。
次に、本発明さらなる別の測定方法の実施例について説明する。
5 雇取付面 6 雇取付基準 7 雇取付基準 12 コラム 13 コラム
14 Xガイド 16 Xガイド可動部 17 Xリニアモータガイド
19 Xリニアモータ可動子 20 Xレーザスケールヘッド
22 Xレーザスケール 23 Zガイド 25 Zリニアモータガイド
26 Zリニアモータガイド 27 Zレーザスケールヘッド
28 Zレーザスケールヘッド 30 Zガイド可動部
31 Zリニアモータ可動子 32 Zリニアモータ可動子
33 Zレーザスケール 34 Zレーザスケール 38 プローブ
41 ワーク 51 装置座標系原点 52 ワーク座標系原点
201 断面測定の軌跡 202 円周測定の軌跡
Claims (10)
- 一方向に走査可能なプローブ保持部に保持されたプローブ、被測定物が載置される回転ステージ、前記プローブおよび前記回転ステージを制御するとともにデータを入出力する制御部、を備えた形状測定装置を用いて被測定物の表面形状データを得る形状測定方法において、
前記回転ステージに載置された被測定物を、前記回転ステージを回転させるとともに前記プローブで測定し前記被測定物の周方向の形状データを得る工程と、
前記周方向の形状データに基づき前記被測定物におけるピークの位置を算出する工程と、
前記ピークの位置を通る径方向と前記一方向とをあわせるように前記回転ステージを回転させた後、プローブ保持部に保持されたプローブを被測定物に対して走査することで被測定物の形状を測定して第一の方向の形状データを得る工程と、
前記第一の方向とは別の径方向にてプローブ保持部に保持されたプローブを被測定物に対して走査することで被測定物の形状を測定して第二の方向の形状データを得る工程と、
少なくとも前記第一の方向及び前記第二の方向の形状データを含む複数の形状データから、被測定物における表面の形状を算出する工程を備えた形状測定方法。 - 前記ピークの位置を算出する工程において、前記周方向の形状データを三角多項式に近似して算出することを特徴とする請求項1に記載の形状測定方法。
- 前記ピークの位置を算出する工程において、前記周方向の形状データをn次多項式に近似して算出することを特徴とする請求項1に記載の形状測定方法。
- 前記ピークの位置を算出する工程において、前記周方向の形状データを前後の測定点の値を比較して算出することを特徴とする請求項1に記載の形状測定方法。
- 前記被測定物が非球面の形状を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の形状測定方法。
- プローブを被測定物の表面に倣って走査して前記被測定物の表面形状データを得る形状測定方法において、
前記被測定物の周方向に前記プローブを走査して、周方向の形状データを得る工程と、
前記周方向の形状データから、前記被測定物が有する複数のピークの位置を算出する工程と、
前記複数のピークの位置に含まれる第一のピークの位置を通る径方向に前記プローブを走査して、第一の径方向の形状データを得る工程と、
前記複数のピークの位置に含まれる第二のピークの位置を通り、前記第一の径方向とは異なる径方向に前記プローブを走査して、第二の径方向の形状データを得る工程と、
少なくとも前記第一および第二の径方向の形状データを用いて、前記被測定物の表面の形状を算出する工程と、を有することを特徴とする形状測定方法。 - 前記複数のピークの位置を、前記周方向の形状データを三角多項式に近似して算出することを特徴とする請求項6に記載の形状測定方法。
- 前記複数のピークの位置を、前記周方向の形状データをn次多項式に近似して算出することを特徴とする請求項6に記載の形状測定方法。
- 前記複数のピークの位置を、前記周方向の形状データを前後の測定点の値を比較して算出することを特徴とする請求項6に記載の形状測定方法。
- 前記被測定物が非球面の形状を有することを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の形状測定方法。
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