JP6453850B2 - タッチパネル、その作成方法、及びタッチパネル用のag−pd−nd合金 - Google Patents
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Description
本発明の例示的実施形態によると、導電性透明電極上に形成されたAg−Pd−Nd合金層により、タッチパネルと当該タッチパネルを有するディスプレイは優れた表面特性と耐酸化性を持つことが可能となり、寿命が長くなる。
−透明基板上に透明導電材料を積層し、透明導電材料を熱処理することと、
−透明導電材料層パターン形成のための、PRコーティング、露出、現像、エッチング、剥離を含むフォトリソグラフィ処理と、
−透明導電材料パターンが形成される上面に銀ペーストパターンを形成するための基準を設定するためのガイドを加工する処理と、
−加工されたガイドに基づいて銀ペーストを印刷する処理と、
−銀ペーストを硬化するための高温硬化処理と、を有する。
100×100mmサイズのサンプル1が、結晶化ITO膜(PET系ITO膜)上にAg−Pd−Nd合金を0.15μmの厚さになるようスパッタリングすることで作成された。同様に、サンプル1と同じサイズのサンプル2〜4が作成された。同じサイズのサンプル5も同様に作成されたが、Ag−Pd−Nd合金の厚さは0.1μmとした。サンプル1と同じサイズのサンプル6〜8が、サンプル5と同様に作成された。使用される合金では、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
以下の表2に示すように、100×100mmのサイズの6つの比較例(比較例1〜6)が、厚さ5μmのPET上に10nmのNi/Crを形成し、Ni/Cr上に8μmのCuを形成し、Cu上に30nmのNi/Crを形成することで作成された。ここで、CuのPETに対する接着性は良好ではなく、PET上のNi/Crを接着性向上に用いた。Cu上のNi/Crは外部環境からの保護に使用された。
以下に説明するように、ESPEC及びPR−2SPを使用した温湿度試験をサンプル1〜4、比較サンプル1〜6に対して実施した。それぞれに使用された試験方法、システムは、IEC749の半導体デバイス−機械及び耐候試験方法と、JIS C 7021の個別半導体デバイスの環境試験方法及び耐久性試験方法である。
サンプル1〜4と比較サンプル1〜6に対し、4プローブテスターを使用して、横方向(TD)に10mm間隔の6点で表面抵抗が測定された。表面抵抗値は初期状態と温湿度試験後に測定された。以下の表4に結果としての平均値を示す。
(1)KS D9502方法による塩水噴霧試験がサンプル5、6に実施された。試験は、24時間、48時間、72時間のような様々な時間間隔で塩水を噴射することで行われた。
合金が以下の表6に示す含有量を含むこと以外はサンプル1と同様の構造を持つサンプル9、10に、塩水噴霧試験が実施され、3M 600(アクリル)テープを使用したIPC−TM−650 2.4.1.6グリッド試験方法に基づく剥離試験が実施された。
サンプル11は、Moを結晶化ITO膜上にスパッタリングすることで金属層を形成した後、当該金属層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。このサンプルのMo金属層は厚さ10nmであった。Ag−Pd−Nd合金層は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
サンプル12は、Mo−Ag合金を結晶化ITO膜上にスパッタリングすることで金属層を形成した後、当該金属層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。Mo−Ag合金層は厚さ30nmであり、Mo、Agの含有量はそれぞれ60重量パーセントと40重量パーセントであった。Ag−Pd−Nd合金層は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
サンプル13は、Moを結晶化ITO膜上にスパッタリングすることで金属層を形成した後、当該金属層上にMo−Ag合金をスパッタリングし、その後、当該合金層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。Mo金属層は厚さ10nmであった。Mo−Ag合金層は厚さ30nmで、Mo、Agの含有量はそれぞれ60重量パーセント、40重量パーセントであった。Ag−Pd−Nd合金層は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
サンプル14は、結晶化ITO膜上にMoをスパッタリングすることで金属層を形成した後、当該金属層上にNi−Cu−Ti合金層を形成し、当該合金層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。Mo金属層の厚さは10nmであった。Ni−Cu−Ti合金層は厚さ30nmで、Ni、Cu、Tiの含有量はそれぞれ60重量パーセント、39.7重量パーセント、0.3重量パーセントであった。Ag−Pd−Nd合金層は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
サンプル15は、結晶化ITO膜上にNi−Cu−Ti合金をスパッタリングすることで合金層を形成した後、当該合金層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。Ni−Cu−Ti合金は厚さ30nmで、Ni、Cu、Tiの含有量はそれぞれ60重量パーセント、39.7重量パーセント、0.3重量パーセントであった。Ag−Pd−Nd合金は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
サンプル16は、結晶化ITO膜上にNi−Cr合金をスパッタリングすることで合金層を形成した後、当該合金層上にAg−Pd−Nd合金をスパッタリングすることで製造された。Ni−Cr合金は厚さ10nmであり、Ni、Cr含有量はそれぞれ95重量パーセント、5重量パーセントであった。Ag−Pd−Nd合金は厚さ100nmであり、Ag、Pd、Ndの含有量はそれぞれ98.8重量パーセント、1.0重量パーセント、0.2重量パーセントであった。
エッチング試験と剥離試験が実施された。具体的な試験、評価方法は以下のとおりとした。
(1)最初に、ベース65%のHNO3腐食液を用意し、基板を10×100mmの小片に切り分け、腐食液に90秒浸した。
(2)サンプルを腐食液から取り出し、すぐに純水で1分間洗浄した。
(3)APDまたは中間層残留物がサンプル表面に存在するか目視で確認された。
(4)4プローブシート抵抗メータにより、サンプルのシート抵抗が測定された。
(5)測定結果として、エッチング後に基板上にはITO層のみが存在することが確認された。これは、ITO層を損傷することなく、APD合金とあらゆる中間金属(または金属合金)層がエッチング可能であることを示す。したがって、HNO3液に対してITO層の耐腐食性が保持可能であった。
(6)概して、基板はHNO3エッチング試験に合格であった。
3M 600(アクリル)テープを使用する、IPC−TM−650 2.4.1.6グリッド試験方法により剥離試験が実施された。剥離強度の基準は以下のとおりである。
グレード5:線パターンの角はほぼ汚れのない状態。格子の四角が確認されない。
グレード4:格子の交差部分で金属層(スパッタ層)がわずかに剥離(格子の5%未満)
グレード3:格子の角に沿って、そして交差部分で金属層(スパッタ層)がわずかに剥離(格子の5%〜15%)
グレード2:四角の一部や角に沿って、金属層(スパッタ層)が剥離(格子の15%〜35%)
グレード1:長いリボンの直線パターンの角に沿って、コーティングが剥離(格子の35%〜65%)
グレード0:65%を超える範囲で格子形が確認
[1]
タッチパネルであって、
透明基板と、
前記基板上に設けられた透明導電材料と、
前記透明導電材料上に設けられたAg−Pd−Nd合金層と、を有するタッチパネル。
[2]
前記透明導電材料と、前記Ag−Pd−Nd合金層との間に設けられ、Mo、Ag、Ni、Cu、Ti、Crからなる群から選択された少なくとも1つの金属により形成される金属層をさらに有することを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[3]
前記金属層は、Mo、Mo−Ag合金、Ni−Cu−Ti合金、またはNi−Cr合金により形成されることを特徴とする、項目2に記載のタッチパネル。
[4]
Mo、Ag、Ni、Cu、Ti、Crからなる群から選択された金属により形成される金属層と、
前記金属層上に設けられた、Mo、Ag、Ni、Cu、Ti、Crからなる群から選択された少なくとも2つの金属により形成される金属合金層と、を
前記透明導電材料と前記Ag−Pd−Nd合金層との間にさらに有することを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[5]
前記Ag−Pd−Nd合金層は、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを97.9〜99.2重量パーセント、
Pdを0.7〜1.8重量パーセント、
Ndを0.1〜0.3重量パーセント
含有することを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[6]
前記Ag−Pd−Nd合金層は、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを98.45〜99.05重量パーセント、
Pdを0.8〜1.3重量パーセント、
Ndを0.15〜0.25重量パーセント
含有することを特徴とする、項目5に記載のタッチパネル。
[7]
前記透明基板は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリフェニレンスルフィド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ガラスからなる群から選択されることを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[8]
前記透明基板は、ポリエチレンテレフタレート(PET)であることを特徴とする、項目7に記載のタッチパネル。
[9]
前記透明導電材料は、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウム亜鉛スズ酸化物(IZTO)、カドミウムスズ酸化物(CTO)、PEDOT(ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン))、カーボンナノチューブ(CNT)、銀ナノワイヤーからなる群から選択されることを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[10]
前記透明導電材料は、インジウムスズ酸化物(ITO)であることを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[11]
前記Ag−Pd−Nd合金層は、蒸着またはスパッタリングにより前記透明導電材料上に形成されることを特徴とする、項目1に記載のタッチパネル。
[12]
項目1に記載のタッチパネルを作成する方法であって、
透明膜またはガラスにより形成される透明基板を設ける工程と、
前記透明基板上に透明導電材料を積層する工程と、
前記透明導電材料上に、スパッタリングによりAg−Pd−Nd合金層を形成する工程と、を含む方法。
[13]
項目1に記載のタッチパネルを有するディスプレイ。
[14]
タッチパネル用のAg−Pd−Nd合金であって、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを97.9〜99.2重量パーセント、
Pdを0.7〜1.8重量パーセント、
Ndを0.1〜0.3重量パーセント
含有する合金。
Claims (8)
- タッチパネルであって、
透明基板と、
前記基板上に設けられた透明導電材料と、
前記透明導電材料上に設けられたAg−Pd−Nd合金層と、
前記透明導電材料とAg−Pd−Nd合金層の間に設けられた、Mo、Mo−Ag合金、Ni−Cu−Ti合金もしくはNi−Cr合金から形成された金属層と
を有するタッチパネル。 - 前記金属層がMoにより形成されている、請求項1に記載のタッチパネル。
- 前記透明導電材料と前記Ag−Pd−Nd合金層との間の金属層上に、Mo−Ag合金又はNi−Cu−Ti合金から形成されている金属合金層をさらに有する、請求項2に記載のタッチパネル。
- 前記Ag−Pd−Nd合金層は、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを97.9〜99.2重量パーセント、
Pdを0.7〜1.8重量パーセント、
Ndを0.1〜0.3重量パーセント
含有する、請求項1に記載のタッチパネル。 - 前記Ag−Pd−Nd合金層は、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを98.45〜99.05重量パーセント、
Pdを0.8〜1.3重量パーセント、
Ndを0.15〜0.25重量パーセント
含有する、請求項4に記載のタッチパネル。 - 請求項1に記載のタッチパネルを作成する方法であって、
透明膜またはガラスにより形成される透明基板を設ける工程と、
前記透明基板上に透明導電材料を積層する工程と、
前記透明導電材料上に、スパッタリングによりMo、Mo−Ag合金、Ni−Cu−Ti合金もしくはNi−Cr合金から形成された金属層を形成する工程と、
前記金属層上に、スパッタリングによりAg−Pd−Nd合金層を形成する工程と、を含む方法。 - 請求項1に記載のタッチパネルを有するディスプレイ。
- タッチパネル用のAg−Pd−Nd合金であって、合金の総重量パーセント100に対して、
Agを98.45〜99.05重量パーセント、
Pdを0.8〜1.3重量パーセント、
Ndを0.15〜0.25重量パーセント
含有する合金。
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Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5886763A (en) | 1997-09-26 | 1999-03-23 | Ois Optical Imaging Systems, Inc. | LCD heater utilizing Z-axis conductive adhesive to attach bus bars to ito |
US6744425B2 (en) * | 2000-12-26 | 2004-06-01 | Bridgestone Corporation | Transparent electroconductive film |
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KR100788310B1 (ko) | 2002-03-07 | 2007-12-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 인듐-틴-옥사이드 전극 위에 은을 무전해 도금하는 방법 |
SG106070A1 (en) | 2002-04-23 | 2004-09-30 | Agency Science Tech & Res | Method for elelctroless deposition of a metal layer on selected portions of a substrate |
AU2003243389A1 (en) | 2002-06-04 | 2003-12-19 | Western Life Sciences, Llc | Method of forming a polymer tie layer on metal surface |
US6811815B2 (en) * | 2002-06-14 | 2004-11-02 | Avery Dennison Corporation | Method for roll-to-roll deposition of optically transparent and high conductivity metallic thin films |
US7217344B2 (en) * | 2002-06-14 | 2007-05-15 | Streaming Sales Llc | Transparent conductive film for flat panel displays |
US20040040148A1 (en) | 2002-08-29 | 2004-03-04 | Parlex Corporation | Manufacture of flexible printed circuit boards |
JP2005029849A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Kobe Steel Ltd | リフレクター用Ag合金反射膜、及び、このAg合金反射膜を用いたリフレクター、並びに、このAg合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット |
KR20060089214A (ko) | 2003-09-26 | 2006-08-08 | 가부시키가이샤 후루야긴조쿠 | 은합금, 그 스퍼터링 타겟재 및 그 박막 |
US20050153162A1 (en) * | 2003-12-04 | 2005-07-14 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Ag-base interconnecting film for flat panel display, Ag-base sputtering target and flat panel display |
EP1734140A4 (en) * | 2003-12-10 | 2009-06-24 | Tanaka Precious Metal Ind | SILVER ALLOY WITH EXCELLENT REFLECTION FORMAT PROPERTIES |
US7291816B2 (en) | 2004-05-17 | 2007-11-06 | Shu-Lien Chen | Transparent electrothermal body and the method of making it |
WO2006132410A1 (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | 電極、配線及び電磁波遮蔽用の銀合金 |
JPWO2006132412A1 (ja) | 2005-06-10 | 2009-01-08 | 田中貴金属工業株式会社 | 電極、配線及び電磁波遮蔽用の銀合金 |
JPWO2006132413A1 (ja) | 2005-06-10 | 2009-01-08 | 田中貴金属工業株式会社 | 電極、配線及び電磁波遮蔽用の銀合金 |
WO2006132411A1 (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | 電極、配線及び電磁波遮蔽用の銀合金 |
JP2008041294A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 導電膜基板 |
JP2008080743A (ja) | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Optrex Corp | タッチパネル装置 |
US20080188020A1 (en) | 2007-02-05 | 2008-08-07 | Kuo Wei-Min | Method of LED packaging on transparent flexible film |
US20100328247A1 (en) | 2008-02-22 | 2010-12-30 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Touch panel sensor |
US20100051973A1 (en) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Seiko Epson Corporation | Light-emitting device, electronic equipment, and process of producing light-emitting device |
KR100908101B1 (ko) | 2008-10-01 | 2009-07-16 | 신와전공 주식회사 | 터치패널의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 터치패널 |
KR101172113B1 (ko) | 2008-11-14 | 2012-08-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 터치스크린 및 그 제조방법 |
KR101172112B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2012-08-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 터치 스크린 및 그 제조방법 |
JP2010157497A (ja) | 2008-12-02 | 2010-07-15 | Geomatec Co Ltd | 透明導電膜付き基板とその製造方法 |
TWI404994B (zh) * | 2009-12-14 | 2013-08-11 | Wintek Corp | 觸控面板 |
CN102630327B (zh) | 2009-12-28 | 2014-07-16 | 东丽株式会社 | 导电层合体和使用该导电层合体而形成的触控面板 |
TW201145125A (en) | 2010-06-03 | 2011-12-16 | J Touch Corp | Touch panel manufacturing method and structure thereof |
CN104461118B (zh) * | 2010-09-29 | 2018-10-16 | 大日本印刷株式会社 | 触摸面板传感器膜及其制造方法 |
CN102543266B (zh) * | 2010-12-27 | 2014-04-02 | 迎辉科技股份有限公司 | 具有铜导线的透明导电膜 |
JP5914036B2 (ja) * | 2011-04-20 | 2016-05-11 | 日東電工株式会社 | 導電性積層フィルムの製造方法 |
US8629944B2 (en) | 2011-05-03 | 2014-01-14 | Innovation & Infinity Global Corp. | Transparent conductive structure applied to a touch panel and method of making the same |
KR20120139076A (ko) | 2011-06-16 | 2012-12-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
JP5473990B2 (ja) * | 2011-06-17 | 2014-04-16 | 日東電工株式会社 | 導電性積層体、パターン配線付き透明導電性積層体、および光学デバイス。 |
JP2013177667A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-09-09 | Kobe Steel Ltd | 反射膜および/または透過膜、もしくは電気配線および/または電極に用いられるAg合金膜、並びにAg合金スパッタリングターゲットおよびAg合金フィラー |
CN106536783A (zh) * | 2014-08-07 | 2017-03-22 | 3M创新有限公司 | 反射片及其制造方法 |
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