JP6452198B2 - 半導体レーザ光源 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の実施例1に係る半導体レーザ光源の構造を示す。図2には、外部共振器部105と半導体レーザ共振器部110とで構成される半導体レーザ光源100が示されている。本発明に係る半導体レーザ光源100では、光子共鳴効果を導入するための外部共振器が半導体レーザ共振器に付与された構成において、電気信号によりその光損失を高速制御可能な共振器光損失変調領域を半導体レーザ共振器内に設けたことにより、今まで用いられてきた直接変調レーザと親和性の高い損失変調を利用した簡便な方法で半導体レーザ光源の高速応答を実現した。
実施例1で示した半導体レーザ光源100では、図5に示されるように、周波数応答特性の10〜30GHzの領域に感度の異常に高い領域が存在するが、これは半導体レーザの共振器損失変調に起因して発生する感度増大ピークであり、デジタル信号での動作時には波形を乱す要因となる。このため、この強い感度ピークを低減する必要がある。本実施例2は、この感度調整を実現するものである。
図9は、本発明の実施例3に係る半導体レーザ光源の構造を示す。図9には、DFBレーザ領域101と、共振器光損失変調領域102と、帰還光位相調整領域103と、からなる半導体レーザ共振器部310を含む半導体レーザ光源300が示されている。本実施例3では、DFBレーザ領域101と共振器光損失変調領域102との間に帰還光位相調整領域103が設けられている。DFBレーザ領域101、共振器光損失変調領域102及び帰還光位相調整領域103の構造は、実施例1の場合と同様である。各々の領域は、素子分離溝111によって電気的に分離されており、その分離抵抗は1MΩ以上とした。
DFBレーザ領域 101
共振器光損失変調領域 102
帰還光位相調整領域 103
帰還光強度調整領域 104
外部共振器部 105
DFBレーザ電流注入電極 106
共振器光損失制御電極 107
帰還光位相調整電極 108
帰還光強度調整電極 109
半導体レーザ共振器部 110
素子分離溝 111
共通n側電極 112
活性層 113
回折格子 114
共振器光吸収量制御層 115
帰還光位相調整層 116
可変光減衰器層 117
半導体基板 118
クラッド層 119
高反射膜 120
BCB埋込層 121
電極結合用抵抗 121
Claims (4)
- 共振器光損失変調領域及び分布帰還型半導体レーザ領域を含む分布帰還型半導体レーザ部と、
前記分布帰還型半導体レーザ部から発振された発振光を反射して帰還光を前記分布帰還型半導体レーザ部に出力する外部共振器部と、
を備え、
前記共振器光損失変調領域は、前記帰還光の損失変調を行い、
前記外部共振器部は、前記帰還光の位相を調整するための帰還光位相調整領域と、前記帰還光の光強度を調整するための帰還光強度調整領域と、を含む
ことを特徴とする半導体レーザ光源。 - 前記分布帰還型半導体レーザ部及び前記外部共振器部が同一半導体基板上に作製されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ光源。
- 前記分布帰還型半導体レーザ部と前記外部共振器部とがハイブリッド結合していることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ光源。
- 前記共振器光損失変調領域の電極と前記分布帰還型半導体レーザ領域の電極が抵抗を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体レーザ光源。
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