JP6443698B2

JP6443698B2 - 三次元形状造形物の製造方法

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Publication number: JP6443698B2
Application number: JP2016506143A
Authority: JP
Inventors: 阿部　諭; 諭阿部; 武南　正孝; 正孝武南; 武松本
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2014-03-05
Filing date: 2015-03-04
Publication date: 2018-12-26
Anticipated expiration: 2035-03-04
Also published as: US9776243B2; CN106061717B; US20170066052A1; EP3115182A1; EP3115182A4; WO2015133138A1; KR20180019780A; KR102020779B1; JPWO2015133138A1; KR20160123386A; CN106061717A

Description

本開示は、三次元形状造形物の製造方法に関する。より詳細には、本開示は、粉末層への光ビーム照射によって固化層を形成する三次元形状造形物の製造方法に関する。

光ビームを粉末材料に照射することを通じて三次元形状造形物を製造する方法（一般的には「粉末焼結積層法」と称される）は、従来より知られている。かかる方法は、以下の工程（ｉ）および（ｉｉ）に基づいて粉末層形成と固体層形成とを交互に繰り返し実施して三次元形状造形物を製造する（特許文献１または特許文献２参照）。
（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射し、かかる所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程。
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、同様に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程。

このような製造技術に従えば、複雑な三次元形状造形物を短時間で製造することが可能となる。粉末材料として無機質の金属粉末を用いる場合、得られる三次元形状造形物を金型として使用することができる。一方、粉末材料として有機質の樹脂粉末を用いる場合、得られる三次元形状造形物を各種モデルとして使用することができる。

粉末材料として金属粉末を用い、それによって得られる三次元形状造形物を金型として使用する場合を例にとる。図５に示すように、まず、スキージング・ブレード２３を動かして造形プレート２１上に所定厚みの粉末層２２を形成する（図５（ａ）参照）。次いで、粉末層の所定箇所に光ビームＬを照射して粉末層から固化層２４を形成する（図５（ｂ）参照）。引き続いて、得られた固化層の上に新たな粉末層を形成して再度光ビームを照射して新たな固化層を形成する。このようにして粉末層形成と固化層形成とを交互に繰り返し実施すると固化層２４が積層することになり（図５（ｃ）参照）、最終的には積層化した固化層から成る三次元形状造形物を得ることができる。最下層として形成される固化層２４は造形プレート２１と結合した状態になるので、三次元形状造形物と造形プレートとは一体化物を成すことになる。三次元形状造形物と造形プレートとの一体化物は金型として使用することができる。

特表平１−５０２８９０号公報特開２０００−７３１０８号公報

上記のような粉末焼結積層法において、本願発明者らは光ビームの走査態様の如何によって三次元形状造形物に反り変形が生じ得ることを見出した。具体的には、三次元形状造形物の外面部を成す、即ち、三次元形状造形物の外周輪郭を成すことになる“輪郭部”と、それよりも内側の“内部領域部”とに分けて光ビームの走査を行うと、最終的に得られる三次元形状造形物に反り変形が生じ得ることを見出した。特定の理論に拘束されるわけではないが、かかる“反り変形”は上記輪郭部に対する光ビーム走査が要因として考えられる。

本発明は、このような事情に鑑みて為されたものである。即ち、本発明の課題は、三次元形状造形物の反り変形を減じることができる粉末焼結積層法を提供することである。

上記課題を解決するため、本発明の一態様では、
（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、該新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
によって粉末層形成および固化層形成を交互に繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
光ビームの走査を「三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ａ」と「前記輪郭部よりも内側となる三次元形状造形物の内部領域部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ｂ」とに分け、
光ビーム走査Ａでは、光ビームの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるように前記輪郭部に相当する部分を非連続的な光ビーム照射に付すことを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法が提供される。

本発明の一態様に係る製造方法に従って光ビーム走査Ａの照射パスを複数のサブ照射パスへと分断すると、三次元形状造形物の反り変形を減じることができる。つまり、“三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分”を非連続的な光ビーム照射に付すことによって、三次元形状造形物の反り変形が減じられる。

本発明の一態様に係る概念を模式的に表した図本発明のある好適な態様（相互に隣り合うサブ照射パスの間に隙間を空ける態様）を模式的に表した図本発明のある好適な態様（三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所にて照射パスを分断する態様）を模式的に表した図本発明のある好適な態様（光ビームを離散的に走査する態様）を模式的に表した図粉末焼結積層法において切削処理を付加的に行う光造形複合加工のプロセス態様を模式的に示した断面図光造形複合加工機の構成を模式的に示した斜視図光造形複合加工機の一般的な動作を示すフローチャート本願発明者らが見出した現象を説明するための模式図

以下では、図面を参照して本発明の一態様に係る製造方法をより詳細に説明する。図面における各種要素の形態および寸法は、あくまでも例示にすぎず、実際の形態および寸法を反映するものではない。

本明細書において「粉末層」とは、例えば「金属粉末から成る金属粉末層」または「樹脂粉末から成る樹脂粉末層」を意味している。また「粉末層の所定箇所」とは、製造される三次元形状造形物の領域を実質的に指している。従って、かかる所定箇所に存在する粉末に対して光ビームを照射することによって、その粉末が焼結又は溶融固化して三次元形状造形物を構成することになる。更に「固化層」とは、粉末層が金属粉末層である場合には「焼結層」を意味し、粉末層が樹脂粉末層である場合には「硬化層」を意味している。

［粉末焼結積層法］
まず、本発明の製造方法の前提となる粉末焼結積層法について説明する。粉末焼結積層法において三次元形状造形物の切削処理を付加的に行う光造形複合加工を例として挙げる。図５は、光造形複合加工のプロセス態様を模式的に示しており、図６および図７は、粉末焼結積層法と切削処理とを実施できる光造形複合加工機の主たる構成および動作のフローチャートをそれぞれ示している。

光造形複合加工機１は、図５および図６に示すように、粉末層形成手段２、光ビーム照射手段３および切削手段４を備えている。

粉末層形成手段２は、金属粉末または樹脂粉末などの粉末を所定厚みで敷くことによって粉末層を形成するための手段である。光ビーム照射手段３は、粉末層の所定箇所に光ビームＬを照射するための手段である。切削手段４は、積層化した固化層の側面、即ち、三次元形状造形物の表面を削るための手段である。

粉末層形成手段２は、図５に示すように、粉末テーブル２５、スキージング・ブレード２３、造形テーブル２０および造形プレート２１を主に有して成る。粉末テーブル２５は、外周が壁２６で囲まれた粉末材料タンク２８内にて上下に昇降できるテーブルである。スキージング・ブレード２３は、粉末テーブル２５上の粉末１９を造形テーブル２０上へと供して粉末層２２を得るべく水平方向に移動できるブレードである。造形テーブル２０は、外周が壁２７で囲まれた造形タンク２９内にて上下に昇降できるテーブルである。そして、造形プレート２１は、造形テーブル２０上に配され、三次元形状造形物の土台となるプレートである。

光ビーム照射手段３は、図６に示すように、光ビーム発振器３０およびガルバノミラー３１を主に有して成る。光ビーム発振器３０は、光ビームＬを発する機器である。ガルバノミラー３１は、発せられた光ビームＬを粉末層にスキャニングする手段、即ち、光ビームＬの走査手段である。

切削手段４は、図６に示すように、ミーリングヘッド４０および駆動機構４１を主に有して成る。ミーリングヘッド４０は、積層化した固化層の側面、即ち、三次元形状造形物の表面を削るための切削工具である。駆動機構４１は、ミーリングヘッド４０を所望の切削すべき箇所へと移動させる手段である。

光造形複合加工機１の動作について詳述する。光造形複合加工機の動作は、図７のフローチャートに示すように、粉末層形成ステップ（Ｓ１）、固化層形成ステップ（Ｓ２）および切削ステップ（Ｓ３）から構成されている。粉末層形成ステップ（Ｓ１）は、粉末層２２を形成するためのステップである。かかる粉末層形成ステップ（Ｓ１）では、まず造形テーブル２０をΔｔ下げ（Ｓ１１）、造形プレート２１の上面と造形タンク２９の上端面とのレベル差がΔｔとなるようにする。次いで、粉末テーブル２５をΔｔ上げた後、図５（ａ）に示すようにスキージング・ブレード２３を粉末材料タンク２８から造形タンク２９に向かって水平方向に移動させる。これによって、粉末テーブル２５に配されていた粉末１９を造形プレート２１上へと移送させることができ（Ｓ１２）、粉末層２２の形成が行われる（Ｓ１３）。粉末層を形成するための粉末材料としては、例えば「平均粒径５μｍ〜１００μｍ程度の金属粉末」および「平均粒径３０μｍ〜１００μｍ程度のナイロン、ポリプロピレンまたはＡＢＳ等の樹脂粉末」を挙げることができる。粉末層が形成されたら、固化層形成ステップ（Ｓ２）へと移行する。固化層形成ステップ（Ｓ２）は、光ビーム照射によって固化層２４を形成するステップである。かかる固化層形成ステップ（Ｓ２）においては、光ビーム発振器３０から光ビームＬを発し（Ｓ２１）、ガルバノミラー３１によって粉末層２２上の所定箇所へと光ビームＬをスキャニングする（Ｓ２２）。これによって、粉末層の所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させ、図５（ｂ）に示すように固化層２４を形成する（Ｓ２３）。光ビームＬとしては、炭酸ガスレーザ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ、ファイバレーザまたは紫外線などを用いてよい。

粉末層形成ステップ（Ｓ１）および固化層形成ステップ（Ｓ２）は、交互に繰り返して実施する。これにより、図５（ｃ）に示すように複数の固化層２４が積層化する。

積層化した固化層２４が所定厚みに達すると（Ｓ２４）、切削ステップ（Ｓ３）へと移行する。切削ステップ（Ｓ３）は、積層化した固化層２４の側面、即ち、三次元形状造形物の表面を削るためのステップである。ミーリングヘッド４０（図５（ｃ）および図６参照）を駆動させることによって切削ステップが開始される（Ｓ３１）。例えば、ミーリングヘッド４０が３ｍｍの有効刃長さを有する場合、三次元形状造形物の高さ方向に沿って３ｍｍの切削処理を行うことができるので、Δｔが０．０５ｍｍであれば６０層分の固化層２４が積層した時点でミーリングヘッド４０を駆動させる。具体的には駆動機構４１によってミーリングヘッド４０を移動させながら、積層化した固化層２４の側面に対して切削処理を施すことになる（Ｓ３２）。このような切削ステップ（Ｓ３）が終了すると、所望の三次元形状造形物が得られているか否かの判断を行う（Ｓ３３）。所望の三次元形状造形物が依然得られていない場合では、粉末層形成ステップ（Ｓ１）へと戻る。以降、粉末層形成ステップ（Ｓ１）〜切削ステップ（Ｓ３）を繰り返し実施して更なる固化層の積層化および切削処理を実施することによって、最終的に所望の三次元形状造形物を得ることができる。

［本発明の製造方法］
本発明の一態様に係る製造方法は、上述した粉末焼結積層法につき、光ビームの走査態様に特徴を有している。

具体的には、まず光ビームの走査を「三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分６０を光ビーム照射する光ビーム走査Ａ（６５）」と「輪郭部よりも内側となる三次元形状造形物の内部領域部に相当する部分７０を光ビーム照射する光ビーム走査Ｂ（６６）」とに分ける。そして、光ビーム走査Ａ（６５）では、光ビームＬの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるように非連続的な光ビーム照射を行う（図１参照）。

つまり、本発明の一態様に係る製造方法では、三次元形状造形物の輪郭部となる粉末層部分の光ビーム走査を連続的でなく、断続的に行う。このような走査によって、三次元形状造形物の反り変形を減じることができる。特定の理論に拘束されないが、輪郭部となる粉末層部分で光ビームの走査を連続的に行うと収縮応力が輪郭部に沿って発生し、その収縮応力の残留（即ち、残留応力）が大きくなると三次元形状造形物に反り変形が生じるものと推測される（図８参照）。それゆえ、本発明の一態様に係る製造方法のように非連続的に走査すると、収縮応力の分断によって残留応力を低減でき、結果として三次元形状造形物の反り変形を減じることができる。

一般的な観点からいえば、三次元形状造形物の“反り変形”について、どの程度の“反り”が生じるかは予測し難く、かかる予測し難い現象を予め想定した上で三次元形状造形物を設計するのは困難とされる。この点、本発明の一態様に係る製造方法は、そのように予測し難い現象を想定した設計そのものを“比較的簡易な光ビームの走査態様”によって省くことが可能となる。

ここで従来における当業者の認識について説明しておく。従来においては、三次元形状造形物の輪郭部は“三次元形状造形物の外面部”として最終的に露出する部分であるがゆえ、きれいに仕上げる必要があるとの先入観があった。つまり、従来において、三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分は光ビーム走査を連続的に走査するのが当然であるとの認識が当業者にあった。この点につき、本願発明者らが鋭意検討した結果、その“輪郭部に相当する部分”に対して光ビームを断続的に走査しても三次元形状造形物の外面部を実質的に損なわず、そのうえで三次元形状造形物の反り変形を減じれることを見出した。

本明細書において「輪郭部」は、三次元形状造形物の外面部を成すことになる外周輪郭の部分を意味している。換言すれば、“輪郭部に相当する部分”とは、粉末層にて規定される「製造される三次元形状造形物の領域」において、その周縁部分に相当する。「輪郭部」は、“周縁部分”において、幅寸法を有する形態ととらえてもよく、例えば、三次元形状造形物の最外表面から約０．０１ｍｍ〜約１ｍｍ内側（水平方向内側）に至るまでの局所的な領域が三次元形状造形物の“輪郭部”に相当する。一方、本明細書において「内部領域部」とは、三次元形状造形物において輪郭部よりも内側となる中実部分を意味している。換言すれば、“内部領域部に相当する部分”は、粉末層にて規定される「製造される三次元形状造形物の領域」において、上記“周縁部分”を除いた部分に相当する。

本発明の一態様に係る製造方法は、まず前提として、光ビーム走査を「輪郭部に相当する部分に対する光ビーム走査Ａ」と「内部領域部に相当する部分に対する光ビーム走査Ｂ」とに分ける。そして、光ビーム走査Ａにおいては光ビームの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるように“輪郭部に相当する部分”を非連続的な光ビーム照射に付す。ここでいう「非連続的な光ビーム照射」とは、“輪郭部に相当する部分”の光ビーム照射を途中で途切れないように連続的な態様で行うのではなく、途中で休止を挟む断続的な態様で行うことを意味している。“休止”に要する時間は、好ましくは、サブ照射パスとして直近で光ビーム照射に付された部分が十分に冷却されるのに要する時間である。例示すると、このような「非連続的な光ビーム照射」のための光ビームの休止時間は、好ましくは約１μ秒〜約１秒であり、より好ましくは約５０μ秒〜約１００μ秒である。

本発明の一態様に係る製造方法では、“複数のサブ照射パス”の各々が、好ましくは約１ｍｍ〜約１０ｍｍの長さ、より好ましくは約３ｍｍ〜約５ｍｍの長さを有する。つまり、かかる長さをサブ照射パスが有するように非連続的な光ビーム照射を行うことが好ましい。これによって、収縮応力の分断に起因した残留応力の低減効果がより好適に奏されることになり、三次元形状造形物の反り変形を効果的に減じることができる。ここでいう「複数のサブ照射パスの各々の長さ」は、サブ照射パスの長手方向に沿った長さ寸法Ｄを意味している（図１参照）。

本発明の一態様に係る製造方法において、複数のサブ照射パスは、三次元形状造形物の“輪郭部に相当する部分”に沿った１つの環状照射パスが分断されたものと捉えることができる。つまり、“複数のサブ照射パス”は、全体として大きく捉えると、三次元形状造形物の輪郭部に沿った環状の形態を有している。一方、三次元形状造形物の“内部領域部に相当する部分”は、複数の直線状照射パスが並列する形態を有し得る。つまり、三次元形状造形物の“内部領域部に相当する部分”に対して行う光ビーム走査Ｂとしては、直線的かつ並列的に光ビームを走査してよい。つまり、かかる光ビーム走査Ｂとして、いわゆるラスタ走査を行ってよい。

本発明の一態様に係る製造方法では、光ビーム走査Ａにおいて、相互に隣り合うサブ照射パスの間に隙間が空くように光ビームを走査してよい。つまり、“輪郭部に相当する部分”に対して実施する非連続的な光ビーム照射においては「直近で光ビーム照射に付されたサブ照射パスの終点」と「次に光ビーム照射に付されるサブ照射パスの始点」とが互いに一致しないようにすることが好ましい。これにつき、より具体的な態様を例示する。光ビーム走査Ａ（６５）として光ビームＬを“輪郭部に相当する部分”において同一方向に又は周を描くように走査する際、図１に示すように光ビーム照射部に“切れ間（６５ａ）”が設けられるようにすることが好ましい。“切れ間（６５ａ）”の寸法Ｇは、好ましくは約０．０１ｍｍ〜約０．５ｍｍ、より好ましくは約０．０５ｍｍ〜約０．１ｍｍである（図２参照）。このような“切れ間（６５ａ）”の存在によって、収縮応力の分断効果がより促進され、三次元形状造形物の反り変形が効果的に減じられる。

また、本発明の一態様に係る製造方法では、光ビーム走査Ａにつき光ビームの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるところ、少なくとも“三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所”で照射パスが分断されることが好ましい。換言すれば、複数のサブ照射パスの少なくとも１つの終点が三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所に位置付けられるように非連続的な光ビーム照射を行うことが好ましい。このような態様では、図３に示すように、光ビーム走査Ａ（６５）のための照射パスが「三次元形状造形物１００のコーナー６７’に相当する箇所６７」を境に２つのサブ照射パスへと分断されることになる。

一般的には“三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所”の照射に際しては光ビームの走査速度を下げる必要があるので、そのコーナーに相当する箇所で光ビームのエネルギーが過剰に供される傾向がある。つまり、そのようなコーナーに相当する箇所では過剰量の粉末が固化に寄与して固化層が隆起してしまう虞がある。この点、かかる本発明の一態様に従って“三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所”を境にして照射パスを分断すれば、その箇所における光ビームのエネルギー蓄積を減じることができ、“固化層の隆起”が抑制される。

ここで、本明細書でいう「三次元形状造形物のコーナー」とは、図３（ｂ）にて符号６７’で示される箇所のように、三次元形状造形物の輪郭部のうち“角部を成す箇所”を一般的に指している。換言すれば、「三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所」は、粉末層にて規定される「製造される三次元形状造形物の領域」の周縁部分のうち、光ビームの走査方向を変える必要がある箇所を意味している。

また、光ビーム走査Ａ（６５）については、相互に隣り合うことになるサブ照射パスが続けて光ビーム照射されないように光ビームＬを離散的に走査してもよい（図４参照）。換言すれば、三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分に対する光ビーム走査Ａを、種々の方向でランダムに行ってよい。このように走査すると、光ビーム照射に付されたサブ照射パス部分が十分に冷却された後で、それに隣接するサブ照射パス部分が光ビーム照射に付されることになるので、収縮応力の分断効果がより促進され、三次元形状造形物の反り変形が効果的に減じられる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明の適用範囲における典型例を示したに過ぎない。従って、本発明は、上記の実施形態に限定されず、種々の変更がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。例えば、本発明の製造方法は、切削処理を付加的に行う粉末焼結積層法（図５および図６参照）に対してのみならず、切削処理を行わない粉末焼結積層法に対しても同様に実施することができる。

尚、上述のような本発明は、次の好適な態様を包含している。
第１態様：（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、該新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
によって粉末層形成および固化層形成を交互に繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
前記光ビームの走査を、前記三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ａと、該輪郭部よりも内側となる該三次元形状造形物の内部領域部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ｂとに分け、
前記光ビーム走査Ａでは、前記光ビームの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるように前記輪郭部に相当する部分を非連続的な光ビーム照射に付すことを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
第２態様：上記第１態様において、前記光ビーム走査Ａでは、相互に隣り合う前記サブ照射パスの間に隙間が空くように前記光ビームを走査することを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
第３態様：上記第１態様または第２態様において、前記光ビーム走査Ａでは、少なくとも前記三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所で前記照射パスが分断されるように前記光ビームを走査することを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
第４態様：上記第１態様〜第３態様のいずれかにおいて、前記光ビーム走査Ａでは、相互に隣り合うことになる前記サブ照射パスが続けて光ビーム照射されないように前記光ビームを離散的に走査することを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。
第５態様：上記第１態様〜第４態様のいずれかにおいて、前記複数のサブ照射パスの各々の長さを１ｍｍ〜１０ｍｍとすることを特徴とする、三次元形状造形物の製造方法。

本発明の一態様に係る三次元形状造形物の製造方法を実施することによって、種々の物品を製造することができる。例えば、『粉末層が無機質の金属粉末層であって、固化層が焼結層となる場合』では、得られる三次元形状造形物をプラスチック射出成形用金型、プレス金型、ダイカスト金型、鋳造金型、鍛造金型などの金型として用いることができる。一方、『粉末層が有機質の樹脂粉末層であって、固化層が硬化層となる場合』では、得られる三次元形状造形物を樹脂成形品として用いることができる。

Claims

（ｉ）粉末層の所定箇所に光ビームを照射して該所定箇所の粉末を焼結又は溶融固化させて固化層を形成する工程、および
（ｉｉ）得られた固化層の上に新たな粉末層を形成し、該新たな粉末層の所定箇所に光ビームを照射して更なる固化層を形成する工程
によって粉末層形成および固化層形成を交互に繰り返して行う三次元形状造形物の製造方法であって、
前記光ビームの走査を、前記三次元形状造形物の輪郭部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ａと、該輪郭部よりも内側となる該三次元形状造形物の内部領域部に相当する部分を光ビーム照射するための光ビーム走査Ｂとに分け、
前記光ビーム走査Ａでは、前記光ビームの照射パスが複数のサブ照射パスへと分断されるように前記輪郭部に相当する部分を非連続的な光ビーム照射に付し、
前記非連続的な光ビーム照射のための前記複数のサブ照射パスが前記輪郭部に沿っており、該非連続的な光ビーム照射では、前記輪郭部に相当する部分にて同一方向に周を描くように走査する際に切れ間が設けられ、
前記光ビーム走査Ａでは、少なくとも前記三次元形状造形物のコーナーに相当する箇所で前記照射パスが分断されるように前記光ビームを走査する、三次元形状造形物の製造方法。
前記光ビーム走査Ａでは、相互に隣り合う前記サブ照射パスの間に隙間が空くように前記光ビームを走査することを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。
前記複数のサブ照射パスの各々の長さを１ｍｍ〜１０ｍｍとすることを特徴とする、請求項１に記載の三次元形状造形物の製造方法。