JP6442356B2 - 水晶素子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、水晶素子の製造方法に関する。

水晶素子は、水晶ウエハの状態で、水晶片となる水晶片部が形成され、そのまま水晶片部が形成されている水晶ウエハの水晶片部に励振電極部および引出部が形成され、最後に、水晶片部となる部分が個片化されることで、形成されている（例えば、特許文献１参照）。

このように水晶ウエハの製造方法では、複数の工程を経て、複数個同時に形成しているので、品質不良が判明した場合に、どのロットで発生したか、どの販路に向け出荷されたかを追跡できるように、ロットごと、または、ウエハごとに管理する必要がある。ロットごと、または、ウエハごとに管理をする方法の一例として、ウエハの主面の縁部にレーザーを用いて複数の溝部を形成し、この溝部の位置によって、管理する方法がある（例えば、特許文献２参照）。また、ロットごと、または、ウエハごとに管理をする方法の別の一例として、キャリアケースによってロット管理をする方法がある（例えば、特許文献３参照）。

特開２０１４−１１６４７号公報 特開２０１３−２１１４７８号公報 特開平８−１４８５３８号公報

従来の水晶素子の製造方法では、ロットごと、または、水晶ウエハごとに管理をする方法として、レーザーを照射し水晶ウエハの主面の縁部に溝部を設けているので、レーザーを照射し溝部を設ける際にレーザーが照射されることで破損した水晶ウエハの一部が、水晶ウエハの表面、具体的には、水晶片となる部分に付着し、付着した水晶ウエハの一部により水晶素子の周波数が所定の周波数から変動し、周波数ずれによる不良となり、水晶素子の生産性を低減させる虞がある。

従来の水晶素子の製造方法では、別の管理方法として、キャリアケースを用いて管理をしているが、キャリアケースへ水晶ウエハを出し入れする際に、水晶ウエハに異物が付着し、異物が付着することにより水晶素子の周波数が所定の周波数から変動し、周波数ずれによる不良となり、水晶素子の生産性を低減させる虞がある。

本発明では、ロットごと、または、水晶ウエハごとに容易に管理することができ、かつ、水晶素子の生産性を向上させることができる水晶素子の製造方法を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するために、本発明に係る水晶素子の製造方法は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハを形成する水晶ウエハ形成工程と、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハの所定の位置に、一部分が固定されている識別用素子部を複数形成する識別用素子部形成工程と、複数あるうちの所定の識別用素子部を折り取り、または、切断し、水晶ウエハを識別する水晶ウエハ識別工程と、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハの所定の位置に、略矩形形状の平板状に形成しつつ、主面の所定の一辺側で固定されている水晶片部を形成する水晶片部形成工程と、水晶片部の所定の位置に、励振電極部および引出部からなる第一金属パターンを形成する第一金属パターン形成工程と、水晶ウエハに形成されている水晶片部の主面の所定の一辺側を折り取り、または、切断し、水晶片となる部分を個片化する個片化工程と、からなることを特徴とする。

本発明に係る水晶素子の製造方法では、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて複数の識別用素子部を形成し、複数あるうちの所定の識別用素子部を折り取り、または、切断しているので、折り取られていない、または、切断されていない識別用素子部の組合せにより、水晶ウエハを容易に識別することができる。従って、本発明に係る水晶素子の製造方法では、従来の水晶素子の製造方法のように、レーザーを照射し複数の溝部を設ける必要がないため、レーザーが照射されることで破損した水晶ウエハの一部が、水晶片となる部分に付着することを低減させることが可能となる。このため、本発明に係る水晶素子の製造方法では、レーザーが照射されることで破損した水晶ウエハの一部が水晶片となる部分に付着し、水晶素子の周波数が所定の周波数から変動する周波数ずれによる不良を低減させることができる。よって、本発明に係る水晶素子の製造方法は、従来の水晶素子の製造方法と比較し、生産性を向上させることが可能となる。また、本発明に係る水晶素子の製造方法では、キャリアケースを用いることなく、容易に水晶ウエハを識別することが可能となり、キャリアケースへ出し入れする際に、水晶ウエハに異物が付着することを低減させることができる。このため、本発明に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハに異物が付着し、異物の付着により水晶素子の周波数が所定の周波数から変動する周波数ずれによる不良を低減させることができる。よって、本発明に係る水晶素子の製造方法は、従来の水晶素子の製造方法と比較し、水晶素子の生産性を向上させることが可能となる。

本発明に係る水晶素子の製造方法で製造された水晶素子の一例を示した斜視図である。 本発明に係る水晶素子の製造方法を示したフローチャート図である。 本発明に係る水晶素子の製造方法の水晶ウエハ形成工程後の水晶ウエハの斜視図である。 （ａ）は、本発明に係る水晶素子の製造方法の識別用素子形成工程後の水晶ウエハの斜視図であり、（ｂ）は、図４（Ａ）のＡ部の部分拡大図である。 （ａ）は、本発明に係る水晶素子の製造方法の数字情報部形成工程後の水晶ウエハの平面図であり、（ｂ）は、図５（ａ）のＢ部の部分拡大図である。 本発明に係る水晶素子の製造方法の水晶ウエハ識別工程後の水晶ウエハの平面図である。 （ａ）は、本発明に係る水晶素子の製造方法の水晶片部形成工程後の水晶ウエハの平面図であり、（ｂ）は、図７（ａ）のＣ部の部分拡大図である。 （ａ）は、本発明に係る水晶素子の製造方法の第一金属パターン形成工程後の水晶ウエハの平面図であり、（ｂ）は、図８（ａ）のＤ部の部分拡大図である。 （ａ）は、本発明に係る水晶素子の製造方法の位置情報部形成工程後の水晶ウエハの平面図であり、（ｂ）は、図９（ａ）のＥ部の部分拡大図である。

本発明に係る水晶素子の製造方法で製造された水晶素子は、安定した機械振動を得ることができ、電子機器等の基準信号を発信するためのものである。また、本発明に係る水晶素子の製造方法で製造された水晶素子１２０は、図１に示したように、水晶片１２１と、第一金属パターン１２２と、位置情報部１２５と、から構成されている。

水晶片１２１は、安定した機械振動をする圧電材料が用いられ、例えば、水晶部材が用いられる。水晶片１２１は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、例えば、略矩形形状の平板状となっている。水晶片１２１の主面は、Ｘ軸およびＺ軸と平行となっている面を、Ｘ軸を中心に、Ｘ軸の負の方向を見て反時計回りに回転させた面と平行となっており、例えば、約３７°回転させた面と平行となっている。特に図示しないが、水晶片１２１の側面には、Ｚ軸に平行なｍ面が形成されている。ｍ面は、水晶片１２１の主面となす角度が９０°と回転角度を合わせた角度をなしており、例えば、約１２７°となっている。このため、水晶片１２１は、水晶片１２１の両主面に電圧を印加させると、厚みすべり振動を生じさせることができる。厚み滑り振動が生じたとき、ｍ面では、厚みすべり振動を減衰させることができるため、水晶片１２１の側面付近で振動が減衰する量を大きくすることができ、水晶素子１２０のエネルギー閉じ込め効果を高めることが可能となる。

第一金属パターン１２２は、水晶素子１２０の外部から水晶片１２１へ電圧を印加するためのものである。第一金属パターン１２２は、図１に示したように、励振電極部１２３、引出部１２４から構成されている。

励振電極部１２３は、水晶片１２１に電圧を印加させ厚みすべり振動させるためのものである。励振電極部１２３は、一対となっており、水晶片１２１の両主面に互いが対向するように設けられている。励振電極部１２３に電圧が印加されると、励振電極部１２３には電荷が蓄えられる。このとき、電荷は、励振電極部１２３の中央付近で最も密な状態となり、励振電極部１２３の外縁側に向かうにつれて減少し、励振電極部１２３の縁部で最も疎の状態となっている。

引出部１２４は、水晶素子１２０の外部から、励振電極部１２３に電圧を印加するためのものである。引出部１２４は、一対となっている。一方の引出部１２４は、一端が水晶片１２１の上面（水晶片１２１の一方の主面）に設けられている励振電極部１２３に接続されており、他端が水晶片１２１の下面（水晶片１２１の他方の主面）の縁部に位置するように設けられている。他方の引出部１２４は、一端が水晶片１２１の下面（水晶片１２１の他方の主面）に設けられている励振電極部１２３に接続されており、他端が水晶片１２１の上面（水晶片１２１の一方の主面）の縁部に位置するように設けられている。また、引出部１２４は、水晶片１２１の上面（水晶片１２１の一方の主面）を平面視したとき、水晶片１２１の上面(水晶片１２１の一方の主面)の所定の一辺に沿って二つ並ぶように位置している。同様に、水晶片１２１の下面（水晶片１２１の他方の主面）を平面視したとき、水晶片１２１の下面（水晶片１２１の他方の主面）の所定の一辺に沿って二つ並ぶように位置している。

ここで、水晶素子１２０の動作について説明する。水晶素子１２０は、水晶素子１２０の外部から引出部１２４に電圧が印加されると、引出部１２４を介して励振電極部１２３に電圧が印加される。これにより、一対の励振電極部１２３には、異なる電荷が蓄積されることとなり、逆圧電効果によって励振電極部１２３に挟まれている水晶片１２１の一部に歪みが生じ、変形する。その結果、水晶片１２１は、変形前の姿に戻ろうとするため、圧電効果により励振電極部１２３に最初に蓄積された電荷と反対の電荷が蓄積される。つまり、励振電極部１２３に電圧が印加されると、水晶素子１２０は、圧電効果および逆圧電効果により、励振電極部１２３に挟まれている水晶片１２１の一部が振動する。従って、水晶素子１２０に交流電圧を印加すると、励振電極部１２３に異なる電荷が交互に蓄積され変形することとなり、励振電極部１２３に挟まれている水晶片１２１の一部を振動させることができる。

位置情報部１２５は、水晶ウエハ１１０（図９参照）内での水晶素子１２０の位置を識別するためのものである。位置情報部１２５は、例えば、水晶片１２１の上面（水晶片１２１の一方の主面）の、一対の引出部１２４が二つ並んで設けられている所定の一辺の縁部であって、一対の引出部１２４の間に設けられている。このように、水晶素子１２０に位置情報部１２５を設けることで、位置情報部１２５により水晶ウエハ１１０内のどの位置に形成されていた水晶素子１２０かを容易に識別することが可能となる。従って、品質不良が判明した場合、どの水晶ウエハ１１０のどの水晶素子１２０で発生したか、どの販路を通じて出荷されたか等を、位置情報部１２５により追跡することが可能となり、高いトレーサビリティを得ることができる。

また、位置情報部１２５は、第三金属パターンから形成されている。金属材料からなる第三金属パターンと水晶部材からなる水晶片１２１とでは光の反射率が異なるため、光の反射を利用したレーザー認識装置で容易に位置情報部１２５を認識させることが可能となる。従って、位置情報部１２５を第三金属パターンにより形成することで、位置情報部１２５をより小さくしても、光の反射を利用したレーザー認識装置で確実に認識させることができる。このため、水晶素子１２０が小型化された場合であっても、位置情報１２５を把握することができ、高いトレーサビリティを得ることが可能となる。

次に、本発明の実施形態に係る水晶素子の製造方法について説明する。本発明の実施形態に係る水晶素子の製造方法は、図２〜図９に示したように、水晶ウエハ形成工程、識別用素子形成工程、数字情報部形成工程、ウエハ識別工程、水晶片部形成工程、第一金属パターン形成工程、位置情報部形成工程、および、個片化工程から構成されている。

（水晶ウエハ形成工程）
水晶ウエハ形成工程は、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハ１１０を形成する工程である。水晶ウエハ形成工程では、例えば、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有したランバード人工水晶を準備し、このランバード人工水晶を所定のカットアングルで切断し、所定の厚みとなるまで研磨加工を施すことで、水晶ウエハ１１０を形成している。

ここで、ランバード人工水晶とは、種水晶と呼ばれる直方体形状の水晶板が水熱合成法により育成された人工水晶、具体的には、アズグロウン人工水晶の表面が研削された人工水晶のことである。

水晶ウエハ形成工程後の水晶ウエハ１１０は、図３に示したように、その主面が、例えば、略矩形形状となっている。水晶ウエハ１１０の主面は、Ｘ軸およびＺ軸に平行となっている面を、Ｘ軸を中心に、Ｘ軸の負の方向を見て反時計回りに回転させた面と平行となっており、例えば、約３７°回転させた面となっている。

また、水晶ウエハ形成工程後の水晶ウエハ１１０は、図３に示したように、種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとから構成されている。種水晶部１１０ａは、アズグロウン人工水晶が育成される前の種水晶と呼ばれていた水晶板だった部分であり、育成部１１０ｂは、アズグロウン人工水晶の種水晶と呼ばれる水晶板から育成された部分である。つまり、水晶ウエハ１１０には、別々の状態で育成された二つの部分、種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとが存在している。水晶ウエハ１１０から形成される水晶片１２１の振動特性や透過特性は、含有分の割合等により依存しているため、育成されるときの条件に依存している。従って、水晶ウエハ１１０は、種水晶部１１０ａから水晶片を形成した場合と、育成部１１０ｂから水晶片１２１を形成した場合とでは、形成された水晶片の振動特性および透過特性が異なることとなる。

本実施形態では、水晶ウエハ形成工程において形成される水晶ウエハ１１０が種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとから構成されている。従って、水晶ウエハ形成工程において、ランバード人工水晶から切断する際に、種水晶と呼ばれていた水晶板の部分を避けて切断する必要がない。このため、種水晶と呼ばれていた水晶板の部分を避けて切断する場合と比較して、水晶ウエハ１１０の主面の大きさをより大きくすることができる。この結果、水晶ウエハ１１０から形成する水晶片１２１の数量をより多くすることができ、生産性を向上させることが可能となる。

（識別用素子形成工程）
識別用素子形成工程は、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハ１１０の所定の位置に、一部分が固定されている識別用素子部１１１を複数形成する工程である。識別用素子形成工程では、図４に示したように、水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａに識別用素子部貫通孔１１３が形成され、平面視して、略矩形形状の識別用素子部１１１が水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａに形成される。また、識別用素子部１１１は、水晶ウエハ１１０の中央部に１行または１列に形成されている。

ここで、識別用素子形成工程について、具体例を挙げて説明する。識別用素子形成工程では、まず、水晶ウエハ１１０の表面に、金属膜が形成され、この金属膜上に感光性レジストが塗付される。次に、この感光性レジストに光を照射し、所定のパターン、例えば、識別用素子部貫通孔１１３の部分の感光性レジストを変質させる。その後、所定のパターンとなる部分の水晶ウエハ１１０が露出するように所定のパターンの感光性レジストおよび金属膜を剥離し現像し、所定のエッチング液に浸漬させて、露出している水晶ウエハ１１０の部分をエッチングする。最後に、水晶ウエハ１１０の表面に残留している感光性レジストおよび金属膜を剥離させる。このようにして、水晶ウエハ１１０に識別用素子部１１１を形成している。

識別用素子部貫通孔１１３は、例えば、図４に示したように、第一識別用素子部貫通孔１１３ａと第二識別用素子部貫通孔１１３ｂとからなる。第一識別用素子部貫通孔１１３ａは、識別用素子部１１１の三辺の縁部に沿って形成されている。第二識別用素子部貫通孔１１３ｂは、第一識別用素子貫通孔１１３ａが形成されていない識別用素子部１１１の一辺の縁部に沿って形成されている。このとき、第一識別用素子部貫通孔１１３ａと第二識別用素子部貫通孔１１３ｂとは連結されておらず、第二識別用素子部貫通孔１１３ａが形成されている識別用素子部１１１の一辺の両端部が一対の識別用素子部連結腕１１２によって水晶ウエハ１１０に連結された状態となっている。従って、識別用素子部形成工程後の水晶ウエハ１１０は、図４に示したように、平面視すると、水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａに複数の識別用素子部１１１が形成されており、識別用素子部１１１の所定の一辺の両端部が識別用素子部連結腕１１２により水晶ウエハ１１０に連結され保持されている状態となっている。つまり、識別用素子形成工程では、形成された識別用素子部１１１を容易に折り取りまたは切断することができる構成となっている。

本実施形態では、識別用素子形成工程において、識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａに形成している。前述したように、水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとは、育成された環境が異なるため、種水晶部１１０ａから形成される場合と育成部１１０ｂから育成される場合とで水晶片１２１の振動特性および透過特性が異なってしまので、本実施形態の水晶片部形成工程において、水晶片１２１の振動特性および透過特性のばらつきを低減させるために、水晶片１２１を水晶ウエハ１１０の育成部１１０ｂから形成している。この結果、本実施形態では、識別用素子部１１１１を種水晶部１１０ａに形成することで、水晶ウエハ１１０に識別用素子部１１１を形成しても、水晶ウエハ１１０から形成することができる水晶片１２１の数量が減少することを低減させることが可能となり、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態では、識別用素子部１１１が水晶ウエハ１１０の中央部に形成されている。このため、水晶ウエハ１１０の中央部に水晶片部１１１を形成し識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０の外縁部に形成した場合と比較して、水晶ウエハ１１０の強度を向上させることができる。従って、水晶ウエハ１１０の強度を向上させることができるので、各工程において水晶ウエハ１１０が破損することを低減させることができ、生産性を向上させることが可能となる。

また、識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０の中央部に１行または１列に形成することで、識別用素子部１１１が形成される水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａを水晶ウエハ１１０の中央部に位置するように水晶ウエハ１１０を形成することができる。このため、水晶ウエハ形成工程においてランバード人工水晶から水晶ウエハを切断する際に、種水晶とよばれていた水晶板の部分を避けて切断する必要がない。このため、種水晶と呼ばれていた水晶板の部分を避けて切断する場合と比較して、水晶ウエハ１１０の主面の大きさをより大きくすることができ、この結果、水晶ウエハ１１０から形成する水晶片１２１の数量をより多くすることができ、生産性を向上させることが可能となる。

なお、本実施形態では、第一識別用素子部貫通孔１１３ａおよび第二識別用素子部貫通孔１１３ｂを形成することで、一対の識別用素子部連結腕１１２により識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０に連結させた状態にしているが、識別用素子部１１１の所定の一辺側で水晶ウエハ１１０に連結させた状態にすることができれば、例えば、識別用素子部貫通孔１１３を形成し一つの識別用素子部連結腕１１２により水晶ウエハ１１０に連結させてもよいし、識別用素子部貫通孔１１３を形成し識別用素子部１１１の所定の一辺と水晶ウエハ１１０とを連結させてもよい。

（数字情報部形成工程）
数字情報部形成工程は、識別用素子部１１１にそれぞれ別々の数字情報部１１４を形成する工程である。数字情報部１１４は、図５に示したように、識別用素子部１１１に形成されている数値である。数字情報部１１４は、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、水晶ウエハ１１０を平面視して、識別用素子部１１１に数値と同じ形状となるように形成される。本実施形態では、数字情報部１１４は、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により、水晶ウエハ１１０を平面視して、識別用素子部１１１に数値と同じ形状となるように第二金属パターンが形成される。なお、ここで、数字情報部１１４が第二金属パターンからなる場合について説明しているが、例えば、水晶ウエハ１１０を平面視して、識別用素子部１１１に数値と同じ形状となるように、凹部を形成してもよい。

ここで、数字情報部１１４が第二金属パターンからなる場合の数字情報部形成工程について、具体例を挙げて説明する。まず、水晶ウエハ１１０の表面に第二金属パターンを構成する金属材料と同一の金属膜が形成され、この金属膜上に感光性レジストが塗付される。次に、この感光性レジストに光を照射し、所定のパターン、具体的には、数字情報部１１４の数値となる部分に感光性レジストが残留しているように現像する。その後、露出している金属膜を除去した後、最後に残留している感光性レジストを除去する。このようにして、このようにして、識別用素子部１１１に第二金属パターンからなる数字情報部１１４を形成する。本実施形態では、数字情報部形成工程を独立して説明しているが、数字情報部１１４が第二金属パターンからなる場合には、数字情報部形成工程と第一金属パターン形成工程とを同時に行ってもよいし、数字情報部形成工程と位置情報部形成工程とを同時に行ってもよいし、数字情報部形成工程、第一金属パターン形成工程および位置情報部形成工程を同時に行ってもよい。

数字情報部１１４が凹部からなる場合の数字情報部形成工程について具体例を挙げて説明する。まず、水晶ウエハ１１０の表面に金属膜が形成され、この金属膜上に感光性レジストが塗付される。次に、この感光性レジストに光を照射し、所定のパターン、具体的には、数字情報部１１４の数値となる部分の感光性レジストが除去するように、現像する。その後、感光性レジストが除去され露出している金属膜を除去し、水晶ウエハ１１０の表面を露出させる。最後に、所定のエッチング溶液に浸漬させて露出している水晶ウエハ１１０をエッチングし、凹部からなる数字情報部１１４を形成し、残留している感光性レジストおよび金属膜を除去する。このようにして、識別用素子部１１１に凹部からなる数字情報部１１４を形成する。本実施形態では、数字情報部形成工程を独立して説明しているが、数字情報部１１４が凹部からなる場合には、数字情報部形成工程と識別用素子形成工程と同時に行ってもよいし、数字情報部形成工程と水晶片部形成工程と同時に行ってもよいし、数字情報部形成工程、識別用素子部形成工程および水晶片部形成工程を同時に行ってもよい。

第二金属パターンは、例えば、金、銀、金を主成分とする金属または銀を主成分とした金属からなっており、識別用素子部１１１との間に下地層として、ニッケル、クロム、チタン、ニクロムのいずれか一つからなる金属が用いられた積層構造となっている。

本実施形態では、数字情報部１１４が第二金属パターンから構成されている場合には、数字情報部１１４をフォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて形成することで、数字情報部１１４を蒸着技術またはスパッタリング技術を用いて形成する場合と比較して、精度よく形成することができる。従って、数字情報部１１４をフォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて形成することで、より数字情報部１１４を小さくすることが可能となり、数字情報部１１４が形成される識別用素子部１１１を小さくすることができる。この結果、識別用素子部１１１を小さくすることができるので、識別用素子部１１１を形成することにより水晶ウエハ１１０の強度が弱くなることを低減させることが可能となる。また、識別用素子部１１１を小さくすることができるので、より識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０内に数多く形成することが可能となり、組合せの種類が増やすことができ、同じ識別用素子部１１１の数でより数多くロット管理番号を表すことができ、生産性を向上させることが可能となる。

数字情報部１１４が、識別用素子部１１１に形成された凹部からなる場合には、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いることで、識別用素子部形成工程と同時に形成することができ、生産性を向上させることができる。また、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いることで、レーザー等の装置を用いて研削した場合のように、研削屑が発生しないので、研削屑が付着し水晶ウエハ１１０に形成される水晶素子１２０の周波数が変動し周波数ずれによる不良を低減させることができ、生産性を向上させることができる。

数字情報部１１４は、例えば、金属材料からなる第二金属パターンから構成されている。このように、金属材料からなる第二金属パターンを用いることで、金属材料からなる第二金属パターンと水晶部材からなる識別用素子部１１１との反射率が異なるので、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で数字情報部１１４を確実に認識させることが可能となる。従って、数字情報部１１４を第二金属パターンから構成させることで、識別用素子部１１１が水晶片１２１と比較し小さい場合であっても、
光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で確実に認識させることができ、高いトレーサビリティを得ることが可能となる。

数字情報部１１４には、数値の“２”の累乗数が表示されている。本実施形態では、例えば、図５に示したように、水晶ウエハ１１０に識別用素子部１１１が１０個形成されており、数値の“２”の０乗である数値の“１”、数値の“２”の１乗である数値の“２”、数値の“２”の２乗である数値の“４”、数値の“２”の３乗である数値の“８”、数値の“２”の４乗である数値の“１６”、数値の“２”の５乗である数値の“３２”、数値の“２”の６乗である数値の“６４”、数値の“２”の７乗である数値の“１２８”、数値の“２”の８乗である数値の“２５６”、数値の“２”の９乗である数値の“５１２”が表示されている。このように数字情報部１１４に数値の“２”の累乗数を表示することで、水晶ウエハ１１０に識別用素子部１１１に、数値の“０”、数値の“１”、数値の“２”、数値の“３”、数値の“４”、数値の“５”、数値の“６”、数値の“７”、数値の“８”、数値の“９”が表示されている場合と比較して、組合せ数を増やすことができる。この結果、水晶ウエハ１１０に形成する識別用素子部１１１の数量を少なくすることができるので、識別用素子部１１１を形成することによる水晶ウエハ１１０の強度が弱くなることを低減させることができ、水晶ウエハ１１０の破損を低減させ生産性を向上させることが可能となるまた、数値の“２”の累乗数とすることで、組合せの種類が増やすことができ、同じ識別用素子部１１１の数でより数多くロット管理番号を表すことができ、生産性を向上させることが可能となる 。

数字情報部形成工程において、識別用素子部１１１に数字情報部１１４を形成することで、複数個形成されている識別用素子部１１１にそれぞれ別々の意味を持たせることが可能となる。従って、数字情報部１１４により、それぞれの識別用素子部１１１の有する数字情報を水晶ウエハ１１０から確認することが可能となる。

（ウエハ識別工程）
ウエハ識別工程は、複数あるうちの所定の識別用素子１１１を折り取り、または、切断し、水晶ウエハ１１０を識別するための工程である。ウエハ識別工程では、まず、所定の識別用素子１１１が折り取られ、次に、水晶ウエハ１１０に連結されている識別用素子部１１１に形成されている数字情報部１１４の和が算出され、最後に、１０進法となっている数字情報部１１４の和を、２進法表示に変換する。この２進法表示に変換された数値がロット管理番号となる。

ウエハ識別工程を、具体例を挙げて説明する。ウエハ識別工程前の水晶ウエハには、１０個の識別用素子部１１１が形成されており、この識別用素子部１１１には、数値の“２”の累乗数が表示されている。従って、識別用素子部１１１には、数値の“１”、数値の“２”、数値の“４”、数値の“８”、数値の“１６”、数値の“３２”、数値の“６４”、数値の“１２８”、数値の“２５６”、数値の“６１２”が表示されている。まず、所定の識別用素子部１１１、例えば、図６に示したように、数値の“２”および数値の“６４”が表示されている識別用素子部１１１が折り取られる。次に、水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１に形成されている数字情報部１１４の和を算出すると、その和は、“９４８”となる。最後に、この１０進法で表現されている“９４８”を２進法表示に変換する。１０進法で表現されている“９４８”を2進法に変換すると、“１１１０１１１１０１”となるので、この“１１１０１１１１０１”がロット管理番号となる。

ウエハ識別工程では、複数あるうち所定の識別用素子部１１１を折り取り、または、個片化することで、水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１を用いて、ロット管理番号としている。このため、識別用素子部１１１の数字情報部１１４に数値の“２”の累乗数を表示することで、水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１に表示されている数字情報部１１４の和が同じ番号となることを避けることができる。従って、折り取り、または、切断する識別用素子部１１１を選択することで、１０進法から２進法に変換した際の番号が必ず異なることとなり、ロット管理番号として用いることができる。

（水晶片部形成工程）
水晶片部形成工程は、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハ１１０の所定の位置に、略矩形形状の平板状に形成しつつ、主面の所定の一辺側に固定されている水晶片部を形成する工程である。ここで、水晶片部は、個片化されると水晶片１２１（図１参照）となるので、水晶片１２１と同じ符号を付して説明をする。水晶片部形成工程では、図７に示したように、水晶ウエハ１１０の育成部１１０ｂに水晶片部貫通孔１１６が形成され、平面視して、略矩形形状の水晶片部１２１が水晶ウエハ１１０の育成部１１０ｂに形成される。

ここで、水晶片部形成工程について、具体例を挙げて説明する。水晶片部形成工程では、まず、水晶ウエハ１１０の表面に、金属膜が形成され、この金属膜上に感光性レジストが塗付される。次に、この感光性レジストに光を照射し、所定のパターン、例えば、水晶片部貫通孔１１６となる部分に光を照射し、所定のパターンとなる部分の感光性レジストを変質させる。その後、所定のパターンとなる部分の水晶ウエハ１１０が露出するように所定のパターンの感光性レジストおよび金属膜を剥離し現像し、所定のエッチング液に浸漬させて、露出している水晶ウエハ１１０の部分をエッチングする。最後に、水晶ウエハ１１０の表面に残留している感光性レジストおよび金属膜を剥離させる。このようにして、水晶ウエハ１１０に水晶片部１２１を形成している。

水晶片部貫通孔１１６は、例えば、図７に示したように、第一水晶片部貫通孔１１６ａと第二水晶片部貫通孔１１６ｂとからなる。第一水晶片部貫通孔１１６ａは、水晶片部１２１の三辺の縁部に沿って形成されている。第二水晶片部貫通孔１１６ｂは、第一水晶片部貫通孔１１６ａが形成されていない水晶片部１２１の一辺の縁部に沿って形成されている。このとき、第一水晶片部貫通孔１１６ａと第二水晶片部貫通孔１１６ｂとは連結されておらず、第二水晶片部貫通孔１１６ｂが形成されている水晶片部１２１の一辺の両端部が一対の水晶片部連結腕１１５によって水晶ウエハ１１０に連結された状態となっている。従って、水晶片部形成工程後の水晶ウエハ１１０は、図７に示したように、平面視すると、水晶ウエハ１１０の育成部１１０ｂに水晶片部１２１が形成されており、水晶片部１２１の所定の一辺の両端部が水晶片部連結腕１１５により水晶ウエハ１１０に連結され保持されている状態となっている。つまり、水晶片部形成工程では、形成された水晶片部１２１を容易に折り取りまたは切断することができる構成となっている。

なお、本実施形態では、第一水晶片部貫通孔１１６ａおよび第二水晶片部貫通孔１１６ｂを形成することで、一対の水晶片部連結腕１１５により水晶片部１２１を水晶ウエハ１１０に連結させた状態にしているが、水晶片部１２１の所定の一辺側で水晶ウエハ１１０に連結させた状態にすることができれば、例えば、水晶片部貫通孔を形成し一つの水晶片部連結腕により水晶ウエハ１１０に連結させてもよいし、水晶片部貫通孔を形成し水晶片部１２１の所定の一辺と水晶ウエハ１１０とを連結させてもよい。

また、本実施形態では、水晶片部形成工程と識別用素子部形成工程とを別々に分けて説明しているが、水晶片部形成工程と識別用素子部形成工程とを同時に行ってもよい。

（第一金属パターン形成工程）
第一金属パターン形成工程は、前記水晶片部１２１の所定の位置に、励振電極部１２３および引出部１２４からなる第一金属パターン１２２を形成する工程である。第一金属パターン形成工程では、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いられる。なおここで、第一金属パターン形成工程で、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いている場合について説明しているが、蒸着技術、または、スパッタリング技術を用いてもよい。

ここで、第一金属パターン形成工程について、具体例を挙げて説明する。第一金属パターン形成工程では、まず、水晶ウエハ１１０の表面に、第一金属パターンを構成する金属膜と同じ金属膜、例えば、ニッケル、クロム、チタン、ニクロムのいずれか一つを含む金属膜上に、金、銀、金を主成分とする金属、銀を主成分とする金属のいずれか一つを含む金属膜が積層されている金属膜、形成される。次に、この金属膜上に感光性レジストが塗付され、所定のパターン、具体的には、第一金属パターン１２２となる部分に光が照射され、感光性レジストが変質させ、現像を行い、露出している金属膜を剥離させる。最後に、残留している感光性レジストを除去することで、水晶片部１２１に所定のパターンの金属膜、つまり、第一金属パターン１２２が形成される。なお、本実施形態では、第一金属パターン形成工程を独立して行った場合について説明しているが、数字情報部１２２が第二金属パターンから構成されている場合には、第一金属パターン形成工程と数字情報部形成工程とを同時に行ってもよいし、位置情報部１２５が第三金属パターンから構成されている場合には、第一金属パターン形成工程と位置情報部形成工程とを同時に行っても良いし、第一金属パターン形成工程、数字情報部形成工程および位置情報部形成工程を同時におこなってもよい。

第一金属パターン１２２は、例えば、金、銀、金を主成分とした金属または銀を主成分とした金属からなっており、水晶片部１２１との間に下地層として、ニッケル、クロム、チタン、ニクロムのいずれか一つからなる金属が用いられた積層構造となっている。また、第一金属パターン１２２は、励振電極部１２３と引出部１２４とから構成されている。

励振電極部１２３は、一対となっており、水晶片部１２１の両主面に互いが対向するように形成されている。また、引出部１２４は、一端が励振電極部１２３に接続されており、他端が水晶片部１２１の端部に位置するように形成されている。

（位置情報部形成工程）
位置情報部形成工程は、水晶片部１２１の主面の所定の一辺の縁部に、水晶ウエハ１１０内の水晶片部１２１の位置情報を示す位置情報部１２５を形成する工程である。また、位置情報部１２５は、第三金属パターンから構成されており、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成されている。このように位置情報部１２５を水晶片部１２１に形成することで、水晶ウエハ１１０内での位置まで追跡することが可能となり、より高いトレーサビリティを得ることができる。

ここで、位置情報部１２５が第三金属パターンからなる場合に位置情報部形成工程について、具体例を挙げて説明する。まず、水晶ウエハ１１０の表面に、金属膜が形成され、この金属膜上に感光性レジストが塗付される。次に、この感光性レジストに所定のパターンとなる部分、具体的には、位置情報部１２５の数値となる部分に光を照射し、感光性レジストを変質させる。次に、所定のパターンとなる部分の感光性レジストが残留するように現像し、露出している金属膜を剥離させる。最後に、残っている感光性レジストを除去することで、位置情報部１２５を形成している。

位置情報部１２５は、前述したように、金属材料からなる第三金属パターンから構成されている。金属材料からなる第三金属パターンと水晶部材からなる水晶片部１２１との反射率が異なるので、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で位置情報部１２５を確実に認識させることが可能となる。従って、位置情報部１２５を第三金属パターンから構成させることで、位置情報部１２５をより小さくすることができ、位置情報部１２５が目視できないほど小さくとも、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で確実に認識させることができ、高いトレーサビリティを得ることが可能となる。

（個片化工程）
個片化工程は、水晶ウエハ１１０に形成されている水晶片部１２１の主面の所定の一辺側を折り取り、または、切断し、水晶片１２１となる部分を個片化する工程である。個片化工程前の水晶ウエハ１１０は、励振電極部１２３および引出部１２４からなる第一金属パターン１２２が形成されている水晶片部１２１が、水晶片部１２１の所定の一辺の両端部が一対の水晶片部連結腕１１６によって水晶ウエハ１１０に連結されている状態となっている。個片化工程では、水晶片部１２１となる部分ごとに個片化され、第一金属パターン１２２が形成されている水晶片１２１、つまり、水晶素子１２０が形成される。

本実施形態に係る水晶素子１２０の製造方法では、互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハ１１０を形成する水晶ウエハ形成工程と、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハ１１０の所定の位置に、一部分が固定されている識別用素子部１１１を複数形成する識別用素子部形成工程と、複数あるうちの所定の識別用素子部１１１を折り取り、または、切断し水晶ウエハ１１０を識別する水晶ウエハ識別工程と、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、水晶ウエハ１１０の所定の位置に、略矩形形状の平板状に形成しつつ、主面の所定の一辺側で固定されている水晶片部１２１を形成する水晶片部形成工程と、水晶片部１２１の所定の位置に、励振電極部１２３および引出部１２４からなる第一金属パターン１２２を形成する第一金属パターン形成工程と、水晶ウエハ１１０に形成されている水晶片部１２１の主面の所定の一辺側を折り取り、または、切断し、水晶片１２１となる部分を個片化する個片化工程と、からなる。

従って、本発明に係る水晶素子の製造方法では、従来の水晶素子の製造方法のように、レーザーを照射し複数の溝部を設ける必要がないため、レーザーが水晶ウエハの端部へ照射されることで破損した水晶ウエハ１１０の一部が、水晶片１２１となる部分に付着することを低減させることが可能となる。このため、本発明に係る水晶素子の製造方法では、レーザーが照射されることで破損した水晶ウエハ１１０の一部が水晶片１２１となる部分に付着し、水晶素子１２０の周波数が所定の周波数から変動する周波数ずれによる不良を低減させることができる。よって、本発明に係る水晶素子の製造方法は、従来の水晶素子の製造方法と比較し、生産性を向上させることが可能となる。また、本発明に係る水晶素子の製造方法では、キャリアケースを用いることなく、容易に水晶ウエハを識別することが可能となり、キャリアケースへ出し入れする際に、水晶ウエハ１１０に異物が付着することを低減させることができる。このため、本発明に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０に異物が付着し、異物の付着により水晶素子１２０の周波数が所定の周波数から変動する周波数ずれによる不良を低減させることができる。よって、本発明に係る水晶素子の製造方法は、従来の水晶素子の製造方法と比較し、水晶素子１２０の生産性を向上させることが可能となる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法は、識別用素子部１１１にそれぞれ別々の数字情報部１１４を形成する数字情報部形成工程を、備えている。このように識別用素子部１１１に数字情報部１１４を形成することで、複数個ある識別用素子部１１１のそれぞれに数値情報を持たせることができ、それぞれの識別用素子部１１１の有する数値情報を数値情報部１１４により確認することができる。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法のウエハ識別工程において、折り取りまたは切断する識別用素子部１１１を選択することによって、水晶ウエハ１１０に連結されている識別用素子部１１１の数値情報が異なることとなり、連結されている識別用素子部１１１の数値情報から水晶ウエハ１１０を容易に管理すること可能となる。また、数値情報部１１４が識別用素子部１１４に形成されていることから、所定の識別用素子部１１１を折り取りまたは切断し、水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１を確認することで、水晶ウエハ１１０の数字情報（管理番号）を容易に確認することが可能となる。この結果、水晶ウエハ識別工程後の水晶ウエハ１１０を確認することで、水晶ウエハ１１０の数字情報を容易に確認することが可能となり、生産性を向上させることが可能となる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部形成工程において形成される数字情報部に、数値の“２”の累乗数が表示されている。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ウエハ識別工程において複数あるうちの所定の識別用素子部１１１を折り取りまたは切断し水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１の数字情報部１１４を、水晶ウエハ１１０の数字情報としているので、折り取りまたは切断される識別用素子部１１１の組合せを２進法にあてはめることにより、水晶ウエハ１１０に連結されている残りの識別用素子部１１１の数字情報部１１４の和が同じにならないようにすることができる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、ウエハ識別工程において、折り取りまたは切断する識別用素子部１１１を選択することで、それぞれ異なる水晶ウエハ１１０の数字情報を付与することが可能となる。この結果、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、折り取りまたは切断する識別用素子部１１１を選択することで、水晶ウエハ１１０のロット管理番号とすることが可能となり、トレーサビリティを高めることができ、生産性を向上させることが可能となる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部１１４を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって形成している。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、蒸着技術またはスパッタリング技術を用いて数字情報部１１４を形成した場合と比較して、精度よく、かつ、小さく形成することができる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部１１４が形成される識別用素子部１１１をより小型化することができ、水晶ウエハ１１０に形成する識別用素子部１１１の面積が小さくなり、識別用素子部１１０を形成することによる水晶ウエハ１１０の強度が弱くなることを低減させることが可能となる。この結果、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、各工程において水晶ウエハ１１０の破損を低減させることができ、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部１１４が形成される識別用素子部１１１をより小型化することができるので、水晶ウエハ１１０内に形成する識別用素子部１１１の数量を増やすことも可能となる。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０内に形成される識別用素子部１１１の数量を増えることにより組合せの種類を増やし、ロット管理番号を大きくすることができるようになる。このため、識別用素子部形成工程において、所定のパターンの部分に光を照射する際に使用するフォトマスク等の治工具を、組合せパターンが多いので、より共通して使用することが可能となり、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法は、数字情報部１１４が第二金属パターンから構成されている。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法は、数字情報部１１４に金属材料が用いることとなり、数字情報部１１４が形成される識別用素子部１１１に用いられる水晶部材と反射率を異なるようにすることができるので、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で、数字情報部１１４をより確実に認識させることが可能となる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部１１４を第二金属パターンから構成させることで、数字情報部１１４が形成される識別用素子部１１１をより小型化することができる。この結果、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、識別用素子部１１１が小さく数字情報部１１４が小さくても、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で確実に認識させることができ、高いトレーサビリティを得ることが可能となる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、数字情報部１１４に金属材料を用いることでより高精度に読み取りさせることができ、その結果、数字情報部１１４を小さくすることができるので、識別用素子部１１１を小さくすることができ、識別用素子部１１１を形成することによる水晶ウエハ１１０の強度が弱くなることを低減させることができ、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の種水晶であった部分（種水晶部１１０ａ）に識別用素子部１１１を形成している。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０が種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとからなることとなり、水晶ウエハ形成工程において水晶ウエハを形成する際に種水晶であった部分ごと切断することが可能となる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の主面の大きさを、より大きくすることができ、水晶ウエハ１１０から形成することができる水晶片１２１、ひいては水晶素子１２０の数量を多くすることが可能となり、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａに識別用素子部１１１が形成される。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の種水晶部１１０ａと育成部１１０ｂとでは透過特性や振動特性が異なることから、識別用素子部１１１を水晶素子１２０として使用しない種水晶部１１０ａに形成し、水晶片部１２１を育成部１１０ｂに形成することで、水晶片１２１の透過統制や振動特性のばらつきを抑えつつ、識別用素子部１１１を形成しても水晶片１２１、ひいては、水晶素子１２０の形成される数量が減少することを低減させることができ、生産性を向上させることが可能となる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、識別用素子部１１１を水晶ウエハ１１０の中央部に形成している。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の全面に、水晶片部１２１を形成する場合と比較して、水晶ウエハ１１０の強度を向上させることが可能となる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、各工程において水晶ウエハ１１０が破損することを低減させることができ、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、水晶ウエハ１１０の中央部に識別用素子部１１１を形成することで、種水晶部１１０ａが水晶ウエハ１１０の中央部に位置してもよいこととなり、ランバード人工水晶を切断する際の水晶ウエハ１１０の主面の大きさをより大きくすることが可能となる。この結果、水晶ウエハ１１０から形成する水晶片１２１の数量を多くすることができ、一回の製造でより多くの水晶素子１２０を製造することが可能となり、生産性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法は、水晶片部１２１の主面の所定の一辺の縁部に、水晶ウエハ１１０内の水晶片部１２１の位置情報を示す位置情報部１２５を形成する位置情報部形成工程を備えている。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、このように位置情報部１２５を水晶片部１２１に形成することで、水晶ウエハ１１０内での位置まで追跡することが可能となり、より高いトレーサビリティを得ることができる。

また、本実施形態に係る水晶素子の製造方法は、位置情報部１２５が、第三金属パターンから構成されている。従って、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、第三金属パターンから構成されている位置情報部１２５と水晶部材からなる水晶片部１２１との反射率が異なるので、光の反射率を利用し識別しているレーザー識別装置等で位置情報部１２５を確実に認識させることが可能となる。このため、本実施形態に係る水晶素子の製造方法では、位置情報部１２５を第三金属パターンから構成させることで、位置情報部１２５をより小さくすることができ、位置情報部１２５が目視できないほど小さくとも、光の反射を利用し識別しているレーザー識別装置等で確実に認識させることができ、高いトレーサビリティを得ることが可能となる。

なお、本実施形態では、水晶片が直方体形状となっている場合について説明しているが、平面視して、水晶片が略矩形形状となっていれば、例えば、水晶片の中央部の上下方向（水晶片の一方の主面から水晶片の他方の主面に向かう向き）の厚みが厚くなっていてもよいし、水晶片の中央部の上下方向の厚みが薄くなっていてもよいし、水晶ウエハに連結されている水晶片の所定の一辺側の上下方向の厚みが厚くなっていてもよい。

１１０・・・水晶ウエハ
１１０ａ・・・種水晶部
１１０ｂ・・・育成部
１１１・・・識別用素子部
１１２・・・識別用素子部連結腕
１１３・・・識別用素子部貫通孔
１１４・・・数字情報部
１１５・・・水晶片部連結腕
１１６・・・水晶片部貫通孔
１２０・・・水晶素子
１２１・・・水晶片（水晶片部）
１２２・・・第一金属パターン
１２３・・・励振電極部
１２４・・・引出部
１２５・・・位置情報部

Claims (9)

1. 互いに直交しているＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の水晶ウエハを形成する水晶ウエハ形成工程と、
   フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、前記水晶ウエハの所定の位置に、一部分が固定されている識別用素子部を複数形成する識別用素子部形成工程と、
   複数あるうちの所定の前記識別用素子部を折り取り、または、切断し前記水晶ウエハを識別する水晶ウエハ識別工程と、
   フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、前記水晶ウエハの所定の位置に、略矩形形状の平板状に形成しつつ、主面の所定の一辺側で固定されている水晶片部を形成する水晶片部形成工程と、
   前記水晶片部の所定の位置に、励振電極部、および引出部からなる第一金属パターンを形成する第一金属パターン形成工程と、
   前記水晶ウエハに形成されている前記水晶片部の主面の所定の一辺側を折り取り、または、切断し、前記水晶片となる部分を個片化する個片化工程と、
   からなることを特徴とする水晶素子の製造方法。
2. 請求項１に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記識別用素子部にそれぞれ別々の数字情報部を形成する数字情報部形成工程を、
   備えていることを特徴とする水晶素子の製造方法。
3. 請求項２に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記数字情報部には、２の累乗数が表示されている
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
4. 請求項２または請求項３に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記数字情報部を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって形成する
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
5. 請求項２または請求項３に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記数字情報部が、第二金属パターンから構成されている
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
6. 請求項１乃至請求項５に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記水晶ウエハの種水晶であった部分に前記識別用素子部を形成する
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
7. 前記請求項１乃至請求項６に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記識別用素子部を前記水晶ウエハの中央部に形成している
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
8. 請求項１乃至請求項７に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記水晶片部の主面の所定の一辺の縁部に、前記水晶ウエハ内の前記水晶片部の位置情報を示す位置情報部を形成する位置情報部形成工程を、
   備えていることを特徴とする水晶素子の製造方法。
9. 請求項８に記載の水晶素子の製造方法であって、
   前記位置情報部が、第三金属パターンから構成されている
   ことを特徴とする水晶素子の製造方法。
   

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