JP6436963B2 - 検出装置、ファイバレーザ、ファイバレーザシステム - Google Patents
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- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims description 155
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 95
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 93
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 23
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 7
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 102100022116 F-box only protein 2 Human genes 0.000 description 2
- 102100024513 F-box only protein 6 Human genes 0.000 description 2
- 101000824158 Homo sapiens F-box only protein 2 Proteins 0.000 description 2
- 101001052796 Homo sapiens F-box only protein 6 Proteins 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 101100456571 Mus musculus Med12 gene Proteins 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- H—ELECTRICITY
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
- H01S3/067—Fibre lasers
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
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Description
本発明の第1の実施形態に係る検出装置1について、図1に基づいて説明する。図1において、(a)は、検出装置1の分解斜視図であり、(b)は、検出装置1のA−A’断面図である。
本発明の第2の実施形態に係る検出装置2について、図2に基づいて説明する。図2において、(a)は、検出装置2の分解斜視図であり、(b)は、検出装置2のA−A’断面図である。
第2の実施形態に係る検出装置2の特性について、図3〜4に基づいて説明する。なお、第1の実施形態に係る検出装置1の特性についても、第2の実施形態に係る検出装置2の特性と同等である。
第1の実施形態に係る検出装置1及び第2の実施形態に係る検出装置2は、ファイバレーザFLに適用することができる。図5は、ファイバレーザFLのブロック図である。
第1の実施形態に係る検出装置1及び第2の実施形態に係る検出装置2は、ファイバレーザシステムFLSにも適用することができる。図6は、ファイバレーザシステムFLSのブロック図である。
11 光検出器
11a フォトダイオード(受光素子)
11a1 フォトダイオードの受光面
11b DOパッケージ(枠体)
12 ベースプレート(反射体)
12a ベースプレートの上面(反射面)
13 PDホルダ
14 トッププレート
15 フロントプレート
16 リアプレート
2 検出装置(第2の実施形態)
21 光検出器
21a フォトダイオード(受光素子)
21a1 フォトダイオードの受光面
21b DOパッケージ(枠体)
22 ファイバホルダ
23 PDホルダ
24 反射プレート(反射体)
24a 反射プレートの上面(反射面)
25 トッププレート
FL ファイバレーザ
P 融着点(反射光を除去するための構造)
FLS ファイバレーザシステム
Claims (10)
- 光ファイバの側面から漏出したレイリー散乱光を検出する検出装置において、
受光面を有する受光素子と、上記光ファイバを介して上記受光面と対向する平坦な反射面を有する反射体と、を備えており、
上記受光素子の上記受光面は、上記レイリー散乱光を反射する枠体により取り囲まれており、上記枠体にて反射された上記レイリー散乱光は、上記反射面にて更に反射された後、上記受光面に入射する、
ことを特徴とする検出装置。 - 上記反射体の上記反射面には、金メッキ加工が施されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出装置。 - 上記受光素子を保持する受光素子ホルダを更に備えており、
上記受光素子ホルダの表面には、黒アルマイト加工が施されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の検出装置。 - 上記光ファイバの融着点を含む区間を保持するファイバホルダを更に備えており、
上記受光素子ホルダは、上記ファイバホルダに固定されている、
ことを特徴とする請求項3に記載の検出装置。 - 上記ファイバホルダの表面には、黒アルマイト加工が施されている、
ことを特徴とする請求項4に記載の検出装置。 - 光ファイバの側面から漏出したレイリー散乱光を検出する検出装置において、
受光面を有する受光素子と、
上記光ファイバの融着点を含まない区間を介して上記受光面と対向する平坦な反射面を有する反射体と、
上記光ファイバの融着点を含む区間を保持するファイバホルダと、を備えている、
ことを特徴とする検出装置。 - 増幅ファイバ、及び、該増幅ファイバの両端に接続された1対のファイバブラッググレーティングにより構成された共振器と、上記共振器にて生成されたレーザ光を導波するデリバリファイバと、を備えたファイバレーザにおいて、
上記デリバリファイバの側面から漏出したレイリー散乱光を検出する検出装置として、請求項1〜6の何れか1項に記載の検出装置を備えている、ことを特徴とするファイバレーザ。 - 上記デリバリファイバは、上記検出装置よりも出力端側に、クラッドモードストリッパを含んでいる、ことを特徴とする請求項7に記載のファイバレーザ。
- 出力光のパワーの変動を小さくするように、上記検出装置にて検出されたレイリー散乱光のパワーに基づいて、励起光のパワーを制御する制御部を更に備えている、
ことを特徴とする請求項7又は8に記載のファイバレーザ。 - 複数のファイバレーザと、上記複数のファイバレーザの各々にて生成されたレーザ光を合波するコンバイナと、上記コンバイナにて得られた出力光を導波する出力ファイバと、を備えたファイバレーザシステムにおいて、
上記出力ファイバの側面から漏出したレイリー散乱光を検出する検出装置として、請求項1〜6の何れか1項に記載の検出装置を備えている、
ことを特徴とするファイバレーザシステム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016253545A JP6436963B2 (ja) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | 検出装置、ファイバレーザ、ファイバレーザシステム |
PCT/JP2017/046570 WO2018124038A1 (ja) | 2016-12-27 | 2017-12-26 | 検出装置、ファイバレーザ、ファイバレーザシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016253545A JP6436963B2 (ja) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | 検出装置、ファイバレーザ、ファイバレーザシステム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018212953A Division JP6602443B2 (ja) | 2018-11-13 | 2018-11-13 | 検出方法及び検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018105768A JP2018105768A (ja) | 2018-07-05 |
JP6436963B2 true JP6436963B2 (ja) | 2018-12-12 |
Family
ID=62709466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016253545A Active JP6436963B2 (ja) | 2016-12-27 | 2016-12-27 | 検出装置、ファイバレーザ、ファイバレーザシステム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6436963B2 (ja) |
WO (1) | WO2018124038A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6644839B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-12 | 株式会社フジクラ | レーザ装置 |
JP2021092429A (ja) * | 2019-12-10 | 2021-06-17 | 株式会社フジクラ | 光検出装置及びレーザシステム |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005208239A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujitsu Access Ltd | 光パワーモニタ装置および光通信モジュール |
US7371019B2 (en) * | 2004-12-13 | 2008-05-13 | Nufern | Method and apparatus for sensing light |
US8452147B2 (en) * | 2008-12-10 | 2013-05-28 | Ipg Photonics Corporation | Assembly for measuring optical signal power in fiber lasers |
JP2013174583A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-09-05 | Fujikura Ltd | 光パワーモニタ装置、ファイバレーザ、及び光パワーモニタ方法 |
KR102087794B1 (ko) * | 2012-05-30 | 2020-03-11 | 아이피지 포토닉스 코포레이션 | 레이저 전력센서 |
WO2014014068A1 (ja) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバレーザ装置 |
JP2014060251A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Spectronix Corp | 光パワー監視装置、光パワー監視方法および光パワー監視装置を用いたレーザ発生装置 |
JP6116030B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-04-19 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 光パワー監視装置、光パワー監視方法および光パワー監視装置を用いたレーザ発生装置 |
JP6334952B2 (ja) * | 2014-02-24 | 2018-05-30 | 株式会社フジクラ | 光パワーモニタ装置、ファイバレーザおよび光パワーモニタ方法 |
JP5865977B1 (ja) * | 2014-10-06 | 2016-02-17 | 株式会社フジクラ | ファイバレーザ装置、光パワーモニタ装置、及び光パワーモニタ方法 |
JP6694754B2 (ja) * | 2016-05-16 | 2020-05-20 | 株式会社フジクラ | レーザ装置及びレーザシステム |
-
2016
- 2016-12-27 JP JP2016253545A patent/JP6436963B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-26 WO PCT/JP2017/046570 patent/WO2018124038A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018124038A1 (ja) | 2018-07-05 |
JP2018105768A (ja) | 2018-07-05 |
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