KR102087794B1 - 레이저 전력센서 - Google Patents

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Abstract

광경로를 따라 광섬유에서 가이드되는 레이저 광의 레이리 산란을 검출하는 센서유닛은 홀더로 구성된다. 상기 홀더는 광경로에 횡으로 뻗어 있는 축을 따라 중심에 있는 U자형 오목부를 갖는다. 오목부의 구배진 바닥은 윤이 없는 반사면을 갖고 바닥에 입사한 레이리 산란광은 오목부와 동축인 계측기의 광입사 윈도우의 초점면에 모이게 하는 곡률 반경으로 구성된다. 광입사 윈도우 상에 반사된 레이리 산란양은 기준값으로부터 불과 약 ±3%로 벗어난 측정을 제공하기에 충분하다.

Description

레이저 전력센서{LASER POWER SENSOR}
본 발명은 레이저 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 레이저 출력전력을 신뢰할 수 있게 측정할 정도의 충분한 양으로 광섬유를 따라 전파하는 레이저 광의 레이리 산란(Rayleigh scattering)을 검출할 수 있는 전력센서유닛이 제공된 광섬유 레이저 시스템에 관한 것이다.
레이저 성능을 검사하는 가장 기본적인 방법은 레이저의 전력 또는 에너지 출력을 측정하는 것이다. 레이저 출력은 가까이에서 프로세스를 수행하는 레이저의 능력에 직접 영향을 준다. 이 파라미터를 측정하고 모니터링하는 것은 레이저가 최초로 제조되는 시기로부터, 시스템 통합을 통해, 의료적, 과학적, 생체의학적, 산업적 및 군사적 적용만큼 광범위한 적용에 레이저 시스템을 이용하게 될 최종측 고객에게 종종 매우 중요하다. 폭넓게 다양한 사양들을 갖는 다른 타입의 레이저들이 많이 있듯이, 특정 타입의 레이저에 적절하고 일반적으로 특정 레이저 사양들에 맞는 측정 기술들도 다르다.
측정 시스템은 일반적으로 레이저 빔에 배치되고 레이저 출력에 비례하는 신호출력을 제공하는 전력센서를 포함한다. 두번째 구성요소는 계측기이다. 대표적인 전력센서, 즉, 연속파(CW) 레이저의 출력의 광전력출력 또는 펄스 레이저 또는 변조 레이저의 평균출력을 검출할 수 있는 디바이스는 빔스플리터를 포함한 구성을 갖는다. 빔스플리터는 광빔의 기설정된 부분을 탭오프(tab-off) 하도록 구성된다. 따라서, 스플리터의 사용은 전송된 광빔의 바람직하지 못한 전력손실을 야기한다.
본 명세서에서 특별한 관심을 갖는 광섬유 레이저를 포함한 고출력 레이저에 대해, 그러한 손실은 레이저 시스템의 효율에 치명적으로 영향을 끼치기 때문에 받아들여질 수 없다. 또한, 이들 전력손실은 레이저 시스템의 신뢰성을 떨어뜨리는 열이 발생되게 하므로 이를 이용하는 게 필요가 있다.
구체적으로 광섬유 레이저를 참조하면, 상술한 손실 이외에, 고유 손실, 즉, 특히 광섬유에 불가피한 광손실이 있다. 고유의 광섬유 손실은 광섬유 재료 그 자체와 관련된 것들로 흡수와 산란을 포함한다. 명백히 가까이서 과제, 즉, 광섬유를 따라 전파하는 광전력의 검출에 대한 불필요한 추가 손실을 만들기보다 고유 손실을 이용하는 것이 우선된다.
당업자가 아는 바와 같이 선형 산란에 대해, 이런 광현상으로 인한 전력손실은 코어 재료에 있는 결함과 접합부와 클래딩 간에 불규칙성에 의해 야기된다. 선형 산란(레이리 산란)의 가장 두드러진 특징은 유리에서 작은 유전체의 불일치가 있음으로 인해 야기될 수 있다. 이들 섭동들은 전파되는 파에 대해 작기 때문에, 레이리 결함에 닿은 광은 사방으로 산란된다. 산란광은 구체적 방향성이 없고 이에 따라 광을 수집하기 어려움으로 인해 검출 과정이 더 어렵고 신뢰할 수 없게 된다. 그 결과, 광섬유를 따라 가이드되면서 레이리 방식에 따라 산란되는 광을 검출하기 위해 동작하는 공지의 검출기들의 사용이 제한된다.
따라서, 광섬유를 따라 가이드되는 산란광을 효과적으로 검출할 수 있는 센서에 대한 필요성이 있다.
레이리 방식에 따라 산란된 광을 신뢰할 수 있게 검출하도록 구성된 전력센서가 제공된 광섬유 레이저 시스템에 대한 필요성도 또한 있다.
광섬유의 스트레치를 수용하는 오목부가 있는 케이스, 광반사체, 및 포토다이오드를 포함한 레이저 전력센서유닛의 향상된 구성이 개시되어 있다; 반사체와 포토다이오드는 광섬유 스트레치로부터 반대방향으로 이격되어 있다. 본 발명이 센서유닛은 캘리브레이션된 인증된 센서에 의해 얻은 실제 광전력의 ±3%내의 측정 데이터를 제공하도록 구성된다. 이런 범위는 산업에 허용되는 5% 범위보다 더 작다.
일태양으로, 오목부-반사체를 정의하는 표면들 중 하나는 아치형으로 되어 있어 입사한 레이리 복사의 상당 부분을 반사한다. 표면은 광섬유 뒤에 형성된 초점면을 갖도록 형성된다. 포토다이오드의 광입사 윈도우가 초점면에 있도록 본 발명의 유닛을 구성함으로써 충분한 양의 레이리 산란광을 모으게 하고 이에 따라 공지의 종래기술의 주요 어려움을 극복한다.
본 발명의 또 다른 태양으로, 반사면은 윤이 없는 면이다. 윤이 없는 면은 일반적으로 제조공정 동안 발생한 제조결함 및 느슨한 허용오차의 바람직하지 못한 효과를 효과적으로 줄인다. 또 다른 태양으로, 고반사율과 굴절계수의 장기간 안정성을 면에 제공하는 윤 없는 반사면을 포함한 케이스는 금으로 도금된다.
본 발명의 또 다른 태양으로, 오목부와 검출기의 광입사 윈도우는 공기가 오목부에 접근하는 것을 막는 커버수단에 의해 밀봉된다. 밀봉은 센서유닛의 다양한 파라미터들의 추가적 안정성, 배경 노출과 같은 환경적 요인들에 대한 증가된 내성, 및 거울에 안개가 끼게 하는 높아진 습도를 제공한다.
본 발명의 상기 및 다른 태양, 특징 및 이점은 첨부도면과 결부해 읽는 하기의 설명으로부터 명백해질 것이며, 동일한 참조부호는 동일한 요소를 나타낸다.
본 발명의 내용에 포함됨.
도 1a는 본 발명의 레이저 전력센서유닛의 정사영도이다.
도 1b는 도 1a의 센서유닛의 정사영 분해도이다.
도 1c는 어셈블리된 상태의 센서유닛의 정사영도이다.
도 1d는 도 1a의 선 D-D을 따라 취한 센서유닛(1)의 횡단면도이다.
도 1e는 도 1c의 선 E-E를 따라 취한 센서유닛의 횡단면도이다.
도 2는 도 1a-1e의 센서유닛이 제공된 광섬유 레이저 시스템의 도식도이다.
도 3a는 개시된 센서유닛에 의해 얻은 데이터 및 제어된 시간 주기동안 광섬유를 따라 전파하는 120W 전력의 광에 대한 공인된 파워미터에 의해 측정된 데이터의 편차를 도시한 그래프이다.
도 3b는 제어된 시간주기 동안 온도변화를 도시한 그래프이다.
도 4a는 도 3a의 그래프와 유사하나 60W 전력의 광에 대한 그래프이다.
도 4b는 제어된 시간주기 동안 온도변화를 도시한 그래프이다.
반복가능하고 신뢰할 수 있는 검출을 위해 충분한 양으로 레이리 광산란에 초점을 두도록 형성된 구조를 개시한 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 참고한다. 가능하면, 동일하거나 유사한 부분 또는 단계를 언급하기 위해 동일하거나 유사한 참조번호가 도면 및 명세서에 사용된다. 도면은 간략화된 형태이며 정확한 비율이지 않다. 단지 편의와 명확히 하기 위해, 방향(상/하 등) 또는 운동(전방/후방 등) 용어들이 도면에 대해 이용될 수 있다. 이들 및 유사한 방향 용어는 어떤 식으로든 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 해석되지 않아야 한다.
도 1a-1e를 참조하면, 레이저광 전력센서유닛(10)은 다양한 구성들을 가질 수 있는 케이스(12)를 포함하나, 도시된 바와 같이 실질적으로 직사각형 바디(14)를 갖는다. 바디(14)의 대향한 대형면들(16) 중 하나는 바디(14)의 맞은편 단측면들(20) 사이에 뻗어 있는 그루브 또는 채널(18)을 갖는다. 채널(18)의 횡단면은 광섬유 타입 및 보다 구체적으로는 광섬유의 외직경과 다이오드(38)의 감광영역(40)(도 1e) 및 반사면에 대한 거리에 따른다. 더욱이, 채널(18)은 균일하게 구성되지 않고 각각의 단측면(20)으로부터 뻗어 있고 2개로 이격된 좁은 영역들(22)을 정의하는 채널(18)에 개입하는 상대적으로 큰 영역 또는 오목부(24)로 이어지는 상대적으로 좁고 실질적으로 균일한 치수의 영역(22)을 갖는다. 좁은 영역들(22)은 일반적으로 광섬유(26)를 수용하도록 형성되어 바디(14)로의 광섬유의 과도한 운동을 막는다. 다시, 단지 일예로서, 그루브(18)의 깊이는 바디(14) 두께의 약 절반, 즉, 1/6"이다. 각각의 단측면(20)에서 끝나는 그루브(18)의 외부 단부들(28)은 일반적으로 U자 형태여서 광섬유와 바디(14) 간에 불필요한 마찰을 막는다.
전체 유닛(10)의 기하학적 형태는 변경될 수 있으나, 도시된 바와 같이 케이스(12)는 길이가 약 1"이고, 두께는 약 1/3"이며, 폭은 약 1/2"이다. 채널(18)은 광섬유(26)의 스트레치를 신뢰할 수 있게 확보하도록 충분히 깊다. 결국, 광섬유의 소정의 위치는 측정 데이터가 기준값(공인된 센서에 의해 측정된 광의 탭핑부의 전력)으로부터 약 3%보다 크게 벗어나지 않아야 하고, 차례로 일반적으로 산업표준을 고려해 5% 미만이어야 한다.
오목부(24)는 바디(12) 상의 임의의 편리한 곳에 위치될 수 있으나, 바람직하게는 오목한 대형면(16)의 중앙 위치를 차지한다. 오목부(24)의 측면(32)은 U자형 횡단면을 갖는다. 측면(32)의 면(32')은 바람직하게는 평평하나 반드시 그럴 필요는 없다. 통로(36)(도 1b)가 바디(14)를 통해 천공되어 있고 오목부(24)의 긴 측면(30)과 측면(32) 사이에 뻗어 있다. 통로(36)의 기하학적 형태는 PIN 포토다이오드(38)가 통로를 통해 바디(14)의 긴측면(30)으로부터 광입사 윈도우(40)(도 1e)가 오목부(24)의 측면(32)으로부터 떨어져 정지해 있는 소정 위치로 뻗어 있게 하도록 구성된다.
오목부(24)의 대향면(44)(도 1a, 1b, 및 1d)도 또한 U자형 횡단면을 가지나, 측면(32)의 면(32')과는 반대로, 면(44')이 면(32)으로부터 구배지거나 아치를 이룬다. 구배면(44')은 광섬유(26)로부터 이 면에 입사한 산란광이 도 1a에 화살표로 나타낸 바와 같이 광입사 윈도우(도 1e)를 포함한 면(32')의 초점면에 불변으로 집속되도록 선택된 반경(R)로 구성된다(도 1d). 반경(R)은 신뢰할 수 있는 방향과 다른 측정을 위해 충분한 양으로 산란광이 반사되도록 더 선택된다. 바디(14)의 일부로서 반사면(44')은 바람직하게는 센서유닛(10)의 추가적인 안전성과 장기 검출능을 제공하는 면이 되도록 금도금되고 처리된다. 해당기술분야에 공지된 바와 같이, 금은 주변 스트레스에 매우 잘 견디고 장기간 안정적인 반사계수를 갖는다. 대안으로, 금대신, 스테인레스 스틸, 니켈, 알루미늄 및 기타 안정적인 금속, 세라믹, 및 플라스틱이 개별적으로 또는 케이스(12)를 제조하기 위한 또 다른 것과의 임의 조합으로 이용될 수 있다. 임계조건은 환경적 스트레스를 견디고 장기간 안정적이며 높은 반사계수를 나타내도록 금과 접합되는 재료의 능력이다. 금에 대한 대안으로, 스테인레스 스틸 및/또는 니켈이 또한 사용될 수 있다. 케이스(12)를 제조하는데 사용된 재료의 바람직한 조성물은 니켈층으로 커버되고 상기 니켈층에 코팅된 금층을 갖는 알루미늄을 포함한다.
유닛(10)을 조립하기 위해, 밀봉링(56)(도 1b)은 검출기(38)가 통로에 삽입되기 때문에 밀봉링(56)이 검출기(38)의 림(58)과 케이스(12)의 장측면(30) 사이에 끼워지도록 통로(36)의 외부 개구에 두어진다. 개구(34)(도 1c)는 센서(38)의 핀이 가로지르게 통로(36)와 동축으로 배치되도록 고정판(54)이 케이스(12)의 측면(30) 상부에 장착된다. 소정의 위치를 확립하기 위해, 패스너(42)는 신뢰할 수 있게 판(54)과 검출기(38)를 케이스(12)에 결합시킨다.
리드(50)는 광섬유(26)를 수용하는 오목부가 밀봉되도록 케이스(12)를 커버한다. 이는 케이스(12)와 리드(50) 간에 밀봉판(52)을 둠으로써 보장될 수 있다. 따라서, 조립된 센서유닛(10)은 주변 대기와 유닛(10) 내부 간에 공기 소통을 막는 밀봉 구조를 특징으로 하므로 광섬유(26)를 갖는 그루브(18)와 포토다이오드(38)의 광입사 윈도우(40)가 밀봉으로 막아져, 배경 노출을 향상시키고 반사면(44')의 윤이 없는 면에 안개의 형성을 야기하는 습도 변화에 대한 내성을 높인다.
도 2는 하나 이상의 증폭 캐스케이드(62,64)를 포하만 광섬유 레이저 시스템(65)의 개략도를 도시한 것이다. 시스템(65)은 CW 또는 펄스 영역에서 동작할 수 있다. 개시된 센서유닛(10)은 도시된 바와 같이 부스터(64)로부터 하류에 위치해 있다. 그러나, 유닛(10)은 광경로를 따라 임의의 관심 위치에 위치될 수 있다. 일반적으로 컨트롤러를 포함한 미터(66)는 유닛(10)의 출력부에 연결되고 검출된 신호를 측정하도록 구성된다.
광검출기의 성능은 통상적으로 다른 많은 파라미터들에 의해 특징된다. 일반적으로, 감광영역이 클수록, 광검출기의 감도가 더 좋다. 광섬유 레이저 기술분야에 사용된 전력센서들로 돌아가면, 5%의 오차 마진, 즉, 실제 전력 값으로부터 광섬유를 따라 전파하는 검출된 광의 전력의 편차는 허용값이다.
표 2는 Hamamatse G8370과 같이 수많은 기성의 포토다이오드들 중 하나로 얻은 개시된 계측기의 수차례 실험들 동안 얻은 데이터를 나타내고 있다.
광섬유 타입 AF 100 AF2 50 마이크론 PF1 25 마이크론 PF2 25 마이크론 AF 200 마이크론
광섬유 코어 MM MM SM SM MM
전력, W 4400 2500 120 60 15000
포토다이오드 감광도 nA/W 15.26 16.97 17.04 17.10 10.14
각각 코어 직경이 100, 50, 및 200 마이크론 3개의 액티브 광섬유들("AF")을 포함한 광섬유들을 선택하였고, 그 모두가 멀티모드("MM")의 전파를 지원한다. 각각 코어 직경이 25 마이크론인 2개의 패시브 광섬유들("PF")은 단일모드("SM") 과을 지원하도록 구성된다. 광섬유를 따라 전파하는 광의 전력은 AF 100에 대해 4.4 kW, AF 50에 대해 2.5 kW, PF 25에 대해 60W 및 120W, 및 AF 200에 대해 15kW로 변한다. AF 200을 제외하고 모든 광섬유들은 균일한 외직경으로 구성되고 감광영역으로부터 균일한 거리로 이격되어 있다. AF 200의 외직경은 실질적으로 광섬유를 감광영역에 더 가까이 이르게 하는 다른 광섬유의 외직경보다 더 크다.
도 1 및 도 2에 도시되고 산란광을 모으도록 동작하는 개시된 센서를 이용해, 포토다이오드의 감도가 전파된 광의 양태와 전력에 무관하게 액티브 및 패시브 광섬유 모두에 대해 실질적으로 균일해지는 것을 알 수 있다.
표 3을 참조하면, 캘리브레이션된 공인된 파워미터로부터 얻은 데이터에서 개시된 구조의 사용 동안 얻은 데이터의 편차가 광전력에 무관하게 3%를 초과하지 않는 것을 알 수 있다. 본 명세서에 단지 작은 부분만 도시된 수많은 테스트들을 광범위한 전력범위를 이용해 행했고, 예로서 본 명세서에 나타낸 바와 같이, 표는 120W 광전력을 이용해 얻은 데이터를 나타낸다.
온도
℃		 파워미터, W 시간, sec 측정된전력, W 계산된 편차, % 표준편차 %
27.5 120.471
 10 96 0.08 5
28.4 120.554 50 96.1 0.01 5
28.8 120.704 100 96 0.23 5
29 120.454 150 95.8 0.24 5
29.1 120,904 200 96 0.38 5
29.2 120.887 300 96 0.39 5
29.2 120.871 400 96 0.38 5
29.2 120.871 450 95.9 0.49 5
29.2 120.871 479 95.9 0.49 5
표로부터 알 수 있는 바와 같이, 상기 표시된 Hamamatse G8370 포토다이오드를 이용한 479초 주기동안, 측정된 데이터는 공인된 계측기로 얻은 데이터로부터 0.49% 보다 크게 벗어나지 않으며, 이는 5% 표준편차에 비해 대단히 양호하다.
상술한 바와 같이, 광범위한 레이저 출력전력을 이용해 개시된 센서유닛을 테스트하였다. 하기의 표 3은 60W 출력전력에 대한 테스트 결과를 나타낸다.
온도
℃		 파워미터, W 시간, sec 측정된 전력, W 계산된 편차, % 표준편차 %
22 60.302
 10 47.9 0.37 5
23.3 60.302 50 47.8 0.44 5
24.1 60.385 100 47.8 0.58 5
24.5 60.302 150 47.8 0.44 5
24.8 60.202 200 47.6 0.70 5
25 60.285 300 47.7 0.62 5
25.1 60.302 400 47.7 0.62 5
25.1 60.285 450 47.6 0.83 5
25.1 60.269 500 47.6 0.81 5
표 2와 같이, 표 3은 1% 미만에서 실제 데이터로부터 벗어난 측정을 발생하는 개시된 구조를 이용해 측정 프로세스의 신뢰도와 안정성을 명백히 나타낸다.
도 3a, 3b, 4a, 및 4b는 다른 것들 중에 표 2 및 표 3에 도시된 것들을 포함한 결과를 나타낸다. 이용된 공지의 포토다이오드의 감도가 높은 것을 알게 된다. 그러나, 심지어 덜 최신의 포토다이오드로도, 개시된 구조는 상기 언급된 3%를 넘지 않는 편차로 우수한 결과를 제공한다.
첨부도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들 중 적어도 하나를 기술하였으나, 본 발명은 이들 정확한 실시예들에 국한되지 않고 다양한 변형 및 변경들이 본 발명의 범위 및 기술사상으로부터 벗어남이 없이 본 개시된 시스템에 이루어질 수 있음이 당업자에 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 특허청구범위와 그 등가물의 범위 내에 있다면 본 개시의 변경 및 변형을 포함하는 것으로 되어 있다.

Claims (20)

  1. 광섬유를 따라 가이드되는 레이저 광의 레이리 산란을 검출하는 센서유닛으로서,
    길이방향 축을 따라 뻗어 있는 관통채널; 상기 길이방향 축에 횡으로 뻗어 있는 오목부 축을 따라 중심에 위치되고 상기 채널을 가로지르는 U자형 오목부; 및 오목부 바닥의 맞은편에 U자형 오목부와 동축이며 상기 U자형 오목부에 개방된 통로로 구성된 바디와,
    상기 통로에서 끝나는 광입사 윈도우가 제공된 광검출기를 포함하고,
    상기 오목부 바닥은 광입사 윈도우에 위치된 초점에서 일정한 양의 레이리 산란을 반사하도록 구배지고,
    집속된 레이리 산란의 양은 상기 광검출기로부터 검출된 광의 전력의 측정 데이터가 공인된 전력계로부터 측정된 광의 전력의 기준값에서 불과 ±3%로 벗어나도록 하는데 충분한, 센서유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 데이터는 상기 기준값에서 ±1% 미만으로 벗어나는 센서유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    바디는 금속, 세라믹, 플라스틱 및 이들의 조합으로 구성된 그룹에서 선택된 재료로 제조되고, 구배진 바닥은 윤이 없는 센서유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    바디는 알루미늄 베이스, 상기 알루미늄 베이스를 커버하는 니켈층 및 상기 니켈층 위에 코팅된 금층을 포함한 금속 조성물로 제조되는 센서유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    광검출기가 통로에서 탈착식으로 장착되는 센서유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    바디에 탈착식으로 결합되고 통로와 동축인 개구를 가지며 광검출기가 가로지르는 고정판을 더 포함하는 센서유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    바디와 고정판 사이에 위치된 오링을 더 구비하고, 복수의 패스너들이 고정판과 바디를 서로 탈착식으로 부착시키는 센서유닛.
  8. 제 7 항에 있어서,
    바디에 탈착식으로 장착된 커버를 더 포함하고, 커버와 고정판에 바디를 커버에 결합시킬 때, U자형 오목부의 내부와 주변 대기 간에 공기 소통을 막기 위해 구배진 바닥이 밀봉되도록 커버와 고정판이 구성되는 센서유닛.
  9. 제 8 항에 있어서,
    각각의 판과 케이스의 대향 면들 사이에 끼워져 있는 씰링판을 더 포함하는 센서유닛.
  10. 제 1 항에 있어서,
    광섬유는 단일모드, 멀티모드, 액티브 및 패시스 광섬유, 및 이들의 조합으로 구성된 그룹에서 선택되는 센서유닛.
  11. 제 10 항에 있어서,
    광섬유를 따라 전파하는 레이저광은 전력이 밀리와트 내지 킬로와트 사이로 변하는 센서유닛.
  12. 광섬유를 따라 전파하는 레이저광을 증폭시키도록 구성된 적어도 하나의 이득 블록;
    한 이득 블록의 출력에 결합되고 광경로를 따라 더 증폭된 광을 가이드하는 광섬유; 및
    한 이득 블록으로부터 하류에 광경로를 따라 위치되고, 증폭된 광의 광전력을 나타내는 증폭된 광의 레이리 산란을 검출하고 측정하도록 구성된 적어도 하나의 광전력 센서 어셈블리를 구비하고,
    상기 센서 어셈블리는:
    길이방향 축을 따라 뻗어 있는 관통채널 및 상기 길이방향 축에 횡으로 뻗어 있고 신장된 채널을 가로지르는 오목부 축을 따라 중심에 있는 U자형 오목부, 및 상기 U자형 오목부와 동축이고 상기 U자형 오목부의 구배진 바닥의 맞은편에서 개방된 통로가 제공된 홀더;
    통로에서 끝나는 광입사 윈도우가 제공된 광검출기를 포함하고,
    구배진 바닥은 광입사 윈도우에 위치된 초점에서 일정한 양의 레이리 산란을 반사하도록 치수화된 곡률 반경을 가지며,
    집속된 레이리 산란의 양은 상기 광검출기로부터 검출된 광의 전력의 측정 데이터가 공인된 전력계로부터 측정된 광의 전력의 기준값에서 불과 ±3%로 벗어나도록 하는데 충분한, 광섬유 레이저 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    바닥은 윤이 없는 면을 갖고, 홀더는 금속, 세라믹 또는 플라스틱으로부터 선택된 금속으로 제조되는 광섬유 레이저 시스템.
  14. 제 12 항에 있어서,
    홀더는 알루미늄 베이스, 상기 알루미늄 베이스를 커버하는 니켈층 및 상기 니켈층 위에 코팅된 금층을 포함하는 광섬유 레이저 시스템.
  15. 제 12 항에 있어서,
    주변 대기와 공기 소통 못하도록 U자형 오목부를 밀봉하기 위해 홀더에 탈착식으로 장착된 커버를 더 포함하는 광섬유 레이저 시스템.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 측정 데이터는 상기 기준값에서 ±1% 미만으로 벗어나는 광섬유 레이저 시스템.
  17. 제 12 항에 있어서,
    광섬유는 단일모드, 멀티모드, 액티브 및 패시스 광섬유, 및 이들의 조합으로 구성된 그룹에서 선택되는 광섬유 레이저 시스템.
  18. 제 12 항에 있어서,
    광섬유를 따라 전파하는 레이저광은 전력이 밀리와트 내지 킬로와트 사이로 변하는 광섬유 레이저 시스템.
  19. 제 12 항에 있어서,
    센서 어셈블리는 광검출기에 동작하게 결합되고 상기 증폭된 레이저광의 상기 광출력을 판단하기 위해 상기 산란된 레이저광의 상기 집속부를 수용하도록 구성된 광 계측기를 더 갖는 광섬유 레이저 시스템.
  20. 제 12 항에 있어서,
    광검출기는 포토다이오드를 포함하는 광섬유 레이저 시스템.
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