JP6426377B2 - 発光素子及び照明システム - Google Patents

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Description

本発明は、発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムに関するものである。
発光素子(Light Emitting Device)は、電気エネルギーが光エネルギーに変換される特性のp-n接合ダイオードとして、周期表上のIII族とV族などの化合物半導体から生成でき、化合物半導体の組成比を調節することで、多様な色の具現が可能である。
発光素子は、順方向の電圧を印加すると、n層の電子とp層の正孔(hole)が結合して伝導帯(Conduction band)と価電子帯(Valance band)のバンドギャップエネルギーに該当する分のエネルギーを発散するが、このエネルギーは主に熱や光の形態で放出され、光の形態で発散されると発光素子となる。
例えば、窒化物半導体は、高い熱的安定性と幅広いバンドギャップエネルギーによって、発光素子及び高出力の電子素子の開発分野で大きい関心を集めている。特に、窒化物半導体を利用した青色(Blue)発光素子、緑色(Green)発光素子、赤色(Red)発光素子、紫外線(UV)発光素子などは、商用化されて広く使用されている。
このような可視光領域の発光ダイオードの中で、その活用性が目立つ波長の発光ダイオードは赤色発光素子として、緑色や黄色などに比べて同じ輝度でも可視性が優れるので、信号灯、車両の停止灯、各種表示用ディスプレイなどの用途で、その使用領域が広い。
一方、従来の赤色LEDの場合、要求されるパワー(Power)が低く、低電流(Low Current)で印加されることで、Mgの拡散イシュー(Diffusion Issue)が大きくなかったが、最近、高出力(High Power)の赤色LEDチップの需要の増加で高電流(High Current)による活性層領域(Active Region)へのMgの拡散イシューが台頭しており、信頼性テストを行う際にGaPウインドウ層に存在するMgが活性層領域に拡散して、光出力ドロップ(Po drop)が発生する問題がある。
本発明は、AlGaInP系LEDの光出力(Po)の減少を抑制して、信頼性が向上した発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供しようとする。
本発明の発光素子は、第1導電型半導体層130と、前記第1導電型半導体層130上にAlGaInP系活性層140と、前記AlGaInP系活性層140上に第2導電型クラッド層150と、前記第2導電型クラッド層150上に第1濃度の第2導電型GaP層162と、前記第1濃度の第2導電型GaP層162上に前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層164と、を含む。
また、本発明の照明システムは、前記発光素子を有する発光ユニットを含む。
本発明は、AlGaInP系LEDの光出力(Po)の減少を抑制して、信頼性が向上した発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
第1実施例に係る発光素子の断面図である。 第1実施例に係る発光素子のバンドギャップエネルギーダイヤグラムの例示図である。 比較例に係る発光素子のSIMS分析資料である。 実施例に係る発光素子のSIMS分析資料である。 比較例と実施例に係る発光素子の信頼性測定データである。 比較例と実施例に係る発光素子の信頼性測定データである。 第2実施例に係る発光素子の断面図である。 第2実施例に係る発光素子のバンドギャップエネルギーダイヤグラムの例示図である。 実施例に係る発光素子の製造方法の工程断面図である。 実施例に係る発光素子の製造方法の工程断面図である。 実施例に係る発光素子パッケージの断面図である。 実施例に係る照明装置の分解斜視図である。
実施例の説明において、各層(膜)、領域、パターンまたは構造物が、基板、各層(膜)、領域、パッドまたはパターンの「上」または「下」に形成されると記載される場合、「上」と「下」は、「直接」または「他の層を介在して」形成されるものも含む。また、各層の「上」または「下」に対する基準は、図面を基準として説明する。
また、図面において、各層の厚さや大きさは、説明の便宜や明確性を図って誇張または省略されたり、概略的に図示されてあり、各構成要素の大きさは実際の大きさを全面的に反映するものではない。
(実施例)
図1は第1実施例に係る発光素子100の断面図であり、図2は第1実施例に係る発光素子のバンドギャップエネルギーダイヤグラムの例示図である。
実施例に係る発光素子100は、第1導電型半導体層130と、前記第1導電型半導体層130上にAlGaInP系活性層140と、前記AlGaInP系活性層140上に第2導電型クラッド層150と、前記第2導電型クラッド層150上に第1濃度の第2導電型GaP層162と、前記第1濃度の第2導電型GaP層162上に前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層164と、を含むことができる。
図3は比較例に係る発光素子のSIMS分析資料であり、図4は実施例に係る発光素子のSIMS分析資料である。
図5及び図6は、比較例と実施例に係る発光素子の信頼性測定データである。
具体的に、図5は比較例に係る発光素子のPo変化率のデータであり、図6は実施例に係る発光素子のPo変化率のデータである。
図5及び図6は、比較例と実施例において、それぞれ信頼性テストを行った二つのサンプルに対する信頼性テストの結果である。
上述したように、従来の赤色LEDの場合、要求されるパワーが低く、低電流で印加されることで、Mgの拡散イシューが大きくなかったが、最近、高出力(High Power)の赤色LEDチップの需要の増加で高電流印加による活性層領域へのMgの拡散イシューが台頭している。
例えば、AlGaInP赤色LEDの場合、一般的にGaPウインドウ層(Window layer)を使用し、GaPウインドウ層にMgがハイドーピング(High Doping)される。
これにより、信頼性テストを行う際にGaPウインドウ層に存在するMgが活性層領域に拡散して、光出力ドロップ(Po drop)が発生する問題がある。
具体的に、従来技術によれば、GaP層(Layer)のMgドーピング(Doping)時一定レベルでGaP層全区間をドーピングするが、このようなドーピングプロファイル(Doping Profile)は、LEDの動作/寿命の試験時の電流(Current)注入による活性層(Active)へのMgの拡散(Diffusion)を引き起こす(R部分)。
例えば、図3のように、Mgが拡散(R部分)されて、SIMS上Mgプロファイルが活性層に隣接する問題が発生する。
これにより、図5のように、信頼性テストを行う際、動作または寿命時間(time)の進行につれて、Mgが活性層(Active)に浸透することで、Poがドロップ(Drop)される結果を招来して信頼性に問題が多い。
即ち、光出力(Po)の観点で、信頼性テストの初期(0hr)に比べて65時間、165時間が経過するにつれて、Poが±10%の範囲をはみ出た結果が出る。
反面、実施例によれば、これを補完するために、第2導電型クラッド層150上に第1濃度の第2導電型GaP層162と、前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層164を配置することができる。
即ち、実施例によれば、第2濃度の第2導電型GaP層164の前に、低濃度の第1濃度の第2導電型GaP層162を成長させて、拡散されるMgをトラップ(Trap)する役割をすることができる。
具体的に、実施例によれば、図4の「E領域」のように、第1濃度の第2導電型GaP層162でMgをトラップしてMgの拡散が抑制されて、Mgフリー領域(Free Region)が形成される。
また、これにより、図6のように信頼性テストの際、即ちLEDの動作/寿命試験の評価時に安定したPo特性を確保して、高い信頼性を得ることができる。
即ち、実施例によれば、光出力(Po)の観点で、信頼性テストの初期(0hr)に比べて65時間、165時間が経過するにつれて、Poが±10%の範囲内に位置する安定的結果を見せる。
実施例で、前記第1濃度の第2導電型GaP層162の濃度は、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の濃度の約10%〜約30%の濃度を有することができる。
例えば、第2濃度の第2導電型GaP層164は、Mgドーピング濃度が約1×1017〜9×1017(atoms/cm)であり、前記第1濃度の第2導電型GaP層162の濃度は、第2濃度のMgドーピング濃度の約10%〜約30%の濃度であるが、これに限定されるものではない。
前記第1濃度が第2濃度の30%を超える場合、Mgトラップの機能を果たせにくいことがあり、第1濃度が第2濃度の10%未満の場合、ホール注入の障壁の役割をすることがある。
図4及び図6は、第1濃度が第2濃度の10%〜30%の範囲である時の結果として、そのような範囲の濃度である時、AlGaInP系LEDの信頼性評価の際に、Poドロップ(Drop)を抑制できる発光素子を提供することができる。
また、実施例によれば、前記第1濃度の第2導電型GaP層162の厚さは、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の厚さの約1%〜約10%を有することができる。
例えば、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の厚さは約3μm〜4.5μmであり、第1濃度の第2導電型半導体層162はその厚さの約1%〜10%の範囲を有することができる。
第1濃度の第2導電型半導体層162の厚さが第2濃度の第2導電型半導体層164の厚さの10%を超える場合、ホール注入の障壁として機能することができ、1%未満の場合、Mg拡散の防止機能を果たせにくいこともある。
実施例によれば、第2導電型クラッド層150上に第1濃度の第2導電型GaP層162と、前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層164を含むことで、第1濃度の第2導電型GaP層162でMgの拡散を防止することで、AlGaInP系LEDの信頼性評価を行う際にPoドロップ(Drop)を抑制できる発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
図7は第2実施例に係る発光素子102の断面図であり、図8は第2実施例に係る発光素子のバンドギャップエネルギーダイヤグラムの例示図である。
第2実施例は、第1実施例の技術的特徴を採用することができる。
第2実施例は、前記AlGaInP系活性層140と前記第2導電型クラッド層150との間にアンドープAlInP系層152をさらに含むことができる。
これにより、前記アンドープAlInP系層152でMgの拡散を追加的に防止することで、Poドロップ(Drop)を効果的に抑制できる発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
実施例で、前記アンドープAlInP系層152は、前記第2導電型クラッド層150と実質的に同じエネルギー準位を有することができる。
これにより、前記アンドープAlInP系層152のエネルギー準位は活性層140のエネルギー準位より高いので、電子遮断機能をして発光効率を増大させることができる。
また、実施例で、前記アンドープAlInP系層152は、前記第2導電型クラッド層150より薄く形成することができる。
また、前記アンドープAlInP系層152は、前記第1濃度の第2導電型GaP層162より薄く形成することができる。以下、図9〜図10を参照して実施例に係る発光素子の製造方法を説明する。
まず、図9のように基板110を準備する。前記基板110は導電性基板からなることができるが、これに限定されるものではなく、絶縁性基板を用いることもできる。例えば、前記基板110はGaAs基板等からなることができるが、これに限定されるものではない。
次に、実施例は、前記基板110上に反射層120を形成して、光抽出効率を増大させることができる。
一般的に、GaAs基板は不透明であるので、活性層から放出される光を吸収して光効率を低下させることがある。そこで、基板110上に反射層120を形成して、光抽出効率を向上させることができる。
例えば、前記反射層120は、AlAs/AlGaAs或いはAlGaInP/AlInP層を1/4波長(quarter-wave length)の厚さで順に蒸着したDBRs(Distributed Bragg-Reflectors)鏡構造を有することができるが、これに限定されるものではない。
次に、前記反射層120上に第1導電型半導体層130、AlGaInP系活性層140、アンドープAlInP系層152、第2導電型クラッド層150と、第1濃度の第2導電型GaP層162、第2濃度の第2導電型GaP層164を順次形成することができる。
前記第1導電型半導体層130は、n型コンタクト層としてn型AlGaInP系層またはn型AlInP層を含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記AlGaInP系活性層140は、赤色発光ダイオード物質のうち発光効率が高い物質であり、前記AlGaInP系活性層140がGaAs基板の上に格子定数が一致する組成条件で成長し、直接遷移が可能なバンドギャップを有する範囲で成長することができる。
前記AlGaInP系活性層140は、低圧有機金属気相成長法(MOVCD)により成長させることができる。
実施例は、AlGaInP系活性層140と以後形成される第2導電型クラッド層150との間に、アンドープAlInP系層152をさらに含むことができる。
これにより、前記アンドープAlInP系層152でMgの拡散を防止することで、Poドロップ(Drop)を効果的に抑制できる発光素子を提供することができる。
実施例で、前記アンドープAlInP系層152は、前記第2導電型クラッド層150と実質的に同じエネルギー準位を有することができる。
これにより、前記アンドープAlInP系層152のエネルギー準位は、活性層140のエネルギー準位より高いので、電子遮断機能をして発光効率を増大させることができる。
また、実施例で、前記アンドープAlInP系層152は、前記第2導電型クラッド層150より薄く形成することができる。
また、前記アンドープAlInP系層152は、前記第1濃度の第2導電型GaP層162より薄く形成することができる。
次に、実施例は、アンドープAlInP系層152上に第2導電型クラッド層150と、第1濃度の第2導電型GaP層162、第2濃度の第2導電型GaP層164を形成することができる。
実施例は、反射層120、第1導電型半導体層130、AlGaInP系活性層140、アンドープAlInP系層152、第2導電型クラッド層150と、第1濃度の第2導電型GaP層162、第2濃度の第2導電型GaP層164を、同一または類似系列の物質組成から形成することができる。
即ち、成長方式の発光ダイオード層の製造過程を考慮して、反射層の形成時、金属反射層でない分布ブラッグ反射層を発光ダイオードと同一格子構造層の成長方法で形成するようにして、結晶成長が容易であるようにしながら、同一または類似の物質組成で構造を形成することができる。
実施例によれば、第2濃度の第2導電型GaP層164の前に低濃度の第1濃度の第2導電型GaP層162を成長させて、拡散されるMgをトラップ(Trap)する役割をすることができる。
実施例によれば、図4のE領域のように、第1濃度の第2導電型GaP層162でMgトラップによってMgの拡散が抑制され、Mgフリー領域が形成される。
また、これにより実施例は、LEDの動作/寿命の試験評価の際に、安定したPo特性を確保することができる。
実施例で、前記第1濃度の第2導電型GaP層162の第1濃度は、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の第2濃度の約10%〜約30%の濃度を有することができる。
例えば、第2濃度の第2導電型GaP層164は、Mgドーピング濃度が約1×1017〜9×1017(atoms/cm)であり、前記第1濃度の第2導電型GaP層162は、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の濃度の約10%〜約30%の濃度であるが、これに限定されるものではない。
前記第1濃度が第2濃度の30%を超える場合、Mgトラップの機能を果たせにくいことがあり、第1濃度が第2濃度の10%未満の場合、ホール注入の障壁の役割をすることがある。
また、実施例によれば、前記第1濃度の第2導電型GaP層162の厚さは、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の厚さの約1%〜約10%を有することができる。
例えば、前記第2濃度の第2導電型GaP層164の厚さは約3μm〜4.5μmであり、第1濃度の第2導電型半導体層162はその厚さの約1%〜10%の範囲を有することができる。
第1濃度の第2導電型半導体層162の厚さが第2濃度の第2導電型半導体層164の厚さの10%を超える場合、ホール注入の障壁として機能することができ、1%未満の場合、Mg拡散の防止機能を果たせにくいこともある。
実施例によれば、第2導電型クラッド層150上に第1濃度の第2導電型GaP層162と、前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層164を含むことで、第1濃度の第2導電型GaP層162でMgの拡散を防止することで、AlGaInP系LEDの信頼性評価を行う際にPoドロップ(Drop)を抑制できる発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
次に、発光素子チップを水平型構造に形成する場合、基板110上部の第2濃度の第2導電型GaP層164、第1濃度の第2導電型GaP層162、アンドープAlInP系層152、第2導電型クラッド層150、AlGaInP系活性層140、第1導電型半導体層130を順次エッチングしてメサ構造を形成して、露出した第2導電型半導体層130と第2濃度の第2導電型GaP層164上に、電極171及び第2電極172をそれぞれ形成することができる。また、前記基板110が露出するように前記反射層120も一部除去して、基板110上に第1電極171を形成することができる。この場合、前記基板110はGaAs基板等のような導電性基板からなることができるが、これに限定されるものではない。
一方、図10とは異なるように、垂直型チップに形成しようとする場合、基板110の下部に第1電極171を、第2濃度の第2導電型GaP層164上に第2電極172を、それぞれ形成することができる。
実施例は、AlGaInP系LEDの光出力(Po)の減少を抑制して、信頼性が向上した発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
図11は、実施例に係る発光素子が設置された発光素子パッケージ200を説明する図面である。
実施例に係る発光素子パッケージ200は、パッケージ本体部205と、前記パッケージ本体部205に設置された第3電極層213及び第4電極層214と、前記パッケージ本体部205に設置されて、前記第3電極層213及び第4電極層214と電気的に連結される発光素子100と、前記発光素子100を取り囲むモールディング部材230を含む。
前記パッケージ本体部205は、シリコン材質、合成樹脂材質または金属材質を含んで形成され、前記発光素子100の周囲に傾斜面が形成される。
前記第3電極層213及び第4電極層214は、相互電気的に分離され、前記発光素子100に電源を提供する役割をする。また、前記第3電極層213及び第4電極層214は、前記発光素子100から発生した光を反射させて光効率を増加させる役割をすることができ、前記発光素子100から発生した熱を外部に排出させる役割をすることもできる。
前記発光素子100は、図1及び図7に例示された水平型の発光素子が適用されるが、これに限定されるものではなく、垂直型の発光素子やフリップチップタイプの発光素子も適用することができる。
前記発光素子100は、前記パッケージ本体部205の上、または前記第3電極層213または第4電極層214の上に設置することができる。
前記発光素子100は、前記第3電極層213及び/または第4電極層214と、ワイヤー方式、フリップチップ方式またはダイボンディング方式のいずれか一つによって電気的に連結させることができる。実施例では、前記発光素子100が前記第3電極層213とワイヤー230を介して電気的に連結され、前記第4電極層214と直接接触して電気的に連結されたものが例示されている。
前記モールディング部材230は、前記発光素子100を取り囲んで前記発光素子100を保護することができる。また、前記モールディング部材230には蛍光体232が含まれ、前記発光素子100から放出された光の波長を変化させることができる。
実施例に係る発光素子パッケージは、複数個が基板上にアレイされ、前記発光素子パッケージから放出される光の経路上に、光学部材である導光板、プリズムシート、拡散シート、蛍光シートなどを配置することができる。このような発光素子パッケージ、基板、光学部材は、バックライトユニットまたは照明ユニットとして機能することができ、例えば、照明システムは、バックライトユニット、照明ユニット、指示装置、ランプ、街灯を含むことができる。
次に、図12は実施例に係る照明装置の分解斜視図であり、実施例に係る照明装置は、カバー2100、光源モジュール2200、放熱体2400、電源提供部2600、内部ケース2700、ソケット2800を含むことができる。また、実施例に係る照明装置は、部材2300とホルダー2500のいずれか一つ以上をさらに含むことができる。前記光源モジュール2200は、実施例に係る発光素子または発光素子パッケージを含むことができる。
例えば、前記カバー2100は、バルブ(bulb)または半球状を有し、中空で一部分が開口された形状で提供される。前記カバー2100は、前記光源モジュール2200と光学的に結合される。例えば、前記カバー2100は、前記光源モジュール2200から提供される光を拡散、散乱または励起させることができる。前記カバー2100は、一種の光学部材からなることができる。前記カバー2100は、前記放熱体2400と結合される。前記カバー2100は、前記放熱体2400と結合される結合部を有することができる。
前記カバー2100の内面には、乳白色の塗料をコーティングすることができる。乳白色の塗料は、光を拡散させる拡散材を含むことができる。前記カバー2100の内面の表面粗さを、前記カバー2100の外面の表面粗さより大きく形成することができる。これは、前記光源モジュール2200からの光を十分に散乱及び拡散させて外部に放出させるためである。
前記カバー2100の材質は、ガラス(glass)、プラスチック、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリカーボネート(PC)等からなることができる。ここで、ポリカーボネートは、耐光性、耐熱性、強度が優れる。前記カバー2100は、外部から前記光源モジュール2200が見えるように電子遮断層(126)の役割をすることができ、不透明にすることもできる。前記カバー2100は、ブロー(blow)成形により形成することができる。
前記光源モジュール2200は、前記放熱体2400の一面に配置することができる。従って、前記光源モジュール2200からの熱は、前記放熱体2400に伝導される。前記光源モジュール2200は、光源部2210、連結プレート2230、コネクター2250を含むことができる。
前記部材2300は、前記放熱体2400の上面の上に配置され、複数の光源部2210とコネクター2250が挿入されるガイド溝2310を有する。前記ガイド溝2310は、前記光源部2210の基板及びコネクター2250と対応する。
前記部材2300の表面は、光反射物質で塗布またはコーティングされたものからなることができる。例えば、前記部材2300の表面は、白色の塗料で塗布またはコーティングされたものからなることができる。このような前記部材2300は、前記カバー2100の内面に反射されて前記光源モジュール2200側方向に戻ってくる光を、前記カバー2100方向に再反射させる。従って、実施例に係る照明装置の光効率を向上させることができる。
前記部材2300は、例えば絶縁物質からなることができる。前記光源モジュール2200の連結プレート2230は、電気伝導性物質を含むことができる。従って、前記放熱体2400と前記連結プレート2230との間が電気的な接触される。前記部材2300は、絶縁物質で構成され、前記連結プレート2230と前記放熱体2400の電気的短絡を遮断することができる。前記放熱体2400は、前記光源モジュール2200と前記電源提供部2600から伝達された熱を放熱する。
前記ホルダー2500は、内部ケース2700の絶縁部2710の収納溝2719を防ぐ。従って、前記内部ケース2700の前記絶縁部2710に収納される前記電源提供部2600は密閉される。前記ホルダー2500は、ガイド突出部2510を有する。前記ガイド突出部2510は、前記電源提供部2600の突出部2610が貫通するホールを有する。
前記電源提供部2600は、外部から提供された電気的信号を処理または変換して、前記光源モジュール2200に提供する。前記電源提供部2600は、前記内部ケース2700の収納溝2719に収納され、前記ホルダー2500によって前記内部ケース2700の内部に密閉される。
前記電源提供部2600は、突出部2610、ガイド部2630、ベース2650、延長部2670を含むことができる。
前記ガイド部2630は、前記ベース2650の一側から外部に突出した形状を有する。前記ガイド部2630は、前記ホルダー2500に挿入することができる。前記ベース2650の一面上に多数の部品を配置することができる。多数の部品は、例えば、外部電源から提供される交流電源を直流電源に変換する直流変換装置、前記光源モジュール2200の駆動を制御する駆動チップ、前記光源モジュール2200を保護するためのESD(ElectroStatic discharge)保護素子などを含むことができるが、これに限定されるものではない。
前記延長部2670は、前記ベース2650の他側から外部に突出した形状を有する。前記延長部2670は、前記内部ケース2700の連結部2750の内部に挿入され、外部から電気的信号が提供される。例えば、前記延長部2670は、前記内部ケース2700の連結部2750の幅と同一または小さく提供される。前記延長部2670には「+電線」と「−電線」のそれぞれの一端が電気的に連結され、「+電線」と「−電線」の他の一端はソケット2800に電気的に連結される。
前記内部ケース2700は、内部に前記電源提供部2600と共にモールディング部を含むことができる。モールディング部は、モールディング液体が固まった部分として、前記電源提供部2600を前記内部ケース2700の内部に固定できるようにする。
実施例は、AlGaInP系LEDの光出力(Po)の減少を抑制して、信頼性が向上した発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システムを提供することができる。
以上の実施例で説明された特徴、構造、効果などは、少なくとも1つの実施例に組合せることができ、必ず1つの実施例に限定されるものではない。また、各実施例に例示した特徴、構造、効果などは、当業者であれば、別の実施例に組合せたり変形して実施可能であり、このような組合と変形も本発明の範囲内に含まれるものであると解釈されるべきである。
また、以上では実施例を中心に本発明を説明したが、これは例示であり、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、当業者であれば、本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲で、以上に例示されていない多様な変形と応用が可能であることは自明である。例えば、実施例に具体的に開示された各構成要素は、変形して実施可能であり、このような変形と応用に係る差異点も、添付された特許請求の範囲の範囲内に含まれるものであると解釈されるべきである。
110:基板、120:反射層、130:第1導電型半導体層、140:AlGaInP系活性層、152:アンドープAlInP系層、150:第2導電型クラッド層、162:第1濃度の第2導電型GaP層、164:第2濃度の第2導電型GaP層。

Claims (7)

  1. 導電性材質の基板と、
    前記基板の上部領域の一部が露出するように、前記基板の上部領域に配置される反射層と、
    前記反射層の上に配置される第1導電型半導体層と、
    前記第1導電型半導体層上に配置されるAlGaInP系活性層と、
    前記AlGaInP系活性層上に配置される第2導電型クラッド層と、
    前記第2導電型クラッド層上に配置される第1濃度の第2導電型GaP層と、
    前記第1濃度の第2導電型GaP層上に配置される前記第1濃度より高い第2濃度の第2導電型GaP層と、
    前記基板の露出した上部領域の一部に配置される第1電極と、
    前記第2濃度の第2導電型GaP層の上に配置される第2電極と、
    を含み、
    前記反射層は、AlGaInP/AlInP層を1/4波長の厚さで複数蒸着した分布ブラッグ反射層(Distributed Bragg−Reflectors)鏡構造を含むことを特徴とする発光素子。
  2. 前記第1濃度の第2導電型GaP層の第1濃度は、前記第2濃度の第2導電型GaP層の第2濃度の10%〜30%の濃度であり、
    前記第2濃度の第2導電型GaP層は、Mgドーピング濃度が1×10 17 〜9×10 17 (atoms/cm )であり、
    前記第1濃度の第2導電型GaP層でMgがトラップされてMgの拡散が抑制され、Mgフリー領域(Free Region)が形成され、
    前記基板はGaAsを含み、
    前記AlGaInP系活性層は、前記基板の上に格子定数が一致する組成条件で成長することを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
  3. 前記第1濃度の第2導電型GaP層の厚さは、前記第2濃度の第2導電型GaP層の厚さより小さく、
    前記第1濃度の第2導電型GaP層の厚さは、前記第2濃度の第2導電型GaP層の厚さの1%〜10%であり、
    前記第2濃度の第2導電型GaP層の厚さは3μm〜4.5μmであることを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子。
  4. 前記AlGaInP系活性層と前記第2導電型クラッド層との間にアンドープAlInP系層をさらに含み、
    前記アンドープAlInP系層のバンドギャップエネルギーは、前記AlGaInP系活性層のバンドギャップエネルギーより大きく、
    前記アンドープAlInP系層は、前記第2導電型クラッド層と接し、
    前記アンドープAlInP系層は、前記第2導電型クラッド層と実質的に同じエネルギー準位を有し、
    前記アンドープAlInP系層は、Mgの拡散を防止し、電子を遮断する機能をすることを特徴とする請求項1からのいずれか一項に記載の発光素子。
  5. 前記アンドープAlInP系層は、前記第2導電型クラッド層より薄く、
    前記アンドープAlInP系層は、前記第1濃度の第2導電型GaP層より薄いことを特徴とする請求項に記載の発光素子。
  6. 前記反射層は、前記分布ブラッグ反射層(Distributed Bragg−Reflectors)を前記第1導電型半導体層、前記AlGaInP系活性層、前記第2導電型クラッド層と同じ格子構造層で形成したことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の発光素子。
  7. 請求項1からのいずれか一項に記載の発光素子を有する発光ユニットを含むことを特徴とする照明システム。
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