JP6415527B2 - デュアル電源を使用してデュアルマグネトロンにパワーを供給するシステム及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、共通の電圧で動作するデュアル電源によって駆動される一対のマグネトロンを制御するシステム及び方法に関するものである。

マグネトロンは無線周波数（ＲＦ）エネルギを発生させるために使用することが可能である。このＲＦエネルギは異なる目的のために使用することが可能であり、例えば、物品の加熱（即ち、マイクロ波加熱）、又はプラズマの発生、のために使用することが可能である。プラズマは多数の異なる目的のために使用することが可能であり、例えば、薄膜のデポジション、ダイアモンドのデポジション、及び半導体製造プロセス、等において使用することが可能である。ＲＦエネルギは、又、石英被包体の内側にプラズマを発生させＵＶ光（又は可視光）を発生させるために使用することが可能である。この点に関しての決定的な特性は、ＤＣ（直流）パワーをＲＦエネルギへ変換させる場合に達成される高効率とマグネトロンの幾何学的形状である。１つの欠点は、与えられたパワー出力を発生させるために必要とされる電圧がマグネトロン毎に異なるということである。この電圧はマグネトロンの内部幾何学的形状及びキャビティ内の磁界強度によって支配的に決定される場合がある。

幾つかの適用例においては、所要のＲＦエネルギを供給するために２個のマグネトロンを必要とする場合がある。その場合には、各マグネトロンに対して個別的な電源が必要とされていた。しかしながら、設計が同一である２個のマグネトロンは、同一の電圧−電流特性を有するものではない場合がある。通常の製造公差及び２個の同一のマグネトロンの間の温度差が、ユニット毎に、異なる電圧−電流特性を生じる場合があり、且つそれらのライフサイクルの動的動作条件下で変化する場合がある。そうであるから、各マグネトロンは僅かに異なる電圧を有する場合がある。例えば、それらのマグネトロンは相互に異なる動作曲線を有する場合があり、従って、一方のマグネトロンが他方のマグネトロンよりも一層高いパワー出力を発生する場合がある。その一層高いパワー出力を有するマグネトロンは他方のマグネトロンよりも一層高温となり、その結果他方のマグネトロンよりも有用な寿命が一層短くなる。更に、このことは一層高い出力を発生するマグネトロンのパワー出力をしてそのバルブの半分におけるプラズマを他方よりも一層高温とさせ、その際に非対称的なＵＶ出力パワーパターンを発生させる場合がある。

従って、所望されることがであるが未だに提供されていないものは、２個のマグネトロンにパワーを供給するデュアル電源の一定の電圧及び電流動作点を維持するシステム及び方法である。

デュアル電源で２個のマグネトロンへパワーを供給するシステム及び方法を提供することによって当該技術において上述した問題が対処され且つ技術的解決が達成される。第１電源が第１マグネトロンへ第１電圧を供給する。第２電源が第２マグネトロンへ第２電圧を供給する。バランサー回路が、第１マグネトロンの磁界と第２マグネトロンの磁界とを変更させる駆動電流を制御して、該第１電圧と該第２電圧とを実質的に等しい電圧に維持させる。該第１電圧及び該第２電圧は実質的に一定の電圧とすることが可能である。

１実施例においては、第１電源が第１マグネトロンへ第１供給電流を供給し、且つ第２電源が該第１供給電流に実質的に等しい第２供給電流を第２マグネトロンへ供給して、該第１マグネトロンと該第２マグネトロンとの間に実質的に共通の動作点を維持する。

１実施例においては、本システムは、更に、該バランサー回路へ電気的に結合されており且つ該第１マグネトロンへ磁気的に結合されている第１コイルドライバと、該第１コイルドライバへ電気的に結合されており且つ該第２マグネトロンへ磁気的に結合されている第２コイルドライバを有することが可能である。該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバは電気的に直列して結合させることが可能である。

該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバは該駆動電流を受け取ることが可能である。該駆動電流は該第１コイルドライバを付勢させ且つ該駆動電流は該第２コイルドライバを付勢させて該第１マグネトロンの磁界及び該第２マグネトロンの磁界を、夫々、反対方向に調節して、該第１電圧及び該第２電圧を実質的に等しい電圧に維持する。

１実施例において、該バランサー回路は、更に、該駆動電流を供給する補助的電源を有することが可能である。該バランサー回路は、更に、該第１電圧を検知するために該第１電源と信号通信状態にあり且つ該第２電圧を検知するために該第２電源と信号通信状態にある処理装置を有することが可能である。該処理装置は、デジタル信号プロセッサとすることが可能である。該処理装置は、該駆動電流を調節するために該補助的電源へエラー信号を供給することが可能である。該補助的電源へ供給される該エラー信号は、該処理装置によって実現される比例・積分・微分（ＰＩＤ）フィードバックループ又は比例・積分（ＰＩ）サーボループの出力に基づくものとすることが可能である。

１実施例において、該処理装置は該第１電圧と該第２電圧との間の電圧における大きさの差を検知することが可能である。

１実施例において、該駆動電流は該第１電圧と該第２電圧との間の大きさにおける差の極性に対応する極性を有することが可能である。該駆動電流の大きさは、更に、該第１電圧と該第２電圧との間の瞬間的な電圧差及び該第１電圧と該第２電圧との間の収束率に基づくものとすることが可能である。

デュアル電源から２個のマグネトロンへパワーを供給するシステムの１実施例の回路図。 第１マグネトロンと第２マグネトロンとを具備するシステムへパワーを供給する方法の１実施例の１例を例示したフローチャート。 従来のマグネトロン電圧−コイル電流を例示しているグラフ。

図１は、デュアル電源から２個のマグネトロンへパワーを供給するシステム１００の１実施例の回路図である。特に、図１は電源１０及び電源１２を示しており、それらは、例えば、一対の高電圧低リップルＤＣパワーモジュールである。例えば、電源１０，１２は、各々、４．５ｋＶにおいて０．８４Ａ出力とすることが可能なソリッドステート高電圧パワーモジュールを包含することが可能である。パワーモジュール１０，１２は、一定の電流出力（又は、ほぼ一定の電流）を提供すべく構成することが可能である。その他の量の電流及びパワーも本発明の範囲内のものである。電源１０，１２は、対応する高電位線１８，２０に沿ってマグネトロン１４，１６の対応するカソードへ結合させることが可能である。１実施例において、マグネトロン１４，１６の対応するフィラメント２２，２４は、フィラメント加熱用の必要な電流を供給する対応するフィラメント変圧器２６，２８へ結合させることが可能である。フィラメント変圧器２６，２８の一次側はＡＣ（交流）供給源（１００乃至２００Ｖ等）からパワーを供給させることが可能である。カソード端子もフィラメント端子の内の一つと共用させることが可能である。

高電位線１８，２０は、１実施例に従って検知され且つ調節されるべき電源信号電圧ＨＶＡ及びＨＶＢを夫々供給する。電源出力電圧ＨＶＡ，ＨＶＢは対応する分圧器３０，３２によって検知され、該分圧器の各々は電源信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢに比例する減少された出力電圧を信号線５０，５２上に与える。信号線５０，５２上のこの減少された出力電圧はバランサー回路３４への入力として与えられる。

１実施例において、バランサー回路３４は処理装置３６を有することが可能である。１実施例において、処理装置３６はデジタル信号プロセッサとすることが可能である。処理装置３６は補助的パワーモジュール３８へ結合されている。出力信号線４０は、各々が対応するマグネトロン１４，１６へ磁気的に結合されている一対の直列接続されたコイルドライバ４２，４４へコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを供給する構成とされている。コイルドライバ４２，４４の巻線は反対方向に駆動されてマグネトロン１４，１６へ反対の磁界を与えて電源１０，１２の高電位線１８，２０上の電源出力電圧ＨＶＡ，ＨＶＢにおける差を減少させて実質的に等しい電圧とさせる。１実施例において、電源出力電圧ＨＶＡ，ＨＶＢは実質的に一定のものとすることが可能である。

図１において、バランサー回路３４はマグネトロン１４，１６における電圧を調節するために使用することが可能である。より詳細に説明すると、バランサー回路３４は、第１マグネトロン１４と関連するコイルドライバ４２へ供給されるコイル駆動電流ＩＣＯＩＬ、及び第２マグネトロン１６と関連するコイルドライバ４４へ供給されるコイル駆動電流ＩＯＩＬを制御する構成とされている。コイル駆動電流ＩＣＯＩＬは、高電位線１８，２０上の電源１０，１２の電源出力電圧ＨＶＡ，ＨＶＢを実質的に等しい電圧に維持するために、第１マグネトロン１４の磁界及び第２マグネトロン１６の磁界を変更させる効果を有している。

１実施例において、バランサー回路３４は、更に、信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢを実質的に一定の電圧に維持する構成とさせることが可能である。バランサー回路３４は、更に、コイルドライバ４２，４４の夫々のコイルが反対方向に巻かれている場合には、等しい大きさであるが反対の極性のコイル駆動電流ＩＣＯＩＬでコイルドライバ４２，４４を駆動する構成とされている。その結果、第１マグネトロン１４の磁界と第２マグネトロン１６の磁界とは互いに対向する傾向となって、高電位線１８，２０上の電源１０，１２の信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢの間の電圧におけるいかなる差もゼロへ駆動する。第１電源１０は、更に、第１マグネトロン１４へ第１供給電流ＨＩＡを供給する構成とされており、且つ第２電源１２は、更に、第２マグネトロン１６へ第１供給電流ＨＩＡと実質的に等しい第２供給電流ＨＩＢを供給する構成とされていて、第１マグネトロン１４と第２マグネトロン１６との間に実質的に共通の動作点（即ち、電圧−電流特性）を維持している。

補助的パワーモジュール３８は、処理装置３６の制御下においてコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを供給する構成とされている。該処理装置は、一方、コイル駆動電流ＩＣＯＩＬを調節するためにバランサー回路３４の入力４６，４８上のエラー信号Ｖ＿Ｅｒｒｏｒを検知する構成とされている。エラー信号Ｖ＿Ｅｒｒｏｒは分圧器３０，３２の出力信号線５０，５２上に供給されて、高電位線１８，２０上の電源１０，１２の信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢの間の電圧の大きさにおける差を検知する。コイル駆動電流ＩＣＯＩＬは、第１電圧ＨＶＡと第２電圧ＨＶＢとの間の大きさにおける差の極性に対応する極性を有している。コイル駆動電流の大きさ及び極性は、処理装置３６が比例・積分・微分（ＰＩＤ）フィードバックループ又は比例・積分（ＰＩ）サーボループをシミュレートする構成とされている場合に、バランサー回路３４によってエラー信号Ｖ＿Ｅｒｒｏｒから派生される。

駆動電流ＩＣＯＩＬの大きさ及び極性は、高電位線１８，２０上の電源１０，１２の信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢの間の瞬間的電圧差及び高電位線１８，２０上の電源１０，１２の信号電圧ＨＶＡ，ＨＶＢの間の収束率に基づいている。

図２は第１マグネトロン１４及び第２マグネトロン１６を有するシステムへパワーを供給する方法２００の１実施例の１例を例示するフローチャートである。ブロック２０５において、バランサー回路３４が、第１マグネトロン１４へ磁気的に結合されている第１コイルドライバ４２へコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを供給する。ブロック２１０において、バランサー回路３４が、第１コイルドライバ４２へ電気的に結合されており且つ第２マグネトロン１６へ磁気的に結合されている第２コイルドライバ４４へコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを供給する。ブロック２１５において、バランサー回路３４は、第１電源１０によって第１マグネトロン１４へ供給される第１電圧ＨＶＡと第２電源１２によって第２マグネトロン１６へ供給される第２電圧ＨＶＢとを実質的に等しい電圧に維持するために、第１マグネトロン１４の磁界と第２マグネトロン１６の磁界とを変化させるために、第１コイルドライバ４２及び第２コイルドライバ４４へのコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを調節する。実質的に等しいとは、第１電圧ＨＶＡと第２電圧ＨＶＢと間の電圧差が約±１０Ｖ以下であるものと定義される。

該実質的に等しい電圧は実質的に一定の電圧である場合がある。第１電圧ＨＶＡと第２電圧ＨＶＢとを実質的に等しい電圧に維持させるために、第１マグネトロン１４の磁界と第２マグネトロン１６の磁界とを、夫々、反対方向に調節させるために、コイル駆動電流ＩＣＯＩＬは第１コイルドライバ４２を付勢させることが可能であり且つコイル駆動電流ＩＣＯＩＬは第２コイルドライバ４４を付勢させることが可能である。

第１マグネトロン１４及び第２マグネトロン１６へ供給されるコイル駆動電流ＩＣＯＩＬは、同じ大きさであるが極性が反対のものとすることが可能である。第１マグネトロン１４と第２マグネトロン１６との間に実質的に共通の動作点を維持するために、第１電源１０は、更に、第１供給電流ＨＩＡを第１マグネトロン１４へ供給する構成とすることが可能であり、且つ第２電源１２は、更に、該第１供給電流ＨＩＡと実質的に等しい第２供給電流ＨＩＢを第２マグネトロン１６へ供給する構成とすることが可能である。

バランサー回路３４によって供給されるコイル駆動電流ＩＣＯＩＬは、例えば、第１電源１０によって第１マグネトロン１４へ供給される第１電圧ＨＶＡと第２電源１２によって第２マグネトロンへ供給される第２電圧ＨＶＢとの間の電圧の大きさにおける差を検知することに基づくエラー信号Ｖ＿ｅｒｒｏｒに基づいて調節することが可能である。１実施例において、バランサー回路３４は、第１電圧ＨＶＡと第２電圧ＨＶＢとの間の瞬間的電圧差及び第１電圧ＨＶＡと第２電圧ＨＶＢとの間の収束率を決定することに基づいて、コイル駆動電流ＩＣＯＩＬを調節することが可能である。

より詳細に説明すると、１実施例において、図１のシステム１００の処理装置３６を動作させるためのソフトウエア制御は、２個のマグネトロンへ夫々印加される動作アノード電圧ＨＶＡ，ＨＶＢを継続的にサンプルする駆動サブルーチンを使用することが可能である。該駆動サブルーチンは、実質的に何時も且つ実質的に全ての動作条件下において２つの電圧ＨＶＡ，ＨＶＢのバランスを達成するために特定の方向においてコイルドライバ４２，４４に対して適切な量のコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを供給すべく処理装置３６を動作させることが可能である。

システム開始時において、２つのマグネトロン電圧ＨＶＡ，ＨＶＢをサンプルすることが可能である。これら２つのマグネトロン電圧ＨＶＡ，ＨＶＢが、或る数の最も最近のサンプリング期間に亘っての変動のピーク電圧の大きさ（例えば、最後の５個のサンプリング期間においての変動の１００Ｖ（ボルト））未満内においてそれらの夫々のピーク動作レベルに到達した場合に、バランス用電流ルーチンが開始する。モニター中のマグネトロン電圧における差Ｖ＿ｅｒｒｏｒが計算される。処理装置３６からのコマンドで補助的パワーモジュール３８の出力電流ＩＣＯＩＬが制御されて、電流の大きさが０Ａ乃至±３Ａの範囲内で変化される。補助的パワーモジュール３８の電流の大きさ及び極性がプログラム制御下で調節されて２つの電圧ＨＶＡ，ＨＶＢをバランスさせる。補助的パワーモジュール３８の電流の大きさの極性は、モニターされる如く、Ｖ＿ｅｒｒｏｒの電圧における正の差に対して正とし、その逆も又真とさせることが可能である。

バランスさせるプロセス期間中の任意の時刻におけるコイルドライバ４２，４４へ印加されるべき電流の適宜の量は、瞬間的な電圧差Ｖ＿ｅｒｒｏｒ及び２つの電圧ＨＶＡ，ＨＶＢの間の収束率の両方に依存する。それは、最少量の振動で制御された態様でその差がゼロへ減少するようなレベルで供給されるべきである。このことは、比例・積分・微分（ＰＩＤ）フィードバック又は比例・積分（ＰＩ）フィードバック等の一般的に既知のフィードバック制御技術によって達成される。１例においては、２つの電圧の平均の１％差へのセトリング時間は、例えば、１００ミリ秒を目標とすべきである。１例においては、これら２個のマグネトロン１４，１６の間の電圧差のバランス用精度は１０Ｖ以下に維持されるべきである。

このプロセスは、ウオームアップ、安定化、及び動作変化に対する動的応答を含む活性動作の全期間の期間中にわたり、２個のマグネトロン間のバランスを維持するために、進行中のネスト型ループにおいて、アップデートされた電圧差値及び対応する駆動電流でもって、リアルタイムで継続的に繰り返し行うことが可能である。

所要の定常状態コイル駆動電流の近似的な量は、マグネトロン１４，１６の間の種々の電圧差に対して確立されており、それについて以下に説明する。図３は、従来のマグネトロン電圧−コイル電流を例示したグラフである。このグラフにおいて、動作アノード電圧は、コイル駆動無しで、８４０ｍＡにおいて約４．４５ｋＶである。このマグネトロン電圧は、異なるマグネトロン電流レベルと共に変化する場合がある。その他のマグネトロンは幾分異なる電圧で動作する場合がある。

コイル電流に対する電圧の利得は約１００Ｖ／Ａであり、それはマグネトロンの製造公差と共に幾分異なる場合がある。２個の駆動コイル４２，４４は方向が反対であるが同じ電流で駆動されるので、図３に従えば、１Ａの駆動コイル電流は、２００Ｖの動作電圧の差がある２個のマグネトロンを同一の動作電圧とさせることが可能である。その差が小さければ小さいほど、マグネトロン動作電圧ＨＶＡ，ＨＶＢを許容可能な公差内とさせるのに必要な電流の量は一層小さい。所要のコイル駆動電流の大きさ及び極性は、動作点が異なる毎に異なる場合がある。何故ならば、２個のマグネトロン１４，１６のＶ−Ｉ特性曲線の電流状態に依存して、動作温度が時間と共に変化するか又は動作パラメータが時間と共に変化するからである。

処理装置３６内に実現されているサーボループサブルーチンの制御速度及び過渡的応答は経験的なテストで最適化させることが可能である。選択した初期のコイル駆動電流ＩＣＯＩＬを処理装置３６内にプログラムさせることが可能である。コイル駆動電流が印加されていない場合に、動作中の一対のマグネトロン１４，１６の間の初期電圧差に対応する最終値へ電流振幅において増分的な変化によってリアルタイムで収束を達成させることが可能である。与えられた電圧差Ｖ＿ｅｒｒｏｒに対する開始駆動コイル電流を選択するためにルックアップテーブルを使用することが可能である。このルックアップテーブルは、参照点としてのみ使用することが可能である。何故ならば、該テーブルは、マグネトロン動作パラメータ及び寿命までの使用にわたってのそれらの変動と共にある程度変化する場合があるからである。モニター中のマグネトロン電圧差がゼロとなる場合に、最終的なＤＣ電流値に到達することが可能である。プログラムされるべきコイル駆動電流における増分変化の量は、コイル駆動電流のセトリング速度及び過渡的応答を決定する或る与えられた収束率に対応する場合がある。

２個のマグネトロンの間のバランスを達成して或る動作点とするために或る量の公称駆動電流が決定された後に、該サブルーチンは、アップデートされた電圧をモニターし且つ新たなエラー電圧Ｖ＿ｅｒｒｏｒを計算することを継続して行うことが可能である。Ｖ＿ｅｒｒｏｒは、変化する動作条件と共に発生するＶ＿ｅｒｒｏｒにおける全ての新たな変化に対してコイル駆動電流を更に補正するために使用することが可能である。例えば、マグネトロン電圧差は、マグネトロンがウオームアップする場合に再度表れる場合がある。別の例は、ユーザによって動作中のマグネトロン電流レベルが変えられる場合があり、その場合には、マグネトロン電圧差が表れる場合がある。その場合には、その変化後のバランスを回復させるために、コイル駆動電流を再調節させる場合がある。

１例においては、一対のマグネトロン１４，１６に対する入力電圧ＨＶＡ，ＨＶＢをモニターする場合がある。該ルーチンは、完全な動作電圧ＨＶＡ，ＨＶＢが確立（例えば、互いに公差内）されるまで、或る時間期間の最大（例えば、６０秒）に到達するまで待機する。電圧ＨＶＡ，ＨＶＢが未だに安定でない場合には、該バランス用の計算はそれでも開始される。従って、２個のマグネトロン１４，１６の間の電圧差Ｖ＿ｅｒｒｏｒは以下の如くに計算される。

ほぼＶ＿ｅｒｒｏｒの２００Ｖ毎に、バランサーコイル駆動電流（ＩＯＵＴ＿ＢＡＬＡＮＣＥＲ）は約＋１Ａ又は−１Ａ（符号付の値）にセットさせることが可能である。Ｖ＿ｅｒｒｏｒを絶対値において下方へ調節するためには、以下の計算を実施することが可能である。

バランスさせるために必要な電流＝１０００ｍＡ／２００Ｖ＝５ｍＡ／Ｖ
Ｖ＿ｅｒｒｏｒエラー割合（Ｖ＿Ｅｒｒｏｒ＿Ｐ）＝（Ｖ＿ｅｒｒｏｒ／８）
出力電流の新たな計算（Ｉ＿Ｏｕｔ＿Ｎｅｗ）＝（Ｖ＿Ｅｒｒｏｒ＿Ｐ）×５ｍＡ／Ｖ
処理装置３６へ書くべき最終的な出力電流は、
ＩＯＵＴ＿ＢＡＬＡＮＣＥＲ＝（Ｉ＿Ｏｕｔ＿Ｏｌｄ）＋（Ｉ＿Ｏｕｔ＿Ｎｅｗ）
である。

ＩＯＵＴ＿ＢＡＬＡＮＣＥＲの各最終計算の後に、それは次の計算のためのＩ＿Ｏｕｔ＿Ｏｌｄとして保存することが可能である。

理解すべきことであるが、該例示的な実施例は本発明の単に例示的なものであり、且つ上述した実施例の多くの変形例は本発明の範囲を逸脱すること無しに当業者によって想起され得るものである。従って、全てのこの様な変形例は特許請求の範囲及びそれらの均等物の範囲内に包含されることが意図されている。

１０、１２：電源
１４，１６：マグネトロン
１８，２０：高電位線
２２，２４：フィラメント
２６，２８：フィラメント変圧器
３０，３２：分圧器
３６：処理装置
３８：補助的パワーモジュール
４２，４４：コイルドライバ
５０，５２：信号線
１００：パワー供給システム

Claims (16)

1. 第１電圧を供給する第１電源、
   第２電圧を供給する第２電源、
   該第１電源によってパワーを供給すべき第１マグネトロン、
   該第２電源によってパワーを供給すべき第２マグネトロン、
   該第１電圧と該第２電圧とを実質的に等しい電圧に維持するため該第１マグネトロンの磁界及び該第２マグネトロンの磁界を変化させるための駆動電流を制御するバランサー回路、
   該バランサー回路へ電気的に結合されており且つ該第１マグネトロンへ磁気的に結合されている第１コイルドライバ、
   該第１コイルドライバへ電気的に結合されており且つ該第２マグネトロンへ磁気的に結合されている第２コイルドライバ、
   を有しており、該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバが該駆動電流を受け取り且つ該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバが電気的に直列に結合されているシステム。
2. 該第１電圧及び該第２電圧が各々実質的に一定の電圧を有している請求項１記載のシステム。
3. 該第１電源が、更に、該第１マグネトロンへ第１供給電流を供給し、且つ該第２電源が、更に、該第２マグネトロンへ該第１供給電流に実質的に等しい第２供給電流を供給して該第１マグネトロンと該第２マグネトロンとの間に実質的に共通の動作点を維持する請求項１又は２記載のシステム。
4. 該駆動電流が該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバを付勢して該第１マグネトロンの磁界及び該第２マグネトロンの磁界を夫々反対方向に調節して該第１電圧及び該第２電圧を実質的に等しい電圧に維持する請求項１記載のシステム。
5. 該バランサー回路が、更に、該駆動電流を供給するための補助的電源を有している請求項１乃至４の内のいずれか１項記載のシステム。
6. 該第１電圧を検知するために該第１電源と信号通信状態にあり且つ該第２電圧を検知するために該第２電源と信号通信状態にある処理装置を更に有している請求項５記載のシステム。
7. 該処理装置がデジタル信号プロセッサを有している請求項６記載のシステム。
8. 該処理装置によって実現されている比例・積分・微分（ＰＩＤ）フィードバックループ又は比例・積分（ＰＩ）サーボループの出力に基づいて該駆動電流を調節するために該処理装置が該補助的電源へエラー信号を供給する請求項６又は７記載のシステム。
9. 該処理装置は該第１電圧と該第２電圧との間の電圧の大きさにおける差を検知する請求項６乃至８の内のいずれか１項記載のシステム。
10. 該駆動電流が該第１電圧と該第２電圧との間の大きさにおける差の極性に対応する極性を有している請求項１乃至９の内のいずれか１項記載のシステム。
11. 該駆動電流の大きさが、該第１電圧と該第２電圧との間の瞬間的電圧差及び該第１電圧と該第２電圧との間の収束率に基づいている請求項１乃至１０の内のいずれか１項記載のシステム。
12. 第１マグネトロンと第２マグネトロンとを具備するシステムへパワーを供給する方法において、
    該第１マグネトロンへ磁気的に結合されている第１コイルドライバへ及び該第１コイルドライバへ電気的に結合されており且つ該第２マグネトロンへ磁気的に結合されている第２コイルドライバへ駆動電流を供給し、
    第１電源によって該第１マグネトロンへ供給される第１電圧と第２電源によって該第２マグネトロンへ供給される第２電圧とを実質的に等しい電圧に維持するため該第１マグネトロンの磁界と該第２マグネトロンの磁界とを変化させるため該第１コイルドライバ及び該第２コイルドライバへの該駆動電流を調節し、
    該第１マグネトロンへ供給される第１電圧と該第２マグネトロンへ供給される第２電圧との間の電圧の大きさにおける差を有しているエラー信号に基づいて該駆動電流を調節する、
    ことを包含している方法。
13. 該駆動電流が該第１コイルドライバを付勢し且つ該駆動電流が該第２コイルドライバを付勢して、該第１マグネトロンの磁界と該第２マグネトロンの磁界とを夫々反対方向に調節して、該第１電圧と該第２電圧とを実質的に等しい電圧に維持する請求項１２記載の方法。
14. 該実質的に等しい電圧を実質的に一定の電圧に維持することを更に包含している請求項１２又は１３記載の方法。
15. 該第１電源が該第１マグネトロンへ第１供給電流を供給し、且つ該第２電源が該第２マグネトロンへ該第１供給電流と実質的に等しい第２供給電流を供給して、該第１マグネトロンと該第２マグネトロンとの間に実質的に共通の動作点を維持する請求項１２乃至１４の内のいずれか１項記載の方法。
16. 該駆動電流を調節することが、該第１電圧と該第２電圧との間の瞬間的電圧差、及び該第１電圧と該第２電圧との間の収束率、を決定することを包含している請求項１２乃至１５の内のいずれか１項記載の方法。