JP6412695B2 - 液晶表示装置の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
薄膜トランジスタが形成された第1基板を準備する第1工程と、
前記第1基板上に光配向膜を形成する第2工程と、
前記光配向膜に棒状UVランプから放射された紫外線を照射して前記光配向膜を配向する第3工程と、
前記第1基板と第2基板との間に前記液晶層を挟持する第4工程と、を有し、
前記第1基板の相対的な進行方向に対して交差する方向に長く延びて配置された前記棒状UVランプの中心部下部領域を通過する前記第1基板の第1領域と端部領域を通過する前記第1基板の第2領域における前記紫外線の露光量を均一とするために、前記紫外線の照射領域を規定するアパーチャーにおいて、前記第1領域と前記第2領域に対応する領域での開口幅が異なる、又は前記第1領域と前記第2領域に対応する領域での紫外線透過率が異なることを特徴とする液晶表示装置の製造方法とする。
棒状UVランプと、
前記棒状UVランプから放射された紫外線の照射領域を規定するアパーチャーと、
前記棒状UVランプの長手方向に対して垂直方向に移動可能なスキャンステージと、を有し、
前記アパーチャーは、前記スキャンステージに載せられる基板の進行方向に対して交差する方向に長く延びて配置された前記棒状UVランプの中心部下部領域を通過する前記基板の第1領域と端部領域を通過する前記基板の第2領域における前記紫外線の露光量を均一とするために、前記第1領域と前記第2領域に対応する領域での開口幅が異なる、又は前記第1領域と前記第2領域に対応する領域での紫外線透過率が異なることを特徴とする製造装置とする。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等につて模式的に表わされる場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
Claims (10)
- 光配向膜の配向に用いる液晶表示装置の製造装置であって、
棒状UVランプと、
前記棒状UVランプのUV光のうち直線偏光光を通過させる偏光子と、
前記直線偏光光の照射領域を規定するアパーチャーと、
前記棒状UVランプの長手方向に対して垂直方向に移動可能なスキャンステージと、を有し、
前記アパーチャーは、1つの前記棒状UVランプに対して1つの開口部が対応するものであり、
前記アパーチャーは枠部と開口部を有し、
前記開口部は、前記UVランプの長手方向と前記長手方向と直角方向に端部を有し、
前記スキャンステージに載せられる基板の進行方向に対して交差する方向に長く延びて配置された前記棒状UVランプの中心部の第1領域と端部領域の第2領域において、前記開口部は、前記基板の進行方向において、前記第1領域に重なる中心部よりも前記第2領域に重なる前記端部での開口幅が大きいことを特徴とする製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記第1領域と前記第2領域とでの露光量のばらつきが±5%以内であることを特徴とする製造装置。 - 光配向膜の配向に用いる液晶表示装置の製造装置であって、
棒状UVランプと、
前記棒状UVランプから放射された紫外線の照射領域を規定するアパーチャーと、
前記棒状UVランプの長手方向に対して垂直方向に移動可能なスキャンステージと、を有し、
前記アパーチャーは枠部と開口部を有し、
前記スキャンステージに載せられる基板の進行方向に対して交差する方向に長く延びて配置された前記棒状UVランプの中心部の第1領域と端部領域の第2領域において、前記アパーチャーの前記開口部は、前記棒状UVランプの長手方向において、前記第1領域に重なる中心部よりも前記第2領域に重なる端部での紫外線透過率が大きな構成であり、
前記アパーチャーの前記中心部は紫外線透過率を抑える部材が配置されていることを特徴とする製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記アパーチャーは、前記開口幅の狭い部分と前記開口幅の広い部分との間は前記開口幅の狭い部分から前記開口幅の広い部分へ向けて次第に幅が広くなるようにテーパー形状となっていることを特徴とする製造装置。 - 請求項1記載の製造装置において、
前記基板は、前記棒状UVランプの長手方向に複数の表示パネル領域を有することを特徴とする製造装置。 - 基板間に液晶層が挟持された表示パネルを備えた液晶表示装置の製造方法であって、
薄膜トランジスタが形成された第1基板を準備する第1工程と、
前記第1基板上に光配向膜を形成する第2工程と、
前記光配向膜に棒状UVランプから放射された紫外線を照射して前記光配向膜を配向する第3工程と、
前記第1基板と第2基板との間に前記液晶層を挟持する第4工程と、を有し、
前記第1基板の相対的な進行方向に対して交差する方向に長く延びて配置された前記棒状UVランプの中心部下部領域を通過する前記第1基板の第1領域と端部領域を通過する前記第1基板の第2領域における前記紫外線の露光量を均一とするために、前記紫外線の照射領域を規定するアパーチャーにおいて、
前記アパーチャーは枠部と開口部を有し、
前記アパーチャーは、1つの前記棒状UVランプに対して1つの開口部が対応するものであり、
前記開口部は、前記UVランプの長手方向と前記長手方向と直角方向に端部を有し、前記開口部において、
前記第1領域と前記第2領域に対応する領域での開口幅が前記第1領域に対応する中央開口部よりも前記第2領域に対応する端部開口部で大きく、
前記中央開口部から前記端部開口部へ次第に幅が広くなるようにテーパ―開口部を有し、
前記紫外線の露光強度は、前記テーパ部にて徐々に減少を始め、前記テーパ部における第2露光強度は前記中央開口部における第1露光強度よりも小さく、前記端部開口部における第3露光強度よりも大きく、
前記紫外線による露光領域を、前記テーパ部及び前記端部開口部が前記中央開口部と同一の幅を有している場合に比べ、前記テーパ部及び前記端部に対応する露光量を増大させることにより、前記棒状UVランプの長手方向において広げていることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記露光量の均一とは、ばらつきが±5%以内であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記第1基板に照射される前記紫外線は、直線偏光光であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記第1基板は、前記棒状UVランプの長手方向に複数の表示パネル領域を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記第2基板は、前記棒状UVランプの長手方向において、中央開口部よりも端部開口部で開口幅の大きなアパーチャーを介して紫外線が照射された光配向膜を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014022202A JP6412695B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 液晶表示装置の製造方法および製造装置 |
US14/613,527 US9785014B2 (en) | 2014-02-07 | 2015-02-04 | Manufacturing method and manufacturing apparatus of liquid crystal display device |
CN201510060923.0A CN104834129B (zh) | 2014-02-07 | 2015-02-05 | 液晶显示装置的制造方法和制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014022202A JP6412695B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 液晶表示装置の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015148748A JP2015148748A (ja) | 2015-08-20 |
JP6412695B2 true JP6412695B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=53774827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014022202A Active JP6412695B2 (ja) | 2014-02-07 | 2014-02-07 | 液晶表示装置の製造方法および製造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9785014B2 (ja) |
JP (1) | JP6412695B2 (ja) |
CN (1) | CN104834129B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6607003B2 (ja) * | 2015-11-30 | 2019-11-20 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置および光照射方法 |
US11175538B2 (en) * | 2017-08-22 | 2021-11-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display panel |
CN110888267B (zh) * | 2019-11-26 | 2020-12-08 | Tcl华星光电技术有限公司 | 液晶配向装置及其操作方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0624670B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1994-04-06 | 株式会社オーク製作所 | 紫外線光源装置 |
JPH11352481A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Toshiba Corp | 配向処理方法 |
EP1353217A1 (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | JSR Corporation | Optical alignment method and liquid crystal display element |
JP4063042B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2008-03-19 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置 |
JP4892859B2 (ja) * | 2005-04-20 | 2012-03-07 | ウシオ電機株式会社 | 偏光光照射装置 |
JP2010096795A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置 |
US9041993B2 (en) * | 2010-07-26 | 2015-05-26 | Lg Chem, Ltd. | Mask |
JP5205498B2 (ja) * | 2011-08-08 | 2013-06-05 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 光照射装置 |
CN103782230B (zh) * | 2011-08-29 | 2017-03-01 | 夏普株式会社 | 液晶显示装置的制造方法 |
WO2013031462A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
US9140979B2 (en) * | 2011-12-01 | 2015-09-22 | Lg Chem, Ltd. | Mask |
-
2014
- 2014-02-07 JP JP2014022202A patent/JP6412695B2/ja active Active
-
2015
- 2015-02-04 US US14/613,527 patent/US9785014B2/en active Active
- 2015-02-05 CN CN201510060923.0A patent/CN104834129B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015148748A (ja) | 2015-08-20 |
US9785014B2 (en) | 2017-10-10 |
US20150227006A1 (en) | 2015-08-13 |
CN104834129A (zh) | 2015-08-12 |
CN104834129B (zh) | 2018-06-15 |
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