JP6411146B2 - 駆動機構及びそれを利用した機械装置 - Google Patents

Description

本発明は、駆動機構及びそれを利用した機械装置に関し、更に具体的には、出力軸の回転とその軸方向への進退を単一の駆動源で行う駆動機構と、それを利用した機械装置に関するものである。

移動部材を前進、回転、後退というように、移動部材の進退動及び回転を行うものとして、例えば、下記特許文献１に記載のマシニングセンタのツール交換装置がある。当該技術によれば、マシニングセンタのツール交換装置は、油圧モータなどの回動手段により回動される駆動ギヤ及び被動ギヤと、前記被動ギヤと共に回転し、その外周に形成された第１及び第２傾斜溝を有する第１円筒カムと、前記第１円筒カムの外周に配置され、かつ、フレームに固定設置され、水平及び垂直スロットを有する第２円筒カムと、前記第１円筒カムのカム溝である第１および第２傾斜溝に沿って移動すると共に、第２円筒カムのカムスロットである水平及び垂直スロットを貫通している状態に案内されるピンと、前記ピンに固定された前進、反転、後進を共にし、先端部にクランプ手段が設けられた移動部材とを含んでなることが開示されている。

特開平８−１９７３６２号公報

前記特許文献１に記載の技術では、クランプ手段を前進移動させて、前進移動されたクランプ手段を１８０°反転させた後、再び後進移動させる作用を単一駆動源で行えるようにしており、構造が簡単になる。しかしながら、前記特許文献１に記載の技術では、前記ピンが、円筒状の第２円筒カムを貫通しているため、強度が弱くなるという課題がある。また、前記第２円筒カムに形成する水平スロットを、該第２円筒カムの全周にわたって形成することができないため、前記移動部材を回転できる範囲が１８０°を大きく上回ることはなく、ツール交換装置以外の機械装置全般に広く適用することができない。

本発明は、以上の点に着目したもので、出力軸の回転とその軸方向への進退を、単一の駆動源で行うにあたり、強度が高く、回転範囲に制限がない駆動機構を提供することを、その目的とする。他の目的は、前記駆動機構を利用した機械装置を提供することである。

本発明は、略円筒状又は略円柱状の第１の軸部材と、該第１の軸部材の外周に配置され、該第１の軸部材に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第２の軸部材と、該第２の軸部材の外周に配置され、該第２の軸部材に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第３の軸部材と、前記第１の軸部材の外周面又は前記第２の軸部材の内周面のいずれか一方の面に形成された断面略円弧状の第１のボール溝と、該第１のボール溝に沿って移動可能であって、前記第１の軸部材の外周面又は前記第２の軸部材の内周面のいずれか他方の面に支持された略球状の第１のボール体と、前記第２の軸部材の外周面又は前記第３の軸部材の内周面のいずれか一方の面に形成された断面略円弧状の第２のボール溝と、該第２のボール溝に沿って移動可能であって、前記第２の軸部材の外周面又は前記第３の軸部材の内周面のいずれか他方の面に支持された略球状の第２のボール体と、前記第１〜第３の軸部材のいずれか一つを駆動軸として回転させる回転機構と、を備えた駆動機構であって、前記駆動軸以外の軸部材のうちの一方の軸部材を出力軸とし、他方の軸部材をガイド軸としたときに、前記ガイド軸をフレームに固定したことを特徴とする。

主要な形態の一つは、前記第１の軸部材又は第３の軸部材の一方を前記駆動軸とし、前記第１の軸部材又は第３の軸部材の他方を前記ガイド軸とし、前記第２の軸部材を出力軸として、前記駆動軸を回転可能に支持するフレームに、前記ガイド軸を固定したことを特徴とする。他の形態の一つは、前記第１のボール溝又は前記第２のボール溝の一方が、前記出力軸の軸方向への進退をガイドする形状であり、前記第１のボール溝又は前記第２のボール溝の他方が、前記出力軸の回転をガイドする形状であることを特徴とする。更に他の形態の一つは、前記第１のボール溝が、略Ｖ字状であり、前記第２のボール溝が、略コ字であることを特徴とする。

本発明の機械装置は、前記いずれかに記載の駆動機構と、前記出力軸に固定された被駆動部材と、を備えたことを特徴とする。主要な形態の一つは、前記被駆動部材が、工具ないしパレットを交換するための交換アーム、であることを特徴とする。本発明の前記及び他の目的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。

本発明によれば、第１の軸部材と、その外周に対して相対的にスライド可能な第２の軸部材と、該第２の軸部材の外周に対して相対的にスライド可能な第３の軸部材と、前記第１の軸部材と第２の軸部材の間に形成された第１のボール溝及びそれに沿って移動する第１のボール体と、前記第２の軸部材と第３の軸部材の間に形成された第２のボール溝及びそれに沿って移動する第２のボール体を設ける。そして、前記第１〜第３のいずれかの軸部材を駆動軸として回転機構により回転し、駆動軸以外の軸部材の一方をガイド軸としてフレームに固定することとした。すなわち、第１及び第２のボール溝が軸部材を貫通しないため、剛性が高く強度を維持しながら、出力軸の回転と軸方向への進退動が単一の駆動源により可能となる。また、ボール溝が軸部材を貫通しないため、軸部材の全周にボール溝を形成することができ、回転範囲に制限がなく、各種の機械装置の駆動機構に適用できるという効果がある。

本発明の実施例１のＡＴＣの駆動機構を示す断面図である。 前記図１を矢印Ｆ２方向から見た平面図である。 前記実施例１の作用を示す図である。 前記実施例１の作用を示す図である。 本発明の駆動機構の他の例を示す断面図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。

最初に、図１〜図４を参照しながら本発明の実施例１を説明する。図１は、本実施例の駆動機構を示す断面図，図２は、前記図１を矢印Ｆ２方向から見た平面図である。図３及び図４は本実施例の作用を示す図である。本発明の駆動機構は、出力軸の回転と、その軸方向への進退動を単一の駆動源で行うものであり、このような回転と進退動の動作を行う機械装置全般に適用可能である。本実施例は、マシニングセンタのＡＴＣ（Auto tool changer：自動工具交換装置ないしツール交換装置）に本発明の駆動機構を用いた例であって、前記ＡＴＣのアームの進退及び旋回を行うことができる。

図１及び図２に示すように、本実施例のツール交換装置１０は、工具を把持して搬送するアーム１２と、該アーム１２を旋回及び昇降させる駆動機構により構成されている。前記駆動機構は、略円柱状の第１軸部材３０と、その外周に配置され、前記第１軸部材３０に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第２軸部材５０と、該第２軸部材５０の外周に配置され、該第２軸部材５０に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第３軸部材７０からなる３重の軸構造を中心に構成されている。前記第１軸部材３０，第２軸部材５０，第３軸部材７０からなる軸構造は、フレーム２０によって支持されている。前記フレーム２０には、図２に示すようにモータ２２が取り付けられている。該モータ２２としては、例えば、サーボモータが用いられる。前記モータ２２の回転軸２４には、図２に示すようにウォーム２６が設けられており、該ウォーム２６の先端は、前記フレーム２０の内側にベアリング２８によって回転可能に支持されている。

前記第１軸部材３０は、本実施例では、略円柱状であって、略中央部分と一方の端部３０Ａ側が、図１に示すように、ベアリング３８，４０等によって、前記フレーム２０に対して回転可能に支持されている。また、前記端部３０Ａ側には、前記ウォーム２６と噛み合う溝３４を有するウォームホイール３２がボルト３６等によって固定されている。従って、前記モータ２２を駆動すると、回転軸２４，ウォーム２６，ウォームホイール３２を介して、回転が前記第１軸部材３０に伝達する。該第１軸部材３０の外周面３０Ｂには、図１，図３，図４に示すように、正面視において略Ｖ字状のボール溝４２が形成されている。該ボール溝４２は、図２に示すように断面略円弧状であって、一方の端部４２Ａから他方の端部４２Ｃまで、前記第１軸部材３０の外周面３０Ｂをほぼ半周するように形成されている。なお、図示の例では、略Ｖ字の頂部４２Ｂが上になるように形成されている。前記第１軸部材３０は、前記フレーム２０に対して回転可能であるが昇降は行わない。本実施例では、該第１軸部材３０が、駆動軸（ないし入力軸）である。

次に、前記第２軸部材５０は、前記第１軸部材３０の外周面３０Ｂに沿ってスライド可能な略円筒状であって、上端の開口部にはカバー５２が設けられている。該第２軸部材５０の内周面５０Ａからは、前記第１軸部材３０のボール溝４２に沿って移動するボール６０が突出している。該ボール６０は、例えば、前記第２軸部材５０の下側に設けられた凹部５４に、断面略円弧状の曲面５６Ａを有する保持部材５６を設け、該保持部材５６によって吸着することで保持される。例えば、前記ボール６０を剛球とし、前記保持部材５６を磁性材料で形成することによって吸着保持が可能となる。また、前記曲面５６Ａと前記ボール６０の間には、該ボール６０を回転可能に受けるための小球５８が設けられている。

前記第２軸部材５０の外周面５０Ｂには、図３及び図４に示すように、正面視ないし背面視において略コ字状のボール溝６２が形成されている。該ボール溝６２も、図２に示すように断面略円弧状であって、前記第２軸部材５０を貫通せずに形成されている。前記ボール溝６２は、該第２軸部材５０の軸方向に形成された一対の溝部６４，６８と、周方向に形成された溝部６６を有している。該溝部６６は、前記外周面５０Ｂのほぼ半周にわたって形成されている。図示の例では、前記溝部６８の下方に、前記保持部材５６が配置されている。このような第２軸部材５０の上端には、前記アーム１２がボルト１４等により取り付けられる。本実施例では、前記第２軸部材５０が出力軸となる。

次に、前記第３軸部材７０は、前記第２軸部材５０の外周面５０Ｂに沿ってスライド可能な略円筒状であって、上端は解放し、下端側のフランジ部７２が、ボルト７４等によって前記フレーム２０に固定されている。該第３軸部材７０の内周面７０Ａからは、前記第２軸部材５０のボール溝６２に沿って移動するボール９０が突出している。該ボール９０は、例えば、前記第３軸部材７０の上側に設けられた凹部７６に、断面略円弧状の曲面７８Ａを有する保持部材７８を設け、該保持部材７８によって吸着することで保持される。例えば、前記ボール９０を剛球とし、前記保持部材７８を磁性材料で形成することによって吸着保持が可能となる。また、前記曲面７８Ａと前記ボール９０の間には、該ボール９０を回転可能に受けるための小球８０が設けられている。本実施例では、該第３軸部材７０がガイド軸（固定軸）となる。

次に、図３及び図４も参照しながら、本実施例の作用を説明する。図３(A-1)，(B-1)，(C-1)，図４(A-1)，(B-1)は断面図であり、これらの図に対応するボール溝４２，６２と、ボール６０，９０の位置関係を模式的に示したものが図３(A-2)，(B-2)，(C-2)，図４(A-2)，(B-2)である。なお、前記図３(A-2)，(B-2)，(C-2)，図４(A-2)，(B-2)では、２つのボール６０，９０を重ねて示しているため、ボール溝４２，６２の上下の位置が実際とは逆に示されている。

本実施例のツール交換装置１０でツールを交換するときには、前記アーム１２を上昇させ、１８０°旋回させたのちに下降する。次に、前記アーム１２を上昇させ、先と逆方向に１８０°旋回させた後に再び下降する。このような動作の繰り返しにより、必要に応じて工具を交換することができるが、該交換動作自体は公知であるため、詳細は省略する。まず、図３(A-1)に示すようにボール６０がボール溝４２の端部４２Ａに位置しており、ボール９０がボール溝６２の溝部６４の端部６４Ａに位置している。この状態で、前記モータ２２を駆動すると、回転軸２４，ウォーム２６，ウォームホイール３２を介して第１軸部材３０に回転が伝達される。このとき、前記ボール６０は、ボール溝４２に沿って前記端部４２Ａから頂部４２Ｂへ向けて移動するが、他方のボール９０が、軸方向に形成された溝部６４内に位置しているため、第２軸部材５０は回転が規制され、軸方向へのみスライドする。すなわち、図３(A-2)から図３(B-2)に示すようにボール溝４２，６２の位置関係が遷移することで、図３(B-2)に示すように、第２軸部材５０は、ボール６０がボール溝４２の頂部４２Ｂに達し、ボール９０がボール溝６２の溝部６６の端部６６Ａに達するまで上昇する（図３(B-1)参照）。

この状態で更にモータ２２による回転を継続すると、前記ボール６０は、前記ボール溝４２の頂部４２Ｂから他方の端部４２Ｃに向けて移動しようとするが、他方のボール９０が前記ボール溝６２の周方向に形成された溝部６６に係合しているため、第２軸部材５０の下降は規制され、ボール９０が前記溝部６６の一方の端部６６Ａから他方の端部６６Ｂに沿って移動する間は、回転のみ行うことになる。図３(C-1)及び(C-2)に示す状態は、図３(A-1)に示す初期位置から第２軸部材５０が９０°回転した状態，図４(A-1)及び(A-2)に示す状態は、前記初期位置から１８０°回転した状態を示す。

前記図４(A-1)及び(A-2)に示すように、ボール９０が前記溝部６６の端部６６Ｂに達するまで第２軸部材５０が回転した後も、前記モータ２２による回転を継続すると、前記ボール６０は、前記ボール溝４２の頂部４２Ｂから端部４２Ｃに向けて移動するが、他方のボール９０が軸方向に形成された溝部６８に位置しているため、第２回転部材５０は回転が規制され、軸方向へのみスライドする。すなわち、図４(A-2)から図４(B-2)に示すようにボール溝４２，６２の位置関係が遷移することで、第２軸部材５０は、ボール６０がボール溝４２の端部４２Ｃに達し、他方のボール９０がボール溝６２の溝部６８の端部６８Ａに達するまで下降する（図４(B-1)）。以上の動作により、出力軸である第２軸部材５０に取り付けられたアーム１２の上昇→１８０°回転→下降、の動作が行われる。その後は、モータ２２を逆回転させることにより、アーム１２が上昇→１８０°回転（反転）→下降の動作を行うことができる。

このように、実施例１によれば、第１軸部材３０と、その外周面３０Ｂに対して相対的にスライド可能な第２軸部材５０と、その外周面５０Ｂに対して相対的にスライド可能な第３軸部材７０によって軸構造を構成し、前記外周面３０Ｂに形成されたボール溝４２とそれに沿って移動するボール６０と、前記外周面５０Ｂに形成されたボール溝６２とそれに沿って移動するボール９０を設ける。そして、前記第１軸部材３０を駆動軸としてモータ２２により回転し、第３軸部材７０をガイド軸としてフレーム２０に固定することとした。このため、前記ボール溝４２，６２とボール６０，９０の係合によって、出力軸の回転と軸方向への進退動が可能となる。その際、前記ボール溝４２，６２が、これらが形成されている軸部材を貫通しないため、剛性が高く強度を維持できるという効果がある。また、駆動軸をモータ２２で回転させているため、運動特性を制御できる。

次に、図５を参照しながら本発明の実施例２を説明する。なお、上述した実施例１と同一ないし対応する構成要素には同一の符号を用いることとする。上述した実施例１は、中心の第１軸部材３０を駆動軸とし、一番外側の第３軸部材７０をガイド軸としてフレーム２０に固定し、その中間にある第２軸部材５０を出力軸として、回転及び進退させる構成とした。これに対し、本実施例２は、一番外側の第３軸部材を駆動軸とした構成となっている。図５は、本実施例のツール交換装置の駆動機構の断面図である。同図に示すように、ツール交換装置１００は、中心の略円柱状の第１軸部材１１０と、その外周面１１０Ａに沿ってスライド可能な略円筒状の第２軸部材１２０と、その外周面１２０Ｂに対し相対的にスライド可能な略円筒状の第３軸部材１３０により構成されている。

前記第１軸部材１１０は、前記フレーム２０に適宜手段によって固定されている。また、前記第１軸部材１１０の外周面１１０Ａには、前記実施例１のボール溝４２と同様に、略Ｖ字状のボール溝１１２が形成されている。本実施例では、該第１軸部材１１０がガイド軸となる。次に、前記第２軸部材１２０は、内周面１２０Ａから、前記ボール溝１１２に沿って移動するボール１２４の一部が突出している。該ボール１２４は、前記第２軸部材１２０に設けられた保持部材１２２によって、例えば、前記実施例１と同様に吸着保持されている。また、前記第２軸部材１２０の外周面１２０Ｂには、前記実施例１のボール溝６２と同様に、略コ字状のボール溝１２６が形成されている。本実施例では、前記第２軸部材１２０が出力軸であり、該第２軸部材１２０の上端側には、適宜手段によりアーム１５０が取り付けられている。

前記第３軸部材１３０は、内周面１３０Ａから、前記ボール溝１２６に沿って移動するボール１３４の一部が突出している。該ボール１３４は、前記第３軸部材１３０に設けられた保持部材１３２によって、例えば、吸着保持されている。該第３軸部材１３０の外周面１３０Ｂには、図示しないモータの回転軸に接続されたウォーム１３８と噛み合う係合溝１３６が形成されている。前記第３軸部材１３０は、ベアリング等によって、前記フレーム２０に対して回転可能に固定されている。本実施例では、前記第３軸部材１３０が駆動軸（ないし入力軸）である。

以上のような構成のツール交換装置１００において、図示しないモータを駆動し、ウォーム１３８を回転させると、第３軸部材１３０が回転するが、略コ字状の前記ボール溝１２６とボール１３４の係合により、第２軸部材１２０の回転が規制されるため、該第２軸部材１２０は、上昇のみ行う。そのまま第３軸部材１３０の回転を継続すると、前記ボール溝１１２とボール１２４の係合により、第２軸部材１２０の昇降が規制されるため、該第２軸部材１２０は回転のみ行う。更に第３軸部材１３０の回転を継続すると、前記ボール溝１２６とボール１３４の係合により、第２軸部材１２０の回転が規制されるため、該第２軸部材１２０は、下降のみ行う。このようなボール溝とボールの係合による回転及び進退の制御は、上述した実施例１と基本的に同様であり、前記アーム１５０を反転させる場合の動作も同様である。本実施例の効果は、前記実施例１と同様である。

なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。
(1)前記実施例で示した形状，寸法，材質は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。例えば、前記実施例では、中心の第１軸部材３０，１１０を略円柱状としたが、ボール溝が貫通しない厚さを有するのであれば、略円筒状としてもよい。
(2)前記実施例では、第１軸部材の外周面と、第２軸部材の外周面にそれぞれボール溝を設けることとしたが、これも一例であり、第２軸部材の内周面と第３軸部材の内周面にボール溝を設け、第１軸部材の外周面と第２軸部材の外周面にそれぞれボールを保持するようにしてもよい。
(3)前記実施例で示したボール溝の形状，位置及び形成範囲は一例であり、出力軸の駆動形態に応じて適宜変更可能である。例えば、前記実施例１では、出力軸を１８０°回転させるため、ボール溝４２，６２を軸部材の外周面の半周にわたって形成することとしたが、用途に応じて、これらのボール溝を、軸部材の全周に形成することも可能である。

(4)前記実施例で示したボールの保持方法も一例であり、同様の効果を奏する範囲内で適宜設計変更可能である。
(5)前記実施例で示した駆動軸の駆動機構も一例であり、同様の効果を奏する範囲内で適宜設計変更可能である。
(6)前記実施例１では、中心の第１軸部材３０を駆動軸とし、前記実施例２では、外側の第３軸部材１３０を駆動軸としたが、これも一例であり、中間の第２軸部材を駆動軸とすることを妨げるものではない。
(7)前記実施例では、出力軸にアームを取り付けることで、ツール交換装置に本発明を適用することとしたが、これも一例であり、本発明は、ＡＰＣ（Auto pallet changer オートパレットチェンジャ）をはじめ、他の公知の各種の進退動と回転の双方を行う機械装置全般に適用可能である。

本発明によれば、第１の軸部材と、その外周に対して相対的にスライド可能な第２の軸部材と、該第２の軸部材の外周に対して相対的にスライド可能な第３の軸部材と、前記第１の軸部材と第２の軸部材の間に形成された第１のボール溝及びそれに沿って移動する第１のボール体と、前記第２の軸部材と第３の軸部材の間に形成された第２のボール溝及びそれに沿って移動する第２のボール体を設ける。そして、前記第１〜第３のいずれかの軸部材を駆動軸として回転機構により回転し、駆動軸以外の軸部材の一方をガイド軸としてフレームに固定することとした。このため、剛性が高く強度を維持しながら、出力軸の回転と軸方向への進退動が可能となるため、各種の駆動機構の用途に適用できる。特に、回転と軸方向への進退動を単一の駆動源で行うことができるため、ＡＴＣやＡＰＣなどの機械装置用の駆動機構として好適である。

１０：ツール交換装置
１２：アーム
２０：フレーム
２２：モータ
２４：回転軸
２６：ウォーム
２８：ベアリング
３０：第１軸部材（駆動軸ないし入力軸）
３０Ａ：端部
３０Ｂ：外周面
３２：ウォームホイール
３４：溝
３６：ボルト
３８，４０：ベアリング
４２：ボール溝
４２Ａ，４２Ｃ：端部
４２Ｂ：頂部
５０：第２軸部材（出力軸）
５０Ａ：内周面
５０Ｂ：外周面
５２：カバー
５４：凹部
５６：保持部材
５６Ａ：曲面
５８：小球
６０：ボール
６２：ボール溝
６４，６６，６８：溝部
６４Ａ，６６Ａ，６６Ｂ，６８Ａ：端部
７０：第３軸部材（ガイド軸）
７０Ａ：内周面
７２：フランジ部
７４：ボルト
７６：凹部
７８：保持部材
７８Ａ：曲面
８０：小球
９０：ボール
１００：ツール交換装置
１１０：第１軸部材（固定軸）
１１０Ａ：外周面
１１２：ボール溝
１２０：第２軸部材（出力軸）
１２０Ａ：内周面
１２０Ｂ：外周面
１２２：保持部材
１２４：ボール
１２６：ボール溝
１３０：第３軸部材（駆動軸ないし入力軸）
１３０Ａ：内周面
１３０Ｂ：外周面
１３２：保持部材
１３４：ボール
１３６：係合溝
１３８：ウォーム
１５０：アーム

Claims (6)

1. 略円筒状又は略円柱状の第１の軸部材と、
   該第１の軸部材の外周に配置され、該第１の軸部材に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第２の軸部材と、
   該第２の軸部材の外周に配置され、該第２の軸部材に沿って相対的にスライド可能な略円筒状の第３の軸部材と、
   前記第１の軸部材の外周面又は前記第２の軸部材の内周面のいずれか一方の面に形成された断面略円弧状の第１のボール溝と、
   該第１のボール溝に沿って移動可能であって、前記第１の軸部材の外周面又は前記第２の軸部材の内周面のいずれか他方の面に支持された略球状の第１のボール体と、
   前記第２の軸部材の外周面又は前記第３の軸部材の内周面のいずれか一方の面に形成された断面略円弧状の第２のボール溝と、
   該第２のボール溝に沿って移動可能であって、前記第２の軸部材の外周面又は前記第３の軸部材の内周面のいずれか他方の面に支持された略球状の第２のボール体と、
   前記第１〜第３の軸部材のいずれか一つを駆動軸として回転させる回転機構と、
   を備えた駆動機構であって、
   前記駆動軸以外の軸部材のうちの一方の軸部材を出力軸とし、他方の軸部材をガイド軸としたときに、前記ガイド軸をフレームに固定したことを特徴とする駆動機構。
2. 前記第１の軸部材又は第３の軸部材の一方を前記駆動軸とし、
   前記第１の軸部材又は第３の軸部材の他方を前記ガイド軸とし、
   前記第２の軸部材を出力軸として、
   前記駆動軸を回転可能に支持するフレームに、前記ガイド軸を固定したことを特徴とする請求項１記載の駆動機構。
3. 前記第１のボール溝又は前記第２のボール溝の一方が、前記出力軸の軸方向への進退をガイドする形状であり、
   前記第１のボール溝又は前記第２のボール溝の他方が、前記出力軸の回転をガイドする形状であることを特徴とする請求項１又は２記載の駆動機構。
4. 前記第１のボール溝が、略Ｖ字状であり、
   前記第２のボール溝が、略コ字である
   ことを特徴とする請求項３記載の駆動機構。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の駆動機構と、
   前記出力軸に固定された被駆動部材と、
   を備えたことを特徴とする機械装置。
6. 前記被駆動部材が、工具ないしパレットを交換するための交換アーム、
   であることを特徴とする請求項５記載の機械装置。

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