JP6402459B2 - 静圧気体軸受回転案内装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る静圧気体軸受回転案内装置を、筐体の上面部を除いて示す平面図である。図2は、図1におけるA−A’断面を示す図である。図3は、回転部材の第1傾斜面側から見た第1ハウジングおよび第1エアパッドを示す図である。図4は、回転部材の側面側から見た第3ハウジングおよび第3エアパッドを示す図である。図5は、図4におけるB−B’断面を示す図である。図1、2に示すように、静圧気体軸受回転案内装置1は、例えば、筐体10と、回転部材6と、3つの第1静圧気体軸受ab1と、3つの第2静圧気体軸受ab2と、3つの第3静圧気体軸受ab3と、を備える。静圧気体軸受回転案内装置1は、例えば、ウェハーの検査装置において、被検査物であるウェハーを回転させる機構として用いられる。なお、第1静圧気体軸受ab1と、第2静圧気体軸受ab2と、第3静圧気体軸受ab3は、必ずしもそれぞれ3つでなくてもよく、それぞれ2つであってもよいし、それぞれ4つ以上であってもよい。
図6は、変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置を、回転部材の軸を含む平面で切った断面を示す図である。上述した実施形態で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
10 筐体
101 上面部
102 底面部
103 側面部
2 第3ハウジング
21 内部流路
23 第2凹部
23a 矩形部
23b 十字部
28 ソケット部
29 第1凹部
3 第3エアパッド
31 噴出面
32 裏面
4 第1ハウジング
41 内部流路
43 第2凹部
48 ソケット部
49 第1凹部
5 第1エアパッド
6、6A 回転部材
6c、6cA コニカル部
6h 貫通孔
61、61A 第1傾斜面
61h 取付孔
62、62A 第2傾斜面
63、63A 側面
64 平坦部
65 溝
7 第2ハウジング
78 ソケット部
79 第1凹部
8 第2エアパッド
ab1 第1静圧気体軸受
ab2 第2静圧気体軸受
ab3 第3静圧気体軸受
b ボールスタッド
G 隙間
n 緩み止めナット
Claims (1)
- 軸周りに回転する円盤形状の部材であって、前記軸を含む平面で切った断面の前記軸方向の大きさが径方向外側に向かって大きくなっているコニカル部と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して傾斜する第1傾斜面と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して前記第1傾斜面とは異なる方向に傾斜する第2傾斜面と、前記コニカル部の外周面である側面と、を備える回転部材と、
第1ハウジングと、前記第1ハウジングに設けられて前記第1傾斜面に向かって気体を噴出する第1エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第1静圧気体軸受と、
第2ハウジングと、前記第2ハウジングに設けられて前記第2傾斜面に向かって気体を噴出する第2エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第2静圧気体軸受と、
第3ハウジングと、前記第3ハウジングに設けられて前記側面に向かって気体を噴出する第3エアパッドと、を備え、前記回転部材の周方向に等間隔に配置される複数の第3静圧気体軸受と、
を備えることを特徴とする静圧気体軸受回転案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014054971A JP6402459B2 (ja) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | 静圧気体軸受回転案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014054971A JP6402459B2 (ja) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | 静圧気体軸受回転案内装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015175509A JP2015175509A (ja) | 2015-10-05 |
JP6402459B2 true JP6402459B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=54254868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014054971A Active JP6402459B2 (ja) | 2014-03-18 | 2014-03-18 | 静圧気体軸受回転案内装置 |
Country Status (1)
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2014
- 2014-03-18 JP JP2014054971A patent/JP6402459B2/ja active Active
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