JP6395089B2 - 濃度計および、濃度測定方法 - Google Patents
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Description
図1はTDLAS法による濃度測定の原理を示す概念図である。
前記、吸収信号の大きさは、主として測定時の光路長、測定ガス(試料ガス)の圧力、対象物質の濃度に依存する。また、吸収信号の半値幅は測定ガスの圧力に比例し、圧力が低いほど、吸収波長の帯域は狭くなり、吸収信号の波形は鋭くなる。尚、上記半値幅とは、吸収信号の増加率が最も大きい点と減少率が最も大きい点間の幅を意味し、吸収信号の二次微分をとると、谷ピーク間の幅として現れる。
図3は本発明の概要を示すブロック図である。尚、以下の実施例では対象物質を水分とする。
11 スイープ信号発生回路
12 変調信号発生回路
13 LDドライバ
15 コリメートレンズ
20 受光素子
22 ロックインアンプ
23 演算手段
100 測定セル
Ra 基準パターン
Rb 基準パターン
Claims (2)
- TDLAS法に基づいて、試料ガス中の対象物質の濃度を測定する装置において、
大気圧より低い圧力で試料ガスを充填した所定長さの測定セルと、
前記測定セルに対して、試料ガスに含まれる対象物質の吸収波長前後の所定帯域の波長のレーザ光を出射するレーザ発光素子と、
前記レーザ発光素子より入射されたレーザ光を前記測定セル内に充填した試料ガスを介して受光する受光素子と、
前記受光素子よりの信号を入力し、当該入力された信号の波形を2次微分した波形として出力するロックインアンプと、
前記測定セルの圧力で対象物質が所定の濃度であるときの前記ロックインアンプの出力を第1の基準波形として記憶し、大気圧下で対象物質が所定の濃度であるときの前記ロックインアンプの出力を第2基準波形として記憶しておき、当該第2の基準の波形を前記ロックインアンプの出力の大気の吸収波形に対応する部分にフィッティングさせた後、前記第1の基準波形を前記ロックインアンプの出力の測定セルの吸収波形に対応する部分にフィッティングさせることによって、試料ガス中の対象物質の吸収波形を抽出し、その大きさから濃度を算出する演算手段と
を備えたことを特徴とする濃度計。 - TDLAS法に基づいて、試料ガス中の対象物質の濃度を測定する方法において、
所定長さの測定セル内の圧力を大気圧より低い圧力で試料ガスを充填するステップと、
レーザ発光素子より前記測定セルに対して、試料ガスに含まれる対象物質の吸収波長前後の所定帯域の波長のレーザ光を入射するステップと、
受光素子により、前記レーザ発光素子より入射されたレーザ光を前記測定セル内に充填した試料ガスを介して受光するステップと、
ロックインアンプにて、前記受光素子よりの信号の波形を2次微分した波形として出力するステップと、
演算手段で、前記測定セルの圧力で対象物質が所定の濃度であるときの前記ロックインアンプの出力を第1の基準波形として記憶し、大気圧下で対象物質が所定の濃度であるときの前記ロックインアンプの出力を第2基準波形として記憶しておき、当該第2の基準の波形を前記ロックインアンプの出力の大気の吸収波形に対応する部分にフィッティングさせた後、第1の基準波形を前記ロックインアンプの出力の測定セルの吸収波形に対応する部分にフィッティングさせることによって、試料ガス中の対象物質の吸収波形を抽出し、その大きさから濃度を算出するステップと
を備えたことを特徴とする濃度測定方法。
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