JP6391041B2 - 真空処理設備 - Google Patents

Description

本発明は、真空熱処理炉などのような真空処理設備において、例えば、複数の真空熱処理ユニットの何れかと移動可能な真空処理ユニットとの間で被処理品を受け渡しするべく、両ユニットの接続部を接続する際にし、一方のユニット側にのみ取り付けた真空引き用配管などの真空設備によって、接続される両ユニットの内側を確実且つ迅速に真空雰囲気にし得る真空処理設備に関する。

真空雰囲気中において熱処理する被処理品の処理量の増減に容易に対応したり、多様なヒートパターンに対応するため、複数の熱処理チャンバを並列に設置し、該複数の熱処理チャンバごとの接続部側に沿って敷設したレール上を走行する搬送ユニットを配設しており、熱処理チャンバごとにそれらの内部を真空雰囲気にする真空用配管を設けると共に、保温チャンバと受け渡しチャンバとからなる上記搬送ユニットには、前記各チャンバ内を真空雰囲気にするための真空用配管、真空ポンプ、および該ポンプを駆動するためのモータなどからなる真空設備を配置した熱処理設備が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
あるいは、移動可能な搬送ユニットに真空用配管を搭載し、該真空用配管と別の位置に配設した真空ポンプとの間を、上記搬送ユニットの移動量に対応できるフレキシブルで且つ長尺な真空用ホースにより接続し、且つ搬送ユニットの移動と共に該ホースが変形しつつ移動可能とした別の熱処理設備も提案されている。

しかしながら、特許文献１に記載された前記熱処理設備の場合、大がかりな真空設備を搬送ユニットに搭載して移動させるため、該搬送ユニットおよびその移動のための動力設備の大容量化とも伴って、該搬送ユニットの全体が大型化および重量化し、且つ設備コストが嵩むと共に、前記熱処理チャンバとの接続時や移動時において広いスペースが必要となる、という問題点があった。
一方、前記別の熱処理設備の場合、長尺な真空用ホース自体が高価であると共に、係る真空用ホースの変形を許容しつつ移動させるための広いスペースが必要となる、という問題点があった。

特開２００８−１７０１１６号公報（第１〜９頁、図１〜７）

本発明は、背景技術で説明した問題点を解決し、真空設備に伴う大型化、重量化、およびコスト高を防ぎ、且つ過度に広いスペースを必要とせず、複数の真空処理ユニットを含み且つ該真空処理ユニット同士の接続に際し、両ユニットの内部を確実且つ迅速に真空化できる真空処理設備を提供する、ことを課題とする。

課題を解決するための手段および発明の効果

本発明は、前記課題を解決するため、接続すべき一対の真空処理ユニット同士における一方の接続部に、他方の内部に開口する真空引き用配管を配管すると共に、該一方の真空処理ユニットに他方の真空処理ユニットの内部と連通するための開閉可能な扉を配置する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明の真空処理設備（請求項１）は、少なくとも１つの移動可能な真空処理ユニットを含む複数の真空処理ユニットを備えた真空処理設備であって、真空中で被処理品に必要な処理を施し且つ少なくとも一方が移動可能である一対の真空処理ユニット間を互いに真空状態で接続する該一対の真空処理ユニットの接続部同士において、何れか一方の真空処理ユニットの接続部には、他方の真空処理ユニットの内部に開口する真空引き用管が配管されると共に、他方の真空処理ユニットの内部と連通するための開閉可能な扉が配置されている、ことを特徴とする。

これによれば、互いに接続される前記一対の真空処理ユニットにおける一方の真空処理ユニットの接続部には、接続時に他方の真空処理ユニットの内部に開口する真空引き用管が配管され、且つ他方の真空処理ユニットの内部と連通するための開閉可能な扉が配置されている。その結果、一方の真空処理ユニットの接続部と他方の真空処理ユニットの接続部とを接続すると同時に、一方の真空処理ユニットに配管された真空引き用管の開口部は、他方の真空処理ユニットの内部に開口した状態となる。かかる状態で、他方の真空処理ユニットの内部を真空引きすることにより、接続対象である当該他方の真空処理ユニットの内部を真空することができる。そのため、予め真空状態とされているか、あるいは、上記のように他方の真空処理ユニットの内部を真空引きし、更に、一方の真空処理ユニットの内部を真空引きした後、該一方の真空処理ユニットの接続部における前記扉を開放することで、両ユニットの内部を真空状態にして連通することができる。
従って、接続すべき相手方の真空処理ユニット内を確実且つ迅速に真空化できるので、複数の真空処理ユニットに要する真空設備と、そのために要するスペースと、設備コストとを低減することが可能となる。

尚、前記真空処理設備は、真空中で行われる各種の処理（熱処理や焼結処理など）を行うための複数の真空処理ユニットを有し、これらの真空処理ユニットのうち、少なくとも１つは、真空状態で被処理品を搬送する搬送専用の真空処理ユニットであるか、真空熱処理を行いつつ別の真空処理ユニットに被処理品を搬送する真空熱処理と搬送を兼ねる真空処理ユニットである。付言すれば、上記熱処理には、浸炭処理や窒化処理なども含まれる。
また、前記複数の真空処理ユニットは、その一部がフロア上に固定された真空処理ユニットで且つ残りがフロア上を移動する真空処理ユニットである形態のほか、全てのユニットが移動可能な真空処理ユニットからなる形態であっても良い。
更に、前記真空引き用管の開口部付近（管端部）は、前記一方のユニットの接続部における前記扉の開閉に支障のない接続部の位置に配管されている。
加えて、前記一対の真空処理ユニットにおける少なくとも一方の接続面には、該接続面の外周側に沿って、弾性変形可能なシール材が配設されている。

また、本発明には、前記移動可能な真空処理ユニットは、フロア上に固定された複数の真空処理ユニット同士の間を移動し、係る固定された真空処理ユニットごととの間で被処理品を受け渡しする真空搬送ユニットであると共に、上記フロア上に固定された複数の真空処理ユニットごとに前記真空引き配管および扉が配設されている、真空処理設備（請求項２）も含まれる。
これによれば、移動可能な真空処理ユニットが、フロア上に固定された複数の真空処理ユニット同士の間を移動して、被処理品を受け渡しするので、固定側の真空処理ユニットごとに前記真空引き配管および扉を配設することにより、真空用の長尺なホースが不要となり、比較的少容量で且つ低コストの真空ポンプおよびモータによって、真空引き操作を確実且つ迅速に行うことが可能となる。
尚、前記フロア上を移動可能な真空処理ユニットは、フロア上に固定された複数の真空処理ユニット間に敷設されたレール上を走行可能であるか、あるいは、複数のタイヤを装着した真空搬送ユニットから垂下したガイドピンを受け入れる凹溝、またはフロアに直線状などにして埋設された磁気誘導路またはレーザなどの光誘導路などからなるガイド手段に沿ってフロア上を移動可能とされている。
また、本発明には、前記真空引き用配管および扉をフロア上を移動する真空処理ユニット側にのみ配設し、フロア上に固定された真空処理ユニットには、上記真空引き用配管および扉を配設していない形態も含まれる。

更に、本発明には、前記一対の真空処理ユニットは、双方がフロア上を移動可能であり、且つ互いに接近可能および接続可能である真空処理ユニットである、真空処理設備（請求項３）も含まれる。
これによれば、相互に平行な２組のレール上などを平行移動して互いに接続可能となる一対の真空処理ユニットにおける一方の接続部に前記真空引き配管および扉を配設するか、あるいは、同一のレール上などを直線状に移動して互いに直列状に接続可能となる一対の真空処理ユニットにおける一方の接続部に前記真空引き配管および扉を配設することにより、一対の真空処理ユニット同士の内部を、確実か迅速に真空化することが可能となる。
尚、前記一対の真空処理ユニット同士の接続は、一方のユニットをレール上などで停止させ且つ他方のユニットを移動して接続させる相対的な接続のほか、双方のユニット同士をレール上などのおける所定の位置まで互いに接近させて接続する形態の何れであっても良い。

また、本発明には、前記真空引き用管の中間には、該配管が設置された前記一方の真空処理ユニットの内部も、真空引きするための開口部を含む分岐管を併設されている、真空処理設備（請求項４）も含まれる。
これによれば、前記真空引き用管によって、他方の真空処理ユニットの内部とほぼ同時に、前記分岐管を介して一方の真空処理ユニットの内部も、真空状態にすることができる。その結果、一対の真空処理ユニットに必要な真空設備の小型化、少容量化、およびコスト低減を一層図ることが可能となる。
尚、前記一方の真空処理ユニットの内部において、該内部に被処理品を真空雰囲気で熱処理するための断熱室を更に内設している場合には、前記分岐管を並列にした２本とし、該断熱室の内側と外側に個別に開口する形態としても良い。
また、前記真空引き用管の中間に切り換え弁を介して、前記分岐管を併設することで、例えば、予め、該分岐管を介して一方の真空処理ユニットの内部を真空状態とした後、上記弁を切り換えて上記真空引き用管を介して、他方の真空処理ユニットの内部を真空化できるので、処理速度を高めることが可能となる。

加えて、本発明には、前記真空引き用管の基端側には、モータで駆動する真空ポンプが接続されている、真空処理設備（請求項５）も含まれる。
これによれば、前記真空引き用管、モータ、および真空ポンプを含む真空設備が前記真空処理ユニットの接続部に配設されるので、上記真空引き用管の開口部を介して他方の真空処理ユニットの内部を真空化し、あるいは前記分岐管の開口部を介して一方の真空処理ユニットの内部を真空化することが確実に行うことができる。

本発明による一形態の真空処理設備を示す平面図。 図１中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図。 (Ａ)は図２中の一点鎖線部分Ｙの部分拡大図、（Ｂ），（Ｃ）は上記真空処理設備の使用状態を順次示す(Ａ)と同様の部分拡大（概略）図。 (Ａ),（Ｂ）は応用形態の真空引き用配管付近を示す前期同様の概略図。 (Ａ),（Ｂ）は更なる応用形態の真空引き用配管付近を示す部分概略図。 本発明における異なる形態の真空処理設備を示す平面図。 本発明における更に異なる形態の真空処理設備を示す平面図。

以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明による一形態の真空処理設備１を示す平面図、図２は、図１中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図、図３（Ａ）は、図２中の一点鎖線部分Ｙの部分拡大図である。
係る真空処理設備１は、図１，図２に示すように、直線状のレール２，２上を走行する移動可能な真空処理ユニット３と、該レール２，２に沿ってフロアＦＬ上に立設する複数の支柱３３により、該フロアＦＬ上に隣接して固定された２つ（複数）の真空熱処理ユニット（真空処理ユニット）２０ａ，２０ｂとを備えている。
移動可能な真空処理ユニット３は、熱処理すべき被処理品Ｗを真空状態で保温する保温室４と、該被処理品Ｗを真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂの何れかとの間で受け渡しする受け渡し室（内部）５とを併有している。

前記真空処理ユニット３は、図２の右側に示すように、円筒形状の容器６とドーム形状の端板７とに囲まれた保温室４内に、扉１０を含む断熱室９を内設し、該断熱室９の内壁付近には、被処理品Ｗを所定温度以上に加熱および保持する複数のヒータｈが配置され、該断熱室９の床付近には、被処理品Ｗを支持する炉床Ｒｆまたは該被処理品Ｗを移動可能に支持する複数のローラ（図示せず）が配置されている。断熱室９の天井付近には、該断熱室９内に不活性ガス（Ａｒあるいは窒素と水素との混合ガスなど）、あるいは浸炭処理や窒化処理などに用いる反応性ガスを供給および排出するための複数のガス管１４の一端側が開口している。
上記扉１０は、保温室４と受け渡し室５とを開閉可能に仕切る扉１１に接続片１２を介して固定され、該扉１１は、上方に位置するスライド機構１３によって図２の奥行き方向に沿ってスライドされることにより、保温室４と受け渡し室５とを連通可能とし、同時に断熱室９を開放可能としている。

また、図２に示すように、円筒形状の容器８に囲まれ且つ接続部側に開口部（接続部）１５を有する受け渡し室５は、その床付近に水平方向に沿ってスライド可能な複数枚の耐熱板からなる移載手段Ｔｒを配置している。尚、該移載手段Ｔｒに替えて、前記複数のローラを配置しても良い。
更に、図３（Ａ）に示すように、上記開口部１５を包囲する接続面には、断面がＪ字形状のシール材（パッキング）４２が全周に沿って配置されている。
前記保温室４および受け渡し室５は、台枠１６上に固定され、該台枠１６は、複数箇所に配置されたコロベアリング１８を介して、左右一対の車輪１９を有する台車１７上に支持され、且つ図２で左右方向に沿って進退可能とされている。

一方、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂは、図２の左側に示す真空熱処理ユニット２０ｂで例示するように、円筒形状の容器２２とドーム形状の端板２３とに囲まれた処理室２１内に、扉２５を含む断熱室２４を内設している。該断熱室２４の内壁付近には、ジグザグ形状などを呈するヒータｈが配置され、該断熱室２４の床付近には、前記同様の炉床Ｒｆまたはローラが配置されている共に、係る断熱室２４の天井付近には、不活性ガス（Ａｒあるいは窒素と水素との混合ガスなど）、もしくは浸炭処理や窒化処理などに用いる反応性ガスを供給または排出するための複数のガス管３０の一端側が開口している。
尚、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂは、互いが同一または同種の熱処理を施す形態と、互いに異種の熱処理を施す形態とに切り換えることが可能である。

前記断熱室２４の扉２５は、複数の接続片２７を介して、処理室２１の扉２６に固定され、該扉２６は、図３（Ａ）に示すように、支持金具２９を介し上方のスライド機構２８に支持されている。そのため、上記扉２５および扉２６は、上記スライド機構２８によって、図２，図３（Ａ）の奥行き方向に沿ってスライドされることで、処理室２１と前記受け渡し室５とを連通可能とすると同時に、上記断熱室２４も開放可能としている。
また、前記端板２３側の断熱室２４の外壁には、モータ３２が取り付けられ、該モータ３４の回転軸は、該断熱室２４の側壁を貫通し、該回転軸の先端には、断熱室２４内の不活性ガスなどを攪拌することで伝熱効率を高めるためのファン３１が固定されている。
更に、図２，図３（Ａ）に示すように、処理室２１における扉２６側の床側または側面には、側面視または平面視が逆Ｌ字形状を呈する真空引き管３４が配管され、該真空引き管３４における水平部の先端は、接続すべき真空処理ユニット３の受け渡し室５側に開口している。係る真空引き管３４における垂直部の基端側は、前記容器２２の底壁または側壁を貫通し、その端部には、モータ３６により駆動される真空ポンプ３５が接続され、且つ該ポンプ３５からは、排気管３７が容器２２の下方または上方を水平方向に沿って延びている。

以上のような真空処理設備１は、例えば、以下のようにして使用される。
例えば、鋼材などを熱処理するための被処理品Ｗは、予め、真空熱処理ユニット３の保温室４内の断熱室９に装入され、該断熱室９内を不活性ガスに置換した後に、前記ヒータｈにより所定の温度帯まで加熱され且つ保持される。
次いで、図１，図２に示すように、被処理品Ｗを有する真空処理ユニット３の受け渡し室５を真空熱処理ユニット２０ｂの右側に隣接させた後、図３（Ａ）に示すように、上記受け渡し室５の開口部１５を、前記コロベアリング１８を含む進退機構によって、同図中の白抜きの矢印で示すように、真空熱処理ユニット２０ｂの処理室２１における扉２６側に接近させる。
尚、真空熱処理ユニット２０ｂの処理室２１内および断熱室２４内は、予め、所要の真空状態（例えば、約０．００１Ｐａ〜０．１Ｐａレベル）にされている。

次に、図３（Ｂ）に示すように、圧縮されたシール材４２を介して、真空処理ユニット３と真空熱処理ユニット２０ｂとの接続部同士が密着した状態で、真空熱処理ユニット２０ｂ側の前記真空引き管３４の先端側の開口部から、真空処理ユニット３の受け渡し室５内のエアを吸引して、該受け渡し室５を真空化する。
更に、前記ユニット２０ｂ側の扉２５，２６を開放し、且つ前記ユニット３側の扉１０，１１を開放した後、図３（Ｃ）中の白抜きの矢印で示すように、前記保温室４内の断熱室９内から前記炉床Ｒｆ上の被処理品Ｗを、受け渡し室５内の前記移載手段Ｔｒを用いて、該受け渡し室５を横向きに通過させた後、真空熱処理ユニット２０ｂの断熱室２４内に搬送する。
そして、断熱室２４の扉２５を前記扉２６と共に閉鎖した後、該断熱室２４内で所要の温度帯に加熱および保持されることにより、上記被処理品Ｗに対して所定の熱処理、例えば、浸炭処理が施される。
尚、上記熱処理を施された被処理品Ｗは、前記の順序とは逆の順序で、真空処理ユニット３の保温室４内の断熱室９内に戻され、必要に応じて、更に、別の真空熱処理ユニット２０ａの断熱室２４内に送られ、仕上げの熱処理、例えば、焼き入れが施される。その結果、所要の被熱処理品Ｗとされて、真空処理設備１の外部に搬出される。

以上のような真空処理設備１によれば、真空処理ユニット３の接続部と真空熱処理ユニット２０ｂの接続部とを接続すると同時に、真空熱処理ユニット２０ｂ側の真空引き用管３４の開口部は、真空処理ユニット３の受け渡し室５内に開口した状態となる。係る状態で、真空処理ユニット３の受け渡し室５内を真空引きすることにより、接続対象である該真空処理ユニット３の受け渡し室５内を真空化することができる。そのため、予め、真空状態とされている真空熱処理ユニット２０ｂの内部を真空引きし、更に、真空処理ユニット２の受け渡し室内を真空引きした後、真空熱処理ユニット２０ｂの接続部における前記扉２６を開放することによって、上記両ユニット３，２０ｂの内部同士を真空状態で連通することができる。
従って、接続すべき相手方の真空処理ユニット３の内部を確実且つ迅速に真空化できるので、複数の真空処理ユニット３，２０ｂに要する真空設備（３４〜３７）と、そのためのスペースと、該設備コストとを低減することが可能となる。

図４（Ａ），（Ｂ）は、本発明における応用形態の真空引き管３４の付近を示す前記図３（Ａ），（Ｂ）と同様な概略図である。
図４（Ａ）に示すように、真空熱処理ユニット２０ｂ側の真空引き管３４における中間には、処理室２１内に先端が開口する分岐管３８の基端部が垂直に接続され、且つ断熱室２４内に先端が開口し且つ側面視がＬ字形状を呈する別の分岐管３９の基端部が水平に接続されている。
上記分岐管３８，３８を併有する真空引き管３４を有する真空熱処理ユニット２０ｂの接続部を、図４（Ｂ）に示すように、前記と同様に真空処理ユニット３の受け渡し室５の開口部１８と接続した状態で、モータ３６によって真空ポンプ３５を駆動する。その結果、真空引き管３４によって受け渡し室５内が真空化され、上記分岐管３８，３８によって処理室２１内と断熱室２４内とが個別に真空化される。係る状態で、前記同様に、保温室４内の断熱室９内から被処理品Ｗが、受け渡し室５を経て真空熱処理ユニット２０ｂの断熱室２４内に搬送とされる。

図５（Ａ），（Ｂ）は、本発明における応用形態の真空引き管３４の付近を示す前記図３（Ａ），（Ｂ）と同様な概略図である。
図５（Ａ）に示すように、真空熱処理ユニット２０ｂ側の真空引き管３４における中間に、切り換え弁４０を配設し、該切り換え弁４０を介して、処理室２１内に先端が開口する前記分岐管３８の基端部が接続され、且つ断熱室２４内に先端が開口する前記別の分岐管３９の基端部が水平に接続されている。
予め、切り換え弁４０を操作して、真空引き管３４の先端側を閉鎖し、且つ分岐管３８，３９を開放した状態で、真空熱処理ユニット２０ｂの処理室２１内と断熱室２４内とを真空化しておく。次に、図５（Ｂ）に示すように、真空熱処理ユニット２０ｂの接続部を、前記同様に真空処理ユニット３の受け渡し室５の開口部１８と接続した状態で、上記切り換え弁４０を操作して、分岐管３８，３９を閉鎖し、且つ真空引き管３４の先端側を開放する。

係る状態で、該真空引き管３４を介して、真空処理ユニット３側の受け渡し室５内を真空化する。この後は、前記と同様にして、被処理品Ｗを保温室４内の断熱室９内から、受け渡し室５を経て、真空熱処理ユニット２０ｂの断熱室２４内に搬送して所要の熱処理が施される。
以上のような分岐管３８，３９を併有するか、これらに加えて更に切り換え弁４０を併設した真空引き管３４を用いることによって、真空処理ユニット３と真空熱処理ユニット２０ｂ（２０ａ）との内部同士間における被処理品Ｗの受け渡しを、該被処理品Ｗの酸化などの劣化を生じることなく、所要の真空雰囲気中においてに一層迅速且つ確実に行うことが可能となる。

図６は、真空処理ユニット３が走行するための前記レール２，２と平行に、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂをそれぞれ短い距離ごとにより、上記真空処理ユニット３と平行で且つ個別に走行可能とする比較的短いレール２ａ，２ａを更に敷設した真空処理設備１ａを示す平面図である。
係る真空処理設備１ａでは、短いレール２ａ，２ａにおける所定の位置ごとに真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂを停止させた状態で、前記同様に真空処理ユニット３が順次接続され、前記被処理品Ｗの受け渡しが行われる。
以上のように、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂを比較的短いレール２ａ，２ａ上を移動可能で且つ調整可能にすると共に、上記ユニット２０ａ，２０ｂごとに用いる真空設備である前記真空引き管３４、真空ポンプ３５、モータ３６、および排気管３７や、更に、前記分岐管３８，３９や切り換え弁４０を併有する形態の真空設備となっても、係る真空設備の大型化、大容量化、および高コスト化を防いで、前記真空処理設備１と同様な効果を奏することが可能である。

図７は、真空処理ユニット３が走行するための前記レール２，２と平行に、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂを上記と同様なレール２，２上を走行して移動可能とした真空処理設備１ｂを示す平面図である。
係る真空処理設備１ｂでは、真空処理ユニット３と、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂとがそれぞれ専用のレール２，２上を走行して移動可能となっている。そして、真空熱処理ユニット２０ａ，２０ｂを共通で且つ専用のレール２，２上における所定の位置ごとに移動して且つ停止させた状態で、前記同様に真空処理ユニット３が順次接続され、前記被処理品Ｗの受け渡しが行われる。
上記真空処理設備１ｂでは、前記真空ポンプ３５を駆動するモータ３６に給電するための電気ケーブルが若干長尺化し得るが、係る点以外は、前記真空処理設備１と同様な効果を奏することが可能である。

本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
例えば、前記真空引き管、真空ポンプ、およびモータを含む真空設備を移動可能な真空処理ユニット側に配置し、これと接続される固定側の真空処理ユニットには、上記真空設備を有していない形態も、本発明の真空処理設備に含まれる。
また、前記受け渡し室５を含む真空処理ユニット３は、その断熱室９内で被処理品Ｗに対し、比較的低温度域の熱処理を行いつつ搬送する形態でも良い。
更に、前記レール２，２、２ａ，２ａは、直線状に形態に限らず、平面視が円形状や長円形状やＵ字形状などの曲線を含む形態であっても良い。尚、上記レール２，２、２ａ，２ａに替えて、ガイド溝や非接触式のガイド手段としても良い。
加えて、本発明の真空処理設備には、例えば、搬送用の真空処理ユニットと真空焼結用の真空処理ユニットとを含む真空焼結設備や、搬送用の真空処理ユニットと真空溶接用の真空処理ユニットとを含む真空溶接設備なども含まれる。

本発明によれば、真空設備の配設に伴う大型化、重量化、およびコスト高を防ぎ、且つ過度に広いスペースを必要とせず、複数の真空処理ユニットを含み且つ該真空処理ユニット同士の接続に際し、両ユニットの内部を確実且つ迅速に真空化できる真空処理設備を提供できる。

１，１ａ，１ｂ…真空処理設備
３…………………真空処理ユニット
５…………………受け渡し室（内部）
２０ａ，２０ｂ…真空熱処理設備（真空処理設備）
２１………………処理室（内部）
２４………………断熱室（内部）
２６………………扉
３４………………真空引き管
３５………………真空ポンプ
３６………………モータ
３８，３９………分岐管
ＦＬ………………フロア

Claims (5)

1. 少なくとも１つの移動可能な真空処理ユニットを含む複数の真空処理ユニットを備えた真空処理設備であって、
   真空中で被処理品に必要な処理を施し且つ少なくとも一方が移動可能である一対の真空処理ユニット間を互いに真空状態で接続する該一対の真空処理ユニットの接続部同士において、何れか一方の真空処理ユニットの接続部には、他方の真空処理ユニットの内部に開口する真空引き用管が配管されると共に、他方の真空処理ユニットの内部と連通するための開閉可能な扉が配置されている、
   ことを特徴とする真空処理設備。
2. 前記移動可能な真空処理ユニットは、フロア上に固定された複数の真空処理ユニット同士の間を移動し、係る固定された真空処理ユニットごととの間で被処理品を受け渡しする真空搬送ユニットであると共に、上記フロア上に固定された複数の真空処理ユニットごとに前記真空引き配管および扉が配設されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空処理設備。
3. 前記一対の真空処理ユニットは、双方がフロア上を移動可能であり、且つ互いに接近および接続可能である真空処理ユニットである、
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空処理設備。
4. 前記真空引き用管の中間には、該配管が設置された前記一方の真空処理ユニットの内部も、真空引きするための開口部を含む分岐管を併設されている、
   ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の真空処理設備。
5. 前記真空引き用管の基端側には、モータで駆動する真空ポンプが接続されている、
   ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の真空処理設備。

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