JP6384990B2 - パターン検査装置およびパターン検査方法 - Google Patents
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Description
パターン検査装置1では、検査マップ492を利用することにより、検査条件を柔軟に設定することができる。一方、検査位置が多数存在する場合、初期設定された条件からの変更を全て手動で行うには時間を要する。図10に示す演算部41では、初期設定された条件を一部自動にて効率よく変更することができる。
9 プリント基板
21 撮像
49 記憶部
91 回路パターン
92 検査位置画素
411 画素特定部
412 線幅取得部
414 検査部
415 検査条件設定部
491 設計データ
492 検査マップ
S11〜S18,S21〜S26,S31〜S33,S41〜S44 ステップ
Claims (14)
- 基板上に形成された回路パターンを検査するパターン検査装置であって、
設計データが示す設計パターンに基づいて予め設定された複数の検査位置、および、前記複数の検査位置にそれぞれ対応する複数の検査条件を記憶する記憶部と、
基板を撮像することにより、前記基板上の回路パターンを示す回路パターン画像を取得する撮像部と、
回路パターン画像において前記複数の検査位置にそれぞれ対応する複数の検査位置画素を特定する画素特定部と、
回路パターン画像中の各検査位置画素における線幅を取得する線幅取得部と、
検査対象となる回路パターン画像の各検査位置画素における線幅と、対応する検査条件とから、前記各検査位置画素における検査結果を取得する検査部と、
を備え、
前記記憶部において、前記複数の検査条件が、検査位置における基準線幅に関連づけられており、
予め前記撮像部により、同一のパターンを示す複数の回路パターンを撮像して複数の回路パターン画像が取得され、各検査位置に対応して前記複数の回路パターン画像から得られる複数の線幅から、前記各検査位置における基準線幅が求められることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置であって、
前記複数の回路パターンが、1つの基板上に形成されていることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1または2に記載のパターン検査装置であって、
前記複数の線幅のうち最も出現頻度の高い線幅が、前記各検査位置における前記基準線幅として設定されることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン検査装置であって、
前記撮像部にて撮像される回路パターンが、アディティブ工法にて基板上に形成されたものであることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のパターン検査装置であって、
前記複数の検査位置が、前記設計パターンに含まれる線状要素の中心線に沿って設定されることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のパターン検査装置であって、
前記設計パターンから、前記複数の検査位置における線密度を求め、前記線密度に基づいて前記複数の検査条件の少なくとも一部を設定する検査条件設定部をさらに備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のパターン検査装置であって、
前記設計パターンから、前記複数の検査位置の近傍における線状要素間の最短距離を求め、前記最短距離に基づいて前記複数の検査条件の少なくとも一部を設定する検査条件設定部をさらに備えることを特徴とするパターン検査装置。 - 基板上に形成された回路パターンを検査するパターン検査方法であって、
a)設計データが示す設計パターンに基づいて予め設定された複数の検査位置、および、前記複数の検査位置にそれぞれ対応する複数の検査条件を準備する工程と、
b)基板を撮像することにより、前記基板上の回路パターンを示す回路パターン画像を取得する工程と、
c)前記回路パターン画像において前記複数の検査位置にそれぞれ対応する複数の検査位置画素を特定する工程と、
d)前記回路パターン画像中の各検査位置画素おける線幅を取得する工程と、
e)前記各検査位置画素における前記線幅と、対応する検査条件とから、前記各検査位置画素における検査結果を取得する工程と、
を備え、
前記a)工程が、
a1)同一のパターンを示す複数の回路パターンを撮像して複数の回路パターン画像を取得する工程と、
a2)各検査位置に対応して前記複数の回路パターン画像から得られる複数の線幅から、前記各検査位置における基準線幅を求める工程と、
を備え、
前記複数の検査条件のそれぞれが、対応する検査位置における基準線幅に関連づけられていることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8に記載のパターン検査方法であって、
前記複数の回路パターンが、1つの基板上に形成されていることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8または9に記載のパターン検査方法であって、
前記a2)工程において、前記複数の線幅のうち最も出現頻度の高い線幅が、前記各検査位置における前記基準線幅として設定されることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8ないし10のいずれかに記載のパターン検査方法であって、
前記b)工程における前記回路パターンが、アディティブ工法にて基板上に形成されたものであることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8ないし11のいずれかに記載のパターン検査方法であって、
前記複数の検査位置が、前記設計パターンに含まれる線状要素の中心線に沿って設定されることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8ないし12のいずれかに記載のパターン検査方法であって、
前記a)工程が、前記設計パターンから、前記複数の検査位置における線密度を求め、前記線密度に基づいて前記複数の検査条件の少なくとも一部を設定する工程を備えることを特徴とするパターン検査方法。 - 請求項8ないし12のいずれかに記載のパターン検査方法であって、
前記a)工程が、前記設計パターンから、前記複数の検査位置の近傍における線状要素間の最短距離を求め、前記最短距離に基づいて前記複数の検査条件の少なくとも一部を設定する工程を備えることを特徴とするパターン検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014162264A JP6384990B2 (ja) | 2014-08-08 | 2014-08-08 | パターン検査装置およびパターン検査方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2016038311A JP2016038311A (ja) | 2016-03-22 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6384990B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4928313A (en) * | 1985-10-25 | 1990-05-22 | Synthetic Vision Systems, Inc. | Method and system for automatically visually inspecting an article |
JP3316977B2 (ja) * | 1993-10-12 | 2002-08-19 | 日本アビオニクス株式会社 | パタ−ンの検査方法 |
JP2000241130A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Fujitsu Ltd | パターン検査方法及びその装置 |
JP4014379B2 (ja) * | 2001-02-21 | 2007-11-28 | 株式会社日立製作所 | 欠陥レビュー装置及び方法 |
JP4084969B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2008-04-30 | インスペック株式会社 | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP5238465B2 (ja) * | 2008-11-25 | 2013-07-17 | 株式会社東芝 | パターン形状の評価方法及びこれを利用したパターン形状の評価装置 |
JP5254270B2 (ja) * | 2010-04-09 | 2013-08-07 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
-
2014
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Publication number | Publication date |
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JP2016038311A (ja) | 2016-03-22 |
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