JP6379954B2 - ウエハ加熱ヒータ - Google Patents
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Description
図1に示すようなウエハ加熱ヒータを作製して加熱前後におけるウエハ載置面の平面度の変化を調べた。具体的には、金属製のウエハ載置板1として、Cu製の外径300mm厚み10mmの円板に対して、ウエハ載置面とは反対側の面のP.C.D.240mmの位置に12等配のM4タップを施し、更にP.C.D.100mmの位置に4等配のM4タップを施し、表面に厚み0.5mmのフッ素樹脂コーティングを施した。セラミック製の支持板2として、Si50SiC50(以下、SiSiCと称する)製の外径280mm厚み5mmの円板に、P.C.D.240mmの位置に12等配の内径8mmの貫通孔、P.C.D.100mmの位置に4等配の内径8mmの貫通孔、P.C.D.260mmの位置に12等配のM4タップ、P.C.D.150mmの位置に8等配のM4タップを施した。
図3に示すようなウエハ加熱ヒータを作製して加熱前後におけるウエハ載置面の平面度の変化を調べた。具体的には、金属製のウエハ載置板21として、Cu製の外径300mm、厚み10mmの円板にウエハと対向する面とは反対の面にP.C.D.240mmの位置に12等配のM4タップ、P.C.D.100mmの位置に4等配のM4タップを施し、表面にフッ素樹脂コーティング厚み0.5mmを施した。発熱ユニット23として、外径280厚み0.5mmのマイカシート2枚の間にステンレスで所定の発熱パターンにエッチングをした発熱体を挟み込み圧着したものに対して、P.C.D.240mmの位置に12等配の内径4.4mmの貫通孔、P.C.D.100mmの位置に4等配の内径4.4mmの貫通孔を施した。
1a、11a、21a、31a、41a、51a、61a フッ素樹脂層
2、22、32、42、52、62 支持板
3、23、33、43、53、63 発熱ユニット
4、34、54 押え板
5、35、55、65 第1結合部材
6、26、36、46、56、66 柱状部材
7、27、37、47、57、67 保持部材
8、28、38、48、58、68 第2結合部材
37a、47a 円板状底部
37b、47b 円筒状壁部
39、49 Oリング
Claims (2)
- 少なくとも載置面がフッ素樹脂でコーティングされた金属製の円板からなるウエハ載置板と、該ウエハ載置板の下面を略全面に亘って摺動自在に支持するセラミックス製の円板からなる支持板と、該支持板の上面若しくは下面に設けられた円板状の発熱ユニットと、該支持板の下側に位置するフッ素樹脂でコーティングされた金属製の保持部材と、前記支持板と前記保持部材との間に介在してこれらを離間させるセラミック製の柱状部材とを有するウエハ加熱ヒータであって、該ウエハ載置板は載置面の周方向に略均等に配置された複数の結合部材で該保持部材に結合されており、前記保持部材は円板状底部とその周縁部から立設する円筒状壁部とからなり、該円筒状壁部の上端面と前記ウエハ載置板の下面との間が気密シールされているウエハ加熱ヒータ。
- 前記ウエハ加熱ヒータは前記支持板の下面に設けられた前記発熱ユニットを該支持板との間で挟持する金属製の円板からなる押え板を更に有している、請求項1に記載のウエハ加熱ヒータ。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2014204502A JP6379954B2 (ja) | 2014-10-03 | 2014-10-03 | ウエハ加熱ヒータ |
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JP2016076532A JP2016076532A (ja) | 2016-05-12 |
JP6379954B2 true JP6379954B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
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Family Applications (1)
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2014
- 2014-10-03 JP JP2014204502A patent/JP6379954B2/ja active Active
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