JP6368723B2 - センサ装置 - Google Patents
センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6368723B2 JP6368723B2 JP2015559946A JP2015559946A JP6368723B2 JP 6368723 B2 JP6368723 B2 JP 6368723B2 JP 2015559946 A JP2015559946 A JP 2015559946A JP 2015559946 A JP2015559946 A JP 2015559946A JP 6368723 B2 JP6368723 B2 JP 6368723B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor device
- electrode
- immobilization film
- detection
- cover member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 256
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 75
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 47
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 39
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 38
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 36
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 23
- 239000012620 biological material Substances 0.000 claims description 22
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 claims description 2
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 claims description 2
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 claims description 2
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 claims description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 119
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 104
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 50
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 44
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 37
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 37
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 31
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 27
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 17
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 14
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 14
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 108091023037 Aptamer Proteins 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 230000009471 action Effects 0.000 description 8
- 241000252506 Characiformes Species 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 antibodies) Proteins 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 3
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910001922 gold oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 3
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 3
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 3
- YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N (+)-Biotin Chemical compound N1C(=O)N[C@@H]2[C@H](CCCCC(=O)O)SC[C@@H]21 YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 2
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 description 2
- KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N succinimide Chemical group O=C1CCC(=O)N1 KZNICNPSHKQLFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000936 Agarose Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002160 Celluloid Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002307 Dextran Polymers 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NQTADLQHYWFPDB-UHFFFAOYSA-N N-Hydroxysuccinimide Chemical group ON1C(=O)CCC1=O NQTADLQHYWFPDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- KZNMRPQBBZBTSW-UHFFFAOYSA-N [Au]=O Chemical compound [Au]=O KZNMRPQBBZBTSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000783 alginic acid Substances 0.000 description 1
- 235000010443 alginic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920000615 alginic acid Polymers 0.000 description 1
- 229960001126 alginic acid Drugs 0.000 description 1
- 150000004781 alginic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N azide group Chemical group [N-]=[N+]=[N-] IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229960002685 biotin Drugs 0.000 description 1
- 235000020958 biotin Nutrition 0.000 description 1
- 239000011616 biotin Substances 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- PFKFTWBEEFSNDU-UHFFFAOYSA-N carbonyldiimidazole Chemical group C1=CN=CN1C(=O)N1C=CN=C1 PFKFTWBEEFSNDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000679 carrageenan Substances 0.000 description 1
- 235000010418 carrageenan Nutrition 0.000 description 1
- 229920001525 carrageenan Polymers 0.000 description 1
- 229940113118 carrageenan Drugs 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002228 disulfide group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002649 immunization Methods 0.000 description 1
- 230000003053 immunization Effects 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005439 maleimidyl group Chemical group C1(C=CC(N1*)=O)=O 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009871 nonspecific binding Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- YHHSONZFOIEMCP-UHFFFAOYSA-O phosphocholine Chemical compound C[N+](C)(C)CCOP(O)(O)=O YHHSONZFOIEMCP-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229950004354 phosphorylcholine Drugs 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002088 tosyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1C([H])([H])[H])S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- UHVMMEOXYDMDKI-JKYCWFKZSA-L zinc;1-(5-cyanopyridin-2-yl)-3-[(1s,2s)-2-(6-fluoro-2-hydroxy-3-propanoylphenyl)cyclopropyl]urea;diacetate Chemical compound [Zn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CCC(=O)C1=CC=C(F)C([C@H]2[C@H](C2)NC(=O)NC=2N=CC(=CC=2)C#N)=C1O UHVMMEOXYDMDKI-JKYCWFKZSA-L 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/022—Fluid sensors based on microsensors, e.g. quartz crystal-microbalance [QCM], surface acoustic wave [SAW] devices, tuning forks, cantilevers, flexural plate wave [FPW] devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/222—Constructional or flow details for analysing fluids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2468—Probes with delay lines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
- B01L2300/0645—Electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
- B01L2300/0663—Whole sensors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/16—Surface properties and coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/021—Gases
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/022—Liquids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0255—(Bio)chemical reactions, e.g. on biosensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
- G01N2291/0257—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors with a layer containing at least one organic compound
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0423—Surface waves, e.g. Rayleigh waves, Love waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/10—Number of transducers
- G01N2291/102—Number of transducers one emitter, one receiver
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
そこで、検出対象を感度良くあるいは精度良く検出することができるセンサ装置が求められていた。
本発明の第1実施形態に係るセンサ装置100について、図1〜図7を用いて説明する。
第1カバー部材1は、図1(b)に示すように平板状である。第1カバー部材1の厚さは、例えば、0.1mm〜0.5mmである。第1カバー部材1の平面形状は概ね長方形状である。第1カバー部材1の長さ方向の長さは、例えば、1cm〜5cmであり、幅方向の長さは、例えば、1cm〜3cmである。第1カバー部材1の材料としては、例えば、紙、プラスチック、セルロイド、セラミックス、不織布、ガラスなどを用いることができる。必要な強度とコストとを兼ね備える観点からプラスチックを用いることが好ましい。
本実施形態において、図1(a)および図1(b)に示すように、中間カバー部材1Aが、第1カバー部材1の上面に、検出素子3と並んで位置している。また、中間カバー部材1Aと検出素子3とは間隙を介して位置している。
第2カバー部材2は、図1(b)および図1(c)に示すように、検出素子3の少なくとも一部を覆うとともに中間カバー部材1Aに接合されている。第2カバー部材2の材料としては、例えば、樹脂(プラスチックを含む)、紙、不織布、ガラスなどを用いることができ、より具体的には、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂材料を用いることが好ましい。なお、第1カバー部材1の材料と第2カバー部材2の材料とを同一としてもよい。これによって、互いの熱膨張係数の差に起因する変形を抑制することが可能となる。なお、第2カバー部材2は、中間カバー部材1Aにのみ接合される構成、あるいは第1カバー部材1および中間カバー部材1Aの双方に接合される構成にしてもよい。
第3基板2aは、中間カバー部材1Aの上面に貼り合わされている。第3基板2aは平板状であり、その厚さは、例えば、0.1mm〜0.5mmである。第4基板2bは、第3基板2aの上面に貼り合わされている。第4基板2bは、平板状であり、その厚さは、例えば、0.1mm〜0.5mmである。そして、図6に示すように、第3基板2aには流路15を形成する切欠きが形成されていることから、第4基板2bが第3基板2aと接合されることによって、図1(b)に示すように、第2カバー部材2の下面に流路15が形成されることとなる。流路15は、流入部14から少なくとも検出部13の直上領域まで延びており、断面形状は、例えば、矩形状である。
検出素子3は、図1(b)に示すように、第1カバー部材1の上面に位置している素子基板10、および素子基板10の上面または後述する絶縁性部材28の上面に位置しており且つ検体液に含まれる検出対象の検出を行なう少なくとも1つの検出部13を有する。検出素子3の詳細については、図2(b)および図3に示している。
素子基板10は、例えば、タンタル酸リチウム(LiTaO3)単結晶、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)単結晶または水晶などの圧電性を有する単結晶の基板からなる。素子基板10の平面形状および各種寸法は適宜に設定されてよい。一例として、素子基板10の厚さは、0.3mm〜1mmである。
図3に示すように、第1IDT電極11は、素子基板10の上面に位置しており、1対の櫛歯電極を有する。各櫛歯電極は、互いに対向する2本のバスバー、および各バスバーから他のバスバー側へ延びる複数の電極指を有している。そして、1対の櫛歯電極は、複数の電極指が互いに噛み合うように配置されている。第2IDT電極12も、第1IDT電極11と同様、素子基板10の上面に位置しており、1対の櫛歯電極を有する。図3に示されている第1IDT電極11および第2IDT電極12は、トランスバーサル型のIDT電極を構成している。
図3(a)に示すように、第1引出し電極19は、第1IDT電極11に接続されており、第2引出し電極20は、第2IDT電極12に接続されている。
絶縁性部材28は、素子電極(IDT電極11、12および引出し電極19、20など)29の酸化防止などに寄与するものであり、図3に示すように、素子電極29の少なくとも一部を覆っている。
図4(a)において、絶縁性部材28は、素子基板10の一部のみを覆っている。そして、素子基板10の表面(上面)であって絶縁性部材28で覆われていない部位に、検出部13が形成されている。これによれば、絶縁性部材28で覆われていない部位では素子基板10の表面近傍において弾性表面波の振幅が強くなるとともに、当該部位において素子基板10の表面と後述する反応部13bとが近接していることから、検出の感度を向上させることができる。
図3に示すように、検出部13は、検体液に含まれる検出対象の検出を行なうものであり、素子基板10の上面(表面)または絶縁性部材28の上面であって第1IDT電極11と第2IDT電極12との間に位置している。検出部13は、素子基板10の上面(表面)または絶縁性部材28の上面(表面)に位置している固定化膜13aと、固定化膜13aの上面に位置している反応部13bとを有する。
まず、固定化膜13aは、素子基板10の上面(表面)または絶縁性部材28の上面(表面)に位置しているとともに、その上面(表面)に反応部13bを固定化するものである。本実施形態では、上述のとおり、検出部13が第1IDT電極11と第2IDT電極12との間に位置していることから、固定化膜13aも第1IDT電極11と第2IDT電極12との間に位置している。より具体的には、センサ装置100を第2カバー部材2の上面側から透視する上面透視において、固定化膜13aが第1IDT電極11と第2IDT電極12との間に位置している。
以上のように、本実施形態に係るセンサ装置100によれば、固定化膜13aの表面粗さが素子電極29の表面粗さよりも小さいことから、固定化膜13aの表面(上面)に対して、検体液に含まれる検出対象以外の物質が非特異吸着することを抑制しつつ、検体液に含まれる検出対象の検出に寄与する構成を効果的に固定化することができ、その結果、検出対象を精度良く検出することが可能となる。それに加えて、素子電極29の表面粗さはある程度の大きさを有することから、その表面に形成する絶縁性部材28と優れた密着性を有することが可能となる。また、固定化膜13aの表面粗さは、第1IDT電極11および第2IDT電極12のいずれの表面粗さよりも小さいのが好ましい。
以上のように、本実施形態に係るセンサ装置100によれば、固定化膜13aの表層部の酸素量は、素子電極29の表層部の酸素量よりも小さいことから、検体液に含まれる検出対象の検出に寄与する構成を固定化膜13aの表面に効果的に固定化することができ、その結果、検出対象を精度良く検出することが可能となる。なお、固定化膜13aの表層部の酸素量は、第1IDT電極11および第2IDT電極12のいずれの表層部の酸素量よりも小さいのが好ましい。
次に、反応部13bは、検体液中の検出対象と化学反応を生じる部位であり、図5に示すように、固定化膜13aの表面(上面)に位置している。反応部13bとしては、例えば、固定化膜13aの表面に、後述するような官能基13b1を介して生体材料13b3を固定化する構成、あるいは、図5に示すように、官能基13b1および有機部材13b2を介して生体材料13b3を固定化する構成などが挙げられる。言い換えれば、官能基13b1は、直接あるいは有機部材13b2などを介して、固定化膜13aの表面に生体材料13b3を固定化する役割を有する。このような構成を有する反応部13bは、例えば、検体液との接触に起因して、検体液中の特定の検出対象がその検出対象に対応するアプタマーなどの生体材料13b3などと結合する。
SAWを利用した検出素子3を用いて検体液の検出を行なうには、まず、第1IDT電極11に、配線7および第1引出し電極19などを介して、外部の測定器から所定の電圧を印加する。
本実施形態に係るセンサ装置100においては、流路15の内面全体、あるいは内面の一部、例えば、流路15の底面および壁面などが親液性を有している。流路15の内面が親液性を有することによって毛細管現象が起こりやすくなり、検体液が流入部14から吸引されやすくなる。
本実施形態において、検体液の流路15は深さが0.3mm程度であるのに対し、検出素子3は厚さが0.3mm程度であり、図1(b)に示すように、流路15の深さと検出素子3の厚さとがほぼ等しい。そのため、流路15上に検出素子3をそのまま置くと流路15が塞がれてしまう。そこで、センサ装置100においては、図1(b)および図2に示すように、検出素子3が実装される第1カバー部材1と第1カバー部材1上に接合される中間カバー部材1Aとによって素子収容凹部5を設けている。この素子収容凹部5の中に検出素子3を収容することによって、検体液の流路15が塞がれないようにしている。すなわち、素子収容凹部5の深さを検出素子3の厚さと同程度にし、その素子収容凹部5の中に検出素子3を実装することによって、流路15を確保することができる。
まず、図7(a)に示すように、端子6および配線7が形成された第1カバー部材1を用意する。
(i)レジストパターニングした後にリフトオフすることによって、第1IDT電極11、第2IDT電極12、第1引出し電極19および第2引出し電極20を形成する工程。
(ii)成膜した後にパターニングすることによって、絶縁性部材28を形成する工程。
(iii)固定化膜13a、第1引出し電極19の端部19eおよび第2引出し電極20の端部20eを形成する工程。
<変形例>
図8は、図1のセンサ装置100の変形例に係るセンサ装置100a、100b、100cを示す平面図であり、(a)および(b)は図7(d)に対応する図であり、(c)は図1(a)に対応する図である。
まず、図10(a)〜図10(c)に示すように、上述の第1実施形態に係るセンサ装置100と同様にして、端子6および配線7が形成された第1カバー部材1の上に中間カバー部材1Aを積層し、検出素子3を金属細線27を用いて実装する。
図13は、本発明の第2実施形態に係るセンサ装置200を示す図であり、図2(a)に対応する図である。
例えば、上述した実施形態においては、検出素子3が弾性表面波素子からなるものについて説明したが、検出素子3はこれに限らず、例えば、表面プラズモン共鳴が起こるように光導波路などを形成した検出素子3を用いてもよい。この場合は、例えば、検出部における光の屈折率の変化などを計測する。その他、水晶などの圧電基板に振動子を形成した検出素子3を用いることもできる。この場合は、例えば、振動子の発振周波数の変化を計測する。
1A・・・中間カバー部材
1Aa・・・第1上流部
θ1a・・・接触角
1Ab・・・第1下流部
θ1b・・・接触角
2・・・第2カバー部材
2a・・・第3基板
2b・・・第4基板
2ba・・・第2上流部
θ2a・・・接触角
2bb・・・第2下流部
θ2b・・・接触角
3・・・検出素子
3a・・・上流領域
θ3a・・・接触角
3b・・・検出領域(検出部)
θ3b・・・接触角
3c・・・下流領域
θ3c・・・接触角
4・・・凹部形成部位
5・・・素子収容凹部
6・・・端子
7・・・配線
9・・・充填部材
10・・・素子基板
11・・・第1IDT電極
12・・・第2IDT電極
13(3b)・・・検出部
13a・・・固定化膜
13b・・・反応部
13b1・・・官能基
13b2・・・有機部材
13b3・・・生体材料
14・・・流入部
15・・・流路
15a・・・上流部
15b・・・下流部(延長部)
18・・・排気孔
19・・・第1引出し電極
19e・・・端部(パッド部)
20・・・第2引出し電極
20e・・・端部(パッド部)
27・・・導線(金属細線)
28・・・絶縁性部材
28a・・・被覆部位
28b・・・外周部位
29・・・素子電極
30・・・吸液材
100・・・センサ装置
Claims (24)
- 素子基板と、
前記素子基板の上面に位置している素子電極と、
前記素子電極の少なくとも一部を覆っている絶縁性部材と、
前記素子基板の上面または前記絶縁性部材の上面に位置している固定化膜を有しており且つ検体に含まれる検出対象の検出を行なう検出部と、を備え、
前記固定化膜の表面粗さは、前記素子電極の表面粗さよりも小さい、センサ装置。 - 前記素子電極は、
弾性波を発生させる第1IDT(Interdigital Transducer)電極と、
前記第1IDT電極から伝搬する前記弾性波を受信する第2IDT電極と、を有し、
前記固定化膜の表面粗さは、前記第1IDT電極および前記第2IDT電極のいずれの表面粗さよりも小さい、請求項1に記載のセンサ装置。 - 上面透視において、前記固定化膜は、前記第1IDT電極と前記第2IDT電極との間に位置している、請求項2に記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜の表層部の酸素量は、前記素子電極の表層部の酸素量よりも小さい、請求項1〜3のいずれかに記載のセンサ装置。
- 素子基板と、
前記素子基板の上面に位置している素子電極と、
前記素子電極の少なくとも一部を覆っている絶縁性部材と、
前記素子基板の上面または前記絶縁性部材の上面に位置している固定化膜を有しており且つ検体に含まれる検出対象の検出を行なう検出部と、を備え、
前記固定化膜の表層部の酸素量は、前記素子電極の表層部の酸素量よりも小さい、センサ装置。 - 前記素子電極は、
弾性波を発生させる第1IDT(Interdigital Transducer)電極と、
前記第1IDT電極から伝搬する前記弾性波を受信する第2IDT電極と、を有し、
前記固定化膜の表層部の酸素量は、前記第1IDT電極および前記第2IDT電極のいずれの表層部の酸素量よりも小さい、請求項5に記載のセンサ装置。 - 上面透視において、前記固定化膜は、前記第1IDT電極と前記第2IDT電極との間に位置している、請求項6に記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜の表面粗さは、前記素子電極の表面粗さよりも小さい、請求項5〜7のいずれかに記載のセンサ装置。
- 素子基板と、
前記素子基板の上面に位置している素子電極と、
前記素子基板の上面に位置している固定化膜を有しており且つ検体に含まれる検出対象の検出を行なう検出部と、を備え、
前記固定化膜の表面粗さは、前記素子電極の表面粗さよりも小さく、
前記固定化膜の表層部の酸素量は、前記素子電極の表層部の酸素量よりも小さい、センサ装置。 - 前記検出部は、前記固定化膜の上面に位置しており、前記検体に含まれる検出対象と化学反応を生じる反応部、をさらに有する、請求項1〜9のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記反応部は、前記固定化膜の前記上面と結合しているチオール基を有する、請求項10に記載のセンサ装置。
- 前記反応部は、前記チオール基と結合している有機部材をさらに有する、請求項11に記載のセンサ装置。
- 前記反応部は、前記固定化膜の上方に固定化されている、ペプチド、タンパク質および核酸から選ばれる少なくとも1種を含む生体材料をさらに有する、請求項10〜12のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜は、前記素子電極と同一の材料を有する、請求項1〜13のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記素子電極は複数の層からなり、前記複数の層のうち最上層は前記固定化膜と異なる材料で構成されている、請求項1〜14のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記素子電極および前記固定化膜は、Auを有する、請求項1〜15のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜の厚さは、前記素子電極の厚さよりも小さい、請求項1〜16のいずれかに記載のセンサ装置。
- 断面視において、前記絶縁性部材の前記上面は、前記固定化膜に覆われている被覆部位よりも前記被覆部位に連続する外周部位の方が低い、請求項1〜8のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記絶縁性部材は、SiO2を有する、請求項1〜8のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜の前記表面粗さおよび前記素子電極の前記表面粗さがいずれも、0.1nm〜5nmである、請求項1〜4、8、9のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記固定化膜の前記表層部の前記酸素量が11atomic%未満であり、前記素子電極の前記表層部の前記酸素量が17〜20atomic%である、請求項4〜9のいずれかに記載のセンサ装置。
- 断面視において、前記絶縁性部材の前記上面は、前記固定化膜に覆われている被覆部位よりも前記被覆部位に連続する外周部位の方が高い、請求項1〜8のいずれかに記載のセンサ装置。
- 少なくとも前記検出部まで延びている流路、をさらに備え、
前記流路において、前記検出部よりも上流側に位置している部材の表面の前記検体に対する接触角が、前記検出部の表面の前記検体に対する接触角よりも小さい、請求項1〜22のいずれかに記載のセンサ装置。 - 少なくとも前記検出部まで延びている流路、をさらに備え、
前記流路において、前記検出部よりも下流側に位置している部材の表面の前記検体に対する接触角が、前記検出部よりも上流側に位置している部材の表面の前記検体に対する接触角よりも大きい、請求項1〜23のいずれかに記載のセンサ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014018561 | 2014-02-03 | ||
JP2014018561 | 2014-02-03 | ||
PCT/JP2015/052175 WO2015115419A1 (ja) | 2014-02-03 | 2015-01-27 | センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015115419A1 JPWO2015115419A1 (ja) | 2017-03-23 |
JP6368723B2 true JP6368723B2 (ja) | 2018-08-01 |
Family
ID=53756992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015559946A Active JP6368723B2 (ja) | 2014-02-03 | 2015-01-27 | センサ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10228350B2 (ja) |
EP (1) | EP3104172B1 (ja) |
JP (1) | JP6368723B2 (ja) |
WO (1) | WO2015115419A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015115419A1 (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-06 | 京セラ株式会社 | センサ装置 |
WO2017150584A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 京セラ株式会社 | センサ素子およびセンサ装置 |
US20170299571A1 (en) | 2016-04-14 | 2017-10-19 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Compositions and methods for determining mechanical properties of cells |
JP7187134B2 (ja) | 2017-03-17 | 2022-12-12 | Tdk株式会社 | 弾性波センサ |
US20180323061A1 (en) * | 2017-05-03 | 2018-11-08 | Tokyo Electron Limited | Self-Aligned Triple Patterning Process Utilizing Organic Spacers |
WO2019131014A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
US11879870B2 (en) | 2019-04-26 | 2024-01-23 | Kyocera Corporation | Method of manufacturing sensor device and sensor device |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4713260A (en) * | 1985-08-22 | 1987-12-15 | Harris Corporation | Method of ensuring adhesion of chemically vapor deposited oxide to gold integrated circuit interconnect lines |
US5283037A (en) | 1988-09-29 | 1994-02-01 | Hewlett-Packard Company | Chemical sensor utilizing a surface transverse wave device |
JP2561753B2 (ja) | 1989-10-02 | 1996-12-11 | 帝人株式会社 | ヒト組織プラスミノーゲンアクチベーター・ヒトプラスミノーゲンアクチベーター複合体の免疫学的測定キツト及び測定方法 |
JP3656159B2 (ja) * | 2002-02-22 | 2005-06-08 | 独立行政法人理化学研究所 | リガンドとの分子間相互作用を有するタンパク質のスクリーニング方法 |
WO2005083882A1 (en) * | 2004-02-26 | 2005-09-09 | Mnt Innovations Pty Ltd | Layered surface acoustic wave sensor |
JP2007010378A (ja) | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子及びその製造方法、弾性表面波センサ、並びに弾性表面波センサシステム |
JP2007139510A (ja) | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Yamaha Motor Co Ltd | 微細構造を有する試料支持体およびその製造方法 |
WO2008130327A1 (en) | 2007-04-20 | 2008-10-30 | Agency For Science, Technology And Research | Biointerfaces for biomolecule detection |
WO2010146923A1 (ja) | 2009-06-18 | 2010-12-23 | 株式会社 村田製作所 | 弾性表面波センサー |
US8960004B2 (en) * | 2010-09-29 | 2015-02-24 | The George Washington University | Synchronous one-pole surface acoustic wave resonator |
GB201104462D0 (en) | 2011-03-15 | 2011-04-27 | Univ Aston | System and method for testing a sample |
US9322809B2 (en) * | 2012-01-20 | 2016-04-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Elastic wave sensor |
JP5566543B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2014-08-06 | 国立大学法人九州大学 | センサ、検出方法、検出システム、及び、検出装置 |
WO2015115419A1 (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-06 | 京セラ株式会社 | センサ装置 |
-
2015
- 2015-01-27 WO PCT/JP2015/052175 patent/WO2015115419A1/ja active Application Filing
- 2015-01-27 EP EP15743112.3A patent/EP3104172B1/en active Active
- 2015-01-27 US US15/116,191 patent/US10228350B2/en active Active
- 2015-01-27 JP JP2015559946A patent/JP6368723B2/ja active Active
-
2019
- 2019-01-24 US US16/256,952 patent/US10761062B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190227033A1 (en) | 2019-07-25 |
US10761062B2 (en) | 2020-09-01 |
JPWO2015115419A1 (ja) | 2017-03-23 |
EP3104172A1 (en) | 2016-12-14 |
EP3104172A4 (en) | 2017-08-02 |
WO2015115419A1 (ja) | 2015-08-06 |
US10228350B2 (en) | 2019-03-12 |
EP3104172B1 (en) | 2020-04-29 |
US20170016858A1 (en) | 2017-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6368723B2 (ja) | センサ装置 | |
US10533971B2 (en) | Biosensor | |
JP6987955B2 (ja) | センサ装置 | |
JP6975828B2 (ja) | センサ装置 | |
JP6194015B2 (ja) | センサ装置 | |
JP2017215345A (ja) | センサ装置 | |
EP3225984B1 (en) | Sensor apparatus | |
WO2015046577A1 (ja) | センサ、検出方法、検出システム及び検出装置 | |
WO2016121864A1 (ja) | 検出対象のセンシング方法 | |
JP6049766B2 (ja) | センサ | |
JP6169702B2 (ja) | Rnaアプタマー、ならびにそれを用いたセンサおよび検出方法 | |
Fukuura et al. | Biosensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180612 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6368723 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |