JP6365172B2 - 電力変換装置および装置部品 - Google Patents

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Description

本発明は、スイッチ素子を備えた電力変換装置および装置部品に関する。
スイッチ素子をオン/オフさせることにより、入力した電力を予め設定された電圧値に変換して出力する電力変換装置の小型化には、スイッチ素子のスイッチングの高速化が有効である。一方、スイッチングの高速化により、スイッチング損失が増加する。そこで、従来のシリコンMOSFETに替えて、スイッチングの高速化が可能なGaN−FETなどの次世代半導体素子を用いることで、スイッチング損失を抑制することが検討されている(例えば、非特許文献1を参照)。
H. Umegami, A. Nishigaki, F. Hattori, and M. Yamamoto, "Investigation of false triggering mechanism," IEEJ transaction on electrical and electronic engineering, vol. 9, no. 1, pp. 102-104 (2014)
しかし、スイッチングの高速化に伴い、非特許文献1に示すように、スイッチングにより発生したノイズ電圧に起因してスイッチ素子の両端電位差が自励的に振動する誤動作が長時間継続してしまうおそれがあった。
本発明は、こうした問題に鑑みてなされたものであり、スイッチ素子の両端電位差の自励的な振動を抑制する技術を提供することを目的とする。
上記目的を達成するためになされた第1発明の電力変換装置は、第1スイッチ素子と、第2スイッチ素子もしくは整流素子と、コンデンサと、主電流経路と、副電流経路とを備える。
第1スイッチ素子は、一対の第1通電電極と第2通電電極との間を、制御電極に印加される電圧または電流に応じて、電気的に導通した導通状態および電気的に導通していない非導通状態の何れか一方に切り換える。コンデンサは、第1スイッチ素子に対して直列に接続される。第2スイッチ素子もしくは整流素子は、第1スイッチ素子に対して直列に接続される。
主電流経路は、第1スイッチ素子により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、第1通電電極と第2通電電極との間で電流の交流成分が、コンデンサならびに第2スイッチ素子もしくは整流素子を通って流れる電流経路である。副電流経路は、第1スイッチ素子により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、制御電極と第2通電電極との間で電流の交流成分が第1スイッチ素子の外部を通って流れる電流経路である。
そして第1発明の電力変換装置は、第1スイッチ素子により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように実装されている。
なお、主電流経路と副電流経路との相互インダクタンスを第1インダクタンスとし、主電流経路の自己インダクタンスと第1インダクタンスとの差を第2インダクタンスとし、副電流経路の自己インダクタンスと第1インダクタンスとの差を第3インダクタンスとする。
また、制御電極と第1通電電極との間の静電容量を第1静電容量とし、制御電極と第2通電電極との間の静電容量を第2静電容量とし、第1通電電極と第2通電電極との間の静電容量を第3静電容量とする。
また、第1インダクタンスを第1静電容量で除した値を第1除算値とし、第2インダクタンスを第2静電容量で除した値を第2除算値とし、第3インダクタンスを第3静電容量で除した値を第3除算値とする。
このように構成された第1発明の電力変換装置は、第1スイッチ素子の導通状態と非導通状態とを切り替える過渡状態において第1並列回路が第1スイッチ素子の第2通電電極と制御電極との間に接続され、第2並列回路が第1スイッチ素子の第1通電電極と第2通電電極との間に接続され、第3並列回路が第1スイッチ素子の制御電極と第1通電電極との間に接続された等価回路を構成する(図4を参照)。なお、第1並列回路、第2並列回路および第3並列回路は、コンデンサとインダクタを互いに並列に接続して構成される。
そして、この等価回路において、第1並列回路、第2並列回路および第3並列回路をそれぞれ、第1インピーダンスを有する負荷、第2インピーダンスを有する負荷、および第3インピーダンスを有する負荷に置き換えると、バルクハウゼン型回路の基本形を得ることができる(図5を参照)。
バルクハウゼン型回路は、回路の発振現象の代表的モデルである。バルクハウゼン型回路が発振することなく安定に動作するためには、バルクハウゼン型回路において、以下に示す第1〜4安定動作条件の何れか一つが成立する必要がある。
第1安定動作条件は、第1インピーダンスが誘導性のリアクタンス(リアクタンスが正値)であり、且つ、第2インピーダンスが容量性のリアクタンス(リアクタンスが負値)であることである。
第2安定動作条件は、第1インピーダンスが容量性のリアクタンス(リアクタンスが負値)であり、且つ、第2インピーダンスが誘導性のリアクタンス(リアクタンスが正値)であることである。
第3安定動作条件は、第1インピーダンスと第3インピーダンスがともに誘導性のリアクタンスであることである。
第4安定動作条件は、第1インピーダンスと第3インピーダンスがともに容量性のリアクタンスであることである。
なお、第1インピーダンス、第2インピーダンスおよび第3インピーダンスは、高調波電流の周波数に応じて誘導性であるか容量性であるかが決定される。具体的には、周波数が共振周波数より低い場合には誘導性であり、共振周波数より高い場合には容量性である。
そして、第1発明の電力変換装置は、第1スイッチ素子により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように実装されているために、全周波数帯域において第1〜4安定動作条件の何れかが成立する。これにより、第1発明の電力変換装置は、第1スイッチ素子における一対の第1通電電極と第2通電電極との間の電位差の自励的な振動を抑制することができる。
また第2発明の装置部品は、第1発明の電力変換装置の第1スイッチ素子を備え、第1発明の電力変換装置の一部分を構成する。そして第2発明の装置部品は、変更手段を備える。
変更手段は、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、第1インダクタンス、第2インダクタンス、第3インダクタンス、第1静電容量、第2静電容量および第3静電容量の少なくとも一つの値を当該装置部品の外部からの操作によって変更する。
このように構成された第2発明の装置部品は、第1発明の電力変換装置において第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるようにするためのものであり、あらかじめ第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように装置部品を実装することが困難な場合であってもなお、第2発明の装置部品の設定を変更することで、第1発明と同様の効果を得ることができる。
昇圧チョッパ装置1の回路図である。 トランスを用いた等価回路を示す図である。 T型等価回路を用いた等価回路を示す図である。 Y−Δ変換を適用した等価回路を示す図である。 バルクハウゼン型回路として表現した等価回路を示す図である。 fgs<fds<fgdの場合における共振周波数とインピーダンスとの関係を示すグラフである。 fgs<fgd<fdsの場合における共振周波数とインピーダンスとの関係を示すグラフである。 fgd<fgs<fdsの場合における共振周波数とインピーダンスとの関係を示すグラフである。 第2実施形態の半導体パッケージ90の回路図である。 第2実施形態の半導体パッケージ90の斜視図である。 第3実施形態の半導体パッケージ90の回路図である。 第4実施形態の半導体パッケージ90の回路図である。 第5実施形態の半導体パッケージ90の回路図である。 第6実施形態の半導体パッケージ90の回路図である。 第7実施形態の半導体モジュール140の回路図である。 第8実施形態の半導体モジュール140の回路図である。 第9実施形態の半導体モジュール160の回路図である。 同期整流昇圧チョッパ装置201の回路図である。 単方向降圧チョッパ装置301の回路図である。 同期整流降圧チョッパ装置401の回路図である。
(第1実施形態)
以下に本発明の第1実施形態を図面とともに説明する。
本実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図1に示すように、ダイオード11、スイッチ素子12、コンデンサ13,14、インダクタ15、直流電源16,17、ドライバ回路18、出力端子19およびグランド端子20を備える。
ダイオード11は、カソードが出力端子19に接続されるとともに、アノードがスイッチ素子12のドレイン12Dに接続される。
スイッチ素子12は、Nチャネル型の電界効果トランジスタであり、ドレイン12Dがダイオード11のアノードに接続されるとともに、ソース12Sがグランド端子20に接続される。
コンデンサ13は、一端がコンデンサ14とダイオード11のカソードとの接続点に接続されるとともに、他端がグランド端子20に接続される。またコンデンサ14は、一端が出力端子19とコンデンサC1との接続点に接続されるとともに、他端がグランド端子20に接続される。なおコンデンサ14は、電源を十分に平滑することができるように、静電容量が大きい電解コンデンサである。またコンデンサ13は、コンデンサ14より静電容量の小さい表面実装コンデンサである。
インダクタ15は、一端が直流電源16に接続されるとともに、他端がダイオード11とスイッチ素子12との接続点に接続されている。
直流電源16は、正極がインダクタ15に接続されるとともに、負極がグランド端子20に接続される。
直流電源17は、正極がドライバ回路18の電源端子に接続されるとともに、負極がグランド端子20に接続される。
ドライバ回路18は、直流電源17の正極とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路を連通するオン状態と、その通電経路を遮断して直流電源17の負極とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路を連通するオフ状態との何れかの状態になるように駆動される。
このように構成された昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12をオン/オフさせることにより、出力端子19に直流電源16より高い電圧を発生させることができる。すなわち、まずスイッチ素子12をオンすると、インダクタ15に磁気エネルギーが蓄積される。その後にスイッチ素子12をオフすると、インダクタ15に蓄積された磁気エネルギーにより、インダクタ15とスイッチ素子12との接続点での電圧が上昇し、コンデンサ14に電荷が蓄積される。この動作を繰り返すことにより、出力端子19の電圧が上昇する。
ここで、主電流経路Rm(後述)のインダクタンス成分のうち、ゲート電流経路Rg(後述)に電圧を誘導しないインダクタンス成分をLdとする。一方、主電流経路Rmのインダクタンス成分のうち、ゲート電流経路Rgに電圧を誘導するインダクタンス成分をLsとする。また、ゲート電流経路Rgのインダクタンス成分のうち、主電流経路Rmに電圧を誘導しないインダクタンス成分をLgとする。
さらに、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間の静電容量をCgs、ドレイン12Dとソース12Sとの間の静電容量をCds、ゲート12Gとドレイン12Dとの間の静電容量をCgdとする。
そして昇圧チョッパ装置1は、下式(1)または下式(2)が成立するように形成されている。
これにより、スイッチングにより発生したノイズ電圧に起因してスイッチ素子12のドレイン12Dの電圧が自励的に振動する誤動作が長時間継続してしまうのを抑制することができる。
式(1),(2)により上記振動を抑制することができる原理を以下に説明する。
昇圧チョッパ装置1のスイッチ素子12をオン/オフする際には、スイッチ素子12のドレイン12Dに流れる電流の量が急激に変化する。このため、スイッチ素子12のスイッチングの瞬間に、大きな高調波電流がドレイン電流に重畳する。他方でインダクタ電流は、スイッチングの瞬間などの短時間では、一定電流とみなすことができる。このため、この高調波電流はインダクタ15に流れることができず、ダイオード11に流れることになる。
そして高調波電流は、ダイオード11を通過した後に、直近のコンデンサ13に流れ、スイッチ素子12のソース12Sに到る。このように、高調波電流の経路は、スイッチ素子12のドレイン12Dから、ダイオード11とコンデンサ13を通って、スイッチ素子12のソース12Sに到るループ状の電流経路を形成する。以下、この電流経路を主電流経路Rmという。
また、スイッチ素子12をオン/オフする際には、スイッチ素子12のゲート12Gが短時間で急激に充放電される。このため、スイッチ素子12のゲート12Gを流れる電流にも大きな高調波電流が重畳する。
スイッチ素子12がオン状態に切り替わるときには、この高調波電流は、スイッチ素子12のゲート12Gからドライバ回路18を通過し、直流電源17の正極から直流電源17の平滑コンデンサを介してスイッチ素子12のソース12Sに到る。このように、高調波電流の経路は、スイッチ素子12のゲート12Gから、ドライバ回路18と直流電源17とを通って、スイッチ素子12のソース12Sに到るループ状の電流経路を形成する。以下、この電流経路をオン時ゲート電流経路Rg1という。
スイッチ素子12がオフ状態に切り替わるときには、スイッチ素子12のゲート12Gからドライバ回路18を通過し、スイッチ素子12のソース12Sに到る。このように、高調波電流の経路は、スイッチ素子12のゲート12Gから、ドライバ回路18を通って、スイッチ素子12のソース12Sに到るループ状の電流経路を形成する。以下、この電流経路をオフ時ゲート電流経路Rg2という。
なお、オン時ゲート電流経路Rg1とオフ時ゲート電流経路Rg2をまとめてゲート電流経路Rgという。すなわち、単にゲート電流経路Rgという場合には、スイッチ素子12がオン状態に切り替わるときにはオン時ゲート電流経路Rg1を指し、スイッチ素子12がオフ状態に切り替わるときにはオフ時ゲート電流経路Rg2を指すものとする。
ここで、上記の高調波電流に関して、昇圧チョッパ装置1に対応する等価回路を求める。主電流経路Rmとゲート電流経路Rgの平滑コンデンサは、一般に高調波電流に関して十分な静電容量を持って平滑できると近似できるため、短絡除去することができる。一方、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgはスイッチ素子12のソース12S付近の電流経路を一部共有するとともに、両経路間の磁気結合も無視できないものとする。このため、昇圧チョッパ装置1では、図2に示すように、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgを、インダクタ31とインダクタ32を備えて自己インダクタンスと相互インダクタンスが存在するトランス30とみなした等価回路で表現することができる。
ここで、トランス30の相互インダクタンスLsは、主電流経路Rmの通電電流idに対して、ゲート電流経路Rg上に、下式(3)に示す誘導電圧vmを誘導するものとする。
また、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgにはそれぞれ、自己インダクタンスLd’と自己インダクタンス Lg’が存在する。このため、図2に示すトランス30は、図3に示すように、インダクタ41,42,43の一端を互いに連結して構成されたT型等価回路40で置き換えることができる。そして、インダクタ41,42,43のインダクタンスをそれぞれLs,Ld,Lgと表記すると、インダクタ42,43のインダクタンスLd,Lgは、下式(4),(5)で表される。
図3では、スイッチ素子12の各端子間に寄生する静電容量をコンデンサ51,52,53として示している。そして、コンデンサ51,52,53の静電容量をそれぞれ、Cgs,Cds,Cgdと表記する。ただし図3では、配線に寄生する抵抗と、ドライバ回路18および平滑コンデンサの寄生抵抗を無視している。
図3に示す等価回路が発振回路に属するという考えに基づき、配線に寄生するインダクタンスLg,Ld,Ls(図3を参照)は、Y−Δ変換を用いることで、図4に示す等価回路に変換することができる。
このとき、図4に示す等価回路は、スイッチ素子12の各端子間において、互いに並列に接続されたコンデンサとインダクタがスイッチ素子12の各端子間に接続されて構成される。
具体的には、互いに並列に接続されたコンデンサ51とインダクタ61で構成される並列回路71が、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に接続されている。また、互いに並列に接続されたコンデンサ52とインダクタ62で構成される並列回路72が、スイッチ素子12のドレイン12Dとソース12Sとの間に接続されている。また、互いに並列に接続されたコンデンサ53とインダクタ63で構成される並列回路73が、スイッチ素子12のゲート12Gとドレイン12Dとの間に接続されている。なお、インダクタ61,62,63のインダクタンスをそれぞれLgs,Lds,Lgdと表記する。
また、Y-Δ変換の公式から、インダクタンスLg,Ld,Lsと、インダクタンスLds,Lgs,Lgdとの間には、下式(6)で表される関係が成立する。
そして、図4に示す等価回路が発振回路であるという考えに基づき、図5に示すように、並列回路71,72,73をそれぞれ、インピーダンスZds,Zgd,Zgsを有する負荷81,82,83に置き換えると、バルクハウゼン型回路の基本形を得ることができる。
バルクハウゼン型回路は、回路の発振現象の代表的モデルである。バルクハウゼン型回路が発振することなく安定に動作するためには、バルクハウゼン型回路において、以下に示す第1〜4安定動作条件の何れか一つが成立する必要がある。
第1安定動作条件は、インピーダンスZgsが誘導性のリアクタンス(リアクタンスが正値)であり、且つ、インピーダンスZdsが容量性のリアクタンス(リアクタンスが負値)であることである。
第2安定動作条件は、インピーダンスZgsが容量性のリアクタンス(リアクタンスが負値)であり、且つ、インピーダンスZdsが誘導性のリアクタンス(リアクタンスが正値)であることである。
第3安定動作条件は、インピーダンスZgsとインピーダンスZgdがともに誘導性のリアクタンスであることである。
第4安定動作条件は、インピーダンスZgsとインピーダンスZgdがともに容量性のリアクタンスであることである。
なお、インピーダンスZds,Zgd,Zgsは、並列回路71,72,73のインピーダンスであるため、高調波電流の周波数に応じて誘導性であるか容量性であるかが決定される。具体的には、周波数が共振周波数より低い場合には誘導性であり、共振周波数より高い場合には容量性である。
そこで、全周波数帯域において第1〜4安定動作条件の何れかが成立する共振周波数fgs,fds,fgdの大小関係を議論する。共振周波数fgs,fds,fgdはそれぞれ、インピーダンスZgs,Zds,Zgdの共振周波数である。
例えば、共振周波数fgsが共振周波数fds以下(fgs≦fds)である場合において、全周波数帯域で安定動作が可能となるのは、fgs<fgd<fdsの関係が成立するときのみである。
具体的には、図6に示すように、fgs<fds<fgdの関係が成立している場合には、高調波電流の周波数がfdsからfgdまでの範囲内にあるときに発振のおそれがある。また図7に示すように、fgs<fgd<fdsの関係が成立している場合には、全周波数帯域で安定動作が可能となる。また図8に示すように、fgd<fgs<fdsの関係が成立している場合には、高調波電流の周波数がfgdからfgsまでの範囲内にあるときに発振のおそれがある。
同様に、共振周波数fdsが共振周波数fgs以下(fds≦fgs)である場合には、fds≦fgd≦fgsの関係が成立するときに全周波数帯域で安定動作が可能となる。
以上より、下式(7)または下式(8)が成立する場合に、スイッチ素子12のスイッチングの瞬間に発生する高周波に起因した自励発振が発生しない。
また、式(7),(8)において共振周波数をインダクタンスとキャパシタンスによって表現して整理すると、下式(9),(10)が得られる。
したがって、下式(11)または下式(12)が成立する場合に、スイッチ素子12のスイッチングの瞬間に発生する高周波に起因した自励発振が発生しない。
ここで、スイッチ素子12がオン状態のときにおけるゲート電流経路Rg(すなわち、オン時ゲート電流経路Rg1)の寄生インダクタンスをL’g_onと表記する。スイッチ素子12がオフ状態のときにおけるゲート電流経路Rg(すなわち、オフ時ゲート電流経路Rg2)の寄生インダクタンスをL’g_offと表記する。
さらに、下式(13),(14)に示す関係式によってLg_onおよびLg_offを定義する。
昇圧チョッパ装置1は、式(11)、(12)の関係を満たすようにするため、下式(15)と下式(16)が成立するように実装される。
なお、寄生容量Cgs,Cds,Cgdは一般に必ずしも一定値ではなく、電圧による依存性がある。このため、寄生容量を以下のように定義する。すなわち、微小交流電流に対する静電容量C’を、両端に印加される直流電圧Vの関数とする。
そして、回路の所定の動作上でスイッチングに伴い寄生容量の端子電圧がV1からV2へ変化する場合には、寄生容量Cは、下式(17)に示すように、端子電圧を変化させるために寄生容量に投入した電力を、電圧の変化量の2乗の半分で除したものと定義すればよい。
昇圧チョッパ装置1に適用されたアプローチは、スイッチングノイズが自己増幅するためにスイッチングノイズが小さくても連鎖的誤動作が発生する可能性があり、自己増幅機能を除去する必要があるという概念に基づいている。なお、ノイズが半導体スイッチの動作によって自己増幅するという考えは、パワーエレクトロニクスでは全く例がない独自の概念である。なぜなら、電力変換技術に用いられる半導体スイッチはオン状態かオフ状態のいずれかの状態にして使うものであり、いずれの状態でもアナログ的な増幅機能を持たないためである。
一般には、半導体スイッチはオン状態かオフ状態にするため、増幅機能を有しない。しかし、昇圧チョッパ装置1では、スイッチングの過渡的な瞬間において半導体スイッチがオンでもオフでもない状態になるため、この瞬間ではアナログ回路として動作できることに本願では着目した。
このように構成された昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12と、コンデンサ13と、ダイオード11と、主電流経路Rmと、ゲート電流経路Rgとを備える。
スイッチ素子12は、一対のドレイン12Dとソース12Sとの間を、ゲート12Gに印加される電圧または電流に応じて、電気的に導通した導通状態および電気的に導通していない非導通状態の何れか一方に切り換える。コンデンサ13は、スイッチ素子12に対して直列に接続される。ダイオード11は、スイッチ素子12に対して直列に接続される。
主電流経路Rmは、スイッチ素子12により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、ドレイン12Dとソース12Sとの間で電流の交流成分がダイオード11およびコンデンサ13を通って流れる電流経路である。ゲート電流経路Rgは、スイッチ素子12により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、ゲート12Gとソース12Sとの間で電流の交流成分がスイッチ素子12の外部を通って流れる電流経路である。
そして昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように実装されている。
なお、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgとの相互インダクタンスはインダクタンスLs、主電流経路Rmの自己インダクタンスとインダクタンスLsとの差はインダクタンスLd、ゲート電流経路Rgの自己インダクタンスとインダクタンスLsとの差はインダクタンスLgである。
また、ゲート12Gとドレイン12Dとの間の静電容量は静電容量Cgd、ゲート12Gとソース12Sとの間の静電容量は静電容量Cgs、ドレイン12Dとソース12Sとの間の静電容量は静電容量Cdsである。
また、インダクタンスLsを静電容量Cgdで除した値が第1除算値、インダクタンスLdを静電容量Cgsで除した値が第2除算値、インダクタンスLgを静電容量Cdsで除した値が第3除算値である。
このように構成された昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12により導通状態および非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、全周波数帯域においてバルクハウゼン型回路の第1〜4安定動作条件の何れかが成立する。これにより昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12のドレイン12Dの電圧の自励的な振動を抑制することができる。
以上説明した実施形態において、昇圧チョッパ装置1は本発明における電力変換装置、スイッチ素子12は本発明における第1スイッチ素子、コンデンサ13は本発明におけるコンデンサ、ダイオード11は本発明における整流素子、主電流経路Rmは本発明における主電流経路、ゲート電流経路Rgは本発明における副電流経路である。
また、ドレイン12Dは本発明における第1通電電極、ソース12Sは本発明における第2通電電極、ゲート12Gは本発明における制御電極である。
また、インダクタンスLsは本発明における第1インダクタンス、インダクタンスLdは本発明における第2インダクタンス、インダクタンスLgは本発明における第3インダクタンスである。
また、静電容量Cgdは本発明における第1静電容量、静電容量Cgsは本発明における第2静電容量、静電容量Cdsは本発明における第3静電容量である。
(第2実施形態)
以下に本発明の第2実施形態を図面とともに説明する。なお第2実施形態では、第1実施形態と異なる部分を説明する。
第2実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図9に示すように、半導体パッケージ90とコンデンサ91,92とジャンパ93,94が追加された点以外は第1実施形態と同じである。
半導体パッケージ90は、その内部に、スイッチ素子12とコンデンサ91,92とジャンパ93,94を封止する。また半導体パッケージ90は、ドレイン端子96、ゲート端子97およびソース端子98を備える。ドレイン端子96は、スイッチ素子12のドレイン12Dに接続するための端子である。ゲート端子97は、スイッチ素子12のゲート12Gに接続するための端子である。ソース端子98は、スイッチ素子12のソース12Sに接続するための端子である。
コンデンサ91,92は、一端がスイッチ素子12のドレイン12Dに接続されるとともに、他端がスイッチ素子12のゲート12Gに接続される。
ジャンパ93は、コンデンサ91の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、その通電経路を遮断している。またジャンパ94は、コンデンサ92の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、その通電経路を遮断している。
そして、スイッチ素子12とコンデンサ91,92とジャンパ93,94は、半導体パッケージ90内に封止されている。
なお、ジャンパ93,94は、図10に示すように、半導体パッケージ90の表面に形成された凹部99によって露出するように設けられている。
このため、ジャンパ93を短絡することにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に、コンデンサ91による静電容量を付加することができる。同様に、ジャンパ94を短絡することにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に、コンデンサ92による静電容量を付加することができる。
このように構成された半導体パッケージ90は、ドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続されるコンデンサ91,92を備え、コンデンサ91,92をドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続するか否かをジャンパ93,94で選択することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、静電容量Cgdの値を変更することができる。
これにより、半導体パッケージ90を用いて昇圧チョッパ装置1を構成する際において配線の取り回しが自由にできない場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、半導体パッケージ90の外部からの操作によって静電容量Cgdの値を変更することができる。このため、半導体パッケージ90を用いて構成された昇圧チョッパ装置1は、ドレイン端子96の電圧の自励的な振動を抑制することができる。
また、静電容量Cgdは小さいため、コンデンサ91,92も小さな静電容量で済み、結果としてコンデンサ91,92の体格は小さくて済む。これにより、コンデンサ91,92の追加に起因して半導体パッケージ90の体格が増加するのを抑制することができる。
以上説明した実施形態において、半導体パッケージ90は本発明における装置部品、コンデンサ91,92とジャンパ93,94は本発明における変更手段、コンデンサ91,92は本発明における電極間コンデンサである。
(第3実施形態)
以下に本発明の第3実施形態を図面とともに説明する。なお第3実施形態では、第2実施形態と異なる部分を説明する。
第3実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図11に示すように、ジャンパ93,94の代わりに短絡パターン101,102が追加された点以外は第2実施形態と同じである。
短絡パターン101は、コンデンサ91の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、その通電経路を連通している。また短絡パターン102は、コンデンサ92の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、その通電経路を連通している。
このため、短絡パターン101を切断することにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に付加されていたコンデンサ91の静電容量を除去することができる。同様に、短絡パターン102を切断することにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に付加されていたコンデンサ92の静電容量を除去することができる。
このように構成された半導体パッケージ90は、ドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続されるコンデンサ91,92を備え、コンデンサ91,92をドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続するか否かを短絡パターン101,102で選択することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、静電容量Cgdの値を変更することができる。
また、静電容量Cgdは小さいため、コンデンサ91,92も小さな静電容量で済み、結果としてコンデンサ91,92の体格は小さくて済む。これにより、コンデンサ91,92の追加に起因して半導体パッケージ90の体格が増加するのを抑制することができる。
以上説明した実施形態において、コンデンサ91,92と短絡パターン101,102は本発明における変更手段である。
(第4実施形態)
以下に本発明の第4実施形態を図面とともに説明する。なお第4実施形態では、第2実施形態と異なる部分を説明する。
第4実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図12に示すように、ジャンパ93,94の代わりにスイッチ素子111,112と選択端子116,117が追加された点以外は第2実施形態と同じである。
スイッチ素子111は、コンデンサ91の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、この通電経路を連通するオン状態と、この通電経路を遮断するオフ状態との何れかの状態になるように駆動される。スイッチ素子112は、コンデンサ92の他端とスイッチ素子12のゲート12Gとの間の通電経路に設けられ、この通電経路を連通するオン状態と、この通電経路を遮断するオフ状態との何れかの状態になるように駆動される。
選択端子116は、スイッチ素子111のゲートに接続される。選択端子117は、スイッチ素子112のゲートに接続される。
このため、選択端子116に直流電源を接続してスイッチ素子111をオン状態にすることにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に、コンデンサ91による静電容量を付加することができる。同様に、選択端子117に直流電源を接続してスイッチ素子112をオン状態にすることにより、スイッチ素子12のゲート12Gとソース12Sとの間に、コンデンサ92による静電容量を付加することができる。
このように構成された半導体パッケージ90は、ドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続されるコンデンサ91,92を備え、コンデンサ91,92をドレイン12Dとゲート12Gとの間に接続するか否かをスイッチ素子111,112で選択することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、静電容量Cgdの値を変更することができる。
また、静電容量Cgdは小さいため、コンデンサ91,92も小さな静電容量で済み、結果としてコンデンサ91,92の体格は小さくて済む。これにより、コンデンサ91,92の追加に起因して半導体パッケージ90の体格が増加するのを抑制することができる。
以上説明した実施形態において、コンデンサ91,92とスイッチ素子111,112は本発明における変更手段である。
(第5実施形態)
以下に本発明の第5実施形態を図面とともに説明する。なお第5実施形態では、第2実施形態と異なる部分を説明する。
第5実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図13に示すように、コンデンサ91,92とジャンパ93,94の代わりに引き出し線121,122,123,124と引き出し端子126,127,128,129が追加された点以外は第2実施形態と同じである。
引き出し線121,122,123,124はそれぞれ、その一端が接続点CP1,CP2,CP3,CP4に接続される。接続点CP1,CP2,CP3,CP4は、ソース端子98とスイッチ素子12のソース12Sとの間の配線W1上に設けられている。また、接続点CP1,CP2,CP3,CP4は、配線W1に沿ってスイッチ素子12のソース12Sに到るまでの距離が短いものから順に接続点CP1,CP2,CP3,CP4となるように配線W1上に配置されている。
さらに、引き出し線121,122,123,124はそれぞれ、その他端が引き出し端子126,127,128,129に接続される。
このように構成された半導体パッケージ90は、引き出し線121,122,123,124の何れか一つを選択して、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgとが共有する配線の長さを変更することにより、インダクタンスLsの値を変更することができる。
これにより、半導体パッケージ90を用いて昇圧チョッパ装置1を構成する際において配線の取り回しが自由にできない場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、半導体パッケージ90の外部からの操作によってインダクタンスLsの値を変更することができる。このため、半導体パッケージ90を用いて構成された昇圧チョッパ装置1は、ドレイン端子96の電圧の自励的な振動を抑制することができる。
また、インダクタンスLsは小さいため、インダクタンスLsの調整のためにスイッチ素子12のソース12Sと接続点CP1,CP2,CP3,CP4との間隔を短くすることができる。これにより、配線W1に接続点CP1,CP2,CP3,CP4を設けることで配線W1の配線長が伸びて半導体パッケージ90の体格が増加するのを抑制することができる。
以上説明した実施形態において、接続点CP1,CP2,CP3,CP4および引き出し線121,122,123,124は本発明における変更手段である。
(第6実施形態)
以下に本発明の第6実施形態を図面とともに説明する。なお第6実施形態では、第2実施形態と異なる部分を説明する。
第6実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図14に示すように、コンデンサ91,92とジャンパ93,94の代わりに引き出し線131,132と引き出し端子136,137が追加された点以外は第2実施形態と同じである。
引き出し線131,132は、その一端が接続点CP11に接続される。接続点CP11は、ソース端子98とスイッチ素子12のソース12Sとの間の配線W1上に設けられている。
さらに、引き出し線131,132はそれぞれ、その他端が引き出し端子136,137に接続される。
引き出し線131は、引き出し線131に沿って接続点CP11に到るまでの配線の一部において、配線W1と近接するように配置される。
一方、引き出し線132は、引き出し線132に沿って接続点CP11に到るまでの配線の一部において、接続点CP11からソース端子98へ向かう方向とは逆の方向に向かって延びるように配置される。
このため、引き出し端子136をドライバ回路18に接続した場合と、引き出し端子137をドライバ回路18に接続した場合とで、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgの磁気結合の向き(極性)が互いに逆になる。
このように構成された半導体パッケージ90は、引き出し線131,132の何れか一つを選択して、主電流経路Rmとゲート電流経路Rgとの間の磁気結合の極性を変更することにより、インダクタンスLsの値を変更することができる。
また、インダクタンスLsは小さいため、インダクタンスLsの調整のための磁気結合は小さくて済み、結果として引き出し線131,132を短くすることができる。これにより、引き出し線131,132の追加に起因して半導体パッケージ90の体格が増加するのを抑制することができる。
以上説明した実施形態において、引き出し線131,132は本発明における変更手段である。
(第7実施形態)
以下に本発明の第7実施形態を図面とともに説明する。なお第7実施形態では、第1実施形態と異なる部分を説明する。
第7実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図15に示すように、ループ配線141とジャンパ142とドレイン端子143とソース端子144が追加された点以外は第1実施形態と同じである。
なお、スイッチ素子12、直流電源17、ドライバ回路18、ループ配線141、ジャンパ142、ドレイン端子143およびソース端子144は半導体モジュール140を構成している。
ループ配線141は、ループ状の配線であり、オフ時ゲート電流経路Rg2の内周側においてオフ時ゲート電流経路Rg2に沿って配置される。
ジャンパ142は、ループ配線141上に設けられ、ループ配線141の通電経路を遮断している。このため、ジャンパ142を短絡することにより、ループ配線141はループ状の電流経路を形成する。そして、オフ時ゲート電流経路Rg2に電流が流れると、ループ配線141の電流経路に、オフ時ゲート電流経路Rg2で発生した磁束を打ち消そうとする磁束を発生させる誘導電流が流れる。このため、ジャンパ142の短絡と開放に伴い、インダクタンスLgの値が変化する。
ドレイン端子143は、スイッチ素子12のドレイン12Dに接続するための端子である。ソース端子144は、スイッチ素子12のソース12Sに接続するための端子である。
このように構成された半導体モジュール140は、ループ配線141とジャンパ142を用いて、オフ時ゲート電流経路Rg2に沿って近接するループ状の配線の短絡および開放の何れかを選択することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、インダクタンスLgの値を変更することができる。
これにより、半導体モジュール140を用いて昇圧チョッパ装置1を構成する際において配線の取り回しが自由にできない場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、半導体モジュール140の外部からの操作によってインダクタンスLgの値を変更することができる。このため、半導体モジュール140を用いて構成された昇圧チョッパ装置1は、ドレイン端子143の電圧の自励的な振動を抑制することができる。
以上説明した実施形態において、半導体モジュール140は本発明における装置部品、ループ配線141とジャンパ142は本発明における変更手段である。
(第8実施形態)
以下に本発明の第8実施形態を図面とともに説明する。なお第8実施形態では、第7実施形態と異なる部分を説明する。
第8実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図16に示すように、ループ配線141とジャンパ142の代わりにジャンパ151,152,153,154が追加された点と、ドライバ回路18とスイッチ素子12のゲート12Gとの間のゲート配線が変更された点以外は第7実施形態と同じである。
なお、スイッチ素子12、直流電源17、ドライバ回路18、ドレイン端子143、ソース端子144およびジャンパ151,152,153,154は半導体モジュール140を構成している。
まずゲート配線は、配線W2と配線W3とにより構成されている。配線W2は、一端がスイッチ素子12のゲート12Gに接続されるとともに、他端が未接続の状態とされる。配線W3は、一端がドライバ回路18に接続されるとともに、他端が未接続の状態とされる。
ジャンパ151,152,153,154はそれぞれ、その一端が接続点CP21,CP22,CP23,CP24に接続され、他端が接続点CP26,CP27,CP28,CP29に接続される。
接続点CP21,CP22,CP23,CP24は、配線W2に沿ってスイッチ素子12のゲート12Gに到るまでの距離が長いものから順に接続点CP21,CP22,CP23,CP24となるように配線W2上に配置されている。接続点CP26,CP27,CP28,CP29は、配線W3に沿ってドライバ回路18に到るまでの距離が短いものから順に接続点CP26,CP27,CP28,CP29となるように配線W3上に配置されている。
このように構成された半導体モジュール140は、配線W2,W3とジャンパ151,152,153,154を用いて、ゲート電流経路Rgを構成する配線の長さを変更することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、インダクタンスLgの値を変更することができる。
以上説明した実施形態において、配線W2,W3とジャンパ151,152,153,154は本発明における変更手段である。
(第9実施形態)
以下に本発明の第9実施形態を図面とともに説明する。なお第9実施形態では、第1実施形態と異なる部分を説明する。
第9実施形態の昇圧チョッパ装置1は、図17に示すように、ジャンパ161,162,163,164,165、抵抗166、ゲート端子167、電圧入力端子168、電圧出力端子169およびグランド端子170が追加された点と、ダイオード11とコンデンサ13との間の配線が変更された点以外は第1実施形態と同じである。
なお、ダイオード11、スイッチ素子12、コンデンサ13、ジャンパ161,162,163,164,165、抵抗166、ゲート端子167、電圧入力端子168、電圧出力端子169およびグランド端子170は半導体モジュール160を構成している。
まず、ダイオード11とコンデンサ13との間の配線は、配線W4と配線W5とにより構成されている。配線W4は、一端がダイオード11のカソードに接続されるとともに、他端が未接続の状態とされる。配線W5は、一端がコンデンサ13に接続されるとともに、他端が未接続の状態とされる。
ジャンパ161,162,163,164,165はそれぞれ、その一端が接続点CP31,CP32,CP33,CP34,CP35に接続され、他端が接続点CP36,CP37,CP38,CP39,CP40に接続される。
接続点CP31,CP32,CP33,CP34,CP35は、配線W4に沿ってダイオード11のカソードに到るまでの距離が短いものから順に接続点CP31,CP32,CP33,CP34,CP35となるように配線W4上に配置されている。接続点CP36,CP37,CP38,CP39,CP40は、配線W5に沿ってコンデンサ13に到るまでの距離が短いものから順に接続点CP36,CP37,CP38,CP39,CP40となるように配線W5上に配置されている。
抵抗166は、一端がダイオード11のカソードと電圧出力端子169との接続点に接続されるとともに、他端が接続点CP31に接続される。
ゲート端子167は、ドライバ回路18とスイッチ素子12のゲート12Gとを接続するための端子である。電圧入力端子168は、インダクタ15とスイッチ素子12のドレイン12Dとを接続するための端子である。電圧出力端子169およびグランド端子170はそれぞれ、コンデンサ14の一端および他端に接続するための端子である。
このように構成された半導体モジュール160は、配線W4,W5とジャンパ161,162,163,164,165を用いて、主電流経路Rmを構成する配線の長さを変更することにより、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、インダクタンスLdの値を変更することができる。
これにより、半導体モジュール160を用いて昇圧チョッパ装置1を構成する際において配線の取り回しが自由にできない場合に、第1除算値が第2除算値と第3除算値との間の値になるように、半導体モジュール160の外部からの操作によってインダクタンスLdの値を変更することができる。このため、半導体モジュール160を用いて構成された昇圧チョッパ装置1は、スイッチ素子12のドレイン12Dの電圧の自励的な振動を抑制することができる。
以上説明した実施形態において、半導体モジュール160は本発明における装置部品、配線W4,W5とジャンパ161,162,163,164,165は本発明における変更手段である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採ることができる。
例えば上記実施形態では、本発明を単方向昇圧チョッパに適用したものを示したが、本発明を同期整流昇圧チョッパ装置に適用するようにしてもよい。
例えば図18に示すように、同期整流昇圧チョッパ装置201は、ダイオード11の代わりにスイッチ素子211が追加された点と、直流電源212とドライバ回路213が新たに追加された点以外は、昇圧チョッパ装置1と同じである。
スイッチ素子211は、Nチャネル型の電界効果トランジスタであり、ドレインが出力端子19に接続されるとともに、ソースがスイッチ素子12のドレイン12Dに接続される。
直流電源212は、正極がドライバ回路213を介してスイッチ素子211のゲートに接続されるとともに、負極がスイッチ素子211のソースに接続される。
ドライバ回路213は、直流電源212の正極とスイッチ素子211のゲートとの間の通電経路を連通するオン状態と、その通電経路を遮断して直流電源212の負極とスイッチ素子211のゲートとの間の通電経路を連通するオフ状態との何れかの状態になるように駆動される。
このように構成された同期整流昇圧チョッパ装置201では、スイッチ素子12についてのオン時ゲート電流経路Rg1およびオフ時ゲート電流経路Rg2と、スイッチ素子211についてのオン時ゲート電流経路Rg11およびオフ時ゲート電流経路Rg12が形成される。
このため、同期整流昇圧チョッパ装置201は、オン時ゲート電流経路Rg11およびオフ時ゲート電流経路Rg12と主電流経路Rmとの間でも、式(15),(16)が成立するように実装されるようにするとよい。なお、スイッチ素子211は本発明における第2スイッチ素子である。
また図19に示すように、単方向降圧チョッパ装置301は、オン時ゲート電流経路Rg21およびオフ時ゲート電流経路Rg22と主電流経路Rmとの間でも、式(15),(16)が成立するように実装されるようにするとよい。
また図20に示すように、同期整流降圧チョッパ装置401は、同期整流昇圧チョッパ装置201と同様に、一方のスイッチ素子についてのオン時ゲート電流経路Rg21およびオフ時ゲート電流経路Rg22と、他方のスイッチ素子についてのオン時ゲート電流経路Rg31およびオフ時ゲート電流経路Rg32が形成される。
このため、同期整流降圧チョッパ装置401は、オン時ゲート電流経路Rg31およびオフ時ゲート電流経路Rg32と主電流経路Rmとの間でも、式(15),(16)が成立するように実装されるようにするとよい。
また上記実施形態では、スイッチ素子12が電界効果トランジスタであるものを示したが、スイッチ素子は、GaN−FETでもよく、IGBT、BJT、JFETおよびGaN−HEMTなど任意のスイッチングデバイスでもよい。
また上記第2,3,4実施形態では、静電容量Cgdを変更するものを示したが、上記第2,3,4実施形態で示した静電容量の変更方法は、静電容量Cgsと静電容量Cdsを変更する場合にも適用可能である。
また上記第2,3,4実施形態では、キャパシタンスとして、パッケージ内に封止したコンデンサ91,92を用いたものを示したが、半導体チップ上に形成されたコンデンサ、またはPN逆接続による寄生キャパシタンス等を用いてもよい。
また上記第6実施形態では、磁気結合の極性を変更することによりインダクタンスLsの値を変更するものを示したが、磁気結合の強度を変更するようにしてもよい。例えば、引き出し線132が、引き出し線131と同様に、引き出し線132に沿って接続点CP11に到るまでの配線の一部において配線W1と近接させるように配置させ、引き出し線131よりも配線W1と近接している距離が短いようにしてもよい。
また上記第7実施形態では、ループ配線141がオフ時ゲート電流経路Rg2の内周側においてオフ時ゲート電流経路Rg2に沿って配置されるものを示した。しかし、ループ配線141は、オフ時ゲート電流経路Rg2の外周側においてオフ時ゲート電流経路Rg2に沿って配置されるようにしてもよい。または、ループ配線141は、オフ時ゲート電流経路Rg2を含む平面の上面側または下面側においてオフ時ゲート電流経路Rg2に沿って配置されるようにしてもよい。
また上記第7実施形態では、ループ配線141をオフ時ゲート電流経路Rg2に沿って配置することによりインダクタンスLgの値を変更するものを示した。しかし、ループ配線を、主電流経路Rmに沿って近接するように配置することにより、インダクタンスLdの値を変更するようにしてもよい。
また、上記実施形態における1つの構成要素が有する機能を複数の構成要素として分散させたり、複数の構成要素が有する機能を1つの構成要素に統合させたりしてもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、同様の機能を有する公知の構成に置き換えてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加または置換してもよい。なお、特許請求の範囲に記載した文言のみによって特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本発明の実施形態である。
1…昇圧チョッパ装置、11…ダイオード、12,211…スイッチ素子、12D…ドレイン、12G…ゲート、12S…ソース、13…コンデンサ、201…同期整流昇圧チョッパ装置、211…スイッチ素子、301…単方向降圧チョッパ装置、401…同期整流降圧チョッパ装置、Rg…ゲート電流経路、Rm…主電流経路

Claims (11)

  1. 一対の第1通電電極(12D)と第2通電電極(12S)との間を、制御電極(12G)に印加される電圧または電流に応じて、電気的に導通した導通状態および電気的に導通していない非導通状態の何れか一方に切り換える第1スイッチ素子(12,211)と、
    前記第1スイッチ素子に対して直列に接続されるコンデンサ(13)と、
    前記第1スイッチ素子に対して直列に接続される第2スイッチ素子(211)もしくは整流素子(11)と、
    前記第1スイッチ素子により前記導通状態および前記非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、前記第1通電電極と前記第2通電電極との間で電流の交流成分が前記コンデンサならびに前記第2スイッチ素子もしくは前記整流素子を通って流れる主電流経路(Rm)と、
    前記第1スイッチ素子により前記導通状態および前記非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、前記制御電極と前記第2通電電極との間で電流の交流成分が前記第1スイッチ素子の外部を通って流れる副電流経路(Rg)とを備え、
    前記主電流経路と前記副電流経路との相互インダクタンスを第1インダクタンス(Ls)とし、前記主電流経路の自己インダクタンスと前記第1インダクタンスとの差を第2インダクタンス(Ld)とし、前記副電流経路の自己インダクタンスと前記第1インダクタンスとの差を第3インダクタンス(Lg)とし、
    前記制御電極と前記第1通電電極との間の静電容量を第1静電容量(Cgd)とし、前記制御電極と前記第2通電電極との間の静電容量を第2静電容量(Cgs)とし、前記第1通電電極と前記第2通電電極との間の静電容量を第3静電容量(Cds)とし、
    前記第1インダクタンスを前記第1静電容量で除した値を第1除算値とし、前記第2インダクタンスを前記第2静電容量で除した値を第2除算値とし、前記第3インダクタンスを前記第3静電容量で除した値を第3除算値として、
    前記第1スイッチ素子により前記導通状態および前記非導通状態の何れか一方に切り換える場合に、前記第1除算値が前記第2除算値と前記第3除算値との間の値になるように実装されている
    ことを特徴とする電力変換装置。
  2. 請求項1に記載の電力変換装置の前記第1スイッチ素子を備え、前記電力変換装置の一部分を構成する装置部品(90,140,160)であって、
    前記第1除算値が前記第2除算値と前記第3除算値との間の値になるように、前記第1インダクタンス、前記第2インダクタンス、前記第3インダクタンス、前記第1静電容量、前記第2静電容量および前記第3静電容量の少なくとも一つの値を当該装置部品の外部からの操作によって変更する変更手段(91,92,93,94,101,102,111,112,CP1,CP2,CP3,CP4,121,122,123,124,131,132,141,142,W2,W3,151,152,153,154,W4,W5,161,162,163,164,165)を備える
    ことを特徴とする装置部品。
  3. 前記変更手段(91,92,93,94,101,102,111,112)は、
    前記第1通電電極、前記第2通電電極および前記制御電極の中の二つの電極間に接続されるコンデンサである電極間コンデンサ(91,92)を一つ以上備え、前記電極間コンデンサを前記電極間に接続するか否かを選択することにより、前記第1静電容量、前記第2静電容量および前記第3静電容量の少なくとも一つの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品(90)。
  4. 前記変更手段(91,92,93,94,101,102,111,112)は、前記第1静電容量の値を変更する
    ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の装置部品(90)。
  5. 前記変更手段(CP1,CP2,CP3,CP4,121,122,123,124,131,132)は、前記第1インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品(90)。
  6. 前記変更手段(CP1,CP2,CP3,CP4,121,122,123,124)は、
    前記主電流経路と前記副電流経路とが共有する配線の長さを変更することにより、前記第1インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項5に記載の装置部品(90)。
  7. 前記変更手段(131,132)は、
    前記主電流経路と前記副電流経路との間の磁気結合の極性または強度を変更することにより、前記第1インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項5に記載の装置部品(90)。
  8. 前記変更手段(W4,W5,161,162,163,164,165)は、
    前記主電流経路を構成する配線の長さを変更することにより、前記第2インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品(160)。
  9. 前記変更手段(W2,W3,151,152,153,154)は、
    前記副電流経路を構成する配線の長さを変更することにより、前記第3インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品(140)。
  10. 前記変更手段(141,142)は、
    前記副電流経路に沿って近接するループ状の配線の短絡および開放の何れかを選択することにより、前記第3インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品(140)。
  11. 前記変更手段は、
    前記主電流経路に沿って近接するループ状の配線の短絡および開放の何れかを選択することにより、前記第2インダクタンスの値を変更する
    ことを特徴とする請求項2に記載の装置部品。
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